【課題】砥粒の状態を新たな解析パラメータを用いてより詳しく解析し、これにより砥面の状態をさらに正確に検査できるようにする。
【解決手段】カメラ６により砥石３の砥面を撮像してそのライン画像データを取り込み、各ライン画像データに対し砥粒抽出処理部１２３により複数種のフィルタリング処理を行うことで上記ライン画像データから砥粒切れ刃候補の画像を抽出する。そして、砥粒解析処理部１２４の制御の下で、上記抽出された各砥粒切れ刃候補の画像から、砥面全域における各砥粒切れ刃候補の重心の座標と、凸多角形近似データ及び円形度と、内部欠損及び外部欠損と、面積及び欠損度と、すくい角側の稜線形状をそれぞれ算出または検出する。そして、この得られた解析パラメータをもとに、砥石３の幅方向における砥粒分布ヒストグラムと、砥石３の砥面全域における砥粒の分布状態を表す三次元マップを生成する。 （もっと読む）

【課題】ホワイトスポットを除去して検査精度を向上させることのできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】複数の撮像素子が直線状に配列されたラインセンサによって取得された３ライン分の画像データを蓄積し（Ｓ２_１）、この内の中央ラインの各画素について、対象となる画素と、この周囲に隣接する８つの画素との階調値の差を求め、得られた８つの差の全てが第１の閾値を超える場合に対象となる画素を疑似欠陥と判定する（Ｓ２_２）。８つの画素について階調値の平均を算出し、得られた値を対象となる画素の階調値と置き換える（Ｓ２_３）。また、疑似欠陥の判定が行われたストライプと同じストライプについてラインセンサで光学画像を再度取得し、得られた画像データを前回得られた画像データと置き換えることもできる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、金属帯上の有害疵と、過検出とを弁別して検出することができる表面欠陥検出方法、および、該方法に使用される表面欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】走行する金属帯の表面欠陥を検出する表面欠陥検出方法において、疵候補領域の検出積算値、検出長さ、および検出幅を算出し、検出幅と検出積算値を検出長さで除して得られる密度幅（検出積算値／検出長さ）との比（検出幅／密度幅）を比較することにより、過検出と欠陥とを判定する。 （もっと読む）

【目的】光量センサ出力と画像取得用のセンサ出力の応答速度のずれによる補正誤差を低減する。
【構成】パターン検査装置１００は、光源１０３と、被検査試料にレーザ光を照明する照明光学系１７０と、レーザ光の光量を測定する光量センサ１４４と、パターンの光学画像を撮像するＴＤＩセンサ１０５と、ＴＤＩセンサ１０５の出力タイミングが早い場合に、出力タイミングとの時間差分の期間、ＴＤＩセンサ１０５の出力データを一時的に記憶する記憶装置１４０と、光量センサ１４４の出力タイミングが早い場合に、出力タイミングとの時間差分の期間、光量センサ１４４の出力データを一時的に記憶する記憶装置１４２と、光学画像の階調値を時間差分ずらした時刻に出力された光量値を用いて補正する補正回路１４８と、比較対照となる参照画像を入力し、階調値が補正された光学画像と参照画像とを画素単位で比較する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】コンクリート表面を撮像した元画像データを画像処理し、当該コンクリート表面に発生したひび割れなどからの漏水を所定の形状と大きさの漏水領域として表示する。
【解決手段】不要物を取り除いたコンクリート表面画像に対して横方向に強い平滑化をかける工程、動的しきい値処理を施して背景に比べてより黒い領域を漏水候補領域として抽出する工程、微小領域を除去し穴埋めする工程、前記漏水候補領域の輝度値、面積、幅、高さを特定する工程、指定した条件の範囲内にある領域を漏水領域として抽出し、領域の穴埋め、周囲領域の閉合処理を行う工程、及び漏水領域を囲む座標軸と平行な最小矩形を画像上に描き、この最小矩形を最終的に表示する漏水領域として表示する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】容器詰め液製品の検査において、未検査品の再検査や被検体の複数回検査を、人手を介することなくスムーズに行えるようにする。
【解決手段】被検体画像検査装置２０は、検査ロータ１０の外周部近傍に設けられ、検査ロータ１０の保持部に保持されて移動する被検体の外観画像を取得して、その外観画像に基づきその被検体における不良の有無を検査する。検査制御装置３０は、被検体画像検査装置２０の検査結果の基づき、その被検体が良品、不良品および未検査品のいずれであるかを判定し、未検査品と判定した被検体については、被検体分別用スターホイル６０を制御して、その被検体を被検体回帰用スターホイル７０へ受け渡させ、その被検体が検査ロータ１０に戻るように制御する。また、そのときには、検査制御装置３０は、投入被検体搬送装置４０に設けられた搬送抑制ゲート制御して、被検体の被検体供給用スターホイル５０への搬送を停止させる。 （もっと読む）

