【課題】半導体ウエハ面内における金属配線の抵抗分布のばらつきを抑え、得られるデバイスの特性や精度を面内で均一化させることが可能なマスクを提供する。
【解決手段】本発明のマスクは、金属配線を有するデバイス１０を基板２の一面上に多数形成する際に、該基板の一面に対向配置されて用いられるマスクであって、個々の前記デバイスが配される前記基板上の位置に応じて、それぞれのデバイスが有する前記金属配線に対応する部位の形状を変えたこと、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】使用可能な処理技術と材料の数、ならびに処理技術の順序における変更可能性を高めることである。
【解決手段】本発明は、とりわけガスセンサ用の化学的感受性電界効果トランジスタである電界効果トランジスタの製造方法に関する。使用可能な処理技術と材料の数、ならびに処理技術の順序における変更可能性を高めるために、本方法の枠内で、ゲート絶縁保護層（３）が形成され、このゲート絶縁保護層は、ゲート絶縁層（２）をさらなるプロセス化の際に環境の影響から保護し、ゲート電極層形成前に部分的にまたは完全に除去される。さらに本発明は、この種の電界効果トランジスタおよびその使用法に関する。 （もっと読む）

【課題】 ガスセンサ装着部について所期の防爆構造を有し、ガスセンサを確実に装着することのできる防爆型ガス検知器を提供すること。
【解決手段】 この防爆型ガス検知器は、ガスセンサ配置用空間を形成するガスセンサ装着部を有する防爆性容器と、ガスセンサ装着部に設けられた、円柱状の胴部および胴部より大きい外径を有する頭部を有するソケットと、ソケットに着脱自在に装着されるガスセンサとを備えており、ソケットは、胴部が防爆性容器の内部空間とガスセンサ配置用空間とを区隔する隔壁に形成された貫通孔内に挿通されて、胴部の外周面と貫通孔の内周面との間に微小隙間が形成された状態で、配置され、前記隔壁の内面より内方側に突出するソケットの基端部分に、脱落防止部材が装着され、ソケットが防爆性容器に対して遊嵌状態で設けられている。 （もっと読む）

【課題】作製工程が簡便であるガスセンサを提供することを課題の一とする。また、作製コストが抑制されたガスセンサを提供することを課題の一とする。
【解決手段】ガスセンサの検知素子として機能する、酸化物半導体層がガスと接するトランジスタと、検出回路を構成する、酸化物半導体層がガスバリア性を有する膜に接するトランジスタとを、同一表面上に単一工程で作製し、これらのトランジスタを用いたガスセンサを作製すればよい。 （もっと読む）

【課題】電解質膜を一対の電極で狭持した電気化学セルの反応ガスのガス濃度を測定するガス濃度測定装置において、ガス濃度の測定精度の向上を図る。
【解決手段】ガス濃度測定装置の演算装置４５にて、電気化学セルの出力信号に発生させる交流信号の周波数を高周波から低周波へと変化させた際に、高周波側の交流インピーダンスＺの実数部および虚数部がなす円弧状の軌跡の頂部に達したときの周波数を基準周波数ｆｏに設定する。そして、設定した基準周波数ｆｏにおける交流インピーダンスＺｏから電気化学セル１０の内部の乾燥に起因する抵抗成分の変化量ΔＺを算出し、算出した抵抗成分の変化量ΔＺに基づいて、基準周波数ｆｏよりも低い低周波帯域における交流インピーダンスを補正する。 （もっと読む）

【課題】センサの反応性が向上した湿度検出センサパッケージ、及びその湿度検出センサパッケージを効率良く得ることができる湿度検出センサパッケージの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の湿度検出センサパッケージは、パッケージ基板１の一方の主面上に実装され、感湿領域を有する湿度検出センサ６と、前記パッケージ基板１の一方の主面上に実装された制御ＩＣ７と、前記湿度検出センサ６の外部接続部を少なくとも封止する封止樹脂２と、前記感湿領域が外界に露出するように、前記封止樹脂２の封止領域と前記感湿領域とを仕切る仕切り部材３と、を具備し、前記パッケージ基板１から前記仕切り部材３の上面までの厚さ方向における第１距離が前記パッケージ基板１から前記封止樹脂２の上面までの厚さ方向における第２距離よりも短いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】燃焼プロセス排ガス等の多成分ガス系に含まれる窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素、酸素等を直接検知可能な化学センサーアレイ及び方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程、応答を検出する工程、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる。化学／電気活性材料は半導体材料である。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンスまたは、ＤＣ抵抗値である。 （もっと読む）

