【課題】 大型のフォトマスク用の遮光膜付き基板の洗浄方法で、付着異物の除去が効果的な洗浄方法を提供する。
【解決手段】 大型のフォトマスク用の遮光膜付き基板の洗浄方法であって、高い圧力をかけてノズルから、純水を微粒径の状態状態で噴射させて、前記遮光膜付き基板の遮光膜にあてる、純水ジェット洗浄処理を施す。 （もっと読む）

【課題】自走式の噴射ノズルを用いながらも、洗浄ホースを引き抜く際に噴射ノズルが配管から抜け出るのを防止することのできる配管洗浄方法を提供する。
【解決手段】噴射ノズル２０を配管３０内に挿入するノズル挿入工程と、洗浄水を後方に噴射させてその反力によって噴射ノズル２０を前進させるノズル前進工程と、洗浄ホース１０を後方に引っ張って後退させるノズル後退工程とを行うことにより、配管３０を洗浄する配管洗浄方法において、洗浄ホース１０の外径よりも大きく噴射ノズル２０の外径よりも小さな横幅の洗浄ホース案内穴６１ａを有する洗浄ホース支持体６１を、配管３０における開口部３１付近に取り付け、洗浄ホース支持体６１における洗浄ホース案内穴６１ａに洗浄ホース１０を挿通することにより、ノズル後退工程で洗浄ホース１０を後方へ引っ張りすぎても、噴射ノズル２０が洗浄ホース案内穴６１ａで引っ掛るようにする。 （もっと読む）

【課題】ガスタービン翼を補修・再生する際に、ガスタービン翼母材の機械的性質の変化を低減させること。
【解決手段】ガスタービン翼１Ａの内部に設けられた内部冷却媒体通路内に強アルカリ性洗浄液、水、弱酸性洗浄液を供給し、かつ、流通させる洗浄液・洗浄水供給手段６０，６１が、支持手段２の底部に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス頻度を低減させながらも、除液効率を高く維持する。
【解決手段】洗浄されたコインの洗浄液を除去するコイン除液装置５０であって、コインを挟み込んで搬送する柔軟性ロール８２によって、コインの表面に付着した洗浄液を除去する際に、掻き上げ手段７０によって、この柔軟性ロール８２の表面を長手方向に亘って掻くことで、柔軟性ロール８２の表面の油分をロール表面から浮き上がらせるようにした。 （もっと読む）

【課題】洗浄時に砂や結晶等の固形物が電極部に衝突するのを防いで電極部の破損を防止するようにした、水質検出器の洗浄方法及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】水質検出器の、試料水に接触する洗浄対象部位に付着した汚濁物質を洗浄ノズル１４から噴射させた圧縮空気の作用により除去する洗浄方法であって、一洗浄期間内に電磁弁１７を１回以上、開動作させることにより、エアタンク１６から電磁弁１７を介して前記圧縮空気を洗浄ノズル１４に供給可能とした洗浄方法において、一洗浄期間の開始時点からエアタンク１６への空気の充填を開始し、前記開始時点から所定時間幅を有するノズル排出時間Ｔ６に、エアタンク１６から電磁弁１７を介して前記圧縮空気よりも低圧（例えば、ほぼ大気圧）の空気を洗浄ノズル１４に供給してノズル内の固形物を空気及び試料水と共に排出させる。 （もっと読む）

【課題】孔と連通する空洞部に残留する異物を、この空洞部から排出させてこの孔の外へ取り除くことができる異物除去方法、及び異物除去装置を提供する。
【解決手段】穿孔された孔８１Ｈの内周壁８２で、孔と連通した鋳巣８３に残留するバリ８４を、鋳巣から孔に排出させて除去する異物除去方法において、孔の径に対応した大きさの整流部１１を先端に有した棒状の流体整流部材１０を孔に挿入すると共に、孔にその奥に向けてエアＡＲを供給する第１工程と、流体整流部材を移動させながら鋳巣が存在する位置で、整流部によりエアの流れを鋳巣に向けて変え、エアを鋳巣に流入させる第２工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スプラッシュガードの窓材を介した外部からの視界を良好にする。
【解決手段】スプラッシュガードに設けられた窓材２０の一部を覆うように窓材２０の内面に対向して透明な板部材２１を配設し、窓材２０と板部材２１との間にエア通路ＳＰを形成する。エア通路ＳＰ内には供給口３０を介して外部から気体を供給し、エア通路ＳＰ内に供給された気体を噴出口３１を介して窓材２０の内面に噴出する。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象配管に洗浄水又は空気を混入させた洗浄水を強制的に循環させることにより当該配管内の付着物の除去と洗浄効果を高めた配管の内部洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄対象配管（ｐ）に接続する吸入管路６に、洗浄水を導入する切り替え弁と、フィルタ及び第１電磁弁を順に介装し、洗浄対象配管に接続する吐出管路１２と吸入管路との間にベンチュリノズル１５と送水用ポンプ２５を並列に接続し、ベンチュリノズル内に連通するように設けた第２電磁弁に、空気導入管を接続すると共に当該導入管に逆止弁と手動開閉弁を順に介装し、吐出管路から分岐されて送水用ポンプの吸入管に接続されるリリーフ回路に送水用ポンプの吐出圧力の調整を施すリリーフ弁を介装した洗浄回路部５と、複数の洗浄パターンから入力手段３５によって選択される特定の洗浄パターンに基づき第１電磁弁及び第２電磁弁の開閉動作を自動制御する制御部３０とからなる。 （もっと読む）

