【課題】本発明は、分光反射強度に含まれる迷光成分を低減し、パターンドディスク表面のパターン形状を精度よくまたはパターン欠陥を確実に検出できるハードディスクメディアの検査装置または検査方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、パターンが形成されたハードディスクメディアの表面に複数の波長を含む光を照射し、波長毎に検出される反射光の強度を前記ハードディスクメディアからの反射光を検出する検出器に発生する迷光成分の強度で補正し、前記補正された反射光の強度から分光反射率を算出することを第１の特徴とする。前記補正は、前記ハードディスクメディアからの反射光の強度を前記反射光の短波長領域をカットした状態とカットしない状態で波長毎に検出し、両者の前記反射光の強度との差に基づいて行なうことを第２の特徴とする （もっと読む）

【課題】特定の要因で発生するパーティクルの数を正確に計測することができるパーティクル数計測方法を提供する。
【解決手段】ガラス窓２４を介して本排気ライン１６内にレーザ光２５を入射し、該レーザ光２５と交差したパーティクルＰ１，Ｐ２から発生する散乱光Ｌ１，Ｌ２を光検出器２１によって受光し、該受光された散乱光に基づいてパーティクルの数を計測する際に、移動しないパーティクルＰ２がガラス窓２４に付着した汚れと見なされ、移動しないパーティクルＰ２の数が本排気ライン１６内において計測されたパーティクルの数から除外される。 （もっと読む）

【課題】従来方法では検出できない偏光板を貼合した液晶パネルの欠陥を、液晶パネルを駆動させない状態で、検出できる方法を提供する。
【解決手段】偏光板を貼合した液晶パネルに、液晶パネルを駆動させない状態で、一方の面から光を照射し、他方の面からの透過光を検出し、信号処理して偏光板を貼合した液晶パネルの欠陥を検査する方法において、近赤外線を照射して検査することを特徴とし、従来の可視光を照射して検査する方法では検出できない欠陥を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】連続的に移動する検査対象を静止させることなく、光沢を除去して、より精度の高い画像処理を行うことのできる画像処理方法および画像処理システムを提供する。
【解決手段】画像処理装置は、所定位置に配置された撮像部を用いて、当該撮像部に対して一定の相対位置に配置された照明光源で当該撮像部の視野を照明した状態で、予め定められた方向に移動する検査対象を複数回撮像し、撮像部による一連の撮像により取得される複数の画像のうち２つの画像間で検査対象の少なくとも一部を示す領域を順次探索することで、検査対象を基準として、複数の画像を位置合わせし、当該位置合わせされた複数の画像から合成画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】背景や障害物を含むコンクリート構造物の画像から、誤差となるコンクリート面以外の背景や障害物を除去すること。
【解決手段】コンクリート構造物の色と同じ色であって、コンクリート構造物のテクスチャと同じテクスチャの画素をコンクリート候補領域として構造物抽出部１３１で抽出し、Ｃａｎｎｙエッジ抽出法を用いてコンクリート候補領域から当該コンクリート候補領域内に前景として存在する障害物のエッジを抽出し、コンクリート候補領域内の各画素の輝度値を用いて中央画素に対する１６個の近傍画素のテクスチャ量Ｓ_ｋをそれぞれ計算し、最大のテクスチャ量を有する近傍画素が位置ｋ＝９にあって、１６個のテクスチャ量の分散値が０．０００１以上である場合に、当該中央画素をコンクリート領域として抽出し、モルフォロジーのＤｉｌａｔｉｏｎ領域拡大法を用いてコンクリート領域を障害物のエッジに到達するまで拡大する。 （もっと読む）

