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Fターム[2H096KA06]の内容

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【課題】露光波長に対して強い吸収を持ち、上層のレジスト膜とのインターミキシングを起こさず、さらに上層のレジスト膜がアルカリ現像される際に同時にアルカリ現像されるレジスト下層膜を形成するための組成物の提供。
【解決手段】下記式(1)


(式中、Rは水素原子又はメチル基を表し、Xは直接結合又はフェニレン基を表し、Aはナフチル基又はアントラセニル基を表す。)で表される構造単位を有するポリマー、少なくとも2つのビニルエーテル基を有する化合物、光酸発生剤及び溶剤を含むレジスト下層膜形成組成物を用いる。 (もっと読む)


【課題】反射防止膜として最適なレジスト下層膜と無機ハードマスクを組み合わせたパターン形成方法の提供。
【解決手段】一般式(1)で表されるナフタレン誘導体又はそれを含有する高分子化合物をレジスト下層膜材料として用いた下層膜形成方法により、反射防止膜としての最適な特性、エッチング耐性、高耐熱性、耐溶媒性を有し、ベーク中のアウトガスの発生を抑制でき、基板のエッチング中によれのないレジスト下層膜を形成できる。


(環構造Ar1、Ar2はベンゼン環又はナフタレン環。Xは単結合又はC1〜20のアルキレン基。mは0又は1。nは分子量が10万以下となる自然数。) (もっと読む)


【課題】 パターニングした1層のレジストを表面張力によって丸める、通常のリフロー法ではマイクロレンズの直径が大きくなると、レジスト材料が中央部に集まりづらくなるため、直径が大きなマイクロレンズの製作が難しいという問題があった。
【解決手段】 本発明は、パターニングしたレジストを加熱しつつ波長300nm前後の紫外線を照射して硬化させる工程であるUVキュア処理と、該硬化したレジスト上にレジスト塗布する工程、を繰り返し行い、レジスト層を多段に積み重ねていくことでレンズ形状に近い階段状レジスト構造を製作し、該階段状レジスト上に、さらにもう1層のレジストを塗布およびパターニングし、パターニング工程を終えたレジスト層をリフローすることにより、直径が比較的大きいマイクロレンズであっても、リフロー法により製作することを可能にしたものである。 (もっと読む)


【課題】従来よりも更にサイズが微細化した構造であって、広範囲に亘って規則性に優れ、欠陥の少ない構造を有する高分子薄膜、パターン媒体、及びこれらの製造方法、並びにこれらの製造方法に使用する表面改質材料を提供する。
【解決手段】基板201上で高分子ブロック共重合体をミクロ相分離させて、連続相204中で複数のミクロドメイン203を規則的に配列させる高分子薄膜の製造方法において、前記連続相に対応するように前記基板にシルセスキオキサングラフト膜を形成すると共に、前記ミクロドメイン203の配列に対応するように前記シルセスキオキサングラフト膜とは化学的性質の相違するパターン部を形成する工程を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】現像液中に分散する感光性樹脂成分を効率的に除去可能な現像装置を提供する。
【解決手段】印刷原版1に現像液5を供給する供給装置31と、印刷原版1の感光性樹脂組成物層から遊離した感光性樹脂組成物が分散している現像液5が通され、現像液5中に分散している感光性樹脂組成物を凝集させる分散物フィルタ13と、分散物フィルタ13を通過した現像液5から、凝集された感光性樹脂組成物を除去する凝集物フィルタ15と、凝集物フィルタ15を通過した現像液5を静置する静置槽71と、を備える、現像装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】現像槽におけるカスの発生が抑制され、経時安定性に優れた平版印刷版の製版方法、及び、前記製版方法により製版された平版印刷版を提供すること。
【解決手段】支持体上に、(成分A)(メタ)アクリロニトリルに由来する構成単位と、スチレンに由来する構成単位とを含むコポリマー、(成分B)水不溶性かつアルカリ可溶性の樹脂、及び、(成分C)赤外線吸収剤、を含有し、露光又は加熱によりアルカリ水溶液に対する溶解性が向上するポジ型記録層を設けた赤外線レーザー用ポジ型平版印刷版原版を画像露光する露光工程、並びに、ノニオン系界面活性剤を含有し、かつpHが8.5〜10.8のアルカリ水溶液を用いて現像する現像工程、をこの順で含むことを特徴とする平版印刷版の製版方法。 (もっと読む)


