【課題】被洗浄体が、例えば、孔または溝等、複雑な形状の凹凸部を有した場合であっても、凹凸部に付着した異物を被洗浄体から除去することができる洗浄装置を得る。
【解決手段】洗浄水１の中で、異物が付着した被洗浄体４に向かってマイクロバブル６を噴射して異物に吸着させ、異物を被洗浄体４から分離させ、マイクロバブル６が洗浄水１の水面に向かって浮上するのに伴って異物を浮上させて、被洗浄体４を洗浄する洗浄装置であって、洗浄水１を貯留する洗浄槽２と、マイクロバブル６を噴射するマイクロバブル噴射器３と、被洗浄体４を保持するハンド部５ｃを有しているととともに、被洗浄体４を移動させるロボットアーム５と備え、ロボットアーム５は、被洗浄体４を移動させて、被洗浄体４とマイクロバブル噴射器３との相対位置を変えながら、マイクロバブル６を被洗浄体４に衝突させる。 （もっと読む）

【課題】トンネル式洗浄機において、流体排気通路で洗浄機の各チャンバからの均等な蒸気排気を容易にし、各チャンバからの熱損失を最小限にするため最適化される。
【解決手段】トンネル式洗浄機には、トンネル式洗浄機のチャンバを分離する間隔を保つ二重壁カーテンが含まれ、チャンバ間およびトンネル式洗浄機外への流体および熱移動が防止される。二重壁カーテンにはトンネル式洗浄機の操作の間にカーテンが互いに粘着することを抑制する表面が含まれる。またトンネル式洗浄機には種々の寸法の物品に対し乾燥効率を均等にする空気マニホールドが含まれる。 （もっと読む）

【課題】基板の周縁部に形成された処理膜を除去する基板処理装置において、基板単位の処理時間を短縮し、処理膜形成のスループットを向上すると共に、歩留まりの低下を抑制する。
【解決手段】基板Ｇを基板搬送路に沿って平流しに搬送する基板搬送手段２１と、前記基板搬送手段により第一の搬送方向に搬送される前記基板Ｇの、搬送方向に沿った両側縁部の処理膜を除去する第一の除去手段５ｂと、前記第一の除去手段により前記両側縁部の処理膜が除去された基板の搬送方向を、前記第一の搬送方向に直交する第二の搬送方向に転換する搬送方向転換手段７と、前記基板搬送手段により第二の搬送方向に搬送される前記基板Ｇの、搬送方向に沿った両側縁部の処理膜を除去する第二の除去手段６ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】積層した各部品を確実に洗浄、乾燥する積層部品の洗浄および乾燥用装置を提供する。
【解決手段】パレット２に立設した円筒状部材３の側面５に切り欠き部6ａ1,6a1,6ｂ1,6b2を形成し、該切り欠き部に第１、第２の部品受け部材７、８を設ける。第１の部品受け部材７は、球体９を側面５外に配置させ、軸１３を中心に回転可能に設けられている。１つ目の部品が円筒状部材３に遊嵌されると、該部品に押されて第１の部品受け部材７が反時計回りに回転する。これにより球体９が該部品とパレット２間に配置され、該部品を点で受ける。第１、第２の部品受け部材７、８は互いに連結部材１１によって連結されており、第１の部品受け部材７の回転に伴い、円筒状部材３内に配設されている球体８が、連結部材１１に押されて側面５外に突出する。これにより２つ目の部品が円筒状部材３に遊嵌されると、第２の部品受け部材（球体）８が該部品を点で受ける。 （もっと読む）