【課題】所定の領域内におけるＣＯガス濃度及び該ＣＯガス濃度の検出箇所を把握して、高濃度のＣＯガスが検出される前に対策を講ずることができる携帯型ＣＯガス検出装置、ガス発生監視装置、及び、ガス発生監視システムを提供する。
【解決手段】携帯型ＣＯガス検出装置１０では、位置情報生成手段２２ｂが、前記領域内での自らの所在位置を示す位置情報を生成し、ガス検出手段２２ａによってガスセンサ３３の出力する信号に基づいてＣＯガス濃度が検出されると、情報送信手段２２ｃが、該ＣＯガス濃度を示すＣＯガス濃度情報及び位置情報を、ガス発生監視システム１が備えるガス発生監視装置６０に送信する。 （もっと読む）

【課題】吸着燃焼式のガスセンサを用いたガス分析装置において、センサ抵抗Ｒ_S とリファ抵抗Ｒ_R の温度を精度良く制御して、低濃度の検出やガス種同定の能力を向上させる。
【解決手段】ブリッジ電圧Ｖ_B に対してリファ抵抗Ｒ_R に直列に接続された固定抵抗（温度測定用抵抗）Ｒ₂ の端子間電圧Ｖ₂ を計装アンプａｐ２で検出する。分圧回路３によりブリッジ電圧Ｖ_B の分圧電圧（分圧抵抗Ｒ₄ の端子間電圧）と固定抵抗Ｒ₂ の端子間電圧Ｖ₂ の差Ｖ₁ を計装アンプａｐ１で検出する。電圧Ｖ₂ を電圧Ｖ₁ で割り算し、温度に対応するデータを得る。マイクロコントローラ２により、ガス計測時に実時間で温度に対応するデータを検出し、ブリッジ電圧Ｖ_B を制御する。センサ抵抗Ｒ_S に直列に接続された固定抵抗Ｒ₁ を温度測定用抵抗として同様な処理をしてもよい。 （もっと読む）

【課題】電気インピーダンス断層写真法（ＥＩＴ）方式の画像再構成を商用の相対的に大きいアレイに適用する。
【解決手段】様々な導電率又は誘電率を有する領域を含む構造（４６）の内部の画像を形成する方法である。一実施形態では、各々が回転電場を発生する一連の電気信号集合（Ｖ_i）が一連の電極に印加される。各電極（４４）から得られる測定電気信号集合を用いて、これらの電極（４４）が周囲に配置されている領域の構造の内部を表わす導電率又は誘電率の分布を算出する。分布を算出する工程は、費用関数、例えばこの分布に基づくエネルギ関数、及び測定電気信号集合を導電率又は誘電率に関する電圧値の変化の関数として表現する順モデルを定義することと、エネルギ関数と順モデルに基づく関数との間の差の偏導関数がゼロに等しいことを要求することとを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】ガスセンサの検出精度が高められたときを精確に被験者に通知するガス分析装置を提供する。
【解決手段】本発明のガス分析装置は、検体ガスに含まれるガス成分を検出するためのガスセンサと、該ガスセンサの抵抗比を算出するための演算処理部と、該演算処理部で算出した抵抗比が１−２×１０^-3以上１＋２×１０^-3以下になり、かつその抵抗比が１０秒以上継続すると、検体ガスを導入すべきことを被験者に通知する通知手段とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 リチウムイオン電池および乾電池の両方を利用することができて使用上の利便性が高く、また、リチウムイオン電池が事故等により短絡した場合であっても、電源部について信頼性の高い防爆構造の得られる可搬型ガス警報器を提供すること。
【解決手段】 この可搬型ガス警報器は、複数のガスセンサおよび環境雰囲気の空気を吸引してガスセンサの各々に供給するガス吸引手段を備えたメインユニットに対して、リチウムイオン電池電源ユニットおよび乾電池電源ユニットのいずれか一方の選択されたものがメインユニットに対して他方と交換可能に装着される構成とされている。リチウムイオン電池電源ユニットは、リチウムイオン電池および保護回路基板が電池収容ケース内に充填された熱硬化性樹脂に埋設されてなるバッテリーパックを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】複数の発熱抵抗体を有する可燃性ガス検出装置において、発熱抵抗体の異常の検知精度を向上させる。
【解決手段】通常動作期間（０〜Ｔ１，Ｔ３〜Ｔ１’）は、第１発熱抵抗体３４１を使用して、被検出雰囲気の可燃性ガスのガス濃度Ｘ１を検出し、判定動作期間（Ｔ１〜Ｔ３，Ｔ１’〜Ｔ３’）だけ、第２発熱抵抗体３４２も使用してガス濃度Ｘ２を検出し、両検出結果Ｘ１，Ｘ２を比較することで、第１発熱抵抗体３４１の異常の有無を判定する。しかも、通常動作期間では、第１発熱抵抗体３４１のみ通電し、判定動作期間では、第１発熱抵抗体３４１および第２発熱抵抗体３４２を、一方への通電時には他方が非通電（通電停止）となるように、交互に通電制御を行う。 （もっと読む）