【課題】レーザー散乱法を利用した表面検査装置でウェーハを円周方向に測定し、Ｈａｚｅ Ｍａｐを作成する際に、装置の検出感度の変動に起因するノイズの発生を低減または除去することが可能な画像データ処理方法を提供する。また、該画像データの処理方法を用いて画像を作成する方法を提供する。
【解決手段】ウェーハ表面検査装置を用いて、ウェーハ表面の各位置に対応したヘイズ値を測定するヘイズ値測定工程と、ウェーハ表面の各位置に対応したヘイズ値からなる画像データに対し、ヘイズ値の測定方向に沿って画像データ処理を行ってノイズ成分を除去するノイズ除去工程とを含む画像データの処理方法である。また、該画像データ処理方法で処理した画像データを用いて、画像データ処理後のＨａｚｅ Ｍａｐを作成することを特徴とする画像作成方法である。 （もっと読む）

【課題】検査対象に異物がある場合でも光源装置の光源設定値を適切に調整可能な光源設定値調整方法、検査方法および検査装置を提供すること。
【解決手段】検査対象は複数の検査領域を有し、各検査領域は複数の輝度検出領域を有する。検査領域に対して光源設定値の異なる複数の光を順次照射する光照射工程と、当該検査領域の１つの輝度検出領域を撮像する撮像工程と、撮像された画像データに基づいて異物の有無を判定する異物判定工程と、異物がないと判定された場合は当該輝度検出領域の輝度を測定し、異物があると判定された場合は他の輝度検出領域に対して光照射工程、撮像工程、および異物判定工程を、異物がないと判定されるまで繰り返し実施する輝度測定工程と、各光源設定値と各光源設定値における輝度との関係式を演算する関係式演算工程と、関係式に基づいて光源設定値を設定する光源設定値設定工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】照明条件、もしくは検出条件の異なる検査結果を統合することで、ノイズやNuisance欠陥と真の欠陥を高精度に判別することができる欠陥検査装置及びその方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、被検査対象物を所定の光学条件で照射する照明光学系と、被検査対象物からの散乱光を所定の検出条件で検出して画像データを取得する検出光学系とを備えた欠陥検査装置であって、前記検出光学系で取得される光学条件若しくは画像データ取得条件が異なる複数の画像データから欠陥候補を検出する欠陥候補検出部と、該複数の画像データから検出された欠陥候補の情報を統合して、欠陥とノイズを判別する検査後処理部とを有する画像処理部を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板上に立設されたピン側面における半田はい上がり高さを直接的に計測して、欠陥を精密に検出評価できるＰＧＡ実装基板の半田付け検査装置を提供する。
【解決手段】PGA実装基板に配置されたピンの半田付け画像を撮像して、取得された画像データをもとにピンの接合状態を評価するPGA実装基板の半田付け検査装置であって、PGA実装基板Ｋが載置される基板載置台11と、基板載置台の長手方向Ａに対して斜め方向に延伸して設けられたカメラ移動台12と、カメラ移動台上に設置しPGA実装基板を斜め上方向から撮像するカメラ撮像部13と、カメラ撮像部をカメラ移動台上でその長手方向に移動させるカメラ撮像部移動手段14と、を備え、PGA実装基板のピンの格子状配列に対し、投影線Ｘにおいて交差するようにカメラ撮像部内に設けたリニアイメージセンサ13aのセンサ列を、カメラ撮像部移動手段によって移動させ、PGA実装基板を斜め上方から撮像するようにした。 （もっと読む）

【課題】１つ以上の空間光変調器（ＳＬＭ）を用いて検査システム内の光学ビームの位相および／または振幅を変える方法を提供する。
【解決手段】試料を光学的に検査する装置１００は、入射光ビーム１１５を試料１１６上に導くビーム発生器１０２を含む。試料からの出力ビーム１２５は、結像光学系１２０、１２４を通して検出器１２６に向けて導かれる。この装置はさらに出力ビームまたは入射ビームのいずれかの光路内に配置されるプログラム可能な空間光変調器（ＳＬＭ）を含む。空間光変調器は、照射開口１０８と共に第１ＳＬＭを、視野開口（field aperture）１１２と共に第２ＳＬＭを含み、入射ビームまたは出力ビームの位相または振幅プロファイルを調節するよう構成される。空間光変調器は、異なる検査モードを達成するために入射ビームの照射プロファイルを変えるよう構成されえる。 （もっと読む）

