【課題】接触燃焼式ガスセンサ素子において、ガス感度および耐衝撃性を損なうことなく、検知素子と補償素子をワンチップに収め、実装が容易に行えること。
【解決手段】絶縁基板にある孔の端部に曲面形状を有する切り込みを有することで、通電中に架橋部が膨張することによって生じる応力集中を緩和でき、また孔の開口部面積が拡大することから、最終的に形成されるガスセンサは、耐衝撃性と検知対象ガスに対する応答速度が向上する。 （もっと読む）

【課題】 ２種類のガスの検出を正確に行え、ヒータの消費電力が大きくなったり、感応センサが大型化するのを抑制できる感応センサを提供する。
【解決手段】 内層にヒータ１７を有するベース１と、ヒータ１７に対応する位置において、相互に対向するようにベース１の一方の面１ａ上に形成された第１の一対の薄膜対向電極１９Ａ，１９Ｂと、第１の一対の薄膜対向電極１９Ａ，１９Ｂにそれぞれ接続された第１の一対の薄膜配線パターン２３Ａ，２３Ｂと、第１の一対の対向電極１９Ａ，１９Ｂに跨るように形成された第１の感応膜２５と、ヒータ１７に対応する位置において、相互に対向するようにベース１の他方の面１ｂ上に形成された第２の一対の薄膜対向電極１１９Ａ，１１９Ｂと、第２の一対の薄膜対向電極１１９Ａ，１１９Ｂにそれぞれ接続された第２の一対の薄膜配線パターン１２３Ａ，１２３Ｂと、第２の一対の対向電極１１９Ａ，１１９Ｂに跨るように形成された第２の感応膜１２５とを有している。 （もっと読む）

【課題】被測定物の微小な欠陥を検出することが出来る検査装置を提供すること。
【解決手段】被測定物（半導体ウェハ１０上に設けたレジスト膜１２）の静電容量を測定する静電容量センサ１５と、前記被測定物の底面と前記静電容量センサとの間の距離を測定する測長センサ２０（測定光源２１，受光部２２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】センサの個数を増やしたり、配線を複雑化したりすることなく、大型の構造物の亀裂発生の連続監視を確実且つ安価に行い得る亀裂検出装置を提供する。
【解決手段】二枚の非導電性薄膜１６，１７の間に導電性薄膜１８を挟み込んで形成される薄膜状センサ１９の前記導電性薄膜１８を、薄膜状センサ１９の長手方向へ延びる波状のパターンとし、該波状のパターンとした導電性薄膜１８の両端に、電気抵抗値監視用の制御器２０から延びる通電配線２１，２２を接続し、前記薄膜状センサ１９を構造物２３の被検査箇所２３ａに貼り付け、前記導電性薄膜１８に通電して電気抵抗値を監視することにより、前記被検査箇所２３ａの亀裂発生に伴う前記導電性薄膜１８の破断による電気抵抗値の増加に基づいて前記被検査箇所２３ａの亀裂発生を検出する。 （もっと読む）

【課題】消費電力が少なく熱絶縁性・熱衝撃に優れた耐久性を有するガス検知素子を提供する。
【解決手段】ガス感応部１１および加熱手段を設けた被支持基板部１０が、複数の架橋部２０によって支持基板部３０に支持してあるガス検知素子Ｘであって、１つの架橋部２０では、被支持基板部１０に対する架橋部２０の延出方向と、支持基板部３０に対する架橋部２０の延出方向とを、異なる方向に設定してある。 （もっと読む）

【課題】送電線に転位が生じない方法により、送電線を実運用にできるだけ近い状態のもとで、送電線に断面積の変化が生じていても、熱影響が比較的小さい送電線を含めて、送電線の熱履歴の状況を正確に測定する方法を提供する。さらに、その測定結果に基づき、送電線の余寿命を正確に判断する余寿命測定方法を提供する。
【解決手段】残留抵抗比を用いて、送電線の熱履歴を測定することを特徴とする送電線の熱履歴測定方法。熱履歴が加えられていない試料に、一定温度で所定時間の熱履歴を加えて、加熱経過時間と残留抵抗比の変化を、予めマスターデータとして求めておき、測定対象の送電線から得られた試料の残留抵抗比と、前記マスターデータにおける残留抵抗比との一致点を求め、それに対応した加熱時間から、前記測定対象送電線の余寿命を判定することを特徴とする送電線の余寿命測定方法。 （もっと読む）

