【課題】、基板を照射する照明光の光量を高い精度で検出して、基板表面の検査精度を向上させることができる、表面検査装置および照明光の光量制御方法を提供する。
【解決手段】 ウェハ１０を載置保持するホルダ２０と、ホルダ２０により載置保持されたウェハ１０の表面に照明光を照射する照明光学系３０と、照明光が照射されたウェハ１０の表面からの光を検出する撮像光学系４０と、撮像光学系４０で検出された光に基づいて、ウェハ１０の表面における欠陥の有無を検査する画像処理装置５０とを有する表面検査装置１において、ホルダ２０の照明光を受ける位置に設けられた反射部６１と、照明光が照射された反射部６１からの正反射光の光量を検出する光量検出部６２と、光量検出部６２により検出された光量に基づいて照明光の光量制御を行う制御装置５５とを有する。 （もっと読む）

【課題】検査対象の搬送速度に変動が生じても、欠陥を確実に検出する。
【解決手段】搬送中のフイルムを受光器により撮像する。撮像により得られるフレーム画像６０にハフ変換を施し、直線６２を検出する。直線６２のうち、フレーム画像の中心Ｃ１に最も近い中心直線６２ａを特定する。中心直線６２ａと交差する直線の交点６７を求める。求めた交点６７の座標を用いて、Ｘ軸方向の隣接交点間距離Ｐ１〜Ｐ１５及びＹ軸方向の隣接交点間距離Ｑ１〜Ｑ１５を求める。隣接交点間距離Ｐ１〜Ｐ１５及びＱ１〜Ｑ１５に基づいて、比較ピッチＸｐ，Ｙｐを求める。フレーム画像６０上の指定画素とその指定画素から比較ピッチ分Ｘｐ，Ｙｐだけ離れた比較画素を特定する。指定画素及び比較画素の濃度値に基づき、指定画素について差分処理を行う。フレーム画像６０の画素の全てに対して差分処理を行うことにより、フレーム画像６０からメッシュ部６３が除去される。 （もっと読む）

【課題】チューブ内の流体物およびチューブに対して簡易分光を行い、流体物の状態ならびにチューブの品質を正確に、かつ迅速に、検知でき、また照射する光を自由に設定でき、機械的精度が必要とされないような、流体検知センサの提供をする。
【解決手段】投光手段と受光手段と信号処理手段からなり、流体が流通する透光性のチューブの外側に着脱自在に設けられる流体検知センサであって、流体検知センサのハウジング部がヒンジ機構により開閉自在とされ、チューブを挟み込める機構を備え、投光手段がアレイ状に配置された複数の投光素子から構成される。投光素子の各々が、ピーク波長が異なる光をチューブ内部に対して照射し、受光手段がチューブ内部を透過したピーク波長が異なる光を受光し、信号処理手段が、受光手段が受光した光の分光分析処理を行い、その変化をとらえて、チューブ内を流動もしくは滞留する流体物の状態を検知し得る構成とされる。 （もっと読む）

【課題】屋外の評価対象物や判定実施物から離れた地点から撮影した画像であって照明条件が一定に保たれていない画像であっても腐食度の判定を精度良く行うことを可能にする。
【解決手段】評価対象物の事例画像データ及び事例画像に対して色温度及び明るさ又はそれらの一方を変化させた加工事例画像データの画像特徴量を抽出すると共に特徴空間上に表現して腐食度の判別面を生成するステップ（Ｓ１）と、判定実施物の判定画像データ及び判定画像に対して色温度及び明るさ又はそれらの一方を変化させた加工判定画像データの画像特徴量を抽出して判別面を用いて判定画像の腐食度を判定するステップ（Ｓ２）とを有するようにした。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサカメラの視野位置と視野全体の分解能を、簡便に調整することのできる較正方法、較正装置及びプログラムを提供する。
【解決手段】下記（ａ）〜（ｃ）の３つの条件を満足するパタンを有する基準板をラインセンサカメラで撮像して1次元画像を得るステップと、（ａ）仮想の基準線と交差する５本以上の直線要素を有する、（ｂ）直線要素が全て平行ということがない、（ｃ）直線要素の延長線が全て一点で交わることがない、撮像して得られた１次元画像において直線要素に対応する画像アドレスを検出するステップと、検出した直線要素に対応する画像アドレスと基準板上での直線要素の位置と向きの情報を用いて、任意の画像アドレスを基準板上の対応する点へ写像する座標変換パラメータを推定するステップと、推定した座標変換パラメータに基づいて基準板上でのラインセンサカメラの視野位置と各画像アドレスでの分解能を算出するステップと、をコンピュータに実行させるためのプログラムである。 （もっと読む）