【課題】欠陥箇所に直接マーキングすることなく、検査官が長尺シート材における欠陥箇所をすみやかに特定することのできる欠陥位置情報生成装置等を提供する。
【解決手段】原点Ｍと、当該原点を識別するための記号との組合せが、長手方向に複数印字された長尺シート材Ｓを撮影した撮影画像において、原点Ｍ及び欠陥Ｄの位置を特定し、特定した原点Ｍのうち欠陥Ｄに１番目又は２番目に近い原点Ｍを基準として当該欠陥Ｄの位置を示す欠陥座標を算出する。基準となった原点Ｍと組合せをなす記号を示す記号情報と、算出した欠陥座標を示す欠陥座標情報とを含む欠陥位置情報を生成する。 （もっと読む）

【課題】照射部の発光ムラがムラ検査用画像に与える影響を抑制する。
【解決手段】ムラ検査用画像取得装置１１は、基板９が載置されるステージ２、基板９の検査表面９１に向けて照明光を照射する照射部３、検査表面９１にて反射した照明光を受光する撮像部４１を備える。撮像部４１は、ラインセンサ４１１および撮像光学系４１２を備える。ラインセンサ４１１の各受光素子には、ムラ検査に必要な強度の光が入射する。撮像光学系４１２は、物体側において非テレセントリックであり、ラインセンサ４１１の位置と光学的に共役な合焦位置は、検査表面９１から撮像部４１側にずれて位置する。ムラ検査用画像取得装置１１では、照射部３と検査表面９１との間の光軸Ｊ１に沿う方向における距離が１００ｍｍ以上である。これにより、照射部３の発光ムラがムラ検査用画像に与える影響を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】ノズル穴に生じる欠陥の種類を特定可能なノズル外観検査装置、およびノズル外観検査方法を提供すること。
【解決手段】ノズル外観検査装置１００は、ノズル穴の開口部の画像を取得する画像入力手段６０と、画像の二値化画像を生成する二値化手段６１と、二値化画像からノズル穴の内輪郭および外輪郭を検出する輪郭検出手段６２と、内輪郭の近似円である内輪郭近似円および外輪郭の近似円である外輪郭近似円を算出する近似円算出手段６３と、内輪郭および外輪郭と内輪郭近似円および前記外輪郭近似円とを比較して、内輪郭および外輪郭の形状の特徴を示す特徴フラグを内輪郭および外輪郭上の各点に対して設定するフラグ設定手段６４と、特徴フラグに基づいて欠陥の種類を示す欠陥フラグを設定し、欠陥の種類とその位置を検出する欠陥検出手段６５と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物中に混在する毛髪の検出精度が高められた毛髪検出装置を提供する。
【解決手段】検査対象物に対して１９４０ｎｍ〜２４００ｎｍの波長範囲から選ばれる複数波長の光を照射することで得られる反射スペクトルを用いて毛髪を検出する。毛髪の反射スペクトルは、波長２０００ｎｍ、２１２０ｎｍ、２２４０ｎｍにおいて反射強度が大きくなり、波長２０６０ｎｍ、２１８０ｎｍにおいて低くなるため、反射スペクトルが上記のような特徴を有しているか否かを判定することによって毛髪を検出する方法が、毛髪の検出感度の向上に効果的である。 （もっと読む）

