【課題】コストを上げることなく、撮像素子のダイナミックレンジ内で、計測光の偏光計測を行うことができ、偏光計測の精度を高めることができる感度調整方法を実現する。
【解決手段】本発明の感度調整方法は、バイアス光として、無偏光をカメラへ照射するバイアス光照射工程と、計測光を、特定の偏光成分に限定して、撮像素子へ入射させる偏光成分限定工程と、特定の偏光成分の強度の計測値と、撮像素子のダイナミックレンジにおける上限閾値または下限閾値とを比較し、この比較結果に基づいて、計測値がダイナミックレンジ内になるように、既知の偏光または上記バイアス光の光量を調整する光量調整工程（Ｓ００３〜Ｓ００６）とを含むので、撮像素子のダイナミックレンジ内で、計測光の偏光計測を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置及び基板検査方法において、基板のライン検査の精度を向上させる。
【解決手段】フラットパネルディスプレイ用の基板（１０）が載置されるステージ部（２）と、このステージ部（２）上の基板（１０）をライン状に検査する検査部と、この検査部により検査される基板（１０）のライン状検査領域Ｒの長手方向に亘って基板（１０）の高さ位置を計測する計測部３と、この計測部３により計測された高さ位置に基づいて基板（１０）の高さ位置を制御する制御部と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】プレートの高さをその上側（上面側）から容易に調整でき、複数のプレート全体の平面度を高める。
【解決手段】板状部材を載置するテーブルの高さを調整するテーブル高さ調整機構及びこれを用いた高さ調整テーブルである。前記板状部材が直接載置されるプレートをその下側から支持すると共に環状に配設された工具嵌合用の複数の嵌合穴を有する調整リングと、外周に形成されたねじ山に前記調整リングをねじ込んで回転させて当該調整リングの高さを変化させることで前記プレートをその高さを調整して支持するネジ台座と、前記プレートに設けられたネジ嵌合穴に嵌合され前記ネジ台座を介して前記ベース側にねじ込まれることで前記プレートを前記ベース側に固定する固定ネジと、前記プレートのうち前記ネジ嵌合穴の周囲であって前記調整リングの嵌合穴に臨ませた位置に形成された工具挿入用の調整穴とを備えた。 （もっと読む）

【課題】擬似欠陥の発生を抑えて、高精度な欠陥検出を行う。
【解決手段】本発明の欠陥検出装置１は、比較対象画素群に含まれる各比較対象画素の輝度値（Ｐ１〜Ｐ８）と、被検査画素の輝度値（Ｐ０）との差分を算出する第１差分演算回路２３ａと、比較対象画素群に含まれる各比較対象画素の輝度値（Ｐ１’〜Ｐ８’）と、被検査画素の輝度値（Ｐ０）との差分を算出する第２差分演算回路２３ｂと、上記算出された差分のうち、絶対値が最も小さい差分を欠陥検出用指標として選択する比較／選択回路２４と、該比較／選択回路２４が選択した欠陥検出用指標と、予め定めた閾値との大小関係から、上記検査対象物の上記被検査画素に対応する位置における欠陥の有無を判定する欠陥判定部１３とを備えているので、擬似欠陥の発生を抑えて高精度に欠陥検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】照明の点灯、消灯の切り替えの操作を省略できて、液晶表示装置の光量の変動を測定する際の手間を軽減し、且つ、照明の切り替えミスのないフリッカ測定装置を提供する。
【解決手段】本発明のフリッカ測定装置は、液晶表示装置３へ向けて光を照射する白色発光ダイオード５と、液晶表示装置３からの光を検出する光センサ４と、制御部１１とを有する。制御部１１は、光センサ４での検出結果に基づいて光量測定する光量測定手段と、光センサ４での検出結果に基づいて光量変動を測定するフリッカ測定手段とを有する。そして、制御部１１は、所定時間毎に白色発光ダイオード５を消灯して光量を測定し、該光量が設定光量よりも少ない場合には白色発光ダイオード５を点灯した状態で光量の変動を測定し、前記光量が設定光量以上の場合には、白色発光ダイオード５を消灯した状態で光量の変動を測定する。 （もっと読む）

