【課題】 冷却機構なしで暗電流を減らし、受光感度を波長１．８μｍ以上に拡大したＩｎＰ系フォトダイオードを用いて、気体のモニタリングを高感度で遂行することができる、気体モニタリング装置等を提供することを目的とする。
【解決手段】 受光層３がＩＩＩ−Ｖ族半導体の多重量子井戸構造を有し、ｐｎ接合１５は、不純物元素を受光層内に選択拡散して形成したものであり、受光層における不純物濃度が、５×１０^１６／ｃｍ^３以下であり、気体モニタリング装置は、波長３μｍ以下の少なくとも１つの波長の光を受光して、気体中のガス成分等を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定セルと、分析装置のサーモスタット調温された要素との間の熱連結性をチェックするための方法を提供する。
【解決手段】(a)測定セルを該分析装置内に挿入し、それによりサーモスタット調温された要素との機械的接触を確立する工程、(b)分析装置により供給される検量用流体、濯ぎ用流体などの流体で測定チャンネルを満たすか、あるいは外部から供給されるサンプル流体、品質管理流体などの流体で測定チャンネルを満たす工程、(c)測定チャンネルと、外部流体又は内部流体との間に温度平衡が得られるまで待機する工程、(d)前記サーモスタット調温された要素により急速な温度変化を適用する工程、(e)急速な温度変化が適用された後の少なくとも1つのセンサー素子の経時信号曲線を測定する工程、(f)上記工程(e)の測定で得られた経時信号曲線を分析することにより熱連結性の質を判定する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置のチャンバあるいは搬送経路などの分析対象部に残留する物質を検出できる半導体装置の製造装置、残留成分の分析装置及び分析方法を提供する。
【解決手段】半導体製造のための所定の処理工程のために内部に基板が保持され、あるいは、処理工程の前後において内部に基板が搬送または収容される半導体装置の製造装置を構成する部分であり、内部における残留成分の分析対象となる分析対象部（１）と、分析対象部の内部に存在する残留成分から発せられる電磁波を受信する受信部５と、受信部で受信されて得られた信号を分光する分光部６とを有し、上記のように分光することにより、分析対象部の内部における残留成分を分析する。 （もっと読む）

【課題】赤外線光源の光量の損失を抑制しつつも小型化を実現すると共に、ガスを速やかに検出可能にするガスセンサを提供することを課題とする。
【解決手段】縦横に配列された複数のフィラメント１１を有する赤外線光源２と、赤外線検出器３と、光学フィルタ４と、内外でガスが流通可能な筐体５と、を備え、各フィラメント１１には、赤外線を赤外線検出器３の方向へ案内する案内手段１２がそれぞれ設けられており、赤外線検出器３の受光面は、フィラメント１１が縦横に配列されることで面発光する前記基材の表面から放射される、案内手段１２により指向性を有する赤外線を受光し、筐体５は、赤外線光源と赤外線検出器との間の空間を囲む部材８が通気性の部材で構成される。 （もっと読む）

【課題】赤外線光源の光量を補償するガスセンサを提供することを課題とする。
【解決手段】ガス検出用の赤外線検出器９Ａおよび光学フィルタ１０Ａとは別に、赤外線光源８の光量を調整するための赤外線検出器９Ｂおよび光学フィルタ１０Ｂを設ける。光量を調整するための光学フィルタ１０Ｂは、ガスの成分に吸収量が左右されにくい波長帯域の赤外線を選択的に透過可能なものとする。係る光学フィルタ１０Ｂを通過した赤外線を受光する赤外線検出器９Ｂの出力が既定の出力になるように、赤外線光源８に印加する電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】一酸化炭素の供給量に対して、塩素の供給量が、モル比率で常に超えないようにして、ポリイソシアネートのクロル化を防止することのできる、塩化カルボニルの製造方法および製造装置、ならびに、ポリイソシアネートの製造方法および製造装置を提供すること。
【解決手段】塩化カルボニル製造制御部７において、まず、一酸化炭素ガスの供給量を設定して、その設定された供給量で、一酸化炭素ガスを反応部６へ連続的に供給するように、一酸化炭素制御弁９を制御するとともに、一酸化炭素流量計１０により検知される一酸化炭素ガスの供給量を常時モニタして、次いで、その常時モニタされる一酸化炭素ガスの供給量に基づいて、塩素の供給量を、塩素に対して一酸化炭素が過剰となる、ある一定のモル比率に対応する所定の比率の供給量となるように、常時設定し、その常時設定された供給量で、塩素ガスを反応部６へ供給するように、塩素制御弁１２を制御する。 （もっと読む）

