【課題】 平面、円筒、自由形状を含む各種形状の基板の外面および内面上に施したＤＬＣ薄膜の膜厚と屈折率を近赤外光を用いて精度良く測定することを目的とする。
【解決手段】 グラファイト成分を含むダイアモンド状カーボン薄膜が半透明な波長域の近赤外光を光源として利用することを特徴として垂直反射干渉スペクトル計測によって膜厚と屈折率の積を求める。
また、干渉測定する対象試料の同一点の屈折率を同一光源を用いて、傾斜入反射測定計で反射物質の屈折率のみで決まるブリュースター角を測定することで、屈折率を決定する。結果として、正確な膜厚が求まる。 （もっと読む）

【課題】 光弾性測定方法の測定信号にかかる変調信号の強度が微弱なので、複屈折の２乗の信号成分と微弱な信号のかかった１乗（１次）の項からなる高周波成分の複屈折とでは、前者の方が大きい。２乗の成分の複屈折と高周波成分の微弱な複屈折から検出する為、複屈折の検出精度が悪くなっている。
【解決手段】 測定信号の２乗を基礎とした複屈折の上にその１乗に比例した微弱な複屈折が重畳している複屈折の内、該２乗を基礎とした複屈折を除去する手段を備え、１乗に比例した複屈折を用いて応力や歪みなどの物理量に変換して精度良く測定をおこなう。 （もっと読む）

【課題】基板と屈折率が同等もしくは近い異物を高感度に検出できる基板の検査方法及び基板の検査装置を提供する。
【解決手段】プリズム１６の表面１６ａに形成された金属膜１５に対して基板２０に形成された凹凸パターンを近接させた状態で、プリズム１６の表面１６ａと金属膜１５との界面側から金属膜１５に光を照射して光の反射特性を取得する工程を複数の基板２０について行い、複数の基板２０間で反射特性を比較する。 （もっと読む）

【課題】非接触性で室内光環境下で使用が可能であり、実像と透視画像の一致性が高く、在宅医療にも使用できる簡便性に優れた静脈可視化装置の提供を目的とする。
【解決手段】近赤外線を静脈可視化部位に照射する照射手段と、当該静脈可視化部位から透視反射した光線のうち、波長８００〜１０００ｎｍの近赤外線に絞り込むためのフィルタリング手段と、当該フィルタリングされた近赤外線を用いて前記静脈可視化部位を撮影する撮像手段と、当該撮像手段にて得られたデータをモニターに透視画像として表示するための画像処理手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】吸収線の中心波長が１．２μｍより短い検知対象ガスを高い精度で検知するためのレーザ光源およびそれを用いたガス検知装置を提供する。
【解決手段】所定の波長幅（変調周波数）で波長変調されたレーザ光（変調光ａ）を出力する変調光出力部１１と、変調光ａを伝搬させる光ファイバ１２と、光ファイバ１２を伝搬するレーザ光をラマン増幅させるための励起光ｂを光ファイバ１２へ出力する励起光出力部１３と、光ファイバ１２を伝搬してラマン増幅されたラマン増幅後の変調光ａ'の波長を非線形光学効果により短い波長に変換する波長変換素子１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】試料の表面特性を測定する非破壊技術に関し、偏光計スペクトルを用いて、表面の複屈折や膜厚などを測定するシステムを提供する。
【解決手段】広帯域放射の偏光サンプルビーム４６がサンプル３の表面に焦点合わせされ、サンプルにより偏光された放射が異なる入射平面においてミラー系手段により、収拾される。変調された放射は偏光面について旋光性スペクトルを提供するために分析され、厚さと屈折の情報が導きだされる。サンプルビームの偏光は焦点合わせおよびサンプルにより変更され、変調された放射の収拾が、サンプルに複屈折軸が存在するかしないかを検出するために、ふたつの異なった開口２８を使用して繰り返し行われる。他の好ましい実施の形態においては、前述した事実が薄いフィルムの厚さおよび屈折率を決定するためにエリプソ計測を併用して行われる。 （もっと読む）

【課題】センサー感度の向上を図り、ＳＥＲＳスペクトルから標的物質を特定することが可能なセンサーチップ、センサーカートリッジ及び分析装置を提供する。
【解決手段】回折格子９は、基材１０の平面部１０ｓの上に形成され、断面形状が矩形の凸形状であり、基材１０の平面内に平行な第１の方向に光の波長よりも短い周期Ｐ１で配列される金属を含む第１の突起１１の群と、第１の突起１１の群において隣り合う２つの第１の突起１１の間に位置する基材１０の下地部分１０ａの群と、第１の突起１１の群において各々の第１の突起１１の上面１１ａに形成される金属を含む複数の第２の突起１２の群と、下地部分１０ａの群において各々の下地部分１０ａに形成される金属を含む複数の第３の突起１３の群と、を有する。 （もっと読む）