【課題】 流体量や流体圧の増加を必要とせずに、短時間で効率的に被洗浄物の全面を洗浄可能なスピンナ洗浄装置を提供することである。
【解決手段】 被洗浄物を保持する保持面を有し回転可能なスピンナテーブルと、該スピンナテーブルに保持された被洗浄物に洗浄流体を供給する洗浄流体供給手段とを備えたスピンナ洗浄装置であって、前記洗浄流体供給手段は、洗浄流体供給源に接続されたアームと、前記アームの先端に配設されて洗浄流体を前記保持面に向かって噴射する洗浄流体噴射ノズルと、前記スピンナテーブルに保持されて所定速度で回転される被洗浄物に対して、該アームの先端が該スピンナテーブルの回転中心を通るように該アームを揺動させる揺動手段とを含み、該洗浄流体噴射ノズルは、該アームの先端にロータリージョイントを介して配設され、該保持面と平行な面において該ロータリージョイントを中心に回転可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】蒸気乾燥後にワークの表面に残留した溶剤等を良好に乾燥することのできる乾燥方法を提供する。
【解決手段】洗浄したワーク１００を、ＩＰＡ１２０を用いて乾燥する乾燥方法は、洗浄によってワーク１００に付着した水分をＩＰＡ１２０で置換する置換工程と、置換工程後のワーク１００を、蒸気乾燥槽５内に移動させてＩＰＡ１２０の蒸気中に留置する蒸気乾燥工程と、蒸気乾燥工程後に、ワーク１００を蒸気乾燥槽５の外に移動し、ワーク１００に対してドライ温風を当てる送風乾燥工程とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】溶剤の回収効率を高めて、溶剤の消費量を低減させるとともに、比較的安価な洗浄装置を提供することができる。
【解決手段】ワークの乾燥作業時において、ファン密閉部２１、洗浄・乾燥槽６、回収器１２及び配管５１〜５３は、外気とは完全に遮断された完全密閉状態を保持する。また、水分分離器１４、液戻槽１６、配管５６，６１及びその他配管も全て外気とは遮断された完全密閉状態であるように保持する。ワークの乾燥作業終了後に、洗浄・乾燥槽６に連設された冷却槽５内で、洗浄籠２及びワーク内の空気を冷却し、残存する僅かな溶剤蒸気を更に低減させ、かつ、冷却槽５内に流出した乾燥経路内の空気も冷却されるようにして溶剤蒸気濃度を更に低減させる。 （もっと読む）

【課題】複数の液処理モジュール間で共有されている共通用力系の負荷を抑えた処理装置等を提供する。
【解決手段】処理モジュール群は、基板に対して各々同一の処理を行うための多数の処理モジュールを、ｎ個（ｎ≧２）を１組としてｋ組（ｋ≧２）備え、各組の処理モジュールには各組の処理モジュールに対して共通化されると共にその最大能力がｍ個（ｍ≦ｎ）分の大きさの共通用力系が設けられている。搬送機構は各組の処理モジュールに基板を順次１個づつ搬入する動作を繰り返し、このとき（１）共通用力系が使用されている一の処理モジュールにおける処理が終了した後にその組の他の処理モジュールへ基板を搬入するか、または（２）当該一の処理モジュールの処理の終了を待たずに他の処理モジュールへ基板を搬入してから当該一の処理モジュールにおける処理が終了した後に他の処理モジュールの処理を開始する。 （もっと読む）

【課題】浸漬洗浄および噴射洗浄を組み合わせて小型ノズルの洗浄を１つずつ行うことができ、ハンダ粒子等を確実に除去できるノズル洗浄装置を提供する。
【解決手段】このノズル洗浄装置は、洗浄液を貯蔵する下部タンク２３と、下部タンクと連通する洗浄液収納部を下部に備えると共に、ノズル１７を保持する複数のノズル保持部５１を有しかつ下方への回転移動時にノズルを洗浄液収納部の洗浄液内に浸漬する回転板２１を備える縦タンク２２と、回転板の回転動作によるノズルの移動路に沿って配置され、１つのノズルに対して洗浄液を噴射する５方向ノズル１０２と、洗浄液収納部の洗浄液内であって回転板の回転動作によるノズルの移動路に沿って配置され、旋回流によりマイクロバブルを発生することにより１つのノズルを洗浄する旋回ノズル１９３を備える。 （もっと読む）

【課題】 優れた泡保持性、洗浄性を有するとともに、被洗浄面に白化を生じることなくアルミニウム材質に対して腐食性のない飲食料品製造設備用発泡洗浄剤組成物およびそれを用いた洗浄方法を提供。
【解決手段】
下記の（Ａ）成分から（Ｆ）成分を、組成物全体に対し下記の割合で含有するとともに、（Ｇ）成分としての水を残質量％含有することを特徴とする飲食料品製造設備用発泡洗浄剤組成物を用いる。（Ａ）アルカリ剤０．１〜５質量％、（Ｂ）アニオン界面活性剤０．５〜５質量％、（Ｃ）炭素原子数が１２〜１８のアルキル基またはアルキレン基を有するアルキルジメチルアミンオキサイド０．５〜５質量％、（Ｄ）芳香族スルホン酸塩０．５〜５質量％、（Ｅ）水溶性カルシウム化合物０．１〜５質量％、（Ｆ）金属イオン封鎖剤１〜１０質量％。 （もっと読む）