【課題】クリーニング対象物の強固な汚れも除去出来る乾式クリーニング装置を提供する。
【解決手段】薄片状の洗浄片ＰＣの集合による洗浄媒体を空気流により飛翔させ、被対象物に当てて乾式クリーニングする装置であって、クリーニング筐体１０と、吸気手段２０Ａ、２０Ｂと、洗浄媒体ＰＣとを有し、クリーニング筐体１０は、被対象物の表面により閉ざされる開口部１０Ｅと、内部を吸気するための吸気口１０Ｂと、外部からの空気を上記内部へ通す通気路１０Ｆと、洗浄片ＰＣの吸気口側への移動を阻止しつつ被対象物から除去された除去物を通過させる多孔手段１０Ｃとを有し、外部の空気が通気路を介して内部に導気されて洗浄媒体ＰＣを飛翔させる旋回空気流が発生するように、開口部１０Ｅ、吸気口１０Ｂ、通気路１０Ｆ、多孔手段１０Ｃを形成する。 （もっと読む）

【課題】効率よく、かつ医療器具の細部分まで洗浄できる医療器具の洗浄方法および医療器具の洗浄装置を提供する。
【解決手段】医療器具にオゾンガスを接触させること、および、医療器具を洗浄液で洗浄する液体洗浄工程をさらに含むこと、また、前記液体洗浄工程で用いた洗浄液を貯水する工程を含み、前記貯水工程で貯水された洗浄液を前記液体洗浄工程で再利用することにより、前記医療器具を洗浄する。また、オゾンガスを発生させるオゾンガス発生部１６と、前記オゾンガスを利用して前記医療器具を洗浄する洗浄部１７とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ケミカルタンカーのステンレス製カーゴタンクの酸洗作業において、安全面、効率面で問題のある手作業による酸洗方法に替えて、タンク洗浄装置を用いて無人化、自動化による酸洗方法、及びこの自動酸洗方法に好適な高い洗浄効果を得ることができる酸洗浄剤を提供する。
【解決手段】硝酸、フッ酸、硫酸、有機酸、多価アルコール、粘性助剤、錯化合物、消泡剤を含有した構成をもつ酸洗浄剤、及びこの酸洗剤を使用してタンク洗浄装置を用いて行うケミカルタンカーのステンレス製カーゴタンクの自動酸洗方法。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を招くことなくパーティクルやミストの再付着を抑制するフォトマスクの洗浄装置を提供する。
【解決手段】処理槽１２の内側において、壁部２１の周方向に複数の第一案内翼２４を設ける。この第一案内翼２４は、その上端と下端とを周方向にずらしつつ、中央部を周方向に湾曲した曲面状に形成する。これにより、フォトマスク１９の洗浄時に供給され、フォトマスク１９の回転により壁部２１方向に移動したクリーンエアおよび処理液を、第一案内翼２４により下方に導く。また、第一案内翼２４の下方において、壁部２１の周方向に複数の第二案内翼２５を設ける。第二案内翼２５は、第一案内翼２４により導かれたクリーンエアを、処理槽１２の底部２２に接続さている排出管部１５に導く。これにより、パーティクルやミストなどを含むクリーンエアを処理槽１２から排出する。 （もっと読む）

【課題】作業者が立ったままの状態で、簡単な操作によって、付着物除去液を用いて路面等に付着したガム等の付着物の除去作業を効率良く行うことのできる付着物除去用具を提供する。
【解決手段】下端部にヘラ板１２を備えるロッド部１１と、ヘラ板１２の上面に付着物除去液を供給する除去液供給手段１４とを備えており、除去液供給手段１４は、ボトル容器１３を倒立状態で着脱可能に保持する容器保持部１５と、ボトル容器１３から供給される付着物除去液を貯留部１７に貯留し、吐出作動手段１８の作動によって付着物除去液を定量吐出可能とする貯留吐出機構１９とを含んで構成される。吐出作動手段１８は、鞘管２０に挿通されたワイヤー部材２１を介して接続された握り操作部２２と、貯留部１７への圧力付与部２３とを含んで構成される。握り操作部２２は、握り操作によってワイヤー部材２１を上部側に引き込んで、圧力付与部２３を作動させる。 （もっと読む）

