【課題】撮像画像の欠損部分を高速に補間する補間方法と、この補間方法により補間された撮像画像に基づいてタイヤ表面の検査を行う検査方法を提供する。
【解決手段】撮像画像に含まれる欠損画像をインペインティング処理して補間する欠損画像の補間方法であって、撮像画像から欠損画像を検出する欠損画像検出ステップと、欠損画像を構成する画素が閾値以下の画素数となるまで画素を間引きして縮小画像を生成する縮小画像生成ステップと、縮小画像をインペインティング処理して縮小画像の画素の輝度を補間する画像補間ステップと、画像補間ステップにより補間された縮小画像の画素の輝度を一つ前の大きさの画像に置換する画像更新ステップとを含み、縮小画像生成ステップにより生成される縮小画像が元の欠損画像の大きさとなるまで画像補間ステップ及び画像更新ステップを繰り返すようにした。 （もっと読む）

【課題】 光が正反射する被検体の表面欠陥を検査する際に、光源が映り込んで発生する光の影響を抑制できる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】
第１照明光を発生させる第１光源と、第２照明光を発生させる第２光源と、被検体が照らされるように第１照明光及び第２照明光を反射するハーフミラーと、第１照明光が被検体から反射した第１反射光を受光して得られた第１画像、及び第２照明光が被検体から反射した第２反射光を受光して得られた第２画像を撮像する撮像部と、第１画像、及び第２画像を分離する画像分離部と、第１画像及び第２画像のそれぞれに対し、閾値以上の光強度を有する画素を特定する画素特定部と、第１画像において特定された前記画素を、第２画像の対応画素で補完し、第２画像において特定された画素を、第１画素の対応画素で補完する画素補完部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】欠陥座標精度を向上し、検出欠陥座標誤差を低減可能な光学式欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】標準試料に作り込み欠陥が形成され異物欠陥判定機構１１により、欠陥が判定されてデータ処理部１２に欠陥データが供給される。データ処理部１１は、標準試料の作り込み欠陥と検出欠陥との座標ずれ量を算出し、感度（装置感度（輝度、明るさ等））の確認を行い、ハードによる補正の実行に進む、座標ずれが一定値未満であれば、ソフトによる補正を実行する。ソフト補正の場合、標準試料全体の座標補正を行い座標ずれ量を算出し確認する。座標ずれ量が許容外であれば標準試料の分割した領域毎に座標補正を行う。 （もっと読む）

【課題】シリンダブロックのスプール孔検査を自動化するに当って、ランド部のうち、方向切換弁としての性能に関係のない部位に凹部が存在している場合に、それを欠陥として認識するのを防止することにより、良否の判定精度が向上する。
【解決手段】検査用プローブ２０を用いて、シリンダブロック１のスプール孔２の表面検査を行うに当たって、ランド部１０と鋳溝部１１との間に設けられるリセス加工部１２の位置を基準位置とし、この基準位置から各ランド部１０までの実測距離とに基づいて、ランド部１０に検査領域ＲＤを設定して、欠陥箇所が検査領域ＲＤ以外の非検査領域ＮＤにある場合には、良品と判定する。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスなどパターンを有するウェハ，液晶基板およびメディア等の欠陥の高精度な異物検出方法および異物検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の第１の特徴は、検査対象基板に光を照射する照射光学系と、前記検査対照基板からの光を検出する検出光学系と、前記検査対象基板からの回折光を遮光する空間フィルタとを有する検査装置において、前記空間フィルタは、複数の遮光材と、前記遮光材の形状，角度、または間隔の少なくとも１つを変化させる制御部材と、前記制御部材を制御する制御部と、を有することにある。 （もっと読む）

【課題】印刷検査位置における枚葉紙の浮き上がりやバタつきを防いだ状態で印刷検査を行うことができる印刷検査装置を提供する。
【解決手段】印刷欠陥を検査する検査装置であって、圧胴102上を移動する枚葉紙Ｐの表面を撮影する撮影手段２と、圧胴102上を移動する枚葉紙Ｐに対して、撮影手段２の撮影位置より枚葉紙Ｐの移動方向下流側に空気を吹き付けるエア吹付手段５とを備えており、エア吹付手段５は、枚葉紙Ｐに吹き付けた空気が、枚葉紙Ｐの表面に沿って、枚葉紙Ｐの移動方向上流側流れるようにエア吹付け角度が調整されている。エア吹付手段から枚葉紙に吹き付けられた空気が、枚葉紙の表面に沿って上流側に流れるから、枚葉紙は圧胴表面に密着するから、枚葉紙にしわができることを防ぐことができる。枚葉紙の後端まで空気が流れるから、後方部分のバタつきを防ぐこともできるし、撮影位置に余剰エアが溜まることがない。 （もっと読む）

