【課題】乾麺におけるクラックの発生を事前に予測することができる乾麺のクラック発生予測装置を提供する。
【解決手段】光源部１のハロゲンランプ４から発せられた光が円偏光フィルタ５で円偏光に変換されると共にコンデンサレンズ６で集光されて試料Ｓに照射され、試料Ｓを透過した光が対物レンズ７で平行光に変換された後、楕円偏光解析器８を通してＣＣＤカメラ９に到達し、試料Ｓの複屈折性に起因して試料Ｓを透過する際に生じた位相差をコントラストに変換した位相差像がＣＣＤカメラ９で取得される。位相差像のデータに基づき、予測部３で、試料Ｓが有する複屈折位相差量が計測されると共に計測された複屈折位相差量から試料Ｓ内の残留応力の大きさが評価され、評価された残留応力の大きさに応じて、試料Ｓにおけるクラック発生の有無が予測される。 （もっと読む）

【課題】より大きなダイナミックレンジかつ実用的な精度で物体との相互作用によって生じる光の強度を測定することが可能な光強度計測装置を提供することである。
【解決手段】光強度計測装置は、照射系、計測系及び減光フィルタを備えている。照射系は、被検物体に照射光を照射する。計測系は、照射光と被検物体との相互作用によって生じた光の強度の計測を行う。減光フィルタは、照射光及び相互作用によって生じた光の少なくとも一方を互いに異なる複数の減光率で減光する。計測系は、光の計測に先だってフォトンカウンタを用いて複数の減光率で減光された光を構成する光子をそれぞれ計数し、光子の計数結果に基づいて求められた減光率の校正値に基づいて、複数の減光率で減光されていない場合又は同一の減光率で減光された場合において相互作用によって生じる光の強度を求めるように構成される。 （もっと読む）

【課題】試料上の微小領域を加熱し、この加熱に伴う同領域の温度計測並びに磁気計測を実施することが可能な磁気光学効果計測装置を提供するにある。
【解決手段】磁気光学効果計測装置においては、磁気計測モードにおいて、直線偏光又は円偏光の特性を与えられている第１の光ビームが発生され、また、温度計測モードにおいて、赤外波長を有する第２の光ビームが発生される。磁性体試料上の微小領域に第２の光ビームが直入射型反射光学素子によって集光されてこの領域が加熱され、この微小領域の加熱に伴いこの微小領域から輻射される赤外線が直入射型反射光学素子によって伝播されて温度が計測される。また、磁性体試料に磁界が印加された状態で、第１の光ビームが直入射型反射光学素子によって集光照射され、微小領域で磁気光学効果の作用を受けて伝播される。 （もっと読む）

【課題】光源からの光の強度のばらつきおよび上記光源から光検出器までの光路における偏光特性の変動が存在する場合でも精度の高い測定を行うことができるようにすること。
【解決手段】流路となる溝部が形成されている第１のマイクロチップ基板１１と、金属薄膜１３が成膜されている第２のマイクロチップ基板１２とを接合したマイクロチップ１０において、試料を設置する検出部となる金属薄膜１３とは別に、第１または第２のマイクロチップ基板上であって上記流路外に参照部Ｎとなる金属薄膜１５を設ける。金属薄膜１５へは表面は一様な媒質で覆い表面の状態を一定に保つ。光源２２からの光を金属薄膜１３，１５に同時に照射し、反射光を光検出器であるＣＣＤ受光器２３で受光し、反射光の測定結果により、検出部となる金属薄膜１３の測定結果から光源２２の強度ばらつきおよび光源２２からＣＣＤ受光器２３までの光路における偏光特性の変動の影響を取り除く。 （もっと読む）

