【課題】ＦＩＢ加工で薄片試料を作製する際に保護膜形成時に穴が形成されず穴からリデポすることを防ぎ、電子顕微鏡にて良好な像を取得することのできる薄片試料作製方法を提供することを課題とする。
【解決手段】集束イオンビーム装置を用い試料から薄片試料を作製する薄片試料作製方法であって、試料の薄片試料作製箇所にインクを塗布し塗膜を形成する工程と、試料を前記集束イオンビーム装置に導入し、金属系材料を用い薄片試料作製箇所にイオンビームにより保護膜を形成する工程と、前記保護膜が形成された薄片試料作製箇所についてイオンビームによるエッチング加工により薄片試料を作製する工程とを順に備えることを特徴とする薄片試料作製方法とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は電子顕微鏡の試料コーティング方法に関し、絶縁試料の導電性処理を簡易な構成で行なうことができる電子顕微鏡の試料コーティング方法を提供することを目的としている。
【解決手段】走査型電子顕微鏡１０と集束イオンビーム装置１１との光学系を備え、これら二つの光学系の光軸が試料位置の一点で交わる構造のマルチビーム装置において、マルチビーム装置のチャンバ１にその先端部のプローブ１３の位置が移動可能なマニピュレータ１２を設置し、該設置されたマニピュレータ１２のプローブ先端に蒸着材料保持機構を設け、イオンビームによって加工された絶縁試料の加工断面近傍に前記蒸着材料保持機構を近づけ、該蒸着材料保持機構内の蒸着材料に前記集束イオンビーム装置１１からイオンビームを照射してスパッタリングを行ない絶縁試料の加工断面に該蒸着材料をコーティングさせるように構成する。 （もっと読む）

【課題】表面に有機物が形成されている試料の断面を精度よく得ることができる断面加工方法及び断面観察試料の製造方法を提供する。
【解決手段】有機物の層又は構造８を表面に有する試料２に、集束イオンビーム装置１００を用いて集束イオンビームを照射し、試料の断面加工位置Ｌに断面加工を行う方法であって、保護膜となる原料ガスの存在下、断面加工位置を含む試料の表面に集束イオンビームを照射し、有機物の層又は構造の表面に保護膜７ａを形成する保護膜形成工程と、保護膜が形成された断面加工位置に、保護膜形成工程における加速電圧より高い電圧で集束イオンビームを照射し、断面加工を行う断面加工工程とを有する試料の断面加工方法である。 （もっと読む）

本発明は、２次元のテキスタイル（１０）の幾何学的な形態パラメータ、特に波形を測定しおよび／または検査するための方法であって、以下の段階、すなわち、２次元のテキスタイル（１０）を、支持体（２６）と、可撓性のあるフィルム（２２）との間の中間空間（２６）に設けること、フィルム（２２）が２次元のテキスタイル（１０）に密着するように、中間空間（２６）と周囲との間の差圧（Δｐ）を加えること、およびフィルム（２２）の表面プロファイル（３２）を検出すること、を有する方法に関する。 （もっと読む）

【課題】非導電性試料の表面に、むらの無い良質な導電性のカーボン膜を短時間で形成する。
【解決手段】開閉弁９ａを開き、ロータリーポンプ１０で試料室２ａの大気を排気する。試料室２ａの真空度が１Ｐａ程度になったら、流量調整弁８ａを開いて試料室２ａにアルゴンガスを導入し、試料室２ａの真空度が２Ｐａ程度になるようにアルゴンガスの流量を調整する。電極棒７ａと７ｂ及び電極５ａと５ｂを通じてカーボン棒に５０Ａ程度の電流を流す。通電によりカーボン棒が赤熱し、カーボンが蒸発することにより蒸着が行なわれる。 （もっと読む）

【課題】ＳＩＭＳ装置にＦＩＢ装置を設置させること無く、試料表面の大気汚染と帯電を低減し、かつ残存元素のスパッタを抑制する。
【解決手段】分析対象物１０の表面における所定領域１４から発生する二次イオン２５に基づいて所定領域１４における深さ方向の分析を行う質量分析法において、所定領域１４の周囲に、質量分析を行う深さよりも深く、一次イオンビームの照射範囲２３よりも広い凹部１５を形成する凹部形成工程と、所定領域１４および凹部１５を含む分析対象物１０の表面に導電膜１３を形成する導電膜形成工程により質量分析用の試料１６を作製する。 （もっと読む）

【課題】 本発明はたとえばTEM検査用の高品質試料の作製方法に関する。
【解決手段】 たとえば集束イオンビーム(FIB)装置によって試料を薄くするとき、前記試料は、前記FIB装置から取り出されるとき、大気曝露によって酸化する。この結果、試料は低品質となり、さらなる解析には適さない恐れがある。前記試料上に保護層-好適には水素保護層-をその場で-つまり前記FIB装置から取り出す前に-形成することによって、高品質試料が得られる。 （もっと読む）