【課題】空気によって少なくとも部分的に吸収される光を使用するよう設計され、かつ、より能率的なパージングシステムを有する、光学ツールのための方法を開発する。
【解決手段】試験体の測定のための方法において、該試験体の反射率測定データおよび分光偏光解析データを測定する工程と、該反射率測定データから、該試験体上に形成された窒化酸化物ゲート誘電体の厚さを判定する工程と、該厚さおよび該分光偏光解析データから、窒化酸化物ゲート誘電体の屈折率を判定する工程と、該屈折率から、該窒化酸化物ゲート誘電体の窒素濃度を判定する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】レンズ等の非平面形状の測定試料の複屈折特性を測定可能な複屈折測定装置を提供する。
【解決手段】光源２から発せられた光ビームを偏光子３を経由させて非平面形状の測定試料７の所望の位置に入射させる。測定試料７からの光ビームＢの出射角度に応じて、検光子１６および検知器１７の位置および角度を変化可能とすることにより、測定試料７によって光ビームが大きく屈折しても、測定試料７を透過した光ビームＢを検光子１６を介して検知器１７に適正に入射させることができるので、非平面形状の測定試料７の複屈折特性を測定することができる。 （もっと読む）

分析物とリガンドとの相互作用についての１以上の相互作用パラメータを、バイオセンサーを用いて求める方法であって、Ａ：リガンドを固定させたセンサー表面を準備する段階と、Ｂ：センサー表面を対照分析物と接触させる段階と、Ｃ：リガンドの結合部位への対照分析物の結合からのセンサー応答を記録する段階と、Ｄ：対照分析物とリガンドとの相互作用について対照飽和応答（Ｒ_ｍａｘＣ）を求める段階と、Ｅ：分析物及び対照分析物の相対モル感度の寄与を用いて、対照飽和応答（Ｒ_ｍａｘＣ）を分析物飽和応答（Ｒ_ｍａｘＡ）に変換する段階と、Ｆ：センサー表面を、異なる濃度の分析物を含む１種以上の試料と接触させる段階と、Ｇ：結合部位への分析物の結合からのセンサー応答を記録する段階と、Ｈ：分析物飽和応答（Ｒ_ｍａｘＡ）を用いて、記録されたセンサー応答を所定の相互作用モデルにフィッティングし、相互作用パラメータを求める段階とを含む方法。 （もっと読む）

高屈折率プリズム、センサチップ、広い波長範囲の複数の波長を有する光源、光学的レンズ、光検出器、データ取得ユニット、及び本明細書に記載されたものを含む表面プラズモン共鳴センサシステムである。当該センサチップは、例えば、透明な基板の１の表面上にシリコン及び金の薄い層、並びに当該透明な基板の反対の表面に隣接した当該プリズムを含むことができる。この構成は、サンプルの屈折率変化を検知するための最大約１．５マイクロメートルの可変侵入深度を提供し、これは従来のＳＰＲセンサの数倍の大きさである。本開示は細胞アッセイ又は化学的アッセイに関する用途に当該表面プラズモン共鳴センサシステムを使用する方法を提供する。
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撮像機器は、特に、感光性のピクセルアレイを有し、アレイに関連する表面は、試料の少なくとも一部がピクセルの平均幅の約半分未満に等しい距離だけ表面から離れた状態で試料を受けるように構成される。

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【課題】装置のコストを抑制しつつ、十分な信号強度で測定を行うことができる技術を提供する。
【解決手段】本発明では、複数の波長領域において波長成分を有する光を照射する光源と、前記光源から被検体への光路に配置され、前記複数の波長領域のうち、それぞれ特定の波長領域の光を遮断または透過する複数の光学フィルタと、被検体に光が照射された時に発生する音響波を検出する検出器と、光学フィルタの組合せを変えることで、被検体に照射する光に含まれる波長成分の組み合わせが互いに異なる複数の光照射条件を生成する制御部と、前記複数の光照射条件のそれぞれで検出した音響波の圧力と、前記複数の光照射条件のそれぞれの波長領域ごとの照射光の強度とに基づいて、それぞれの波長領域の光に対する被検体の光吸収係数を算出する信号処理部と、を備える音響波測定装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】複屈折ファイバの外観を測定する。
【解決手段】偏光された光で複屈折ファイバを照射し、偏光された光のＩＲ_ｉ内部反射光成分、ＥＲ_ｉ外部反射光成分、及び、Ｄ_ｉ拡散光成分を生み出し、前記照らされた複屈折ファイバからの光を観測するステップと、前記観測された光のＯ_ｉ個の偏光状態を生成するステップと、前記観測された偏光のＸ_ｉ個の画像を形成するステップと、ここで、各画像は情報（Ｎ_ｉ、Ｏ_ｉ、ＩＲ_ｉ、ＥＲ_ｉ、Ｄ_ｉ）を備えており、ｉ＝１、２・・・ｎ、且つ、ｎ≧４であり、前記Ｘ_ｉ個の画像の各画素における明暗度（intensity）Ｉ_ｉを測定するステップと、Ｘ_ｉ個の画像のｉ番目の画像から、ｉ番目の内部反射光成分、ｉ番目の外部反射光成分、及び、ｉ番目の拡散光成分を抽出するステップとを備えている。 （もっと読む）