【課題】基板に影響を及ぼす可能性が高い塗布ムラの有無を効率的に判定することができる塗布ムラ検査装置を提供する。
【解決手段】第１の端部から第２の端部へ向かって塗布材料が塗布された基板における塗布ムラを検査する塗布ムラ検査装置４０は、干渉現象を利用して得られた基板の画像を取得する取得手段４３１と、基板の画像から、基板の第１の端部から所定距離離れた所定領域に対応する検査画像を抽出する抽出手段４３２と、検査画像を塗布材料の塗布方向へと投影することによって投影データを取得する投影手段４３３と、投影データが所定の条件を満たすか否かを判定する判定手段４３６Ａ（４３６Ｂ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】液晶パネル３をプローブユニット１１に対して確実に位置合わせする。
【解決手段】検査対象板を検査するために、カメラで前記検査対象板の表面のアライメントマークを撮影し当該アライメントマークと基準マークとを整合させて前記検査対象板の位置合わせを行う検査装置である。前記カメラで撮影した、印字状態の異なる複数の検査対象板のアライメントマークを基準マークとして記憶する記憶手段と、前記カメラで撮影した前記検査対象板のアライメントマークに近似した基準マークを前記記憶手段に記憶した複数の基準マークの中から選択してその基準マークと前記検査対象板のアライメントマークとを整合させて位置合わせ制御を行う制御部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】中心誤差を容易に解消して、点灯検査作業の効率化を図る。
【解決手段】互いに近接離間する方向にスライド可能に支持された２つのカメラと、当該２つのカメラを支持してスライドする２つのスライダと、互いに逆方向のねじ山が形成された２つのボールネジと、前記各スライダにそれぞれ設けられて前記各ボールネジにねじ込まれ当該各ボールネジの正逆回転により互いに近接離間する方向にスライドする２つのナットと、前記２つのボールネジの間に設けられ各ボールネジを適宜連結し切り離す電磁クラッチと、一方のボールネジに連結されてその回転を抑える電磁ブレーキと、他方のボールネジに連結されてそれを回転させる駆動モータと、前記電磁クラッチと電磁ブレーキと駆動モータとにそれぞれ電気的に接続されてこれらを制御し２つのボールネジを個別に又は一体的に回転させる制御部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ディスプレーの多角度計測システム及び方法を提供する。
【解決手段】その多角度計測システムが一つのムラ（まだら）撮像ユニット、一つのムラ映像処理ユニットと一つのデータ・ベース・ユニットを含んでなり、即ち一つの多角度撮像機構を利用してディスプレー中におけるムラ現象に対しピックアップを行い、次に一つのムラ映像処理プログラムにより、ムラ映像分析及び識別分類の処理を行い、数量化ムラの計測技術を提供し、その後に品質インタラクティブ処理分析データ・ベースを作り上げる。 （もっと読む）

【課題】点灯検査において、欠陥が検出可能な検査条件を選出できるカラー表示デバイスの検査条件選出装置を提供する。
【解決手段】本発明のカラー表示デバイスの検査条件選出装置であるコンピュータ２は、表示デバイスの各色の分光透過特性と、表示用照明の分光放射特性と、人間の明所比視感度特性との積の波長積分値をＱ(Ｃ)とし、上記各色の分光透過特性と、検査用照明の分光放射特性と、撮像センサの分光感度特性と、光学フィルタの分光透過特性との積の波長積分値をＰ（Ｃ）とし、Ｃ種類の表示色から選ばれる、第１の表示色Ｃ１と第２の表示色Ｃ２との全ての組合わせに対し、Ｐ(Ｃ１) / (Ｑ(Ｃ１)×Ｐ(Ｃ２)) の値を算出することによって得られた複数の最小値に対応する光学フィルタの分光透過特性および検査用照明の分光放射特性を算出する。 （もっと読む）

【課題】液晶表示パネルの表面の押圧を一定にすることが可能な異物検出方法を提供すること。
【解決手段】一対の可撓性の基板間に液晶が介在された液晶表示パネルの該基板間に混入した異物の有無を検出する異物検出方法であって、液晶表示パネルの表面をエア圧により押圧するためのエアが噴出されるエア噴出口が長手方向に複数配置されたエア噴出バーを、液晶表示パネルの表面に対して平行に移動させることにより、基板間に混入した異物による表示欠陥を顕在化させる。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルにあるドット落ちを自動的且つ確実に見つけることができる液晶パネルの欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】押圧手段２を検査しようとする駆動中の液晶パネル１０の表面にある予定箇所に移動してから、該予定箇所の周辺にあるドット落ちを発現させ得る所定圧力で押圧し、前記所定圧力で押圧している箇所周辺の映像を撮って電子信号として出力することができるように構成されたイメージキャプチャー４を備えている。該電子信号の分析や処理で、ドット落ちの場所や度合い、数量を自動的に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】過度の検査を防止して、検査効率を向上させる。
【解決手段】検査対象物の欠陥の有無を検査すると共に複数の検査対象物を連続して検査する欠陥検査装置である。前記検査対象物を連続的に搬送する搬送手段と、当該搬送手段で搬送された前記検査対象物を連続的に検査する検査部と、当該検査部で連続的に検査された検査対象物の画像を処理して欠陥を検出する画像処理部と、当該画像処理部で連続して検査された複数枚の検査対象物に亘って、同一又は近似の位置に同様の欠陥が複数検出された場合に、当該欠陥を検査対象物起因の欠陥でないと判断して除外する制御部とを備えた。欠陥検査方法も同様に、複数枚の検査対象物に亘って、同一又は近似の位置に同様の欠陥が複数検出された場合に、当該欠陥を検査対象物起因の欠陥でないと判断して除外した。 （もっと読む）

