【課題】水に濡れた被検査体に含まれる異物を判別する精度を向上させること。
【解決手段】特定の単一波長且つ直線偏光のレーザー光を被検査体（Ｓ）に照射する照射光源系（７）と、前記被検査体（Ｓ）自身による前記レーザー光の偏光方向とは異なる方向成分を含む反射・散乱光と、前記被検査体（Ｓ）表面の水による前記レーザー光と同じ偏光方向の反射光と、を含む反射・散乱光の中で、少なくとも前記レーザー光の偏光方向とは異なる方向の偏光成分を含む反射・散乱光を受光する受光素子（ＰＤ１〜ＰＤｎ）を有する受光光学系（８）と、受光した反射・散乱光の前記レーザー光の偏光方向とは異なる方向の偏光成分に基づいて、前記被検査体（Ｓ）が異物であるか否かを判別する異物混入判別手段（１１Ａ）と、を備えた異物混入判別装置（６）。 （もっと読む）

【課題】基板のパターン形成面の下地層の影響を低減した回路パターン形状の良否を判別することができる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】繰り返しパターンが形成された基板１０の欠陥を検査する欠陥検査装置２０は、対物レンズ９を含み、対物レンズ９を介して基板１０に形成された繰り返しパターンに光源１からの光を照射する照明光学系２１と、繰り返しパターンに起因して生じた複数次数の回折光による、対物レンズ９の瞳面の像を検出する検出光学系２２と、得られた瞳像から基板１０の繰り返しパターンの欠陥を検出する検出部２３と、を有し、検出部２３は、第１の波長の光による瞳像を第１の波長とは異なる第２の波長の光による瞳像の輝度値を用いて補正し、補正された輝度値から基板１０の繰り返しパターンの欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】より短時間で欠陥を撮像できる欠陥観察装置および欠陥観察方法を得ること。
【解決手段】この欠陥観察方法は、観察対象物の欠陥および基準マークの位置座標を取得するステップと、欠陥を検出して、この検出された欠陥位置に応じて位置座標を補正する第１の方法で欠陥を撮像するのに必要な第１の時間を算出するステップと、基準マークを検出して、この検出された基準マーク位置に応じて位置座標を補正する第２の方法で欠陥を撮像するのに必要な第２の時間を算出するステップと、第１、第２の時間を比較するステップと、比較結果に応じて、第１または第２の方法で位置座標を補正して欠陥を撮像するステップとを具備する。 （もっと読む）

【目的】光学系の位置ずれによる画像の歪みを補正する検査装置を提供することを目的とする。
【構成】パターン検査装置１００は、光源１０３と、フォトマスク１０１を配置するＸＹθテーブル１０２と、レーザを用いてＸＹθテーブル１０２の位置を測定するレーザ測長システム１２２と、フォトマスク１０１のパターン像を撮像するラインセンサ１０５と、ラインセンサ１０５にパターン像を結像させる拡大光学系１０４と、レーザを用いて拡大光学系１０４の位置を測定するレーザ測長システム１２４と、ＸＹθテーブル１０２の位置と拡大光学系１０４の位置との差分を用いて、撮像されたパターン像を補正する補正回路１４０と、補正後のパターン像を用いて、パターンの欠陥の有無を検査する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。本発明によれば、光学系の位置ずれによる画像の歪みを補正することができる。 （もっと読む）

【課題】判別対象パターンが比較対象パターンに類似しているか否かを判別する濃淡パターン判別方法であって、明るさ変化に対してロバストであるとともに、パターン内の濃淡差が大きても小さくても、またパターン内に未知の濃淡異常や不良が含まれていても、類否を精度良く判別できるものを提供すること。
【解決手段】判別対象パターン、比較対象パターンの濃淡値に正規化処理を施して第１、第２の正規化濃淡値を生成する。第１、第２の正規化濃淡値を変数とし、かつ互いに直交する２つの座標軸とする２次元空間を設定する。その２次元空間に、判別対象パターンと比較対象パターン上の互いに対応する位置における第１、第２の正規化濃淡値が表す点を累積して、２次元ヒストグラムを作成する。２次元ヒストグラムをなす点の集合を少なくとも１つのクラスタに分類し、クラスタに関する形状、位置若しくは頻度に関する特徴に基づいて、判別対象パターンが比較対象パターンに対して類似しているか否かを判別する。 （もっと読む）