【課題】検査に適切な明るさやコントラストの画像を取得し、膜厚むら検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された基板を一方向に移動させながら、基板に形成された皮膜の膜厚むらを検査する装置及び方法であって、皮膜の厚みを検出する膜厚検出部を備え、光源部は、撮像部側に配置された反射照明部３ａと、基板を挟んで撮像部に対向する位置に配置された透過照明部３ｂを備え、撮像部４は基板との相対角度を調節する撮像部角度調整手段を備え、反射照明部は反射照明部と基板との相対角度を調節する反射照明角度調整手段を備え、透過照明部は透過照明部と基板との相対角度を調節する透過照明角度調整手段を備え、膜厚検出部からの膜厚情報に基づき、反射照明角度調節手段及び透過照明角度調整手段を制御し、反射照明の光量及び透過照明の光量を調節する制御部を備えたことを特徴とする膜厚むら検査装置及び方法。 （もっと読む）

【課題】被検査対象物であるワークに対して加工したり、他の部位を装着したりすることなく、ワーク全周の疵を安定して検出することが可能な検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】ワークＷの円筒面である外径面の疵を疵検出手段１００を用いて検出するための検査装置及び検査方法である。回転軸心が相互に平行に配設されている一対の回転軸１，２にてワークＷを支持させた状態で、回転体１，２をワークＷに接触させ、一対の回転軸１，２を回転駆動させる。これによって、回転体１，２をワークＷとともに回転させる。回転軸１，２とワークＷとの間に滑りが生じることなくワークＷがその軸心廻りに１回転する基準時間での回転体の回転状態を検出する。回転状態に基づいてワークＷと回転軸１，２との間に滑りがあるか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】検査費用のコストダウンを可能とする自走コンベア搬送方式の搬送装置を用いた自動欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】カラーフィルタ基板やタッチパネル基板の欠陥を検査する自動欠陥検査装置であって、基板を搬送する自走コンベアと、搬送された基板表面を照明する照明手段と、照明された基板表面を撮像する撮像手段と、基板上に設けられた特徴点を撮像する特徴点撮像手段と、基板上に設けられた特徴点の設計上の座標値と、特徴点撮像手段によって撮像された特徴点の座標値を比較して、特徴点撮像手段によって得られた座標値を補正する座標補正手段と、撮像手段によって撮像された検査画像を座標補正手段によって得られた座標補正に基づいて画像処理して検査する画像処理手段と、を備えたことを特徴とする自動欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】積層体の切断端面に沿って上向きおよび下向きのバリなどの欠陥部位を精度よく求める。
【解決手段】積層体の端面を撮影し、取得した画像データから積層体の領域を求め、積層体の領域の画像データを利用して当該領域に近似する矩形を求め、積層体の領域から矩形の領域の差分をとり、余った領域を予め決めた基準値との比較から塗布物質の欠陥部位を求め、取得した画像データから積層体の総厚みよりも薄い芯材の領域を算出し、求めた芯材の領域から予め決めた芯材の厚み分をノイズとみなして除去し、芯材の欠陥部位を求める。 （もっと読む）

【課題】透明樹脂フィルムのキズ、あるいはその上に透明樹脂層が積層された透明樹脂フィルムの微細な表面欠陥を、片側表面のみ効率よく検出する。
【解決手段】波長３５０〜３８０ｎｍの紫外線の照射装置１と、当該波長に検出能力を有する検出装置５からなる反射光学系を用い、可視光において透明な樹脂フィルム２であって当該波長において不透明な樹脂フィルムの紫外線照射側表面にある欠点を検出する透明樹脂フィルムの表面欠陥の検査方法。 （もっと読む）