【課題】 ＣＯ２ガス濃度値センサーにおいて、赤外線センサーと光源間の最適な距離、および光源に使用されるランプ特性が明確でなく、ガス濃度値センサーの特性がバラツキ、均一なガス濃度値センサーが生産できない。
また、ＣＯ２ガス濃度値センサーに使用される光源ユニットケースの、外乱赤外光への対策が不明で、ガス濃度値センサーの安定性が向上しない。
【解決手段】 赤外線センサー〜ランプ間距離を４０〜５０ｍｍとし、信号強度の低下はあまり犠牲にせず、窒素ガスと二酸化炭素ガス５０００ＰＰＭでの信号強度の比を大きくする。
また、光源として使用するランプの定格電流に対するランプ電流の低減比を０．６前後として、信号強度の低下はあまり犠牲にせず、窒素ガスと二酸化炭素ガス５０００ＰＰＭでの信号強度の比を大きくする。
さらに、光源ユニットケースをアルミフォイルのシートで貼り付け・覆うことで、外乱赤外光によるＣＯ２ガス濃度値センサーの変動を少なくする。 （もっと読む）

【課題】小型でかつ簡便なセンサ形状を有し、測定ガスの流量変化や温度変化などの外乱変化に対して安定して測定することができるようにした赤外線センサの製造方法及び赤外線センサを提供すること。
【解決手段】ウェハ１０を切り離して複数のセンサ素子１３を形成する第１のダイシング工程と、この第１のダイシング工程により切り離されたセンサ素子１３をリードフレーム１４に搭載し、ワイヤ１６とともに樹脂によりモールドされたセンサ素子１３とリードフレーム１４を個片化する第２のダイシング工程と、第１のダイシング工程の前段において、ンサ素子１３の受光面１３ａに光学フィルタ１２を形成するフィルタリング工程とを有し、センサ素子１３の受光面１３ａに光学フィルタ１２を直接一体的に形成する。 （もっと読む）

【課題】射出レーザ強度の高いレーザ射出装置や大型集光装置を使用しなくても、十分に大きい光検出値を取得して、所望区間における対象成分の濃度を測定できる気体成分濃度測定装置を提供する。
【解決手段】波長が対象成分の光吸収波長である第１レーザ光、および、波長が対象成分の非吸収波長である第２レーザ光を射出するレーザ射出装置３と、第１レーザ光と第２レーザ光の照射範囲内に位置するとともに、第１レーザ光と第２レーザ光の射出方向に間隔を置いて配置される第１および第２の散乱体５、７と、第１の散乱体５で散乱された第１レーザ光、第２レーザ光の第１、第２の散乱光、第２の散乱体７で散乱された第１レーザ光、第２レーザ光の第３、第４の散乱光を検出する光検出器９と、光検出器９の検出値に基づいて、第１の散乱体５と第２の散乱体７との間における対象成分の濃度を算出する濃度算出装置１１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】射出レーザ強度の高いレーザ射出装置や大型集光装置を使用しなくても、十分に大きい光検出値を取得して、所望区間における対象成分の濃度を測定できるようにする。
【解決手段】レーザ射出装置３の水平軸回りの向き、または高さを切り換えることで、地表または水面５におけるレーザ照射箇所を第１および第２の照射箇所５ａ、５ｂとの間で切り換える。第１の照射箇所５ａで散乱された第１レーザ光の第１の散乱光、第１の照射箇所５ａで散乱された第２レーザ光の第２の散乱光、第２の照射箇所５ｂで散乱された第１レーザ光の第３の散乱光、第２の照射箇所５ｂで散乱された第２レーザ光の第４の散乱光を光検出器９で検出する。光検出器９により取得した第１、第２、第３および第４の散乱光の検出値に基づいて、第１の照射位置５ａと第２の照射位置５ｂとの間における対象成分の濃度を濃度算出装置１１で算出する。 （もっと読む）