【課題】検出タイミングを変えることなく検知対象ガス以外の点検ガスを使用した作動点検を可能として信頼性を向上する。
【解決手段】警報器は、単一のガス検出素子４０に、メタンガスを検知するための第１検知条件と、ＣＯガスを検知するための第２検知条件とを所定の時間間隔で交互に設定し、ガス検出素子４０からの検出信号をそれぞれの所定の閾値と比較することによりガス漏れを判定して警報する。閾値設定部６６は、点検モードの設定時に、メタンガスのガス漏れを判定する閾値を、ＣＯを主成分とするガスライターから採取した点検ガスのガス漏れを判定する所定の点検閾値に変更する。作動点検部６８は、点検ガスが注入される点検モードの設定中に、メタン検知条件の設定によるガス検出素子４０からの検出信号が点検閾値を超えた際に、メタンガスのガス漏れを警報する。
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【課題】熱電式ガスセンサにおいて、センサの感度の高いものを提供すること。
【解決手段】この熱電式ガスセンサは、基板１２と、基板１２の上面に形成された熱電膜１３と、熱電膜１３の上面側の所定箇所に形成された被検出ガスとの接触に起因する触媒反応により発熱する触媒１６を含んで構成される。基板１２は、セラミックスからなる焼成体である。熱電膜１３は、厚さ方向にて単一の扁平な粒子から構成され、且つ電子伝導度の高い結晶面を含むように配向された部分を有する。熱電膜１３には平面視にて粒子間の一部に隙間が形成され、熱電膜１３と基板１２との境界には側面視にて一部に隙間が形成されている。これにより、基板１２及び熱電膜１３の熱伝導率を小さくでき、触媒反応に対して発生する熱電膜１３内の温度差を大きくできる。加えて、熱電膜１３の電子伝導度が高くなり、熱電膜１３における温度差に対する発生電圧を高くすることができる。 （もっと読む）

【課題】 小型化および高機能化が容易なガスセンサ装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも上面および下面に配線導体２が形成された絶縁枠体１の内側に半導体集積回路素子３が配置されて配線導体２と電気的に接続されているとともに、絶縁枠体１および半導体集積回路素子３の上面および下面のそれぞれに、ガスセンサ素子４が、半導体集積回路素子３の上面または下面に伝熱材５を介して接合され、かつ外周部分の少なくとも一部を絶縁枠体１の上面または下面に対向させて配線導体２と電気的に接続されているガスセンサ装置９である。半導体集積回路素子３と複数のガスセンサ素子４とが平面視でほぼ重なるように配置され、半導体集積回路素子３によりガスセンサ素子４の加熱が可能であるため、高機能化および平面面積の小型化が容易なガスセンサ装置９を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体の製造設備における個別のガス配管にも設置可能な超小型のガスセンサー、さらにはそのガスセンサーを用いる気体計測システムを提供する。
【解決手段】誘電性半導体を有し、気体の吸着状態に応じて導電率が変化する気体検知素子と、この気体検知素子に電気的に接続された一対の電極とを備えるガスセンサーであって、この一対の電極に印加された極性反転を含み周期的に変化する電圧に応じて変化する電気的応答から、気体検知素子への気体の吸着状態を検知可能とする。ガスセンサーがこの気体検知素子に静電容量部が直列に接続した構成を備えるとさらに好ましい。 （もっと読む）