【課題】液晶表示パネルの表面の押圧を一定にすることが可能な異物検出方法を提供すること。
【解決手段】一対の可撓性の基板間に液晶が介在された液晶表示パネルの該基板間に混入した異物の有無を検出する異物検出方法であって、複数の押圧突起が外周面に設けられた押圧ローラと、押圧ローラを回転させるローラ回転手段と、ローラ回転手段を液晶表示パネルの表面に対して平行に移動させるローラ移動手段とを備え、液晶表示パネルの表面をローラ回転手段により回転される押圧ローラの押圧突起によって押圧することにより、基板間に混入した異物による表示欠陥を顕在化させる。 （もっと読む）

【課題】画像検査において、低輝度の欠陥を検出するための感度を確保しつつ、ハレーション領域における高輝度の欠陥についても、正確な欠陥ランクの判定を可能にする。
【解決手段】画像処理装置１２は、階調表示が可能な被検査物を、当該被検査物における表示面の撮像画像に基づき検査する画像処理装置１２であって、上記撮像画像におけるハレーション領域の面積、当該ハレーション領域の周辺画素の輝度、当該周辺画素から内側の画素全てを含んだ領域の面積、当該ハレーション領域内の輝度の推定ピーク位置をそれぞれ算出する欠陥探索部２０と、上記算出された各値に基づく所定の輝度分布モデルを上記ハレーション領域に適用することによって、当該ハレーション領域内の各画素の実質輝度値を推定するハレーション領域輝度補正処理部２４を備えている。 （もっと読む）

【課題】表示パネルの検査において、表示パネルの表面に付着した異物と滅点とを区別して検出すること。
【解決手段】液晶表示パネル１００の表面を異なる２つの視角からカメラ１１を用いて撮像する。視角の切り替えは、反射鏡１ａ〜２ｂを備えた光学系１８の遮光板３ａ、３ｂを用いて行う。得られた画素画像から、輝度が低下した欠陥部位を検出し、この欠陥部位の周辺画素の色配列が異なる視角で撮像した画素画像間で一致するか否か比較する。欠陥部位が表面に付着した異物の場合には、視角によって背景に写り込む画素の色配列が変わるため、滅点と異物とを区別することができる （もっと読む）

【課題】光学系の全長を長くすることなく、干渉用フィルタを用いて検出感度を向上させることのできる測定用光学系を提供する。
【解決手段】本発明の測定用光学系は、測定対象に対面されて正のパワーを有しかつ測定対象の被測定領域の各点からの光束を集光して平行光束とする第１レンズ５と、第１レンズ５の略後側焦点位置に配設されて各点から第１レンズ５に入射する光束の入射角度を規制する開口絞り６と、開口絞り６の配設位置に前側焦点を有しかつ開口絞り６を通過して入射する光束に基づき被測定領域の像を後側焦点位置に形成する第２レンズ７と、第２レンズ７の後側焦点位置に入射端面を有しかつ入射端面８ａに入射した各光束を３つの光束群に分割する導光体８と、導光体８の出射面に対向して配設された干渉フィルタ１１を介して各光束群を受光する受光手段とを備え、導光体８の入射端面８ａ位置での入射角が開口絞り６位置での入射角よりも小さく設定されている。 （もっと読む）

【課題】被測定物の光学特性を正確に測定することのできる測定用光学系を提供する。
【解決手段】液晶パネル１１の測定領域から出射される光束を集光する対物レンズ３１と、この対物レンズ３１の後方に配置された正のパワーを有するレンズ３３と、対物レンズ３１とレンズ３３との間に配置された開口絞り３２と、３つの受光素子３８Ａ〜３８Ｃとを備え、レンズ３３を透過した光束を略平行光束にして３つの受光素子３８Ａ〜３８Ｃに受光させるレンズ３５と、前記略平行光束の光路中に配置された干渉フィルタ３６とを設けた。 （もっと読む）

【課題】検出精度を犠牲にすることなく、検査時間の短縮を図った欠陥検出装置、及び、欠陥検出方法を実現する。
【解決手段】
欠陥検出装置１００は、評価対象物２００を撮像して得られた複数の撮像画像を参照して高解像度化画像を生成する高解像度化処理部１２３と、高解像度化画像を参照して評価対象物２００における欠陥を検出する欠陥検出処理部１２４とに加え、記録部１２１に記録された欠陥形状情報に基づいて、高解像度化画像を生成するために高解像度化処理部１２３が参照する撮像画像の枚数を設定する光学系制御部１２２を備えている。 （もっと読む）

【課題】より少ない消費電力で効率良く高温度検査を行なうことができ、加えて、検査コストの削減もできるようなパネル用加熱検査装置を提供する。
【解決手段】パネル用加熱検査装置１０１は、検査対象物としてのパネル１を設置するための対象物保持部１３と、この対象物保持部１３に設置されたパネル１に検査のための光を供給するための光源としてのバックライト装置２と、上記光源から発せられる熱を上記パネルに接する領域にまで導く熱伝達部とを備える。 （もっと読む）