【課題】不規則なパターンが存在する場合でも、そのパターンの影響を受けずに欠陥を検出することができる欠陥検出方法および欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】欠陥検出方法は、画像入力工程ＳＴ１と、検査データ抽出工程ＳＴ２と、比較データ抽出工程ＳＴ３と、背景パターン方向算出工程ＳＴ４と、欠陥検出工程ＳＴ５とを備える。背景パターン方向算出工程ＳＴ４は、検査データおよび各比較データの比較を、各比較データを前記走査方向に移動しながら行い、その比較結果に基づいて撮像画像の背景パターン方向を算出する。また、欠陥検出工程ＳＴ５は、検査データおよび各比較データにおいて前記背景パターン方向に位置するデータの差分を求め、その差分値に基づいて欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の不良品が誤って良品と判定される可能性を低減可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置（１）は、検査対象物を撮影した検査画像を取得する撮像部（３）と、検査画像から、検査対象物に関する特徴量を抽出する特徴量抽出部（５１）と、特徴量をサポートベクターマシンとして構成される識別器に入力することにより、検査対象物の良否を判定する良否判定部（５４）とを有する。そしてその識別器が不良品と判定する検査対象物から抽出される特徴量が含まれる領域である不良品特徴量領域が、サポートベクターマシンの学習により決定された不良品特徴量領域よりも広くなるように、不良品特徴量領域の境界が修正されている。 （もっと読む）

【課題】 ウエーハ外観検査装置の検査条件データを生成する方法において、複数台の検査装置に対する共通の検査条件データを生成し、機差を考慮した装置毎の検査条件データを短時間で生成できる方法及び検査システムを提供する。
【解決手段】 ウエーハ検査装置の検査条件データを生成する方法であって、同一の検査機能を有する複数台の検査装置の検査条件データが、各検査装置毎に設計値に対する機差を算出し、機差補正データを登録するステップと、選択されたいずれかの検査装置において、ウエーハを用いて検査条件データを作成するステップと、前記検査条件データと、前記選択されたいずれかの検査装置の前記機差補正データと、から共通検査条件データを生成するステップと、前記共通検査条件データと、各検査装置毎の前記機差補正データと、から各検査装置毎の検査条件データを生成するステップからなるウエーハ検査条件生成方法及び検査システム。 （もっと読む）

【課題】従来の技術と比較して、迅速に精度の高い検査を行う。
【解決手段】被検査物としてのタイヤ３４にレーザ光を照射した状態で撮影された画像３８にレーザ光照射領域３６が含まれ、かつ画像３８の基準領域４０からレーザ光照射領域３６の少なくとも一部分がはみ出ている場合には、撮影手段としてのカメラ２４で撮影された画像３８内の基準領域４０内にレーザ光照射領域３６が含まれるように、移動手段としての垂直駆動用モータ２８及び水平駆動用モータ３０を制御する。 （もっと読む）

【課題】半田付けを行う前に、半田フラックスの塗布状態の良否を検出することできる太陽電池用タブリード半田付け装置を提供する。
【解決手段】太陽電池セルバスバーに半田フラックスを塗布する半田フラックス塗布手段６と、半田フラックス塗布手段６が塗布した塗布対象領域に光を照射する投光系５１と、塗布対象領域から反射した前記光を受光する受光系５２と、半田フラックスが正常に塗布された場合の塗布対象領域からの反射光の強度の値を保持し、前記値と前記受光系５２が受光した塗布対象領域からの反射光の強度を比較し、半田フラックスの塗布状態を判定する判定手段５３と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】検査対象物について検査装置を用いて得た検査計量値を基に検査対象物の良否を判定する検査装置において、検査を行っている過程で初期に設定された判定制度が維持されているかどうかを判定する判定処理の精度判定方法及び判定処理精度判定装置を提案する。
【解決手段】検査対象物について検査装置を用いて得た検査計量値を基に検査対象物の良否を判定する検査装置において、前記判定処理の精度を判定する方法であって、複数の良品について、当該検査装置を用いて得た複数の良品計量値が正規分布で表されると仮定して、良品平均値Ｍ_Ｇと、良品標準偏差σ_Ｇとを求め、複数の検査対象物について、当該検査装置を用いて得た複数の検査計量値が正規分布で表されると仮定して、検査平均値Ｍ_Ｓと、検査標準偏差σ_Ｓとを求め、前記良品平均値Ｍ_Ｇを中心として予め定められている範囲に設定されている良品平均範囲と、前記検査平均値Ｍ_Ｓとを比較する。 （もっと読む）