【課題】測定対象ガスを、測定装置へ導入するまでの搬送経路による影響を可及的に低減し、安定した測定値が早急に得られるようにする。
【解決手段】測定対象ガスを含むキャリアガスが導入される導入口５２からの流路を、測定対象ガス用流路５３とパージガス用流路５４とに分岐し、パージガス用流路５４には、測定対象ガスを除去するフィルター３８および除塵フィルター３７を設け、測定対象ガスを除去したキャリアガスをパージガスとしてチャンバ１６のパージを行うようにし、パージ期間中においても、測定対象ガスを含むキャリアガスを測定装置３に導入し、これによって、パージ期間中は、測定対象ガスを含むキャリアガスを遮断する構成のように、測定装置３までの搬送経路に測定対象ガスが溜まって測定値が高くなるといった不具合を解消する。 （もっと読む）

【課題】長期間に亙って安定して被測定ガス中の煤塵の計測ができる煤塵濃度計測装置を提供する。
【解決手段】被測定ガス１２にレーザ光１１を照射するレーザ装置１３と、発生するミー散乱光３０を計測する第１の光検出器３１と、発生するラマン散乱光１５を計測する第２の光検出器１８とを具備してなり、予め第１の光検出器３１によりミー散乱光の信号強度（＝Ｍ₀）を計測すると共に、第２の光検出器１８により測定領域に存在する濃度校正用ガスのラマン散乱光１５の信号強度（＝Ｒ₀）を計測しておき、煤塵濃度の校正を行う際に、第１の光検出器３１によりミー散乱光の検出信号強度（＝Ｍ₁）を計測すると共に、第２の光検出器１８により測定領域に存在する濃度校正用ガスのラマン散乱光１５の信号強度（＝Ｒ₁）を計測し、得られたＲ₀／Ｒ₁を校正定数（Ｋ）とし、前記Ｍ₁に校正係数（Ｋ＝Ｒ₀／Ｒ₁）を乗じて煤塵濃度（Ｍ₂）を算出してなる。 （もっと読む）

ガスの濃度、特にガスの成分の乾燥モル分率を測定するためのガス分析器システムおよび方法。前記システムおよび方法により、高速フラックス測定を含む多くの環境モニタリング用途のための、ガス密度および／またはガスの乾燥モル分率の迅速な測定を可能となる。新規の連結設計により、流路を内包するセルの工具不要の取り外しが可能となり、現場における光学要素の清掃が可能である。

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【課題】ガス状物質濃度と同時に固体粒子状物質濃度とを同時に測定できるとともに、固体粒子状物質濃度のうちの黒煙、白煙、水蒸気等の複数物質について、それぞれの濃度測定を同時に簡単かつ確実にできる測定方法及び装置を提供すること。
【解決手段】測定対象に対して該測定対象中のガス状物質に固有な吸収波長のレーザ光を照射して、検出された光透過率と光吸収量とから測定対象中のガス状物質濃度と固体粒子状物質濃度とを検出する濃度測定方法において、各吸収波長における黒煙および白煙を含む複数種の固体粒子状物質の濃度に対するレーザ光減衰量との関係を予め設定しておき、測定すべきガス状物質に対して複数の吸収波長のレーザ光をそれぞれ照射し、照射された複数の吸収波長のレーザ光の減衰量をそれぞれ測定し該測定結果の減衰量と、前記予め設定され関係に基づいて算出した減衰量とを対比して前記複数種の固体粒子状物質の濃度を算出する。 （もっと読む）

【課題】 赤外光を用いた、ＣＯ２濃度計においては、赤外光領域波長に感度を有する受光素子として、通常サーモパイルが用いられている。サーモパイルは、受光出力が、直流レベルで出力され、信号処理が容易なため、使用されている。しかし、価格性、光感度特性、ともに優れた性能の、赤外光受光素子として、パイロ素子（焦電素子）を、赤外光センサー受光素子として用いたい。
焦電素子受光出力は、受光光量の変化分を出力する、変化分出力であり、使い難い点が、使用上の課題である。
【解決手段】赤外光受光素子出力の赤外光点灯による増幅信号の増加分のみの波形をＰ１０とする。Ｐ１０は、赤外光源からの赤外光が、ＣＯ２により吸収され減衰した結果の光量値を示している。このＰ１０値を組み込んだ、
Ｐ３＝ｋ１×（ｋ２（ｖ）−Ｐ１０）・・・関係式▲１▼
を得て、関係式▲１▼により得られるＰ３信号を用いた、演算方式で、ＣＯ２濃度値出力値Ｐ１３を得る。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で光軸調整範囲を広げたＬＤ出力部およびＬＤ光受光部を搭載して計測精度を向上させ、現場で光軸調整を行う場合、一人でも作業を可能として省力化をはかったレーザ式ガス分析計を実現する。
【解決手段】測定ガスが流れる管路に対向して配置された固定フランジと、この固定フランジに取付けフランジを介してそれぞれ固定された投光部モジュール及び受光部モジュールと、これら投光部モジュールまたは受光部モジュールを構成し取付けフランジに固定された所定の長さを有する接続管とこれらの接続管の内部の少なくとも一方に配置されレーザ又は受光素子のいずれかが固定された所定の長さを有する内管と、接続管の外周からねじ込まれ内管を接続管の長手方向に対して所定の角度に支持する複数の押しねじを備えた
。 （もっと読む）