【課題】迅速かつ容易に検査対象の欠陥検査を行うことができる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供すること。
【解決手段】搬送路において搬送される検査対象の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、前記搬送路の撮像位置における検査対象の有無を検出する検出手段と、前記検出手段が有と判定している間に、前記撮像位置における検査対象を撮像し、画像データを生成する撮像手段と、前記検出手段が有と判定している間に、前記撮像手段によって生成された画像データに基づいて、前記検査対象の全ラインよりも少ないライン単位で欠陥検出処理を順次行う欠陥検出手段とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学画像受光部の受光面上に照射されたパターン像の焦点合わせを容易にすること。
【解決手段】検査対象試料を載置する載置部と、載置部に載置された検査対象試料に照射光を照射する光照射部と、検査対象試料に照射された照射光を受光する光学画像受光部と、検査対象試料のパターン像の焦点を光学画像受光部に合わせる焦点調整装置と、検査対象試料上にスリット像を形成するスリット像形成装置と、検査対象試料上のスリット像を表示する観察用表示装置と、を備え、観察用表示装置で表示される検査対象試料上のスリット像から、光学画像受光部における検査対象試料のパターン像の焦点を調整する、光学画像取得装置。 （もっと読む）

【課題】被検査対象に実際の欠陥検出に近い状態で自己診断を行うことができる自己診断機能を備えた品質検査装置を提供する。
【解決手段】被検査対象Ｓに光を照射する光源１０と、光源１０から被検査対象Ｓに照射した光の反射光又は透過光を受光する撮影手段２０を備えた品質検査装置１であって、光源１０が、複数の発光体１１と、複数の発光体１１の作動を制御する制御手段３０とからなり、制御手段３０は、複数の発光体１１のうち、発光させる発光体１１を選択し、選択された各発光体１１の発光量を決定する機能を有するものである。選択する発光体１１の位置および数と、選択された各発光体１１の発光量を制御すれば、実際に発生する欠陥に類似した擬似欠陥像を被検査対象Ｓに形成することができる。すると、撮影手段２０が正常に撮影を行っているか、又は欠陥の検出が正確に行われているかを的確に判断することができる。 （もっと読む）

【課題】パターンからの回折光による誤検出をなくし、異物を高精度に検査できる異物検査装置を提供する。
【解決手段】 本発明の異物検査装置は、被検物の表面に光を投光する投光器と、投光器によって表面に投光された光の表面における散乱光を受光する受光器と、受光器の出力に基づいて表面における異物の有無と大きさの少なくとも一方を判定する制御器とを備える。投光器は、投光器の光軸が表面に対して傾くように配置され、受光器は、受光器の光軸が投光器の光軸と表面の法線軸とを含む平面に対して第１角度だけ傾くように配置される。投光光の偏光軸が平面に対してなす角度を第２角度とするとき、制御器は、第１角度と第２角度との差が互いに異なる第１状態及び第２状態となるように投光光の偏光軸と受光器の配置の配置の少なくとも一方を制御し、第１状態における受光器の出力と第２状態における受光器の出力とに基づいて異物を判定する。 （もっと読む）