【課題】むらのない均一なライン状の光を照射することができる検査用照明装置を提供する。
【解決手段】基板と、前記基板上に１列に複数並べ設けられたＬＥＤと、前記基板に対して垂直に起立し、かつ、基端面が前記１列に複数並べ設けられたＬＥＤに臨むように配置されて、前記ＬＥＤから発した光を前記基端面から導入するとともに前記基端面に対向する先端面から導出する透明かつ中実な導光板と、を備えているようにした。 （もっと読む）

本発明は、再帰反射板を凸レンズ又は凹面鏡のように使用し、透明又は反射体からなる被検体が屈曲したり、被検体の移動中に振動が発生する場合にも安定的に欠点を検出できるようにし、検査領域で起きる透過検査時の密度勾配と反射検査時の反射角度の変化を用いて測定領域を通過又は反射する平行光の変位現象を捕捉する検査方法である。また、本発明は、透過光又は反射光が集まるカメラレンズの前面にはナイフエッジを光軸に対して水平に設置し、平行光から逸脱した光を遮断することによって、カメラには検査領域の密度勾配に起因する光の明暗の変化が得られ、３次元欠点映像を得られるようにする欠点検査のための検査装置である。 （もっと読む）

【課題】トロリ線の種類や走行位置によらず、一様にトロリ線を撮影することができる架線検測装置を提供する。
【解決手段】検測車両１の屋根上に設置されたカメラ２と、同じく検測車両１の屋根上に設置された照明装置３と、検測車両１の内部に設置された車載コンピュータ６とを備え、車載コンピュータ６により検測車両１の周囲の明るさに応じてカメラ２のシャッター速度又は照明装置３の照度、またはその両方を制御するようにした。 （もっと読む）

【課題】紡糸口金に穿設された複数個の吐出孔を同時に検査して孔中に残留する異物の有無を多数の吐出孔に対して一度に孔内異物が検出でき、且つ、紡糸口金を傷付けることなく安全に孔内異物を除去することができる機能が付いた紡糸口金検査装置を提供する。
【解決手段】スキャンカメラ１を用いて、紡糸口金Ｃａを走査することにより、高解像度の複数の画像データ群を取得し、これら画像データ群を合成して作成した合成画像データから紡糸口金に穿設された多数の吐出孔群Ｈのそれぞれに対して孔内異物の存在の有無を画像処理を用いて一度に検出し、孔内異物が検出された吐出孔に関しては、イオンを含んだ圧空を吹き付ける、孔内異物除去機能４付き紡糸口金検査装置とする。 （もっと読む）

【課題】照明系と検出系、温度・気圧と言った環境をモニタリングする情報収集機能、モニタリング結果と設計値、理論計算値もしくはシミュレーション結果により導出した理想値を比較しモニタリング結果と理想値を近づけるように装置を較正するフィードバック機能を有する装置状態管理機能、を含むことで、装置状態及び装置感度を一定に保つ手段を提供する。
【解決手段】制御部８００を記録部８０１、比較部８０２、感度予測部８０３、フィードバック制御部８０４、を含む構成とする。比較部８０２において、記録部８０１から送信されたモニタリング結果とデータベース８０５に格納された理想値を対比する。理想値とモニタリング結果との差分が所定の閾値を越えた場合には、フィードバック制御部８０４が照明系と検出系の補正を行う。 （もっと読む）