【課題】高速の画像処理が可能で、エッジ付近の汚れや形状不良の影響を受けず、簡単な構成で、正確な表面検査を行うことができる、表面検査装置および方法を提供することを課題とする。
【解決手段】被検査面に光を照射する光源と、前記被検査面からの反射光を受光し撮像する、互いに視野がオーバラップするように前記被検査面の幅方向に配列された複数台のカメラと、該カメラからの撮像信号を１対１対応で処理する複数台の画像処理装置と、該画像処理装置からの疵情報を処理する計算機とを備え、前記被検査面に存在する表面疵を検出する表面検査装置であって、前記画像処理装置は、それぞれ独立に、かつ、同一の処理を行う、エッジ検出処理手段およびエッジ処理手段を備える。 （もっと読む）

【課題】レーザー光を用いてウェーハ表面のＬＰＤを検出する際に、ウェーハ表面のＬＰＤを高精度で検出することができる、ウェーハ表面のＬＰＤ検出方法を提供する。
【解決手段】レーザー光を発する光源と、該光源からウェーハ表面へ照射したレーザー光がウェーハ表面で散乱・乱反射された光を検出する検出器とを備える、暗視野像の撮影が可能な顕微鏡を用いて、光源から第１の光路を通って検出器へと入射した光を用いてウェーハ表面を検査し、第１の暗視野像を得る工程と、暗視野像の撮影が可能な顕微鏡を用いて、光源から第１の光路とは異なる光路を通って検出器へと入射した光を用いてウェーハ表面を検査し、少なくとも一つの暗視野像を得る工程と、前記第１の暗視野像と、前記少なくとも一つの暗視野像とを用いてＬＰＤを検出する工程とを含むことを特徴とする、ウェーハ表面のＬＰＤ検出方法である。 （もっと読む）

【課題】地合ノイズによって誤検出を生じることのない、リング照明装置およびリング照明装置を用いた表面検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】対象物を照射するリング照明装置であって、リング状の光出射部と対象物の中間に、前記光出射部と同心円状で、かつ、前記光出射部より径の小さい光学的な開口部を有する遮光板を備え、対象物に前記光出射部からの直接光が照射されないようにする。 （もっと読む）

【課題】印刷媒体の読み取り時の位置ずれを考慮して、エッジを含む線画像を精度よく検査し、印刷媒体の良否を判別する。
【解決手段】境界認識部７０４、７０５はそれぞれメモリ画像７０２、検査画像７０３の境界を認識し、線検出部７０６は境界認識の結果を基に線を検出する。第一の検査部７０７はメモリ画像と検査画像のエッジ以外の画像を比較して検査し、第二の検査部７０８は基準画像と検査画像について、エッジを含む線画像を比較することにより検査する。 （もっと読む）

【課題】既存の検査方法及び装置の問題を解消することが可能な検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】一態様では、物理的深さを有する凹部を含むオブジェクト上の欠陥の存在又は不在を検出する検査方法が開示される。この方法は、凹部の光学的深さの２倍に実質的に等しい波長を有する放射をオブジェクトへ誘導するステップと、オブジェクト又はオブジェクト上の欠陥によって再誘導された放射を検出するステップと、再誘導された放射から欠陥の存在又は不在を判定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】光学画像の歪みを最小限にして、高い検査精度を実現可能な検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１００において、光源１からマスク２２に照射された光は、マスク２２を透過した後、レンズ４を介しミラー２５で反射してラインセンサ５に結像する。ステージ２の位置はレーザ側長システム７ａで測定され、拡大光学系２００の位置はレーザ側長システム７ｂで測定される。得られたステージ２の位置と拡大光学系２００の位置との差分に基づき、ミラー制御部２６によってミラー２５の角度が制御される。また、これらの差分に基づき、ステージ制御部１５によってステージ２の移動速度が制御される。 （もっと読む）

【課題】検査対象の印刷単位画像を補正することなく、撮像時における変動の影響を可及的に排除し、精度の高い欠陥検出を行うことができる。
【解決手段】一枚の用紙に複数の印刷単位を含み、各印刷単位に同一のパターンが印刷される印刷物を対象とし、当該印刷物に含まれる複数の印刷単位を撮像する入力装置１と、印刷物の欠陥を印刷単位で検査する印刷物検査装置２と、検査結果を出力する出力装置３とを備え、印刷物検査装置２が、検査対象の印刷単位画像が撮像の際に受けた変動と類似の変動を受けた印刷単位画像を検索する比較相手検索手段２２と、撮像の際に類似の変動を受けた印刷単位画像同士の比較に基づいて、印刷単位画像の欠陥を検出する欠陥検出手段２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査性能が安定したパターン欠陥検査装置を実現すること。
【解決手段】複数の構成ユニットを有し試料面上の欠陥を検査する欠陥検査装置において、一部または全部の構成ユニットの経時変化や故障をモニタリングするモニタリングする手段とモニタリングした結果をユーザに通知する手段を備える。また、補正が可能であるユニットに関しては、補正を行う手段を備える。また、故障した部品を、装置内に用意しておいた予備部品と交換する手段を備える。 （もっと読む）

