【課題】洗浄起因の不良を抑制した電子写真用ローラの製造方法、および、円筒体表面の液体を効率的に除去することのできる乾燥方法を提供する。
【解決手段】芯金と、芯金の両端部の周面以外の周面を被覆する１層以上の弾性層とを有する電子写真用ローラの製造方法であって、（１）芯金の周面に形成した弾性層の周面を液体で洗浄する工程と、（２）弾性層の周面を乾燥させる工程と、を有し、工程（２）が、弾性層の周囲に気体の渦流を生じさせることにより、弾性層の周面に付着した液体を除去する工程を含む。液体で洗浄された円筒体の周囲に、円筒体と同心に気体の渦流を生じさせて、該円筒体の周面に付着した液体を除去する工程を有する円筒体の乾燥方法。 （もっと読む）

【課題】容器を確実に洗浄することが可能な洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄装置１００は、容器Ｃの洗浄に関連した第１の処理（本洗浄処理）を実行するために開閉自在に設けられた開口１２２、１２４を有する密閉可能な本洗浄室１２０と、本洗浄室１２０から隔離して配置され、容器Ｃの洗浄に関連した第２の処理（乾燥処理）を実行するために開閉自在に設けられた開口１３２を有する密閉可能な第乾燥室１３０（１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃ）と、各処理室の開口１３２を介して、本洗浄室１２０の内部に搬入された容器Ｃを乾燥室１３０の内部に移送するロボット１５０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】基板ケースをドライ洗浄で実施するにあたり、被洗浄物が複雑な形状を含む場合であっても洗浄可能な基板ケース洗浄装置を提供する。
【解決手段】シリコンウェハやフォトマスクなどの異物の付着を嫌う基板を保持するドア部２と、前記ドア部２を周囲の雰囲気と遮断することによって保持された基板に異物が付着するのを防止するためのカバー部と、前記ドア部２に設けられたパッキン５であって、前記ドア部２と前記カバー部を密封するためのパッキン５と、を備えている基板ケースの前記ドア部２の洗浄装置１であって、少なくとも前記ドア部を載置し回転させるためのターンユニット３と、前記ドア部２に向って洗浄用ガスを噴出するガス噴出ノズル４と、を備えていることを特徴とする基板ケース洗浄装置１。 （もっと読む）

【課題】噴射孔からの噴射力及びノズル本体の回転力を低下させることなく、孔開け加工が容易な構造とすることを目的とする。
【解決手段】高圧ホース１６（管体）の先端部分に回転自在に取り付けられ、ノズル本体１２と噴射孔１４を有し、該噴射孔１４は、該ノズル本体１２の中心軸ＣＬに対して斜め後方に開口すると共に、軸線Ｌが中心軸ＣＬと交わらないように穿孔され、該ノズル本体１２内から流体を噴射可能に構成されている。噴射と回転の孔が別々に設けられている場合と異なり、噴射孔１４からの噴射力及びノズル本体１２の回転力を低下させることがない。 （もっと読む）

【課題】 マスクブランク用基板の洗浄時に、ガラス基板内部に潜傷が発生することを抑制でき、しかも基板主表面に存在するパーティクルを確実に排除できるマスクブランク用基板等の基板の洗浄方法を提供する。
【解決手段】 液体中に配置された基板の少なくとも一つの表面に向かって、気泡又は洗浄用粒子を含む加圧した洗浄液体を噴射ノズルから噴射し、前記基板の少なくとも一つの表面を洗浄することを含むことを特徴とする、基板の洗浄方法である。 （もっと読む）