【課題】製造コストが低いと共に、センサの特性のばらつきを抑制しながら、センサの感度を向上させることが可能なセンサ等を提供する。
【解決手段】本発明に係るセンサ１は、半導体基板３と、半導体基板３上に設けられた半導体領域５と、半導体領域５の上面に設けられたソース電極７及びドレイン電極９と、半導体基板３の裏面３ｂ上に設けられたバックゲート電極１１とを備え、半導体基板３と半導体領域５とはｐｎ接合Ｊを構成し、半導体領域５の上面５ｕの少なくとも一部５ｅには、複数の孔部１５が形成されており、複数の孔部１５は、それぞれ、半導体領域５の上面５ｕから半導体基板３に向かって延びると共に、半導体基板３には至っておらず、半導体領域５の上面５ｕの少なくとも一部５ｅ及び複数の孔部１５の側面１５ｓは、オープンゲート５ｇを構成していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高湿度環境で湿度（水分子）の影響を受けずに使用可能な応答性が良好な熱伝導式水素ガスセンサを実現する。
【解決手段】参照ガスが流れる第１室と試料ガスが流れる第２室を有する恒温ベースと、前記第１室に配置され前記参照ガスに関連する抵抗値を検出する参照側抵抗体と、前記第２室に配置され前記試料ガスの濃度に関連する抵抗値を検出する試料側抵抗体からなり、前記恒温ベースは前記参照側抵抗体と前記試料側抵抗体の温度を所定の温度に維持するような温度に制御され、前記参照側抵抗体と前記試料側抵抗体の抵抗値の差に基づいて試料ガスの濃度を検出する。 （もっと読む）

【課題】電池の終止電圧を低く設定すること。
【解決手段】電池３からの電力によりジュール熱で加熱してガスを検出するセンサ１を使用し、前記電池から制御手段に電力を供給する携帯用ガス測定装置において、電源投入後、センサ１が所定温度に到達した時点で制御手段４に電力を供給する （もっと読む）

【課題】検出感度を向上させること。
【解決手段】基板１０と、前記基板１０上に設けられ多孔質構造を備え、前記多孔質構造内にセンシング対象物質を吸着する物質またはセンシング対象物質と反応する物質が化学修飾または含侵している酸化シリコン膜１６と、前記酸化シリコン膜１６の静電容量を測定する電極１４および１８と、を具備するセンサ装置。 （もっと読む）

【課題】ガス感度が高く、長期にわたって安定な感度特性を維持する接触燃焼式ガスセンサを提供する。
【解決手段】基板１上に形成した凹部１０を跨ぐように形成された支持用絶縁膜２と、支持用絶縁膜２上に形成され通電から生じる熱によって燃焼する検知対象ガスの燃焼熱に応じて電気抵抗値が変化する検知抵抗体３Ａと、この検知抵抗体３Ａの近傍で検知抵抗体３Ａの長手方向に沿って保護膜４および支持用絶縁膜２を貫通する複数の開口部１１と、開口部１１を通して支持用絶縁膜２の両面側に一体的に設けられ、支持用絶縁膜２の凹部１０と反対側の面で検知抵抗体３Ａを覆い、支持用絶縁膜２の凹部１０側の開口部１１の開口領域よりも広く膨出した膨出部１２Ａが形成された触媒層１２を備える。 （もっと読む）

【課題】１つ以上の態様において、工業廃液、例えば、半導体及び液晶表示装置の製造プロセスで生成される廃液を処理するのに用いる熱反応器装置を提供する。
【解決手段】コントローラと、コントローラにより制御されるように用いられる反応チャンバ３２と、反応チャンバへの管と、反応チャンバ内の管の第１の端部に配置されたパイロット１６と、反応チャンバ外の管の第２の端部に配置され、コントローラに結合され、コントローラにパイロットが点灯したかどうかの指示を与えるように用いられるセンサと、管の開閉のために操作可能なアクチュエータとを含むシステムを有する。本発明の数多くのその他の態様が開示されている。 （もっと読む）

【課題】検出精度の高い燃料アルコール濃度検出装置を提供する。
【解決手段】筒状の外側電極２０は、取付部材１０から突出し、燃料室の燃料を流出入可能な開口２５を有する。筒状の内側電極３０は、外側電極２０の内部に収容され、外側電極２０と対向するように取付部材１０から突出する。サーミスタ４０は、内側電極３０の内部に収容され、燃料室内の燃料の温度を検出する。シール部材５０は、外側電極２０と内側電極３０との間に配置される。シール部材５０よりも先端側であって燃料に浸漬される濃度検出領域における電極間ギャップＬ１は、濃度検出領域よりも基端側である非濃度検出領域における電極間ギャップＬ２より小さい。これにより、非濃度検出領域の電極間で発生する浮遊容量が小さくなり、燃料中のアルコール濃度の検出精度が向上する。 （もっと読む）