【課題】問題が発生した場合にその原因を把握して、検査装置の復旧を迅速に行う。
【解決手段】被検査物を搬送する搬送装置と、前記被検査物を検査する検査装置とを備えた検査システムである。前記検査装置は、全体的な動作状況、検査の進行状況等が表示される操作状況等表示部と、前記検査装置の制御部及び前記搬送装置の制御部で同期させて進行されるタイミングチャートの処理状況をリアルタイムの映像として表示するハンドシェイク図表示部と、現在の動作状況及び問題発生時の状況を文章で表示する動作コメント表示部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】
試料の表面の欠陥の検査中の試料の高さ変動により、照射したい領域と実際に照射している領域とに差異が生じるため、試料にレーザが照射されている領域とラインセンサで検出している領域の関係にずれが発生し、同一領域同士の信号を精度良く加算することが困難になる。
【解決手段】
試料の表面の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、Ｈａｚｅ信号の分布と予め定めた光量分布とを比較して算出した検出信号の画素ずれ量を補正した検出信号を加算処理して欠陥を検出する工程を有する欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】試料表面のパターン形状の良否を、環境温度変化の影響を受けることなく判定する表面検査方法を提供する。
【解決手段】偏光子７及び対物レンズ９を含み、ウェハ１０の表面を照明する照明光学系２１と、ウェハ１０の表面からの反射光を、対物レンズ９を介して集光し、偏光子７とクロスニコル条件を満たすように配置された検光子１２を通して対物レンズ９の瞳面の像を結像する検出光学系２２と、瞳面の像を検出する第１の撮像素子１７と、を有する表面検査装置１００による表面検査方法は、第１の基準像を取得する第１のステップと、検査像を取得する第２のステップと、第２の基準像を取得する第３のステップと、第１及び第２の基準像の階調値の差を求め、当該差が所定値を越えたときに、検査像の階調値を補正する第４のステップと、補正後の検査像及び第１若しくは第２の基準像の階調値を用いてウェハ１０の欠陥を検出する第５のステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】
従来技術によれば、試料に熱ダメージを与えることなく、短時間で高精度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
試料の表面におけるある一方向について照明強度分布が実質的に均一な照明光を、前記試料の表面に照射し、前記試料の表面からの散乱光のうち互いに異なる複数の方向に出射する複数の散乱光成分を検出して対応する複数の散乱光検出信号を得、前記複数の散乱光検出信号のうち少なくとも一つを処理して欠陥の存在を判定し、前記処理により欠陥と判定された箇所各々について対応する複数の散乱光検出信号のうち少なくとも一つを処理して欠陥の寸法を判定し、前記欠陥と判定された箇所各々について前記試料表面上における位置及び欠陥寸法を表示する欠陥検査方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】溶接部の色相むらを精度よく判定することができるレーザ溶接部評価方法を提供する。
【解決手段】まず、レーザビームの照射でワークに形成された溶接部の画像データを取得する（Ｓ３１）。続いて、画像データをＲＧＢ分離して判定用ＲＧＢ値を算出する（Ｓ３２）。判定用ＲＧＢ値をグレースケール変換し、グレースケール値を算出する（Ｓ３３）。判定用ＲＧＢ値をグレースケール値で除算し、判定用除算値を算出する（Ｓ３４）。判定用除算値からマハラノビスの距離を算出する（Ｓ３５）。そして、このマハラノビスの距離が所定値よりも小さい場合、溶接部の色相むらが正常と判定する（Ｓ３６→Ｓ３７）。 （もっと読む）

【課題】透明体の検査を行うことのできる検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置は、検査対象物たるランプ１に対し光を照射する照射手段１６と、ランプ１側の入射面３３から入射した光を透過させ、出射面３４にランプ１の光学像を映し出すファイバオプティカルプレート１７と、これに映し出されたランプ１の光学像を撮像するＣＣＤカメラ１５と、撮像された画像データに基づき、ランプ１のバルブ２の良否を判定する画像処理部とを備えている。ファイバオプティカルプレート１７を介すことによって、これの近くに位置するバルブ２表面の製品番号等がより鮮明に映し出され、遠くに位置するリード線３やフィラメント４がぼやけた状態の画像データを取得することができるため、バルブ２に付された識別情報等の検査を適正に行うことができる。 （もっと読む）