【課題】汚泥処理システムの稼働中において、余剰汚泥を移送する移送管の内部を確実に洗浄できる余剰汚泥移送管の洗浄装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、メタン発酵用の余剰汚泥を移送する余剰汚泥移送管を洗浄する洗浄装置であって、上記余剰汚泥移送管の内部に高温蒸気を噴出させる高温蒸気噴出部を備えることを特徴とする余剰汚泥移送管の洗浄装置である。本発明は、上記高温蒸気により加熱される加熱余剰汚泥と加熱前の余剰汚泥との熱交換を行う熱交換部をさらに備えるとよい。また、本発明は、上記熱交換部が上記加熱余剰汚泥を移送する余剰汚泥移送管と加熱前の余剰汚泥を移送する余剰汚泥移送管との二重管式であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄に好適な洗浄ノズル、洗浄装置、及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】本発明は、内部が洗浄水の圧送通路とされ、該圧送通路内に通路絞り部２９を設けて圧送される洗浄水にキャビテーション気泡を発生させて先端開口部から噴出させる洗浄ノズル８であって、圧送通路内には、前記キャビテーション気泡が発生する領域においてガスを供給するガス供給部材５１が備えられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】洗浄中に板状部材の位置ズレを発生させることなく、板状部材の表裏面に固着したカレット等の異物を確実に除去することができる洗浄装置および洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄対象である搬送中の板状部材２の表裏面を挟むように搬送経路の両側にそれぞれ千鳥状に配置された複数の洗浄手段３ａ、３ｂを備え、板状部材２に洗浄液を供給しつつ洗浄手段３ａ、３ｂを回転させて搬送中の板状部材２を洗浄する洗浄装置１であって、複数の洗浄手段３ａ、３ｂは、搬送経路の一方側に配置された１つの洗浄手段３ａと、該洗浄手段３ａと同軸上で相対向するよう搬送経路の他方側に配置された１つの洗浄手段３ｂとからなる組を複数含み、かつ複数の凸部が所定の間隔をおいて連続して配置された洗浄面を有し、同一組を構成する洗浄手段３ａ、３ｂは、洗浄面の回転方向が逆であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ランニングコストや設備投資の増大、さらにはガラス基板の生産性低下を極力招くことなく、ガラス基板の有効面を効果的に清浄化することができる技術を提供する。
【解決手段】搬送されるガラス基板Ｇの有効面に対し、洗浄液２１を供給しつつ、洗浄ヘッド１５を回転させながら押し当てることにより、ガラス基板Ｇの有効面に付着した異物を取り除く洗浄工程において、洗浄ヘッド１５または洗浄ヘッド１５を保持する第１保持部材１３の少なくとも一方の膨張収縮を利用して、ガラス基板Ｇに対する洗浄ヘッド１５の接触圧を調整する。具体的には、洗浄ヘッド１５がある程度摩耗したときに、洗浄液２１の供給温度を上昇させて、洗浄ヘッド１５または第１保持部材１３の少なくとも一方を熱膨張させ、洗浄ヘッド１５の摩耗によって低下したガラス基板Ｇに対する洗浄ヘッド１５の接触圧を再度高める。 （もっと読む）

【課題】薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置において、被洗浄体に付着性の強い汚れが付いていたとしても、洗浄媒体の滞留を低減して移動させることができ、洗浄品質を向上させることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】気流を前記洗浄媒体および前記被洗浄体に吹きつける洗浄ノズルが非定常的な気流を発生させることにより、気流の向きや強さを変化させることができ、被洗浄体に貼り付いた洗浄媒体に対して様々な方向から気流を作用させることができるようにした。 （もっと読む）

【課題】洗浄後の欠陥の発生が極めて少ないフォトマスク関連基板を得られる洗浄方法及び洗浄装置提供することを目的とする。
【解決手段】フォトマスク関連基板の洗浄方法において、少なくとも、前記フォトマスク関連基板の表面の異物をあらかじめ除去する前処理工程と、該前処理工程の後に前記フォトマスク関連基板にＵＶ光を照射するＵＶ照射工程と、該ＵＶ照射工程の後に前記フォトマスク関連基板を湿式で洗浄する湿式洗浄工程とを行うことを特徴とするフォトマスク関連基板の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】 パターン部材上に固形物が残存することのない塵の除去を可能とするパターン部材洗浄方法及び洗浄装置を提供すること。
【解決手段】 基板上にパターンが形成されたパターン部材に付着した塵を除去するパターン部材洗浄方法であって、前記パターン部材のパターン形成面に、冷却により固化可能な液状塵除去材料を付与する工程、前記液状塵除去材料を冷却し、固体又はゲル状の塵除去層を形成する工程、及び前記塵除去層を、前記パターン部材に付着した塵とともに除去する工程を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】イオン系コンタミが少なく、かつ乾燥不良が起きず、その結果ヘッド浮上量が微少なハードディスクに搭載してもヘッドクラッシュを起こさない磁気情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】磁気情報記録媒体用ガラス基板を保管ケースに保管する公知を備える磁気情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、前記保管ケースは、電気抵抗値が１０ＭΩ・ｃｍ以下である水溶液を用いてリンスされることを特徴とする磁気情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を用いる。前記電気抵抗値が１０ＭΩ・ｃｍ以下である水溶液は、水に炭酸ガスを浸透溶解させて調整したものであることが好ましい。また、前記電気抵抗値が１０ＭΩ・ｃｍ以下である水溶液は、水に水素ガスを浸透溶解させ、ｐＨを９〜１０に調整したものであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】安定して操業することができる無排水化を図る脱硫排液からの脱水濾液の噴霧乾燥装置、脱水濾液の噴霧乾燥方法及び排ガス処理システムを提供する。
【解決手段】噴霧乾燥装置本体５１内に、脱硫排水からの脱水濾液３３を噴霧する噴霧ノズル５２と、噴霧乾燥装置本体５１に設けられ、噴霧液３３ａを乾燥する排ガス１８を導入する導入口５１ａと、噴霧乾燥装置本体５１内に設けられ、排ガス１８により脱水濾液３３を乾燥する乾燥領域５３と、乾燥に寄与した排ガス１８を排出する排出口５１ｂと、前記噴霧ノズル５２の付着物の付着状態を監視する付着物監視手段６０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】管の長いときや曲がりが複雑な排水管、及び、詰まり物の形状や構成に関係なく通管でき、専門技術者でなくても一般家庭の人でも簡単に使用できる簡素で安価な通管用具及びこれを用いた通管方法を提供する。
【解決手段】通管用具は、排水管１６の開口部１７に挿入される管体２と、管体２の末端部に接続される導液管１３とを備えて成り、管体２の先端部に噴液孔１０が貫通して形成され、管体２の外周面に通液孔１１が貫通して形成され、管体２の外周面の外方にゴム製筒体９が配備され、管体２の外周面とゴム製筒体９との間に密閉袋部２２が形成され、導液管１３から管体２内へ導入された加圧液体が通液孔１１を通って密閉袋部２２内に入ることにより、ゴム製筒体９が弾性変形し管体径方向外向きに膨張して排水管１６の内周面１６Ａに密着する。 （もっと読む）