【課題】定量的で且つ自動化が可能で、更に精度高く幹細胞コロニーの状態を判別する細胞解析方法、細胞解析装置、および細胞解析プログラムを提供する。
【解決手段】多数の細胞から構成される細胞コロニーの光路長画像を用いて、細胞コロニーの解析を行う細胞解析装置Ｄにおける細胞解析方法であって、細胞解析装置Ｄの取得部Ｄ１が、細胞コロニーの光路長画像を取得するステップと、細胞解析装置Ｄの抽出部Ｄ２が、当該取得した光路長画像中において、細胞の細胞核に対応する円形形状を抽出するステップと、細胞解析装置Ｄの比較部Ｄ３が、当該抽出した円形形状に対し、その内側の光路長および外側の光路長を比較するステップと、細胞解析装置Ｄの解析部Ｄ４が、当該比較結果に基づき、細胞コロニーの解析を行うステップと、を備える （もっと読む）

【課題】対向する光学膜の貼り付きを防止する。
【解決手段】第１基板２０と、第１基板２０に対向する第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１光学膜４０と、第２基板３０に設けられ、第１光学膜４０と対向する第２光学膜５０と、を含み、第１光学膜４０は、所望波長帯域の光に対する反射特性および透過特性を有し、第１光学膜４０の最表面の誘電体膜４３は第１光学膜４０の周端部４３ａにおいて、第１光学膜４０に光が入射する光入射部４３ｂよりも厚みが厚く形成されている。 （もっと読む）

【課題】任意の形状を有する散乱体からの散乱波を高速かつ高精度に導出可能な散乱波の導出方法を提供する。
【解決手段】散乱波の導出方法は、所定の電磁波を散乱体に入射させて、所定の位置における散乱体からの第１の散乱波を算出する工程と、散乱体と同じ形状および大きさを有する領域の内部に複数の球形微粒子を含む球形微粒子群を配置した状態で、所定の電磁波を球形微粒子群に入射させた場合の、前記所定の位置における球形微粒子群からの第２の散乱波をＴ−ｍａｔｒｉｘ法を用いて算出する工程と、第１の散乱波と第２の散乱波とが等しくなるような複数の球形微粒子の条件を決定する工程と、決定した球形微粒子の条件に基づいて、任意の電磁波を前記散乱体に入射させた際の、任意の位置における散乱体からの散乱波を得る工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 検査の信頼性を高めてリアルタイム計測が可能な検出装置等を提供すること。
【解決手段】 検査装置は、光学デバイス２０と、流体試料を光学デバイスに吸引する吸引部４０と、光学デバイスに光を照射する光源５０と、光デバイスから出射される光を検出する光検出部６０と、吸引部を駆動制御する制御部７１と、を有する。光学デバイスは、吸着される流体試料を反映する光を出射する。制御部７１は、光検出部にて検出する期間を含む第１モードでは、光学デバイス上での流体試料の吸引流速をＶ１とし、第２モードでは、光学デバイス上での流体試料の吸引流速をＶ２（Ｖ２＞Ｖ１）とし、光検出部からの信号に基づいて第１，第２モードを切換える。 （もっと読む）

【課題】記録紙の種類を詳細に判別することのできる小型の光学センサを低コストで提供する。
【解決手段】第１の偏光方向の直線偏光の光を、記録媒体に照射する光照射系と、前記光照射系より照射された光のうち、前記記録媒体において正反射された光を検出する正反射光検出系と、前記光照射系より照射された光のうち、前記記録媒体において拡散反射された光を検出する前記第１の偏光方向に直交する第２の偏光方向の光を透過する光学素子を備えた拡散反射光検出系と、を有する測定系を複数有していることを特徴とする光学センサを提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】測定の感度向上と確からしさの向上をもたらすＣＤ測定装置及び方法を提供すること。
【解決手段】円二色性測定装置は、直線偏光の互いに直交する２つの偏光成分間の位相差（δ）を変調して、長軸方向の一致する扁平率の大きい左右の楕円偏光を交互に形成する楕円偏光変調手段と、被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光から短軸方向の偏光成分を取り出して、該偏光成分の強度変化を測定する偏光強度測定手段と、前記強度変化の直流成分（ＤＣ）、および、前記位相差の変調に同期する前記強度変化の交流成分（ＡＣ）をそれぞれ抽出して、該交流成分および該直流成分の比（ＡＣ／ＤＣ）に前記位相差の変調振幅（δ_０）を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得する演算手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】音響センサおよび音響センサの製造方法を提供する。
【解決手段】音響センサは、少なくとも１つのフォトニック結晶構造と、この少なくとも１つのフォトニック結晶構造に光学的に結合された端部を有する光ファイバとを含む。音響センサはさらに、上記少なくとも１つのフォトニック結晶構造および光ファイバに機械的に結合された構造部分を含む。上記少なくとも１つのフォトニック結晶構造、光ファイバおよび構造部分は、音響センサの周波数応答が音響周波数の範囲内で全体的に平坦となるように、ある体積を有する領域と実質的に境をなす。 （もっと読む）