【課題】水現像性、乾燥性、画像再現性に優れる感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(A)水分散ラテックス、(B)ゴム、(C)界面活性剤、(D)光重合性モノマー、(E)光重合開始剤、を含有し、前記(A)成分と前記(B)成分と前記(C)成分との合計質量に対する前記(C)成分の質量の比率が0.1〜20%の範囲内であり、前記(A)成分と前記(B)成分との合計質量に対する前記(A)成分の質量の比率が20〜90%の範囲内であり、前記(B)成分が主成分となる分散相のサイズが10μm以下である感光性樹脂組成物とする。 (もっと読む)


【課題】第一に、現像ラチチュード、溶解識別性に優れ、高い耐刷性を有し、第二に、露光後の経時による現像性の低下が少なく、焼きだめ性が良好な赤外線レーザー用ポジ型平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】支持体上に、アルカリ可溶性基を有するグラフト共重合体を含む下層と、露光によりアルカリ水溶液に対する溶解性が増大する上層と、を順次積層してなり、下層及び/又は上層に赤外線吸収剤を含み、下層の前記グラフト共重合体がエチレン性不飽和単量体に由来する構成単位をグラフト鎖として有するポリウレタンであることを特徴とする赤外線レーザー用ポジ型平版印刷版原版。 (もっと読む)


【課題】現像ラチチュード、溶解識別性及び耐刷性に優れ、露光後の経時による現像性の低下が少ない赤外線レーザー用ポジ型平版印刷版原版、並びに、前記赤外線レーザー用ポジ型平版印刷版原版を使用した平版印刷版の製版方法を提供すること。
【解決手段】支持体上に、水不溶性かつアルカリ可溶性樹脂及び赤外線吸収剤を含む下層と、スルホンアミド基、活性イミド基及び/又はアミド基を有するグラフト共重合体を含む上層と、を順次積層してなり、前記グラフト共重合体が、エチレン性不飽和単量体に由来する構成単位をグラフト鎖として有するポリウレタン樹脂であることを特徴とする赤外線レーザー用ポジ型平版印刷版原版、並びに、前記赤外線レーザー用ポジ型平版印刷版原版を使用した平版印刷版の製版方法。 (もっと読む)


【課題】水性アルカリ性現像剤中で現像が可能な光結像性ポジ型底面反射防止膜組成物及び、このような組成物の使用方法を提供する。
【解決手段】光結像性ポジ型底面反射防止膜組成物であって、発色団基、ヒドロキシル及び/またはカルボキシル基、及び酸不安定基を含むポリマー、及び末端ビニルエーテル基を有する架橋剤を含み、更に光酸発生剤を含むかまたは含まない、上記組成物及び、このような組成物の使用方法。 (もっと読む)


【課題】微細細線再現性に優れるフレキソ印刷版作成方法の提供。
【解決手段】支持体上に、少なくとも感光性樹脂層、保護層、感熱マスク層が順次積層されてなる感光性印刷原版を用いて、少なくとも(A)〜(D)の工程を経てフレキソ印刷版を作成する作成方法。(A)赤外線レーザー光により、感熱マスク層を像様融除する工程(B)40℃以上の温度雰囲気下で版を水平な状態で静置する工程(C)化学線で全面露光する工程(D)現像工程 (もっと読む)


本発明は、感光性要素から作製される凸版印刷フォームを用いて、基板上に材料を印刷するための方法を提供する。本方法は、250線毎インチ以上のスクリーン線数解像度を有するin−situマスクを感光性要素上に形成する工程と、不活性ガスおよび190,000〜100ppmの濃度の酸素を有する環境において、in−situマスクを通して上記要素を化学線に露光する工程と、露光された要素を処理して、250線毎インチ以上のスクリーン線数解像度を有する複数の浮出し面を有するレリーフ構造を形成する工程とを含む。印刷は、画像形成材料を複数の浮出し面に塗布し、画像形成材料を基板に転写するように接触させることによって行われる。本方法は、高解像度のグラフィック画像の印刷、ならびに基板上に画像形成材料の均一層を形成するのに適している。
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【課題】本発明は、印刷時に良好なインキクリーンアップとリスタートトーンニング特性を示す平版印刷版前駆体を提供する。
【解決手段】基板上に、順に、K単位およびL単位からなるコポリマーを含む中間層、ならびに画像形成層を有して成る平版印刷版前駆体であって、
前記K単位が次式I:


(上式中、R1、Yは、明細書中に規定するものである)
のモノマー、または
CH=CHPO(OH)
から誘導され
前記L単位が次式II:
CH=CRCONH (II)
(上式中、Rは、H、またはCH3である)
のモノマーから誘導され、
前記コポリマー中、前記K単位が3%超且つ40%未満、前記L単位が60%超且つ97%未満であることを特徴とする平版印刷版前駆体。 (もっと読む)