【課題】基板の処理に使用される処理液の消費量を低減すること。
【解決手段】基板処理装置は、処理液を吸収可能で弾性変形可能なスポンジ４１と、スポンジ４１に処理液を供給する貯留槽４０と、基板Ｗを保持する基板搬送ロボット２１とを含む。基板搬送ロボット２１は、スポンジ４１と基板Ｗとを相対移動させてスポンジ４１と基板Ｗの下面とを接触させることにより、スポンジ４１に吸収されている処理液を基板Ｗの下面に供給させる。 （もっと読む）

【課題】回収された廃プラスチックシートの束を搬送しながら確実に平面状に広げることのできる処理機構を提案すること。
【解決手段】廃プラスチックシートの処理機構２０では、巻き取り束２７の状態から引き出された廃プラスチックシート２３の表面中央部分に沿ってノズル３６から水を流すことにより水流３７を形成し、廃プラスチックシート２３の中央部分をガイドベース２２の上面２２ａに押し付けた状態で搬送する。この結果、廃プラスチックシート２３は、水流３７によってセンタリングされながら左ベルトコンベアー３１、右ベルトコンベアー３２によって搬送されるので、これらのベルトコンベアー３１、３２によって確実に左右に平面状に押し広げられる。 （もっと読む）

【課題】フラックス等の汚れは勿論のこと、粘弾性汚れも除去でき、洗浄対象物の範囲を拡大できて使用価値を高められる乾式クリーニング筐体を提供する。
【解決手段】筐体４の開口部１８が洗浄対象物２０の表面で塞がれた状態で図示しない吸引装置により吸引がなされると、筐体内が負圧となってインレット２４のインレット用開口２４Ａから外気が流入し、旋回空気流３０が生じて洗浄媒体５が飛翔する。洗浄媒体５は飛翔しながら洗浄対象物２０の表面に衝突する。インレット２４の気流噴射口２４Ｂのノズル５０からは旋回空気流３０を形成する気流よりも流速が大きい圧縮空気流Ａｒ２が噴射され、これにより洗浄媒体５は加速されて高速度で粘弾性汚れ５８に衝突する。 （もっと読む）

【課題】特に可搬性を有するハンディタイプの乾式クリーニング装置において、狭い空間内で高速に飛翔する洗浄媒体の摩擦帯電による洗浄能力低下問題を解消する。
【解決手段】乾式クリーニング筐体としての筐体４は、通気路としてのインレット２４内に洗浄液を噴霧する加湿手段としての噴霧手段５０を備えている。筐体の開口部１８が洗浄対象物２０で塞がれると吸引装置による吸引によって筐体４内が負圧化し、インレット２４から気流が流入して旋回空気流３０が形成され、洗浄媒体５が飛翔して洗浄対象物２０に衝突する。バルブ５６を開くと噴霧ノズル５２の洗浄液がインレット２４内にミスト状に噴霧される。噴霧されたミストは、旋回空気流３０と合流し、筐体内に拡散する。拡散したミストは、洗浄媒体５に付着し、洗浄媒体５の摩擦による帯電を抑制する。 （もっと読む）

【課題】圧力制御された複数の区画でナノ材料の秤量・包装および容器の洗浄を分担して行うことにより、作業者のナノ材料からの暴露危険性を低減するナノ材料秤量包装装置を提供する。
【解決手段】ナノ材料を秤量して包装容器に充填する区画Ａと、前記区画Ａから移送された包装容器の外側を洗浄する区画Ｂと、前記区画Ｂから移送された包装容器を保管する区画Ａと、前記各室間を仕切る仕切壁と、前記各室と調整弁を介してダクトで接続され各室を陰圧に保つ吸引ファンと、各室の圧力を区画Ａ＜区画Ｂ＜区画Ａに保つように前記ダクトの調整弁を制御する制御装置を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）