【課題】基板洗浄工程中に電析の発生を防止しつつ基板の状態を観察することが可能な基板洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】発電層が形成された基板１２を洗浄する洗浄部と、それらの上流側に設けられて、基板１２を基板搬入口から洗浄部に搬入する搬入部と、洗浄された基板１２の発電層を乾燥させる乾燥部と、乾燥部の下流側に設けられて乾燥した基板１２を基板搬出口へ搬出する搬出部と、基板搬入口を除く搬入部、洗浄部、乾燥部、基板搬出口を除く搬出部内に入射する光を遮断する光遮断手段９と、それに設けられる観察窓１０と、観察窓１０から入射する光のうち発電層の発電に寄与する波長の少なくとも一部を遮断し、発電層の発電電圧を波長の少なくとも一部を遮光しない場合の発電電圧の１／１０以下にする光透過手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低層かつ壁面に凹凸のある建物にも好適に使用できて壁面の清掃が可能になる壁面清掃装置を提供する。
【解決手段】作業者Ｐによって把持される柄部３と、柄部３の先端に取り付けられたヘッド部７と、を備え、ヘッド部７は、並んで設置された一対のブラシ５と、一対のブラシ５を互いに逆回転させる直流モータと、を有する壁面洗浄装置１である。この壁面洗浄装置１では、壁面Ｓｆの汚れに対応する位置にヘッド部７がくるように作業者Ｐが柄部３を把持し、ヘッド部７に設置された一対のブラシ５を回転させることで壁面Ｓｆの汚れを簡易に落とすことができる。特に、ヘッド部７の一対のブラシ５は、互いに逆回転するので、壁面Ｓｆにブラシ５が当接した際にブラシ５のブレが生じにくく清掃作業が行い易い。 （もっと読む）

【課題】洗浄用の専用器具構造を有しないタンクであっても、タンク内を効果的に洗浄できるタンク内洗浄装置を提供する。
【解決手段】中空なタンクＴ内を洗浄するために使用される洗浄装置１であって、先端に洗浄器具を有する軸方向に沿って延びた軸状の洗浄手段１０と、洗浄手段１０をタンクＴ内に案内する案内手段２０と、を備えており、案内手段２０は、洗浄手段１０を、貫通孔の軸方向への移動は可能であるが、貫通孔の軸方向と直交する方向への移動が固定された状態となるように保持するものである。洗浄手段１０をタンクＴの貫通孔の軸方向へ移動させることができるので、タンクＴ内全体を洗浄することができる。案内手段２０によって貫通孔の軸方向と直交する方向への移動が固定された状態となるように保持されているので、洗浄器具を正確に位置決めすることができる。よって、タンクＴ内全体を、洗浄ムラがないように効果的に洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】薄膜の表面に付着された塵埃を簡単な構成で確実に剥離して除去できる薄膜表面の塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】薄膜の走行を案内する複数のローラと、走行途中の薄膜の表面に付着した塵埃を除去する塵埃除去部を備えた薄膜表面の塵埃除去装置において、前記塵埃除去部は前記ローラの間を走行する薄膜を伸縮させる伸縮付与手段と、伸縮によって薄膜から剥離した塵埃を捕捉する捕捉手段を備え、伸縮付与手段は、薄膜の走行を案内する一部のローラを振動させて薄膜を伸縮させる振動子を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】砲身を痛めることなく，確実に砲身内の煤を除去すると共に回収することのできる砲身のクリーニング方法を提供する。
【解決手段】集塵機１０によって砲尾５３より砲腔内を吸引しつつ，圧縮気体と共にメジアを噴射しながらブラストガン３０を砲尾５３側から砲口５１側に移動させて煤を除去した後，メジアを含まない圧縮気体を噴射して砲口５１側から砲尾５３側にブラストガン３０を押し込むことで，砲尾５３よりメジア及び煤を押し出して集塵機１０に回収させる。ブラストガン３０の先端に設けた拡散器３３は，噴射された噴射流体を３６０°全周方向に拡散し，これにより砲腔内壁に対するメジアの均一な衝突と，ブラストガン３０の押し込みによるメジアと煤の回収を確実に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】外気圧より低い気圧に維持される低圧室内において低コストで被洗浄面に付着した付着物を除去すること。
【解決手段】外気圧より低い気圧の低圧室内に設置されるコンプレッサーが前記低圧室内において取り込んだ空気を圧縮して吐出することにより、前記低圧室内における被洗浄面にドライアイス粒を噴射し、該噴射による衝突エネルギにより前記被洗浄面に付着した付着物を除去する付着物除去方法であって、前記コンプレッサーが単位時間あたりに取り込む空気量と、前記コンプレッサーが単位時間あたりに吐出する空気量とをほぼ同量としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板表面に形成されたパターンへのダメージを抑制しながら基板表面を良好に洗浄処理することができる基板処理方法および基板処理装置を提供する。
【解決手段】 基板保持手段１１に保持され、洗浄液としてのＤＩＷの液膜が形成された基板Ｗの表面Ｗｆに対し、媒介液供給機構５５から媒介液としてのトルエンを供給し、ＤＩＷの液膜の上にトルエンの液膜を更に形成する。その後、超音波付与機構５１によりトルエンを介してＤＩＷに超音波を付与しながら、凝固手段３１から基板表面Ｗｆに凍結用の窒素ガスを吐出し、ＤＩＷを凝固させる。これにより、結晶サイズの小さいＤＩＷの凝固体を形成し、その後のリンス工程で短時間に解凍することを可能とし、リンス液中に遊離するＤＩＷの結晶を減少し、パターンへのダメージを防止する。 （もっと読む）