【課題】ウエハの特性を決定するための方法とシステムを提供する。
【解決手段】検査システム１６を用い、ウエハからの光に対応する出力を生成することを含む。出力は、ウエハ上の欠陥に対応する第一出力と、欠陥に対応しない第二出力とを含む。また本方法は、第二出力を用い、ウエハの特性を決定することを含む。一つのシステム１６は、ウエハに光を当て、ウエハからの光に対応する出力を生成するように設定された検査サブシステムを備える。出力は、欠陥に対応する第一出力と、欠陥に対応しない第二出力を含む。また本システムは、第二出力を用い、ウエハの特性を決定するように設定されたプロセッサを備える。 （もっと読む）

【課題】皮膚等の状態を簡易に低コストで検査することのできる検査装置を提供する。
【解決手段】第１の偏光方向の直線偏光の光を検査対象に照射する光源と、前記光源より照射された光のうち、前記検査対象において正反射された光を検出する正反射光検出器と、前記光源より照射された光のうち、前記検査対象において拡散反射された光であって、前記第１の偏光方向に直交する第２の偏光方向の光を透過する光学素子と、前記光学素子を通過した光を検出する拡散反射光検出器と、前記光源、前記正反射光検出器、前記光学素子、前記拡散反射光検出器を覆い、前記光源より前記検査対象に光が照射される部分に開口を有する暗箱と、前記暗箱の前記開口に設けられた前記検査対象と接する透明板と、を有することを特徴とする検査装置を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】テクスチャ構造を有する対象物上に形成された薄膜の形状を容易かつ高精度に取得する。
【解決手段】膜形状取得装置１では、上面に複数のテクスチャ凸部を有する基板９上に形成されたシリコン膜の光学モデルにおいて、複数のテクスチャ凸部に一致する薄膜凹部およびその上方に位置する薄膜凸部が設定される。そして、薄膜凸部、薄膜凹部、および、薄膜凸部と薄膜凹部との間の中間部の形状を表すパラメータ群に含まれる各パラメータを有効膜厚にて表現し、有効膜厚を変更することにより各パラメータの値を変更して理論スペクトルの測定スペクトルに対するフィッティングが行われる。これにより、シリコン膜の形状を容易かつ高精度に取得することができる。 （もっと読む）

【課題】微結晶シリコン膜における結晶化の程度を示す結晶化指数を容易かつ精度良く取得する。
【解決手段】結晶化指数取得装置１では、微結晶シリコン膜の理論誘電関数を複数の部分誘電関数モデルの合成として表現し、微結晶シリコン膜における結晶化の程度を示す結晶化指数κが、複数の部分誘電関数モデルのうち、結晶シリコン膜の誘電関数における虚部の高エネルギー側のピークに寄与する高エネルギーピークモデルの振幅に基づいて設定される。そして、複数の部分誘電関数モデルに含まれるパラメータ群の各パラメータを結晶化指数κにより表現し、結晶化指数κを変更することにより各パラメータの値を変更し、分光エリプソメータ３により取得された測定誘電関数に対する理論誘電関数のフィッティングが行われる。これにより、微結晶シリコン膜の結晶化指数κを容易かつ精度良く求めることができる。 （もっと読む）

