【課題】基板表面に形成されたパターンへのダメージを抑制しながら基板表面を良好に洗浄処理することができる基板処理方法および基板処理装置を提供する。
【解決手段】 基板保持手段１１に保持され、洗浄液としてのＤＩＷの液膜が形成された基板Ｗの表面Ｗｆに対し、媒介液供給機構５５から媒介液としてのトルエンを供給し、ＤＩＷの液膜の上にトルエンの液膜を更に形成する。その後、超音波付与機構５１によりトルエンを介してＤＩＷに超音波を付与しながら、凝固手段３１から基板表面Ｗｆに凍結用の窒素ガスを吐出し、ＤＩＷを凝固させる。これにより、結晶サイズの小さいＤＩＷの凝固体を形成し、その後のリンス工程で短時間に解凍することを可能とし、リンス液中に遊離するＤＩＷの結晶を減少し、パターンへのダメージを防止する。 （もっと読む）

【目的】放電電極部を処理ガスから保護し、酸化を防止して、寿命を長くする。
【解決手段】電極２２〜２５を電極カバー２２Ｐ〜２５Ｐで覆い、放電開口２２ＨＬ，ＨＲ〜２５ＨＬ，ＨＲ（２２ＨＬ、２５ＨＲは閉塞されている）を設ける。また、放電開口２２ＨＬ，ＨＲ〜２５ＨＬ，ＨＲの上流側で、９０°位相がずれた位置に保護ガス流入口２２Ｑ〜２５Ｑを設ける。保護ガス流入口２２Ｑ〜２５Ｑから流入させられた保護ガスは、放電電極部２２Ｓ〜２５Ｓの周辺を流れて放電空間に流出させられる。放電電極部２２Ｓ〜２５Ｓに保護ガスが供給されるため、放電電極部２２Ｓ〜２５Ｓが処理ガスに接触し難くすることができる。そのため、放電電極部２２Ｓ〜２５Ｓの酸化を抑制し、寿命を長くすることができる。 （もっと読む）

【目的】電極とワークとの間で放電が起き難くする。
【解決手段】放電空間４２Ｂとプラズマ出力口１６との間に設けられたプラズマ流出通路の構成要素である個別通路８１Ｂに関して、Ｘ部分８１ＢＸ、Ｚ部分８１ＢＺのＸ部分８１ＢＸＸの接続部Ｍより放電空間側の部分８１ＢＺO、Ｘ部分８１ＢＸＸ、拡散器８２Ｂ、スリット８６等により主通路が構成され、Ｚ方向部分８１ＢＺの接続部Ｍより放電空間とは反対側の部分８１ＢＺＰにより分岐通路が構成される。アース板９０は、分岐通路８１ＢＺＰを塞ぐ状態で設けられる。分岐通路８１ＢＺＰと主通路の部分８１ＢＺＯとは同一直線上に位置するため、アース板９０との間で放電が起き、ワークＷとの間では起き難くすることができる。 （もっと読む）

【課題】ワークの細部まで清浄に、且つ、効率よく乾燥させる乾燥装置を提供する。
【解決手段】乾燥装置１は、乾燥室５の側壁９５に設けた投入口１０から投入されたワークＷを、複数の貫通孔を有する底板を備えるバケット４０の底板上に載置した状態で、所定の間隔をおいて無限軌道帯に一列に吊るして複数配置させ、水平移動、下降移動、送り方向とは反対方向へ水平移動、上昇移動の順に該バケットを搬送させて、側壁９５に設けた排出口２０からワークＷを排出させる。ワークＷのバケット４０Ａへの投入に際して、底板のワーク出入口側が高所となるようにバケット４０Ａを傾斜させる投入用バケット傾斜手段と、ワークＷのバケット４０Ｂからの排出に際して、底板のワーク出入口側が低所となるようにバケット４０Ｂを傾斜させる排出用バケット傾斜手段と、乾燥室５の底部からバケット４０の底面に向かって熱風を送る送風手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】耐圧仕様でない通常の反応容器にも適用可能であり、より穏やかな条件でアクリル共重合体由来の架橋体やゲルをきれいに洗浄できる方法を提供する。
【解決手段】熱可塑性アクリル共重合体を合成したステンレス鋼製反応容器中の熱可塑性アクリル共重合体由来の付着物を除去するための洗浄方法であって、１質量％以上１５質量％未満のアルカリ金属水酸化物と、３質量％以上５０質量％以下の炭素数２または３の１価アルコール１種以上とを含有する洗浄水溶液を用いて洗浄することを特徴とする反応容器の洗浄方法である。 （もっと読む）