【目的】パルス光を用いた場合のＴＤＩセンサの出力変動を補正可能な検査装置を提供することを目的とする。
【構成】パターン検査装置１００は、パルス光源１０３と、フォトマスク１０１を載置するＸＹθテーブル１０２と、パルス光がフォトマスク１０１に照射されて得られるフォトマスク１０１の光学画像を撮像するＴＤＩセンサ１０５と、照射された後のパルス光の光量を検知する光量センサ１７２と、検知された光量を入力し、パルス光の周期に同期させて、パルス毎の光量を測定する光量モニタ回路１４２と、パルス毎の光量とＴＤＩセンサ１０５から出力された積分された画素値を入力し、光学画像の画素毎に、該当するパルス毎の光量の総光量を用いてＴＤＩセンサ１０５から出力された積分された画素値を補正するセンサ回路１０６と、補正後の積分された画素値を用いて、パターンの欠陥の有無を検査する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】透過検査装置及び透過検査方法において、散乱光、反射光等の外来光による影響や、シート材のバタツキによる影響を抑制し、透過検査の精度を向上させる。
【解決手段】シート材の搬送経路でシート材の光の透過状態を検査する透過検査装置であって、シート材が外周面部に当接するように前記搬送経路に配置され、外周面部に設けられる発光部からシート材に光を照射する回転体と、回転体におけるシート材当接領域の対向位置に配置され、シート材の透過光を受光する受光体と、を備える構成としてある。 （もっと読む）

【課題】高い照度から低い照度まで連続的に広い範囲で照度を設定でき、かつ高精度で照度をＦＢ制御できる照明用の光源装置を提供すること。
【解決手段】ランプ１からの光は集光鏡２で集光され、開口の大きさを変化させて通過光量を変化させる調光フィルタ３に入射する。調光フィルタ３を通過した光の一部は石英板５により分岐され照度計の受光器６に入射する。石英板５の光出射側には光の透過率が一定の減光フィルタ７が挿入／退避可能に設けられる。制御部２０のＦＢ制御部２１は、受光器６からの信号に基づき調光フィルタ３を回転させて、被照射物１０表面での照度が設定された値になるように制御する。減光フィルタ制御部２２は、低い照度領域で照度を制御する場合、減光フィルタ７を光路に挿入する。これにより低い照度領域で照度を制御する際にも、Ｓ／Ｎ比を低下させることなく、高精度に照度の制御をすることができる。 （もっと読む）

【課題】撮像時に表面の形状が不規則に変化した場合であっても、欠陥部分以外を欠陥として誤認識することがない技術を提供する。
【解決手段】（Ａ）：可撓性のあるシート状物品等を搬送しながら撮像すると、搬送時の変形によって画像に濃度むらが生じていることがある。そこで画像全体を２つの検査領域Ａ１，Ａ２に分け、検査領域Ａ１内で濃度の最頻値（１５０）を求め、この最頻値より低い濃度の画素を抽出して隣接する画素を結合する。結合画素を処理エリアＡＤとし、その中で濃度の最大値（１００）を求める。（Ｂ）：そして、最頻値と最大値との比（１５０／１００）で処理エリアＡＤ内の濃度を階調補正し、形状変化の影響を除去した上で欠陥検査を行う。 （もっと読む）