【課題】検査データと組み合わせて設計データを使用するためのさまざまな方法及びシステムが実現される。
【解決手段】設計データ空間における検査データの位置を決定するための一コンピュータ実施方法は、ウェハ上のアライメント部位に対する検査システムにより取り込まれたデータを所定のアライメント部位に対するデータにアラインさせることを含む。この方法は、さらに、設計データ空間における所定のアライメント部位の位置に基づいて設計データ空間におけるウェハ上のアライメント部位の位置を決定することを含む。それに加えて、この方法は、設計データ空間におけるウェハ上のアライメント部位の位置に基づいて設計データ空間における検査システムによりそのウェハについて取り込まれた検査データの位置を決定することを含む。一実施形態では、検査データの位置は、サブピクセル精度で決定される。 （もっと読む）

【課題】大型ガラス基板に各種画面サイズのカラーフィルタが面付けされ、面付け余白が生じて基板端から表示領域を画定する額縁部近傍までの幅においてフォトレジストが塗布されていない基板に対しても、外観上の広域欠陥の検査を正常に行える機構を有した塗布膜の検査装置を提供する。
【解決手段】被検査体の基板を披検査体テーブルの支持ピン上に保持した状態で、基板流動方向に走査可能に移動する検査位置に対して真下の位置に配置された透過光源部から検査光を当て、被検査体を透過した透過光を、透過光源部と同じ方向に一体的に移動する検査位置に対して真上の位置に配置された撮像カメラで受光してその輝度変化を検出する塗布膜の検査装置において、前記被検査体テーブルの基板流動方向の両端部に外乱光遮断用のシャッターが設けられ、該シャッターが両端部から前記被検査体の基板の内側にむけてその遮光領域を可変に制御する機構を具備している。 （もっと読む）

【課題】多面取り基板のパネル内の欠陥検査において、精度よくパネル領域を検出し、パネル内に発生する欠陥のみと検出する検査方法を提供する。
【解決手段】撮像手段で検査対象画像を取得するステップ１と、該検査対象画像の各画素の離散値をＸ，Ｙ方向に加算し、Ｘ方向離散値加算データと、Ｙ方向離散値加算データとを得るステップ２と、前記Ｘ方向離散値加算データから各パネルのＹ方向の区切り位置を特定し、かつ前記Ｙ方向離散値加算データから前記各パネルのＸ方向の区切り位置を特定するステップ３と、前記区切り位置を特定された各パネル内の欠陥を検査するステップ４と、をこの順に行う。 （もっと読む）

【課題】試料を検査するために使用される検査システムの欠陥検出を強化する。
【解決手段】光電子増倍管（ＰＭＴ）検出器の測定検出範囲の制限要因として陽極飽和に対処することによって欠陥検出を強化するための検査システム、回路、方法が提供される。検査システムの測定検出範囲の制限要因として増幅器及びアナログ・デジタル回路の飽和レベルに対処することによって欠陥検出を強化するための検査システム、回路及び方法も提供される。加えて、表面検査の走査の間に試料に供給される入射レーザ・ビームパワー・レベルを動的に変更することによって大きな粒子に対する熱破損を削減することにより欠陥検出を強化するための検査システムや回路、方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の外観検査に際し、検査精度や検査効率の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】外観検査装置は、包装用フィルムにカバーフィルムが取着された後のＰＴＰフィルム６において錠剤５の正面及び側面の外観異常を検査する。外観検査装置は、ＰＴＰフィルム６のポケット部２をポケット受け孔部５７に嵌め込みつつ当該ＰＴＰフィルム６の搬送に伴い回転する回転ローラ２０と、回転ローラ２０の内部に配置され、ポケット部２に収容された錠剤５に対し光を照射する照明手段２１と、回転ローラ２０の内部にてポケット受け孔部５７に向けて配置されたＣＣＤカメラ２２と、ポケット受け孔部５７の周囲に取付けられ、錠剤５側面からの光をＣＣＤカメラ２２に向け反射する円錐ミラー６０と、ＣＣＤカメラ２２から出力される画像信号を処理する画像処理装置とを備えている。 （もっと読む）