【課題】乾式洗浄媒体の運動速度と清浄度とを高めることにより洗浄品質と洗浄効率とを向上させることができる洗浄媒体を提供する。
【解決手段】気流により飛翔することにより洗浄対象物に衝突して該洗浄対象物Ｗに付着している付着物ｄを除去するために用いられる洗浄媒体であって、上記洗浄媒体Ｍは、平坦面からなる基部から屈曲あるいは湾曲による立ち上がり部を有する可撓性薄片で構成され、基部Ｍの表裏各面と立ち上がり部との間の隙間に気流が進入できるようにすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、食品衛生法上の製造基準と求められる生産ラインのスピードを確保した上で、使用する薬液、オゾン水、温水、無菌水等の処理液の量を抑えた容器の殺菌方法及びそのシステムを提供することにある。
【解決手段】本発明の容器の殺菌、洗浄方法は、容器の殺菌・洗浄方法において、殺菌・洗浄時間で決定される殺菌工程および／または洗浄工程を２つ以上に分割し、分割した殺菌または洗浄工程に供給された処理液を使用後に貯留すると共にポンプアップすることにより、他の分割した同じ殺菌または洗浄工程に直列供給するようにした。 （もっと読む）

【課題】高い清浄度でウェブを洗浄する。
【解決手段】ウェブ２の表裏面の少なくとも一方の面に対して、洗浄液が供給される。これにより、ウェブ２の面に沿った液流が発生させられる。この洗浄液には、ウェブ２の面に存在する異物１１に接触させるためのブラスト材１２が混入されている。したがって、ウェブ２の表面に沿った液流自体による剥離作用だけでなく、ブラスト材１２が接触することによる剥離作用が、異物１１に対して働く。このようにして、ウェブ２の面に沿った液流により、ウェブ２の面に存在する異物１１が除去される。 （もっと読む）

【課題】高い清浄度でウェブを洗浄する。
【解決手段】表面に洗浄液が供給される洗浄ローラ５に、当該洗浄ローラ５上に形成される洗浄液の液膜を介してウェブ２を巻装させた状態で、当該ウェブ２が搬送させられ、洗浄ローラ５の周速度とウェブ２の搬送速度とが異なる速度に制御される。これにより、洗浄ローラ５とウェブ２との間に、大きな速度勾配を持った液流を有する薄い液膜が容易に形成され得る。かかる液流により、ウェブ２へのダメージを抑えて、効果的に異物がウェブ２から除去される。 （もっと読む）

【課題】クリーニングのために専用の駆動装置を搭載することなく、低コストでクリーニング機能を付与する。
【解決手段】ソーラーパネル１において、回転ブラシ２８とフレーム６の受けロッド４５との間に、パネル７，７の間で回転ブラシ２８，２８をフレーム６側へ連結する連結手段を設ける一方、支柱２と回転ブラシ２８，２８との間に、パネル７，７の水平姿勢で連結手段による回転ブラシ２８，２８とフレーム６との連結を解除する解除手段と、パネル７，７の水平姿勢で回転ブラシ２８，２８を支柱２側へ連結する第二の連結手段とを設けて、解除手段によって回転ブラシ２８，２８とフレーム６との連結を解除し、第二の連結手段によって回転ブラシ２８，２８を支柱２側へ連結した状態で、水平姿勢のパネル７，７を水平回転させることで、回転ブラシ２８，２８をパネル７，７上で相対的に旋回させて受光面を清掃可能とした。 （もっと読む）

【課題】携帯通信機器が水没などして使用不能になった場合でも、メモリに保存されているデータを復帰させるために、コストが高くなるとともに、ある程度長い時間が必要であった。
【解決手段】加圧された液化炭酸ガスを噴出するノズル部と、該ノズル部の噴出口を囲包して前方に配され、ノズル部から噴出された液化炭酸ガスをドライアイスパウダーに生成して携帯通信機器の電子基板１７に噴射する方向安定管部と、を有し、該方向安定管部から噴射されたドライアイスパウダーにより電子基板１７に付着した錆を除去し、電子基板１７のメモリに保存されたデータを復帰させるものである。 （もっと読む）

【課題】パージエアを整流して最低限のパージエア流量で効果的に飛散物が防護体に付着することを防止しながら、シールドガスへの影響を低減させる。
【解決手段】溶接ワークＷに検出光Ｌを照射可能な投光器２と検出光Ｌが照射された溶接ワークＷを撮像するカメラ３とを内蔵したセンサハウジング４を有し、該センサハウジング４を閉鎖すべく溶接ワークＷ側に取り付けた蓋体５には投光器２用の投光窓６とカメラ３用の撮像窓７とが設けられ、蓋体５の投光窓６及び撮像窓７のハウジング内方側に投光器２及びカメラ３を覆う透光性の防護体８が配備され、防護体８と蓋体５との間に、投光窓６及び撮像窓７のそれぞれの内周縁部から中央に向かうパージエアＰを噴出させる第１エア噴出機構９を有している。 （もっと読む）

【課題】携帯通信機器が水没などして使用不能になった場合でも、メモリに保存されているデータを復帰させるために、コストが高くなるとともに、ある程度長い時間が必要であった。
【解決手段】加圧された液化炭酸ガスを噴出するノズル部と、該ノズル部の噴出口を囲包して前方に配され、ノズル部から噴出された液化炭酸ガスをドライアイスパウダーに生成して携帯通信機器の電子基板１７に噴射する方向安定管部と、を有し、該方向安定管部から噴射されたドライアイスパウダーにより電子基板１７に付着した錆を除去し、電子基板１７のメモリに保存されたデータを復帰させるものである。 （もっと読む）