【課題】リソグラフィーで用いられる多層レジスト膜のレジスト下層膜材料であって、反射率を低減でき、エッチング耐性が高く、高い耐熱性、耐溶媒性を有し、特に基板のエッチング中によれの発生がないレジスト下層膜を形成するためのレジスト下層膜材料及びこれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】リソグラフィーで用いられる多層レジスト膜のレジスト下層膜材料であって、少なくとも、下記一般式(1)で示される繰り返し単位a1を有するポリフルオレンを含有することを特徴とするレジスト下層膜材料。
【化37】
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【課題】良好な耐刷性を発揮しつつ、且つ、良好な汚れ防止性を発揮でき、更には良好な機上現像性を達成しうる平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】アルミニウム支持体上に、画像記録層を有する平版印刷版原版であって、該画像記録層が下記一般式(I)で表される化合物を0.01〜10質量%含有することを特徴とする、平版印刷版原版。


(式中、Rは炭素数2〜10の有機置換基を表し、R〜Rはそれぞれ独立に水素原子、又は炭素数1〜10の有機置換基を表す。) (もっと読む)


【課題】 低温成膜が可能で簡便なフィルムの転写により導電性を容易に安価に得ることのできる導電性転写フィルム及びそれを用いた導電性パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】 仮支持体上に、導電性層、及びネガ型感光性樹脂層を順次積層してなる導電性転写フィルム。仮支持体上に、ポジ型感光性樹脂層、導電性層、及びネガ型感光性樹脂層を順次積層してなる導電性転写フィルム。導電性層が、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化すず、金、銀、銅、アルミニウムのいずれかを主成分とする導電性膜であると好ましい。前記の導電性転写フィルムを用いて、ネガ型感光性樹脂層側を支持体に貼りつける工程、所定部を露光する工程と、を含む導電性パターンの形成方法。 (もっと読む)


【課題】KrFレジストやArFレジストなどの液体レジストを用いて、中空構造などの複雑な三次元立体構造を有する微細な多層レジストパターンを形成することが出来るレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】第一の化学増幅型レジスト組成物を用いて第一のレジスト膜を形成し、第一のレジスト膜を選択的に露光を施す第一の工程と、第一のレジスト膜上に、第二の化学増幅型レジスト組成物を塗布して第二のレジスト膜を形成し、第二のレジスト膜を選択的に露光し、露光後ベーク処理を施す第二の工程と、第一のレジスト膜および前記第二のレジスト膜を現像して多層レジストパターンを形成する工程とを有するレジストパターン形成方法であって、第一の化学増幅型レジスト組成物が、露光によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大するポジ型レジスト組成物であるレジストパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】レジスト材料の溶解性に優れたポジ型レジスト組成物、及び当該ポジ型レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)と、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)とを、沸点150℃以上のアルコール系有機溶剤を含有する有機溶剤(S)に溶解してなるポジ型レジスト組成物;第一のレジストパターンが形成された支持体上に、前記ポジ型レジスト組成物を塗布して第二のレジスト膜を形成する工程と、前記第二のレジスト膜を選択的に露光し、アルカリ現像してレジストパターンを形成する工程とを含むレジストパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】印刷機として簡便に使用され、価格も安価であり、デジタル印刷機能を有する印刷システムであり、高速大量印刷のできる大型印刷機として構築でき、また多品種少量印刷にも対応できる補助的小型印刷機としても利用でき、また優れた印刷品質を保持し、且つ環境面、安全性、衛生性、健康面などの要望に対応できる印刷システム、それに使用される印刷版および印刷インクを提供すること。
【解決手段】水性平版印刷方法において、印刷インクが水性媒体中に微細化顔料および水性固着剤を含有する水性顔料インクであり、印刷版が親水性画像部分と撥水性非画像部分からなる平版印刷版であり、親水性画像部分が、前記水性顔料インクが付着するように親水化した光触媒型酸化物を表面に有する膜部分よりなり、撥水性非画像部分が撥水性を有する疎水性部分を表面に有する膜部分からなる平版印刷版であることを特徴とする水性平版印刷方法。 (もっと読む)


【課題】感光性エレメントから凸版印刷フォームを作製するための方法および装置を提供すること。
【解決手段】より詳細には、この発明は、化学線に対する露光の間、調整された酸素濃度を有する環境内において凸版フォームを作製するための方法および装置を説明する。この方法は、感光性エレメントの上にin−situマスクを形成するステップと、不活性ガスおよび190,000から100ppmの間の酸素濃度を有する環境内においてin−situマスクを介して化学線に対してエレメントを露光させるステップと、浮出し面区域のパターンを有する凸版印刷フォームを形成するために露光されたエレメントを処理するステップとを含む。 (もっと読む)


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