【課題】連続製造ライン１０の運転を停止しなくても、検出装置１００の故障を発見できる、金属帯の穴明き検出装置の検査方法、金属帯の穴明き・エッジ・欠陥検出装置の検査方法、金属帯の穴明き検出装置、金属帯の穴明き・エッジ・欠陥検出装置、ならびに、それらを用いた金属帯の製造方法を提供する。
【解決手段】金属帯Ｓの全幅にわたり投光する投光部１から金属帯Ｓの全幅にわたり投光しつつ、金属帯Ｓを挟んで投光部１と反対側に配置された受光部２にて金属帯Ｓを監視するとともに、金属帯Ｓ又は受光部２に向け穴明き部分を模擬したスポット光を照射し、該スポット光を穴明き部分として検出できた場合は、検出装置１００が正常と判定し、該スポット光を穴明き部分として検出できなかった場合は、検出装置１００が異常と判定する。 （もっと読む）

【解決手段】ウェーハ／マスク／レチクルの表面を検査するための検査システムは、モジュラーアレイを含み得る。モジュラーアレイは、複数の時間遅延積分（ＴＤＩ）センサーモジュールを含み得る。各ＴＤＩセンサーモジュールは、ＴＤＩセンサーと、ＴＤＩセンサーの駆動および処理を行うための複数の局所回路とを有する。局所回路のうち少なくとも１つは、ＴＤＩセンサーと関連付けられたクロックを制御し得る。少なくとも１つのライトパイプを用いて、複数のＴＤＩセンサーモジュールに照明源を分配することができる。複数のＴＤＩセンサーモジュールは、同一検査領域または異なる検査領域を取り込むように配置され得る。複数のＴＤＩセンサーモジュールは、同一であってもよいし異なる積分段に対して設けられてもよい。モジュールの間隔は、１回の通過で検査領域の１００％を網羅する処理範囲に対応できるように設定することもできるし、あるいは、処理範囲全体を網羅するのに２回以上の通過が必要となる部分的処理範囲に対応できるように設定することもできる。 （もっと読む）

【課題】容器が搬送中に回転し、容器の正面がカメラ方向に向いていない場合であっても、ラベルが正常に取り付けられているか否かを判定できる容器のラベル検査装置を提供する。
【解決手段】前面に偏光フィルタを有し、容器１および容器に取り付けられたラベル２を偏光フィルタを介して照明する第１照明３Ａ，３Ｂと、容器の１つの面を照明する第２照明４と、第１照明および第２照明により照明されて容器１およびラベル２で反射した反射光を撮像するＣＣＤカメラ５と、ＣＣＤカメラで得られた画像を処理する画像処理装置６とを備え、ＣＣＤカメラは前面に偏光フィルタを有し、第１照明とＣＣＤカメラとによって、ラベルの直接反射光を消してラベルの拡散反射光による画像を形成するとともに、第２照明とＣＣＤカメラとによって、容器１の１つの面からの直接反射光による画像を形成した。 （もっと読む）

【課題】ねじ口壜を直線搬送しながらねじ山部の全周を検査することができるねじ口壜の検査装置を提供する。
【解決手段】ねじ口壜１の壜口部２を照明する照明４と、照明４により照明されて壜口部２の外周面で反射した反射光を受光して反射する反射面を有するミラー５と、ミラー５の上方に設置され、ミラー５の反射面で反射した反射光を撮像するＣＣＤカメラ７と、ＣＣＤカメラで得られた画像を処理する画像処理装置８とを備え、ＣＣＤカメラ７で得られた画像は、１つの画像内にねじ山の始端から終端までが映っている画像であり、画像処理装置８は、画像中の画素が暗い画素から明るい画素に変わったところ又は明るい画素から暗い画素に変わったところを見つけ、この暗から明又は明から暗に変わった画素の部分がねじ山の始端あるいはねじ山に形成された欠陥と判定する。 （もっと読む）