【課題】 一酸化炭素濃度センサの自己診断を行うことにより、安全性を向上させることにある。
【解決手段】 ガス発生源１からのガス中に含まれる一酸化炭素を酸素により酸化し窒素酸化物を一酸化炭素により還元する酸化触媒４と、酸化触媒４の二次側のガス中の一酸化炭素濃度を検出する一酸化炭素濃度センサ３２とを備える有害物質低減システムであって、一酸化炭素濃度センサ３２と診断ガスとを接触させる診断ガス接触手段３３と、診断ガスとの接触時に前記一酸化炭素濃度センサ３２の出力が設定値以下の時前記一酸化炭素濃度センサ３２を異常と判定する判定手段８とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 誘電体試料に対する探針の接触力が常に一定になるようにし、測定後の演算処理を行うことなく誘電率の空間分布の測定や温度依存性の測定を正確に行う。
【解決手段】 試料ステージに載せた誘電体試料の表面に接触させる探針と、探針の周囲に設けられた固定電位の電極と、探針が誘電体試料の表面に接触して生じるキャパシタンスが並列になるように探針および電極に接続されるＬＣ発振回路と、ＬＣ発振回路の発振周波数を測定する周波数弁別器とを備え、ＬＣ発振回路の発振周波数から誘電体試料の探針直下の微小領域の誘電率を測定する誘電率測定装置において、探針と電極とＬＣ発振回路を取り付ける基板と、レールと、レールに沿って鉛直方向に可動するブロックとを備え、基板とブロックを結合し、探針と電極とＬＣ発振回路が一体で鉛直方向に可動する構成である。 （もっと読む）

【課題】細胞電気生理センサの測定精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】そしてこの目的を達成するため本発明は、筒部品８と、この筒部品８の空洞９内に挿入されたセンサチップ１０と、このセンサチップ１０と所定間隔を置いて筒部品８の空洞９内に配置され、筒部品８の内壁と接合または一体化された構造体１１とを備え、センサチップ１０は、筒部品８の軸方向に貫通する導通孔１５を有し、構造体１１は、筒部品８の軸方向に貫通し、センサチップ１０側の開口部を出口１６Ａとする貫通孔１６を有し、この貫通孔１６の出口１６Ａとセンサチップ１０の導通孔１５とは対向しているとともに、貫通孔１６の出口１６Ａ外周には、構造体１１と筒部品８内壁との間で形成される空間を有するものとした。これにより本発明は、導通孔１４近傍の気泡を低減でき、結果として細胞電気生理センサの測定精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】センサヘッドを構成する個々のＣＮＴ−ＦＥＴにばらつきが有っても、ばらつきのない測定値が得られるようにすること。
【解決手段】ＣＮＴ−ＦＥＴバイオセンサ装置１は、ソース−ドレイン間にカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を形成したカーボンナノチューブ電界効果トランジスタ（ＣＮＴ−ＦＥＴ）でなるセンサヘッド２と、濃度が未知の蛋白質又はＤＮＡを測定して得られた上記センサヘッド２の出力値から上記蛋白質又はＤＮＡの濃度値を演算する演算部３とを備え、上記演算部３は、濃度の変化に対して同一出力しか得られない濃度の上記蛋白質又はＤＮＡを予め測定して得られた上記センサヘッド２の出力値を記憶する記憶部３０を備え、上記記憶部３０に記憶された出力値を用いて、上記センサヘッド２の出力値を校正して、上記蛋白質又はＤＮＡの濃度値を演算する。 （もっと読む）

【課題】イオン伝導性電解質膜の検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】電解質膜の一方の面に検知膜を接合し、検知膜を水素化したのち、酸素ガスを電解質膜の他方の面側の空間に供給する。電解質膜に欠陥部があると酸素ガスが一方の面へと漏洩して、欠陥部近傍の検知膜が脱水素化して電気抵抗が変化する。該変化を検知して欠陥部の有無を検査する。さらに電解質膜の他方の面に空気極を接合し、検知膜と空気極との間に電気回路を接続し、検知膜を水素化し、空気極側の空間に供給した酸素ガスをイオン化し、加熱された電解質膜を透過させて検知膜を脱水素化する。検知膜は酸素イオンの多寡に応じて電気抵抗が変化するので、検知膜の複数の領域ごとに電気抵抗を測定すれば、酸素イオン伝導性の均一性を検査することができる。電解質膜等に電気回路を接続するか否かで、欠陥部の検査と酸素イオン伝導性の均一性の検査を選択できる。 （もっと読む）