【課題】小さい透明ディスクを備え、電子デバイスの底面を検査する機能を達成すると共に、該ディスクは、高硬度の性質を有し、検査すべき電子デバイスがディスクにぶつかって傷付けてしまうことを避け、画像取得する際の干渉現象を減少し、検査の正確度を向上させる検査システムを提供する。
【解決手段】複数の電子デバイス２００を置くための第１の透明ディスク１０と、第１の透明ディスク１０の下方に設けられ、電子デバイス２００の底面を検査するための第１の画像受取ユニット１１と、第１の透明ディスク１０に隣接する第２のディスク１２と、第１の透明ディスク１０と第２のディスク１２の隣接位置に設けられ、第１の透明ディスク１０上の電子デバイス２００を案内し第２のディスク１２に転送するガイドユニット１３と、第２のディスク１２の上方に設けられ、電子デバイス２００の他の表面を検査するための複数の第２の画像受取ユニット１４とを含む。 （もっと読む）

【課題】透明板の欠陥検出方法および装置において、マスキングフィルムを貼り付けた透明板の欠陥の検出精度を向上することができるようにする。
【解決手段】マスキングフィルム１ｂが表面に貼り付けられた透明板１の欠陥検査方法であって、線状光源４を、透明板１を横切るとともに、検査光の光軸Ｏが透明板１の法線Ｎに対して角度θだけ傾斜し、かつラインＣＣＤカメラ３を、光軸Ｏに沿う方向から光照射領域の長手方句に沿って撮像できるように配置し、透明板１を配置せずに線状光源４の光量分布を測定する初期分布測定工程と、補正係数を算出する補正係数算出工程とを行い、その後、透明板１を移動させつつ、光量分布測定工程と、算出された補正係数を用いた光量補正工程と、補正後の光量分布を二値化処理して、閾値以下の部分を欠陥と判定する欠陥判定工程とを順次繰り返す。 （もっと読む）

【課題】空間的なコヒーレンスに起因するゴースト像の発生を抑える技術を提供する。
【解決手段】インテグレータとして機能するフライアイレンズ１０４の分割数Ｎを、ある閾値より大きくすることで、観察される視野の領域内で発生するゴースト像のコントラストをあるレベルよりも小さくなるようにする。こうすることで、紫外レーザ光を用いたフォトマスクの欠陥の検査におけるゴースト像の影響を排除する。 （もっと読む）

【課題】
反射屈折型対物レンズを用いた垂直落射照明を行う場合、反射屈折型対物レンズ中心を通過する欠陥からの正反射光が結像されないため、検出面ではフレア成分となり低SNになる。
【解決手段】
光源と、前記光源から照射された照明光を反射させるハーフミラーと、前記ハーフミラーにより反射された照明光による試料からの反射光を集光させる反射屈折型対物レンズと、前記反射屈折型対物レンズを透過した前記反射光を結像させる結像レンズと、前記試料からの正反射光が前記結像レンズにより結像する位置に設けられた遮断部材を有するリレーレンズと、前記遮断部材により前記正反射光が遮断された反射光を検出する検出器とにより構成される検査光学系と、前記検出器で検出された信号に基づき前記試料の欠陥を検出する演算処理部とを有する欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】検査対象物が積層構造であり、表面が透過性の有る光沢面であっても、表面の凹凸欠陥を検出することが可能な表面欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】照明部１から明暗が交互に存在する線状の光を検査対象物４に照射しその検査対象物４からの反射光をラインカメラ６により撮影して第１の原画像を得る。画像処理部８は、予め、表面に凹凸欠陥が存在しない基準物に照明部１からの光を照射しその基準物からの反射光を撮影して得た第２の原画像を記憶しており、これらの第１と第２の原画像を基に、検査対象物４の表面に存在する凹凸欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】基板に生じた欠陥や異物などを正確に検出することのできる基板検査方法および基板検査装置を提供する。
【解決手段】マスク１に光源２からの光が照射され、検出器１０、１３で光学画像が得られる。また、マスク１の周辺における屈折率の変化量が検出器２０３で検出され、位置情報部１７において、測長部１６からのデータと、検出器２０３からの屈折率変化に関するデータとから位置補正データが作成される。この位置補正データを基に、比較部１８において、検出器１０、１３からの光学画像と、参照部１９からの参照画像とが比較される。 （もっと読む）