【課題】空間フィルタ設定の効率を向上可能であり、かつ空間フィルタ設定の自動化が可能な欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】可変視野絞り８１を絞り、観察カメラ８８を用いて空間フィルタ面の画像を取得し、回折光の輝点の輝度レベルによって複数のグループに分類する。輝度レベルの最も高いグループを遮光するように空間フィルタを設定し、観察画像を取得する。取得した画像に繰り返しパターンが残っているかを判定し、残っていると判定した場合には、空間フィルタ４５の設定を変更する。先に遮光したグループに加え、次に輝度レベルの高いグループも遮光できるように空間フィルタを設定し、繰り返しパターンが残っていないと判断されるまで同じ手順を繰り返し、空間フィルタ４５の設定を終了する。 （もっと読む）

【課題】微小な欠陥を検出するために、照明光量を大きくすると、ウェハにダメージを負わせ、感度向上を妨げている。一方、検出範囲を空間的に小さくすると、欠陥以外による散乱光を排除する事ができ、高感度に検出する事ができ、さらに、検出範囲を小さくすることによる検査時間の増大するという課題がある。
【解決手段】本発明の特徴は、試料を移動する搬送系と、試料へ線状照明光を照射する照射光学系と、前記試料の高さを測定する高さ検出系と、複数の画素を有する検出器を備える検出光学系と、前記検出光学系の検出結果を用いて前記試料の異物又は欠陥を検査する処理部と、前記試料の高さを制御する制御部と、を有し前記制御部は、前記高さ検出系の測定結果を用いて、前記線状照明光の変動量が前記画素の大きさよりも小さくなるように、前記試料の高さを制御することにある。 （もっと読む）

【課題】 タイヤの種類、タイヤ表面の状態および照明の位置関係に依存することなく、検査の安定化を図ることができる画像処理方法、画像処理装置、プログラムおよび記録媒体を提供する。
【解決手段】 制御部１２は、タイヤ回転方向に直交する方向のラインごとに、取込画像の各画素の濃度を、各画素が含まれるライン上の平均濃度に変換して、濃度射影変換する。次に、濃度射影変換が行われた画像に対して、タイヤの回転方向のラインのうちの１つのライン上の画素について、フーリエ展開する。また、濃度射影変換を行う前の取込画像から自己相関値を算出し、算出した自己相関値に基づいてブラダーグルーブの本数を算出する。フーリエ展開された周波数成分から、算出されたブラダーグルーブの本数で決まる周波数成分を除去し、残余の周波数成分を逆フーリエ展開し、逆フーリエ展開された画像に基づいて欠陥検出処理を行う。 （もっと読む）

【課題】錠剤の欠錠と異種錠剤の混入とで、作業者が異なる対応を実施することができる錠剤包装検査装置を提供する。
【解決手段】錠剤をポケットに供給する処理が行われた後のシートを検査する錠剤包装検査装置であって、シートを撮像するＣＣＤカメラ８０と、撮像された画像上で、ポケットの一部の領域である第１領域と、撮像されたシート内であってポケット以外の一部の領域である第２領域とをそれぞれ切り出す検定領域取得部２と、第１領域、第２領域それぞれの各画素の濃度値に基づき、ポケットが、錠剤が供給されていないポケットであるか異種の錠剤が混入されたポケットであるかを判定する濃度ヒストグラム算出部３、平均値算出部４、ポケット判定部５とを有する錠剤包装検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、シートの流れ方向に生じる透過光や正反射光の変化に対応したシート検査システムおよび方法を提供することにある。
【解決手段】シート検査システム１０は、シート１２に対して光Ｌを発する光源１４、光源１４に電力を供給する電源部１６、光を受光する第１のセンサ１８と第２のセンサ２０、電源部１６が出力する電力を求める制御部２２、シート１２の欠陥を検出する検査部２４を備える。光源１４の出力を調節できるため、検査時には一定の透過光または反射光となる。 （もっと読む）