【課題】ミラーの屈曲とマスクの撓みに起因する光学画像の歪みを排除でき、マスク検査を精度良く行うことが可能なマスク検査装置及びマスク検査方法を提供する。
【解決手段】マスクを保持したステージをＸ方向及びＹ方向に移動させ、レーザ干渉計の測定結果を用いながら、マスクに描画されたパターンの光学画像を取得する（Ｓ１００）。予め測定した光学画像の位置ずれ量をフィッティングした多項式を用いて、取得した光学画像の位置ずれを補正する（Ｓ１０２）。多項式補正後に残存する位置ずれを、予め測定した位置ずれ量を記述したマップを用いて補正する（Ｓ１０４）。マップ補正後の光学画像と参照画像を比較する（Ｓ１０８）。 （もっと読む）

【課題】設置環境に変動が生じても、表面形状の測定を高精度に行う。
【解決手段】表面検査装置１に、保持部材２（把持部２ａ）と、光学部材６０と、表側第１光源１１と、表側第２光源１２と、ミラー３０と、コリメータレンズ４０と、ミラー５０と、ハーフミラー７０と、ダイクロイックミラー８０と、表側第１撮像部９１と、表側第１撮像部９２と、画像処理プログラムと、を備え、第１波長の光を試料Ｗの表面の一面で反射させる一方で、第２波長の光を把持部２ａの一面側に取付け固定された光学部材６０で反射させ、画像処理プログラムにより、双方から反射された光に基づく輝度データを用いて試料Ｗの表面の形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】
近年、半導体製造工程においては、製造時間の短縮および歩留まり低下要因の早期発見のため、ウェハの検査時間を短くすることが要求されている。これは、実際に検査する時間のみならず、検査の条件設定時の時間も短縮する必要がある。
【解決手段】
搬送系２の速度または位置の変動情報を用いて、検出器の蓄積時間や動作速度の制御もしくは取得画像の補正により、搬送系２の加減速時にも検査を行う。また、検出部の観察画像の表示を一定時間で切り替えることにより、検出部の視認性を向上させ、欠陥の有無を短時間で確認する。 （もっと読む）

【課題】本発明は網入りまたは線入りガラスの形状不良や断線等の網欠陥、およびガラス欠陥を同時に検出する方法に関する。
【解決手段】連続して搬送される網入りまたは線入りガラスに光源からの光を透過させ、該ガラス板を挟んで光源とは反対側に設けた少なくとも１台のエリアカメラにより前記網入りまたは線入りガラスを撮像し、得られた濃淡の信号により網入りまたは線入りガラスの欠陥を検出する方法において、撮像した画像データを二値化処理後、各淡信号図形について、面積、位置座標を算出するラベリング処理により、該淡信号図形のそれぞれの面積が設定範囲内のときに、該淡信号図形を取り囲む濃信号に相当する網線または挟む平行線部に断線なしと判定し、前記面積が設定範囲外のときに該網線又は線部に断線有りと判定する。 （もっと読む）

【課題】装置構成を複雑化することなく、油等の影響を抑えて表面欠陥の検出精度を高くすることができる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】被検査対象Ｓの表面の欠陥を検査する装置であって、入射側偏光部材１２と、被検査対象Ｓに光を照射する光源１１とを備えた投光手段１０と、受光側偏光部材２２と、被検査対象Ｓの表面において反射した光を受光側偏光部材２２を通して受光する受光部２１とを備えた撮影手段２０とからなり、投光手段１０の入射側偏光部材１２は、光源１１から被測定対象Ｓに向けて放出される光の一部が、入射側偏光部材１２を透過せずに被測定対象Ｓの表面に直接照射されるように設けられている。液体の影響を低減した反射光を撮影手段２０が受光するので、被測定対象Ｓの表面欠陥の検出精度を高くすることができる。 （もっと読む）

【課題】カーカスプライなどのプライの貼り付け状態の検査を効率良く、かつ、正確に行うことのできるタイヤ検査方法を提供する。
【解決手段】被検体となるタイヤ２０の内面２０ａ側にＣＣＤカメラ１１と照明装置１２を設置して、インナーライナー部２６の表面を撮影した後、この撮影されたタイヤ内面画像をガボールフィルタを用いてフィルタリング処理し、当該タイヤ２０の第１ベルト２３の傾きθ₁及び第２ベルト２４の傾きθ₂と平行で、かつ、輪郭線の幅ｗが８ｍｍ〜１２ｍｍであるような凹凸領域が検出されるかどうかを調べることにより、上記タイヤ２０にベルト貼り合わせ不良があるかどうかを判定するようにした。 （もっと読む）