【課題】本発明はイオン液体を用いた試料の処理方法及び処理システムに関し、大気中を搬送しても試料表面が大気に曝されないようにすることができるイオン液体を用いた試料の処理方法及び処理システムを提供することを目的としている。
【解決手段】イオンビーム加工装置等の真空中で試料２に加工処理を施し、加工処理が施された試料２にイオン液体を塗布し、イオン液体が塗布された試料２を電子顕微鏡等の予備排気室８に搬送し、該予備排気室８でイオン液体を除去し、該イオン液体が除去された試料２を電子顕微鏡本体で観察するように構成される。 （もっと読む）

【課題】吐出口から液体試料が蒸発することを抑制して、固化する際の検体の組成や構造の変化を抑制し、かつ安定した検体の吐出を可能にする。
【解決手段】固体試料の作製室（１〜３）と、ステージ（１４）と、検体を吐出する吐出口を備え、吐出動作により、ステージの表面に検体を供給する検体供給器（１６）と、ステージを冷却する冷却器（１３）と、を有し、作製室内において、冷却されたステージの表面に検体を供給して、検体を固化させる固体試料の作製装置において、検体供給器の吐出動作の待機時に、検体供給器の吐出口を作製室内の雰囲気から遮蔽した状態で、吐出口から検体を吸引する吸引器（１８）を有する。 （もっと読む）

【課題】ＳＥＭにより検鏡される電気的絶縁試料の表面に金属薄膜を成膜する際に、簡易な方法により電気的絶縁試料に対して金属薄膜を高い密着度で成膜し、ＳＥＭから照射される電子線による電気的絶縁試料の帯電を低減して二次電子放出を効率的に行うと共に放出方向を一定にして電気的絶縁試料の表面を高精度、かつ鮮明に検鏡する。
【解決手段】電気的絶縁試料の表面に金属薄膜を成膜するに先立って、チャンバー内に炭化水素ガスを導入した状態で両電極間に電圧を印加してグロー放電を発生させて炭化水素成分をイオン化して電気的絶縁試料の表面に炭化水素膜を成膜する。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする課題は、デバイスの分析したいところを局所的に切出して針状突起にする試料予備加工の技術を提示すると共に、後述する事情の中で小さな蒸発電界の元素層を含む多層構造の試料であっても順次の安定したイオン蒸発を可能とし、原子レベルのＳＡＰ分析を可能とする技術を提供することにある。
【解決手段】本発明のアトムプローブ装置用試料の予備加工は、ＦＩＢ装置を用いて試料所望観察部位をブロック状に切り出すステップと、該ブロック状の切り出し試料を試料基板上に移送して固定するステップと、該試料基板上に固定されたブロック状の試料をＦＩＢエッチング加工によって針先形状に加工するステップとからなる。また、針先形状に加工された試料は多層構造の層方向が針の長手方向に平行となるように形成する。 （もっと読む）

【課題】実際の自動車ドア材の腐食に対して相関性が高い、表面処理鋼板の耐食性評価方法を提供する。
【解決手段】表面処理鋼板にドロービード加工、平面摺動加工を付与し、前記加工付与後の異種又は同種の表面処理鋼板を重ね合わせて鋼板合わせ部を形成する。次いで、前記鋼板合わせ部を形成した鋼板を試験片として腐食環境に供して耐食性を評価する。ここで、前記鋼板合わせ部は、前記異種又は同種の表面処理鋼板を抵抗溶接で接合して形成することが好ましい。また、より実際の自動車構造を模擬するように、鋼板合わせ部を形成したのち、化成処理および電着塗装を施し試験片とし、この試験片に対して腐食環境に供して耐食性を評価することが好ましい。腐食試験は例えばSAE J2334 120サイクルで行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ナノ構造の作製から評価に至るまでを外気に曝されることのないように行えるようにする。
【解決手段】ナノ構造（５２）を有する試料を作製し、その特性を評価する為の試料作製評価装置であって、基板（１５）上にナノ構造（５２）を作製するナノ構造形成手段と、ナノ構造（５２）を中心とした対称位置にマーカーパターンを形成するマーカー形成手段（２３）と、前記マーカーパターンを目印として、ナノ構造（５２）を測定端子に接続するナノ構造接続手段（５１，５１）とが、真空チャンバー内の一繋がりとなった真空室に配置され、この真空室内において前記各手段に対し、基板（１５）を順次脱着し、移送する基板移送手段とを有することを特徴とする試料作製評価装置である。 （もっと読む）