【課題】一時的に発生する測定画像の偽像を排除できるパターン検査を行うこと。
【解決手段】試料のパターンを測定して測定画像を生成する測定画像生成部と、測定画像と基準画像とを比較する比較部と、を備え、測定画像生成部は、２画素以上で構成されるラインセンサを２段以上用いた時間遅延積分センサを２個以上つなげた受光装置を有し、各時間遅延積分センサの画素について、異常な画素値を除いた画素値の平均値を測定画像とする、又は、基準値を超える画素値を異常な画素値として除いた画素値の平均値を測定画像とする、又は、画素値の平均値と所定値の和を基準値とし、基準値を超える画素値を異常な画素値として除いた画素値の平均値を測定画像とする、又は、画素値と、全ての時間遅延積分センサの画素値の平均値との差の絶対値が基準値を超える画素値を異常な画素値として除いた画素値の平均値を測定画像とする、試料検査装置。 （もっと読む）

【課題】最小限の操作で基板検査装置が撮像した最新の画像データを表示させることが可能な基板検査方法および基板検査システムを提供すること。
【解決手段】基板検査装置の撮像した最新の画像データを表示させるための表示指示を入力するだけで、基板検査装置を特定するための基板検査装置識別子がデータベースサーバに送信され、これを受信したデータベースサーバが、基板検査装置識別子に基づいて画像データベースを検索し、現在時刻から見て最新の画像データを基板検査装置に送信する。 （もっと読む）

【課題】撮像条件、照明条件、周期性パターンの設計条件などの影響をできる限り排除した欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】周期性パターンを有する被検査体のスジ状ムラを検出するための欠陥検査方法であって、被検査体に光源からの照射で生じる回折光の強度分布の取得を複数の照明角度で行い、各照明角度における回折光の強度分布を検査画像として取得された被検査体への照明角度が異なる複数枚の検査画像に対し、照明角度の異なる複数の検査画像を比較し、被検査体への照射角度に応じて位置が変化するスジ状ムラと変化しないスジ状ムラとを抽出し、変化するスジ状ムラを検査の際に欠陥としない擬似欠陥とし、変化しないスジ状ムラを検査の際に欠陥として選別されたスジ状ムラに対し、それぞれの最大輝度とパターンピッチ正規化面積に基づいて欠陥規模の評価を行う欠陥検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】基板搬送時に振動が発生しても、基板の検査精度の低下を防止できる基板検査装置を提供する。
【解決手段】被検査基板を一方向に搬送する搬送部、搬送される被検査基板の１次元画像を取得する撮像部、被検査基板を一方向に搬送しながら撮像部により取得された複数の１次元画像を合成して２次元画像を生成する画像生成部と、生成された２次元画像のラインプロファイルから、被検査基板の振動の位相を抽出する位相抽出部と、欠陥のない基準基板を撮影して取得された振動の位相が異なる２次元画像を、振動の位相と関連付けて複数枚記憶する記憶部と、記憶された２次元画像の中から、位相抽出部により抽出された振動の位相に近い位相に関連付けられている画像を基準画像として選択する画像選択部と、画像選択部により選択された基準基板の基準画像と被検査基板の画像とを比較し、被検査基板の表面状態を検査する検査部とを備える基板検査装置を採用する。 （もっと読む）

【課題】非検出対象のノイズを確実に除去し、検出対象の欠陥を安定に検出できる画像検査装置を提供する。
【解決手段】第１閾値設定手段３１が、検出対象画像中の検出すべき最低輝度値を第１閾値として設定し、ラベリング処理手段３２が、撮像手段２が取得した多値画像から、第１閾値より大きい輝度値を有する画素の集合体（ブロブ）を特定する。第２閾値設定手段３３が、第１閾値よりも大きい第２閾値を設定し、削除手段３４が、ラベリング処理手段３２により特定されたすべてのブロブから、第２閾値より小さい輝度値のみからなるブロブを削除し、ノイズ処理画像を出力する。 （もっと読む）