【課題】被検査線条の振動による誤検知を防止し、線状に伸びる線材の欠陥や汚れ等の欠陥を正確に検出することのできる線条表面検査装置を提供すること。
【解決手段】複数の受光素子３ａ、３ｂを被検査線条８０の幅方向に対称に配置し、対称に配置された受光素子３ａ、３ｂの出力信号を信号処理部４の加算処理部５に入力させて互いに加算することにより被検査線条８０の幅方向の振動成分を相殺する。これにより、振動による誤検知を防止する。 （もっと読む）

【課題】研磨傷などのように規則性のある模様の方向が分からない場合であってもその模様を消去して致命傷のみを抽出する。
【解決手段】画像取得手段３によって取得された画像の微小検査領域ＳＱ内で第一の検査方向Ｄ１に並ぶ画素の輝度情報を取得し、この第一の検査方向Ｄ１を変化させることによって当該第一の検査方向Ｄ１と直交する方向における輝度変化値が所定値よりも大きな方向を検出する。そして、この検出された方向と直交する方向における輝度に基づいて前記取得された輝度を平坦化させるようにしたので、研磨傷２１の方向と輝度情報を取得する第一の検査方向Ｄ１とが一致した場合に、その方向と直交する方向における輝度が最も大きく変化するため、研磨傷２１の方向を検出する。 （もっと読む）

【課題】ベースフィルムの一面側にコーティング層が設けられた光透過性フィルムにおけるコーティング層の膜厚むらによる欠陥の検出を簡易な構成且つ高精度で行うことができる光透過性フィルムＡの欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】ベースフィルムの一面側にコーティング層が設けられた光透過性フィルムＡを搬送する搬送手段５を具備する。光透過性フィルムＡに一面側から光を照射する照明手段６を具備する。照明手段６から照射され、光透過性フィルムＡの一面側で反射された特定波長域の光を受光して撮像する撮像部１を具備する。前記撮像部１として、互いに異なる特定波長域の光を受光して撮像する複数の撮像部１が、前記搬送手段５による光透過性フィルムＡの経路に沿って設けられている。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出を高精度で行うことができる光透過性フィルムＡの欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】光透過性フィルムＡの欠陥検出装置は、光透過性フィルムＡの裏面側に配される観察用補助部材２、前記光透過性フィルムＡに表面側から光を照射する照明手段６、前記照明手段６から照射され、光透過性フィルムＡで反射された特定波長域の光を受光して撮像する撮像部１、及び前記撮像部１による撮像で得られた画像から光透過性フィルムＡの欠陥を検出する検出手段３を具備する。前記観察用補助部材２に、この観察用補助部材２での前記特定波長域の光の反射率を低減する反射率低減化処理が施されている。このため、撮像部１で受光される特定波長域の光における、観察用補助部材２からの反射光の割合が低減し、光透過性フィルムＡの欠陥に起因する反射光の強度変化が明りょうになる。 （もっと読む）

【課題】アライメンに使用するテンプレート画像を最適な方法で登録し、パターンマッチングのエラー、及び評価に要する時間を低減する。
【解決手段】最適なテンプレートのアライメントマークとの選定や識別及び類比判断を、異物検査装置に配備した相関値の演算機能により実践する。すなわち、異物検査装置に、被検査物の表面に形成されるアライメントマークの特徴点を登録する装置と、前記被検査物の表面上に形成されたアライメントマークの画像データを採取する装置と、前記画像データから特徴点を抽出し双方の特徴点より相関値を算出するデータ演算処理装置とを備え、前記相関値の閾値に基いて前記アライメントマークの画像データを登録する。 （もっと読む）