【課題】画像検査装置において、被検体からの光を複数の波長帯域に分けて画像を取得して画像検査を行う場合に、簡素な構成により高精度な検査を行うことができるようにする。
【解決手段】画像検査装置５０は、可視光Ｌ_１と、赤外光Ｌ_２とを、導体パターン２に照射する照明部４と、導体パターン２で反射された可視光Ｌ_１および赤外光Ｌ_２を結像する撮像光学系６と、撮像光学系６によって結像された像を撮像する撮像素子８と、導体パターン２と撮像素子８との間の光路上で進退可能に設けられ、可視光Ｌ_１の透過を阻止するとともに赤外光Ｌ_２を透過させる可視光カットフィルタ７ｂと、導体パターン２と撮像光学系６との間の光路上で進退可能に設けられ、赤外光Ｌ_２の透過を阻止するとともに可視光Ｌ_１を透過させる赤外光カットフィルタ７ａと、を備える。 （もっと読む）

【課題】印刷物を高精度に検査することが可能な印刷物検査方法および検査装置を提供すること。
【解決手段】印刷物の検査方法であって、印刷物表面または／および印刷物裏面に、照明を照射する照明段階と、印刷物の搬送と同期を取るかまたは所定時間間隔で、印刷物表面を撮像する撮像段階と、撮像段階にて得られた印刷物の表面の画像データを用いて、印刷物に存在する欠陥を判定する画像処理・欠陥判定段階と、を有し、画像処理・欠陥判定段階は、画像データ全体を細分化し、細分化した画像（セルと呼ぶ）ごとに独立して位置補正処理をする細分化位置補正段階と、細分化位置補正段階で位置補正処理された各セルの情報をもとに、基準画像と検査画像の位置ずれを補正する位置補正段階と、を有することを特徴とする印刷物の検査方法。 （もっと読む）

【課題】電子写真装置用のブレードの表面における、緩やかな凹凸や、極微小なキズ及びムラ、微妙なコントラストを効率的に検出する。
【解決手段】電子写真装置用のブレード１の表面を照明し、ブレード１を照明に直交する方向に搬送しつつ、複数の画素が配列されたラインセンサー１１によって前記表面を撮像する第１ステップと、ラインセンサー１１の１つの画素４が出力する像情報信号に、この１つの画素４と連続する複数の画素４からなる所定領域における各画素がそれぞれ出力する各像情報信号を加算して１つの画素４における加算像情報信号とする加算処理を画素毎に行うことで画像処理する第２ステップと、画像処理された結果に基づいてブレード１の表面状態を判定する第３ステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物を透過した光を受光して欠陥部分を判定する場合に、エッジ部分を誤って欠陥部分として判定してしまうことを抑止すること。
【解決手段】欠陥部分を判定するために設定された第一閾値と、検査対象物がない部分を判定するために設定された第二閾値とを予め記憶し、検査対象物を撮像して得られる輝度情報から、第一閾値に基づいて検査対象物の欠陥部分又はエッジ部分の候補となる第一閾値部分を判定し、第二閾値に基づいて検査対象物が存在しない第二閾値部分を判定し、第一閾値部分のうち、第二閾値部分との距離が所定の閾値よりも短いものをエッジ部分と判定し、第二閾値部分との距離が所定の閾値よりも長いものを欠陥部分と判定する。 （もっと読む）

【課題】光沢のあり照明光を正反射する被撮像面の正常状態維持領域と加工又は劣化等により非正常状態になった領域を区別することを、手間をかけないで安定的に、所定の精度で、短時間に、低いコストで、且つ自動的に得る方法を提供する。
【解決手段】
カメラの光軸が被撮像面に垂直な方向に対して所定の角度の傾斜を持つようにカメラを配置し、且つカメラの所定の画素範囲に対応する被撮像面上の範囲（撮像範囲）からカメラのレンズの有効径内に入る反射光の内、撮像範囲で正反射された照明光が正反射前に通過するべきトンネル空間（入射光トンネル空間）が照明装置の発光面を貫通するように照明装置を配置し、光沢があり照明光を正反射する被撮像面を撮像する。 （もっと読む）