【課題】メタルマスク版の表面にはみ出した半田等の付着物の拭き取りに使用した拭き取りシートから付着物を除去して、拭き取りシートを何度も再利用できるようにした付着物除去装置を提供する。
【解決手段】拭き取りシートＳに染み込んだ液媒体及び振動ユニット４０により剥離された後で拭き取りシートＳ表面に再付着した付着物を吸引除去する吸引除去ユニット５０を備える。吸引除去ユニット５０は、拭き取りシートＳが巻き掛けられる面に吸引孔５１ａが形成された筒状の吸引ノズル５１と、吸引ノズル５１内の空気を吸引する吸引ポンプ５２とを有する。吸引ノズル５１には、吸引ポンプ５２が接続される一方、開口部には蓋部材が着脱自在に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】家庭で発生する使用済みのアルミ缶やペットボトルの廃棄前に実施する洗浄に対し、手を濡らさずに素早く洗浄を可能とした飲料容器洗浄器具を提供する。
【解決手段】
脱着可能な底板を具備する内部が空洞のドーム型で柔軟に弾性変形する樹脂からなる貯水タンクにおいて、注水が容易な注水受口と、注水受口の下部に逆止弁と、貯水タンク中央の上部に突起物を有したノズルとノズル周囲が五徳状の突起物を配置したことを特徴とした飲料容器洗浄器具。 （もっと読む）

【課題】極めて簡単で効果的に洗浄作業ができる管路及びパイプラインの洗浄方法を提供すること。
【解決手段】管路１０を閉塞して所定の区間を略密閉区間１０ａとする閉塞工程と、密閉区間１０ａに微小気泡を含有する水を充満させる充満工程と、充満工程による充満状態を所定時間維持する維持工程と、維持工程後に充満した水を排出する排水工程と、を有する。なお、閉塞工程の後に、充満工程と維持工程と排水工程とからなる一連の工程を複数回繰り返しても良い。 （もっと読む）

【課題】旋回モータに洗浄液がかからないようにして耐久性および信頼性を向上させる。
【解決手段】クイル２１に固定されたセンターポスト２２に旋回自在に軸支されたタレットヘッド４と、洗浄工具Ｔに洗浄液を供給する洗浄液供給流路１４と、洗浄工具Ｔを回転させるスピンドル駆動装置５と、タレットヘッド４を旋回させるタレット駆動装置６と、を有し、スピンドル駆動装置５は、洗浄室の外に配設されたスピンドルモータ（５１）に連結されたスピンドル駆動軸（５２）に嵌挿されたスピンドルピニオン５３を備え、タレット駆動装置６は、洗浄室の外に配設されたタレット旋回モータ（６１）に連結された旋回駆動軸６２に嵌挿された旋回ピニオン６３を備え、スピンドル駆動軸５２および旋回駆動軸６２が平行になるように配設され、スピンドルピニオン５３と外歯車（５４ａ）を噛合させ、旋回ピニオン６３と内歯車６４ａを噛合させた。 （もっと読む）

【課題】エレベーターのロープ表面に付着している余分なグリースを容易に除去することができ、清掃時の作業性を大幅に向上させることができるエレベーター用ロープの清掃装置を提供する、
【解決手段】本清掃装置は、主ロープ１の表面に付着したグリースを除去するためのものであり、その要部が、供給装置７と除去装置８とから構成される。供給装置７は、加熱及び圧縮された空気を除去装置８に供給する機能を有している。また、除去装置８は、供給装置７から供給された空気を主ロープ１の表面に吹き付ける機能を有しており、主ロープ１に対し、非接触の状態で対向するように配置される。 （もっと読む）

【課題】ドライアイスの付着に起因する負荷を低減することができ、ドライアイスを定量的に供給することができるドライアイス供給装置を提供すること。
【解決手段】粉粒状のドライアイスを収容するホッパ１０と、収容部１０に収容されるドライアイスを供給するための供給部１５とを備え、供給部１５に、二軸スクリューフィーダを備える。 （もっと読む）

【課題】鉄道車両の台車などの大型の被清掃物であってもドライアイスブラスト式清掃によって清掃が可能且つ省スペース化が可能なドライアイスブラスト式清掃装置の提供。
【解決手段】液化炭酸ガスから粒子状のドライアイス（ショット材）を生成して噴射可能な噴射ノズル２０を採用することで、ドライアイス状態ではなく液化炭酸ガスでの保管が可能である。また、ロボットアームの採用により、ドライアイスブラスト式清掃による被清掃物の清掃を自動化でき、更なる省スペース化、清掃員の安全性確保およびショット材消費量低減が可能となる。また、大型の被清掃物や複雑形状の被清掃物に対してドライアイスブラストをくまなく噴射できる。さらに、清掃に必要な粒子状のドライアイスの必要量に応じて可搬式の液化炭酸ガスボンベの数量を調節することで液化炭酸ガス貯蔵部３０の液化炭酸ガス貯蔵量を調節でき、更なる省スペース化が可能となる。 （もっと読む）