【課題】少量のサンプルであっても、高い分解能と安定した計測精度が実現でき、安価でコンパクトな光学的成分測定装置を提供する。
【解決手段】光ファイバループ２を一の方向に伝搬する直線偏光を右円偏光に変換して測定対象のサンプル２２に入射する第１光変換部２３と、光ファイバループ２を他の方向に伝搬する直線偏光を左円偏光に変換してサンプル２２に入射する第２光変換部２４と、を有する円偏光入射部２１を備え、両光変換部２３，２４は、サンプル２２の一側に並列して配置され、円偏光を同一方向に出射するように構成され、円偏光入射部２１は、一の光変換部２３から出射された円偏光を反射し、サンプル２２に少なくとも１往復透過させた後、他の光変換部２４に入射させる反射手段２５をさらに備え、反射手段２５は、入射してきた円偏光を偶数回反射させて、サンプル２２に出射する偶数個の反射ミラー２５ａからなる。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】エタロン５(波長可変干渉フィルター)は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５６と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５６とギャップを介して対向する可動反射膜５７と、固定基板５１に設けられた固定電極５４１と、可動基板５２に設けられ、固定電極５４１と対向する可動電極５４２と、を備え、可動電極５４２の固定電極５４１側の面には可動絶縁膜５４４が積層され、可動電極５４２は圧縮応力を有し、可動絶縁膜５４４は引張応力を有して構成された。 （もっと読む）

【課題】新規な接触面積測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】接触面積測定装置は、試料７に接する光透過性基板６と、前記試料７とは反対側から、前記光透過性基板６に光を照射する照射手段と、前記試料７からの反射光と前記光透過性基板６からの反射光とから生じる干渉画像を取得する干渉画像取得手段１２と、前記干渉画像の輝度値情報を補正処理し、得られた補正輝度値情報から輝度値ヒストグラムを作成する輝度値ヒストグラム作成手段１４と、前記輝度値ヒストグラムから接触面積を算出する接触面積演算手段１５を有し、前記補正処理は、割り算演算を有する式により、補正画像輝度を算出する。ここで、補正画像輝度は、式（補正画像輝度＝（対象画像輝度／参照画像輝度）×定数）により算出することが好ましい。また、参照画像輝度は、荷重ゼロ時の元画像に対し、ガウスぼかしフイルター処理して求めることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】対象物を多くの種類のなかから特定することができる光学センサを提供する。
【解決手段】 光源１１、コリメートレンズ１２、２つの受光器（１３、１５）、偏光フィルタ１４、２つのミラー（２１、２２）、筐体１６、標準板１７、保持部材１８などを有している。受光器１３は、内部拡散反射光に含まれるＰ偏光成分を受光し、受光器１５は、表面正反射光を主として受光するように配置されている。また、紙種判別処理が行われるときには、筐体１６の開口部を開放し、紙種判別処理が行われていないときには、該開口部を封止している。 （もっと読む）

【課題】回折格子の形状特徴物などの小寸法の形状特徴物のプロフィールを見出すためのシステムを提供する。
【解決手段】シード・プロフィールのギャラリが作られ、半導体装置についての製造プロセス情報を用いて該プロフィールに関連する初期パラメータ値が選択される。回折構造および関連するフィルムを測定するとき、反射率Ｒ_s，Ｒ_pなどのいろいろな放射パラメータおよび楕円偏光パラメータを使用することができる。放射パラメータのうちのあるものは、該プロフィールまたは該フィルムのパラメータ値の変化に対してより敏感な１つ以上の放射パラメータを選択してより精密な測定に到達することができる。プロフィール・パラメータのエラーを補正するために上述した手法をトラック／ステッパおよびエッチャに供給してリソグラフィおよびエッチングのプロセスを制御することができる。 （もっと読む）