【課題】細胞のような透明で微細な被写体を高い分解能で簡易に観察する。
【解決手段】試料Ａを載置する載置面６ａを有する光学結晶６と、該光学結晶６に向けて第１の電磁波Ｌ_２を載置面６ａとは反対側から照射する第１の照射系４および第２の電磁波Ｌ_１を照射する第２の照射系５と、該第２の照射系５から照射され試料Ａの載置面６ａにおいて反射した第２の電磁波Ｌ_１を検出する検出系７とを備え、第１の電磁波Ｌ_２は、パルス状のテラヘルツ波であり、第２の電磁波Ｌ_１は、テラヘルツ波Ｌ_２よりも波長が短いパルス状の電磁波であり、第１の電磁波Ｌ_２の照射領域と第２の電磁波Ｌ_１の照射領域の少なくとも一部が光学結晶６内の載置面６ａ近傍で重なるように、第１の照射系４と第２の照射系５が配置され、検出系７は、その合焦位置が光学結晶６の載置面６ａ近傍と一致するように配置されている観察装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】安全性の高い光学式の水素検出技術であって、光源光量の変動や迷光の影響を受けない水素検出技術を提供する。
【解決手段】水素吸蔵金属の薄膜に、その膜面内において９０度回転対称でない形状を有する開口でなる周期的な開口のアレイを設けて表面プラズモン共鳴増強構造を構成した水素検出用表面プラズモン共鳴素子６５の膜面に光源手段（波長可変レーザ６１）からの光を照射し、透過光を光検出手段（光量計６２）で検出する。水素検出用表面プラズモン共鳴素子６５の水素吸蔵に伴う光透過周波数特性の変化に基づいて水素を検出する。 （もっと読む）

【課題】良好な断層画像を得ることができるＯＣＴ装置を提供する。
【解決手段】ＯＣＴ装置１は、光源１１、光アイソレータ１２、光カプラ１３、光カプラ２１、可変光減衰器２２、偏波コントローラ２３、ファイバストレッチャ２４、光路長調整部２５、ファラデー回転子ミラー２６、可変光減衰器２７、偏波コントローラ３１、光路長調整部３２、光スイッチ３３_０〜３３_６、光ファイバアレイ３４、配列治具３５、レンズ３６，３７、光検出器４１、フィルタ４２、対数増幅器４３、ＡＤコンバータ４４、制御部４５および記憶部４６を備える。制御部４５は、７個の光スイッチ３３_０〜３３_６それぞれにおける光路切替に応じて、記憶部４６により記憶された調整量に基づいて、光路長調整部２５または光路長調整部３２を制御することにより参照光学系または測定光学系の光路長を調整する。 （もっと読む）

【課題】強磁性体の異方性磁場等の磁気光学特性を精度よく、安価で簡便に測定する磁気光学特性測定装置及び磁気光学特性の測定方法を提供する。
【解決手段】磁気光学特性測定装置１は、レーザ光源２が試料Ｆの磁化の光励起歳差運動の周期に同期可能な高繰り返し周期の光パルス列を発生し試料に照射するモードロックレーザであり、外部磁場印加手段４が試料に所定の外部磁場を電磁石により印加させ、偏光検出器５は光パルス列が試料で反射した反射光を検出して、偏光成分を磁気光学信号として出力し、制御装置６が外部磁場印加手段を制御して試料の磁化の光励起歳差運動が光パルス列の周期に同期したときの外部磁場と磁気光学信号とを共鳴条件として取得し、共鳴条件での光パルス列の周期と外部磁場の強度と磁気光学信号とを用いてＬＬＧ方程式に基づき試料の磁気光学特性である有効内部磁場又は異方性磁場とダンピングファクタとを算出する。 （もっと読む）

【課題】色度図上で指定された色の光を照射すること。
【解決手段】照明装置１０では、光源制御装置２００で使用者によって色度図４ａ上で指定された色の情報に基づいて、出力光の分光分布を演算し、演算した分光分布に基づいて、光源装置１００から使用者によって指定された色の光を照射する。 （もっと読む）

【課題】検査時における照明光の光量を安定させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、照明部が、ランプハウス６１からの光のうち所定の波長領域の光を透過させるバンドパスフィルターが設けられた波長選択機構７０，７５を有し、当該バンドパスフィルターを透過して得られた所定の波長領域の光を照明光として被検基板１０の表面に照射するように構成されており、紫外光を遮断するＵＶカットフィルター６５がランプハウス６１と波長選択機構７０，７５との間の光路上に挿抜可能に設けられ、非検査時にＵＶカットフィルターが光路上に挿入され、また前記バンドパスフィルターの保持基板に「(1)熱線吸収膜(2)熱線反射膜及び熱線吸収膜の積層膜(3)熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜(4)熱線反射膜及び熱伝導性膜の積層膜(5)熱線反射膜、熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜の」うちのいずれかが設けられている。 （もっと読む）