【課題】植物の二酸化炭素消費機能を、簡易な操作で且つ短時間で評価することができる評価装置を提供すること。
【解決手段】植物の少なくとも一部（６）を収容できる受容部（１２）と開閉が可能な蓋部（１１）からなり、受容部の内面（１２１）または蓋部の内面（１１１）が発光体（１１２）と二酸化炭素濃度センサ（１２２）を備えている照光・センサ部（１）、照光・センサ部から延びる電気配線（２）を介して前記二酸化炭素濃度センサに接続されている、該センサで感知した二酸化炭素濃度値に基づくデータを表示する表示装置（３）、そして前記の発光体、二酸化炭素濃度センサ及び表示装置のそれぞれに電気的に接続されている電源（５）を含む、照光下にある植物の二酸化炭素消費機能を評価する装置。 （もっと読む）

【課題】短期間で、プラスチック製ボトルの内部から外部へ透過する特定の種類のガスの透過量を正確に測定することのできる、ガス透過量測定装置及びガス透過量測定方法を提供する。
【解決手段】プラスチック製ボトルの内部から外部への特定のガスの透過量を測定するガス透過量測定装置であって、特定のガスが充填密封されたプラスチック製ボトルを内部に気密状態で収容するチャンバと、チャンバ内を所定温度に維持する温度維持手段と、プラスチック製ボトルの内部から外部への特定のガスの透過量を測定する透過量測定手段と、を備え、プラスチック製ボトルを収容したチャンバ内を気密状態に維持しつつ、プラスチック製ボトルの内部から外部への特定のガスの透過量を測定する。 （もっと読む）

スペクトル解析に適合されたアレンジメント（”Ａ”）が、電磁放射（”Ｓ”）に適合された伝達手段（１０）と、測定セルになって光学測定距離（”Ｔ”）を定義するキャビティの形の区切られた空間（１１）と、前記伝達手段（１０）から光学測定距離（”Ｌ”）を通過する前記電磁放射（”Ｓ”，”Ｓａ１”，”Ｓａ２”）の感知手段（１２）と、少なくとも前記感知手段（１２）と接続されたスペクトル解析実行ユニット（１３）とを有している。電磁放射の前記感知手段（１２）が、スペクトルレンジ内に入る電磁放射（”Ｓｂ”，４ａ）に光電的に感受適合されている。当該スペクトルレンジの選択波長成分またはスペクトル要素が、スペクトル解析実行ユニット（１３）において解析対象となる。当該スペクトル解析実行ユニット（１３）が、このユニットにおいて、計算を通して、スペクトル要素の相対放射強度を測定する。前記電磁放射（”Ｓ”，”ＳａＴ１”Ｓａ２”）が、サンプル（Ｇ）のガスが存在する空間を通過するように適合されている。空間（１１）内の前記光学測定距離（”Ｌ”）が、少なくとも１５ｍｍよりも短く、非常に短く選択されている。このため、サンプル（Ｇ）のガスが評価されるガス部分に関して高濃度を示す。 （もっと読む）

【課題】低濃度でも正確に温度および圧力補正を行うことができる濃度測定装置を提供する。
【解決手段】受光器１２で受光した光強度から、μｃｏｍ５において、光強度信号比（Ｉ_abs／Ｉ_ref）を算出して、測定対象の気体分子の温度に依存する吸収断面積σ（Ｔ）を算出し、そして、温度補正した濃度Ｃ_x（Ｔ）を算出してから濃度Ｃ_x（Ｔ）を補正して圧力補正後の濃度Ｃ_x,calibを算出する。 （もっと読む）