【課題】半導体チップの故障を解析する際に、外部との端子接続を不要とし、サブミクロンの空間分解能で電流経路と欠陥の可視化を可能にすること。
【解決手段】ＬＳＩチップ１を光電流発生用レーザビーム２で固定照射する工程と、ＬＳＩチップ１の被観測領域を加熱用レーザビーム３で走査して照射する工程と、光電流発生用レーザビーム２及び加熱用レーザビーム３の照射によりＬＳＩチップ１で発生した電流変化をＳＱＵＩＤ磁束計４で検出する工程と、ＳＱＵＩＤ磁束計４で検出された電流変化に基づいてＬＳＩチップ１の故障を解析する工程と、を含む。光電流発生用レーザビーム２及び加熱用レーザビーム３の照射は、ＬＳＩチップ１の裏面側から行い、ＳＱＵＩＤ磁束計４による検出は、ＬＳＩチップ１の表面側で行う。ＬＳＩチップ１の故障の解析では、ＳＱＵＩＤ磁束計４から出力された信号を走査点に対応させる画像処理を行う。 （もっと読む）

【課題】水素ガスに対して、常温で高感度、高速に応答し、信頼性が高く、安価で繰り返し使用することができ、製造が容易な水素ガスセンサとその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の水素ガスセンサとその製造方法は、マイクロ電極２ａ，２ｂと、ＣＮＴを誘電泳動してマイクロ電極２ａ，２ｂに架橋したセンサ素子と、ＣＮＴ表面を修飾して水素ガスを解離、吸着するＰｄ粒子とを備え、マイクロ電極２ａ，２ｂ間のコンダクタンスまたは抵抗の変化を測定することで水素ガス濃度を検出する水素ガスセンサ１であって、表面を修飾するＰｄ粒子が、Ｐｄの塩若しくは錯体の溶液中に浸漬されたときのＣＮＴとＰｄの酸化還元反応で析出するＰｄ粒子と、前記溶液の中で酸化還元反応と重畳して起こるＰｄと電極材料の酸化還元反応に由来して析出したＰｄ粒子とを含むことを主要な特徴とする。 （もっと読む）

【課題】触媒被毒による感度の劣化を防ぐとともに、低コスト且つ小型化が可能な接触燃焼式ガスセンサを提供する。
【解決手段】接触燃焼式ガスセンサ１０は、通電から生じる熱によって燃焼する検知対象ガスの燃焼熱に応じて抵抗値が変化する検知抵抗体１１と、前記検知抵抗体１１との間で熱を伝導するように配設され且つ前記検知対象ガスに対して活性を有する触媒を含む触媒層１３と、前記触媒層１３の表面を覆うように配設され、且つ、前記検知対象ガスを浸透するとともに、前記検知対象ガスに対して非活性である犠牲層１４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】水の吸収による高分子膜の膨張を抑制することによって湿度感度が高く、且つ測定精度の良好な湿度センサを提供することにある。
【解決手段】第一の高分子膜３の両側に水分を透過する網状または多孔質の一対の電極４ａ、４ｂを配置し、電極４ａ、４ｂの夫々の外側に第一の高分子膜３と同一素材からなる第二の高分子膜６ａ、６ｂを配置し、第二の高分子膜６ａ、６ｂの夫々の外側に水分を透過する網状または多孔質の蓋体７ａ、７ｂを配置して枠体２に固定した。第一の高分子膜３および第二の高分子膜６ａ、６ｂの吸水時の膨張力Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３のバランスを最適化することによって吸水による第一の高分子膜の膨張を抑制し、湿度感度が高く、且つ測定精度の良好な湿度センサを実現した。 （もっと読む）

【課題】光誘起誘電泳動装置において、微粒子の移動状態の観察のための照明光の影響を受けることなく、誘起光の照射による不均一交流電場に対応した正確な誘電泳動を行う。
【解決手段】誘起光の照射を受けて導電率を変えることで不均一交流電場を形成する光導電膜として、５２０ｎｍ付近に吸収端があるＣｄＳを利用する一方、観察用の照明光はＣｄＳの吸収スペクトルと重ならない赤色を中心とする波長帯域の可視光を用いる。これにより、観察を連続的に行いながら、光導電膜の任意の位置に誘起光を照射して所望の位置や方向に液体中の微粒子を誘電泳動させることができる。 （もっと読む）