【課題】混合物に含まれる組成の判別や化学構造解析のために行われる分析前処理として、構成成分を簡便に分離することのできる、試料成分の分離方法を提供する。
【解決手段】プレートとカバープレートの隙間に配置した試料溶液の溶媒を気化させ、カバープレートの周縁部に試料成分を析出させる。試料溶液はプレートとカバープレートの隙間に試料を配置し溶媒を導入して得られ、或いは、予め調製したものをプレートとカバープレートの隙間に導入する。好ましくは、プレート上に配置した試料又はスペーサの上にカバープレートを載置することでカバープレートに傾斜をつけ、プレートとカバープレートの最大隙間付近から毛細現象を利用して溶媒を導入する。試料成分をプレート上で析出した状態のままマイクロプローブを使用して分析する。 （もっと読む）

【課題】 規制物質検出ユニット及び規制物質評価試験方法に関し、規制物質検出ユニットを小型化するとともに、評価対象物をあるがままの状態で簡易に且つ安価に評価する。
【解決手段】 規制物質溶出用の水もしくは薬液の少なくとも一方を含浸部材に含有させた溶出層４と、前記溶出層４と接すると共に規制物質と反応して変色する反応試薬を前記含浸部材に含有させた反応層５とを含む規制物質検出部３と、規制物質検出部３に接するように設けた電極６とにより規制物質検出ユニット２を構成する。 （もっと読む）

【課題】フッ素ガス濃度の変化に迅速且つ正確に対応することができるとともに、標準フッ素ガスを用いることなく測定部の前処理を行うことのできるフッ素ガス測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】発光式フッ素ガス濃度計を用いて試料ガス中のフッ素ガス濃度を測定するフッ素ガス測定方法において、前記発光式フッ素ガス濃度計の試料ガスと接する部分にフッ化キセノンを用いてフッ化層を形成した後、あるいは、前記発光式フッ素ガス濃度計をフッ化キセノンを用いて校正した後、試料ガス中のフッ素ガス濃度を測定する。 （もっと読む）

【課題】共通のイオンビームカラムを用いて試料の加工とダメージ層の除去とを迅速に実行することができるイオンビーム加工装置及び試料加工方法を提供する。
【解決手段】ガスイオン源１１から引き出されたイオンビーム１２を試料３１に導くイオンビーム光学系と、イオンビーム１２を通過させてイオンビーム１２の断面を成形する開口１５ａ〜１５ｃを有するマスク１５と、ガスイオン源１１に印加する加速電圧及びマスク１５の動作を制御するイオンビームカラム制御部１８とを備え、イオンビームカラム制御部１８は、マスク１５の開口１５ｂ，１５ｃに通して断面成形した高速加工用のイオンビーム１２を投射して試料３１又は試料片５０を加工する手順と、高速加工用のイオンビームに比較して加速電圧を下げ、加工後の試料３１又は試料片５０の観察面にイオンビーム１２を投射して観察面のダメージ層を除去する手順とを実行可能である。 （もっと読む）

【課題】任意の形状とすることが可能であり、外部からの動力や煩雑な工程を必要とせず、少量の採血においても簡便かつ安全に血球を分離することのできる、分離性能に優れた血球分離材を提供すること。
【解決手段】エポキシ樹脂を含有する樹脂組成物の硬化物からなる、モノリス構造を有する血球分離材。 （もっと読む）

【課題】安価で簡単な操作により微量な全血サンプルから血球を分離し血漿を定量的に回収する血液分離回収デバイスを提供すること。
【解決手段】遠心分離操作により全血を遠心分離し血漿を回収する際に用いる血液分離回収デバイスであって、第１の母材及び第２の母材から構成され、第１の母材に全血採取部及び血球成分分離部が連通されて形成され、第２の母材に血漿回収部が形成され、前記全血採取部が毛細管現象により全血を採取可能であり、前記血漿回収部が毛細管現象により前記血球成分分離部の血漿を回収可能であり、第１の母材と第２の母材が着脱可能である血液分離回収デバイス。 （もっと読む）

【課題】ガス収着試験に用いる薄膜サンプルチャンバを提供。
【解決手段】ガス収着サンプルチャンバは、複数の薄膜基板を含み、該基板をシーベルト装置又は他のガス収着分析器に流体連通結合する。薄膜基板は、サンプルチャンバ内において、サンプルチャンバ内の自由気体体積を低減して収着試験の精度が向上するように、列状の配列で、重ね合わせ配置か又はわずかに隙間を空けた配置で互いの近傍に保持される。チャンバの内部構造形状は、薄膜基板とチャンバの内部表面との間のクリアランスが最小になるように構成されており、それにより、チャンバ内空間の略全てが薄膜サンプル材料及び不活性基板材料によって占められている。グローブボックス内での使用を容易にするために、チャンバは、全ての基板をひとまとめにして積み込んだり取り出したりできるように、複数の薄膜基板が配置された取り出し可能なサンプルカートリッジを備えてもよい。 （もっと読む）