【課題】歪み無く、ボトルの全てが画像中で略直立状態に表示される検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、検査されるべきボトルの異なる周方向側面像を映し出すためのミラーキャビネットを備える、ボトルを光学的に検査するための検査装置に関する。側方画像領域と関連付けられるビーム経路における偏向ミラーは、中心射影によって引き起こされる画像歪みが側方画像領域で補償されるように傾けられる。 （もっと読む）

【課題】紡糸口金に穿設された複数個の吐出孔を同時に検査して孔内に残留する異物の有無を一孔ごとに検出するのではなく、多数の吐出孔に対して一度に孔内異物が検出でき、そのような検査が可能な高精度な検査装置であっても、工場内の振動などによって検査精度に影響を及ぼさないようにする必要があり、これによって、多大な時間を要することなく短時間かつ確実に孔内異物を検査できる装置を提供する。
【解決手段】スキャンカメラを用いて、紡糸口金を走査することにより、高解像度の複数の画像データ群を取得し、これら画像データ群を合成して作成した合成画像データから紡糸口金に穿設された多数の吐出孔群のそれぞれに対して孔内異物の存在の有無を画像処理を用いて一度に検出し、さらに振動により吐出孔画像に異常が起こらないようにする為、振動計を用いた振動検知と、撮影した画像に異常があった場合に面積値判別によって振動の有無を検知する、振動検知機能付き紡糸口金の孔内異物の検査装置とする。 （もっと読む）

【課題】検査の所要時間を短縮して全数検査を可能とし、塗布装置１２〜露光装置１３間の搬送系に設けるカラーフィルタ表面検査機を提供する。
【解決手段】搬送コロ５３を用いた搬送路からカラーフィルタ表面検査機４０へのガラス基板１の受け入れ、カラーフィルタ表面検査機から搬送路へのガラス基板の受け渡しに、カラーフィルタ表面検査機内に設けられた搬送コロ３３を用いる。搬送コロはコロユニット３０に備え、検査の際は搬送路外に退避する。複数基の撮像カメラ４４を備え、ガラス基板の有効エリア１ａを分割して同時に撮像する。 （もっと読む）

【課題】小型かつ安価な偏光画像撮像装置を提供する。
【解決手段】偏光画像撮像装置１０は、光を出射する光源１６と、構造上静的に構成され、光源１６からの出射光を入射する第１偏光子１８と、構造上静的に構成され、第１偏光子１８からの出射光の偏光方向を変換して対象物に照射する第１変換部２４と、構造上静的に構成され、対象物からの出射光の偏光方向を変換する第２変換部３０と、構造上静的に構成され、第２変換部３０からの出射光を入射する第２偏光子３２と、第２偏光子３２からの出射光による画像を撮像する撮像部３４と、第１変換部２４および第２変換部３０における偏光方向の変換を、それぞれ独立して電気的に可変に制御する制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】水に濡れた被検査体に含まれる異物を判別する精度を向上させること。
【解決手段】特定の単一波長且つ直線偏光のレーザー光を被検査体（Ｓ）に照射する照射光源系（７）と、前記被検査体（Ｓ）自身による前記レーザー光の偏光方向とは異なる方向成分を含む反射・散乱光と、前記被検査体（Ｓ）表面の水による前記レーザー光と同じ偏光方向の反射光と、を含む反射・散乱光の中で、少なくとも前記レーザー光の偏光方向とは異なる方向の偏光成分を含む反射・散乱光を受光する受光素子（ＰＤ１〜ＰＤｎ）を有する受光光学系（８）と、受光した反射・散乱光の前記レーザー光の偏光方向とは異なる方向の偏光成分に基づいて、前記被検査体（Ｓ）が異物であるか否かを判別する異物混入判別手段（１１Ａ）と、を備えた異物混入判別装置（６）。 （もっと読む）