【課題】低環境負荷で、より洗浄力の高い洗浄方法、その方法を実施するための洗浄ユニット、およびその洗浄ユニットを組み込んだ洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄方法は、洗浄液としての電解アルカリ性水にマイクロバブルを発生させ、その液を被処理部物に供給しながらブラシ処理することを特徴とし、洗浄ユニットは、洗浄液としての電解アルカリ性水を内部に蓄えるための洗浄槽（１０２）と、洗浄槽（１０２）内にマイクロバブルを発生させるためのマイクロバブル発生ノズル（１０３）と、被処理物をブラッシング処理するためのブラシとを具備したことを特徴とし、洗浄装置は、被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄液に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備し、洗浄ユニットとして、前記洗浄ユニットを用いたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低環境負荷で、より洗浄力の高い洗浄方法、その方法を実施するための洗浄ユニット、およびその洗浄ユニットを組み込んだ洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄方法は、洗浄液としての電解アルカリ性水にマイクロバブルを発生させ、その液中で超音波を間欠照射させて処理することを特徴とし、洗浄ユニットは、洗浄液としての電解アルカリ性水を内部に蓄えるための洗浄槽（１０２）と、該洗浄槽（１０２）内にマイクロバブルを発生させるためのマイクロバブル発生ノズル（１０３）と、前記洗浄槽（１０２）の内部に蓄えた電解アルカリ性水中に超音波を照射可能な超音波振動子と、を具備したことを特徴とし、洗浄装置は、被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄液に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備し、洗浄ユニットとして、前記洗浄ユニットを用いたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】主領域が撥液面でその外周の周縁領域が親液面である基板の表面に付着した液体を液切りして除去する場合に、基板表面にウォータマークが発生することを確実に防止することができる装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗの搬送方向に対して交差するように、基板表面へその幅方向全体にわたって気体を吐出するエアナイフ３２を配設し、エアナイフより基板搬送方向における後方側に、基板の周縁領域２へ基板搬送方向における後方かつ基板外方に向けて気体を吐出する補助気体ノズル３６を配設し、基板の周縁領域に滞留した液体を除去しもしくは周縁領域に液体が滞留するのを防止するようにした。 （もっと読む）

【解決手段】 パレット洗浄システム２は、水平状態のパレット１を起立状態とする起立部Ｃと、パレットに洗浄液を噴射する洗浄部Ｄと、パレットに付着した洗浄液を脱水する脱水部Ｅと、パレットを乾燥させる乾燥部Ｆとを備えている。
このうち、上記乾燥部Ｆは、乾燥手段１９を備えた乾燥室２０と、複数の起立状態のパレットを所定間隔で保持して、該パレットを載置面に直交する方向に搬送する主コンベヤ（第７コンベヤ２２）と、主コンベヤの搬送方向に直交する方向にパレットを移動させて主コンベヤにパレットを供給する供給コンベヤ（第６コンベヤ２１）と、主コンベヤの搬送方向に直交する方向にパレットを移動させて主コンベヤからパレットを排出する排出コンベヤ（第８コンベヤ２３）とを備えている。
【効果】 パレットの洗浄から乾燥までを効率的に行うとともに設置面積を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】 従来のワークの洗浄・乾燥装置は、ワークの多数の各洗浄・乾燥ポイントを、多数の水洗・乾燥ノズルで狙い、処理する構成である。多数のノズルを要し、洗浄装置・ノズル・配管等の複雑化、保守管理の複雑化と、装置の大型化と、複雑化等を招来する。また、洗浄・乾燥装置の複雑化、装置の大型化等を招来する課題があった。
【構成】 本発明は、複数のステーションと、遮蔽用の扉を備えたワークを順送りする回転テーブルと、洗浄・乾燥位置に設けた自転及び公転で遊星運動する上面洗浄・乾燥用のノズルを備えた上面洗浄・乾燥装置と、自転、及び上面洗浄・乾燥装置の公転による公転で遊星運動する対の側面洗浄・乾燥用のノズルを備えた側面洗浄・乾燥装置と、自転及び公転で遊星運動する下面洗浄・乾燥用のノズルを備えた下面洗浄・乾燥装置と、水・エアを供給する手段で構成したワーク洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】配管を介して供給される冷却流体によって基板を処理する基板処理装置において、低い温度に保たれた冷却流体を安定的に基板に供給する。
【解決手段】二重配管７１により冷却ガスが処理チャンバ１内の冷却ガス吐出ノズル３に供給される。二重配管７１は円環プレート８１に保持され、さらに円環プレート８１がベローズ８２により処理チャンバ１に対して移動自在に連結されている。このため、二重配管７１のうち処理チャンバ１内でノズル３と接続された冷却ガス供給管部７１Ｂは、冷却ガス吐出ノズル３の走査移動に伴い大きく移動変位するが、その移動に伴いプレート８１が移動して冷却ガス吐出ノズル３との距離がほぼ一定値に保たれて冷却ガス供給管部７１Ｂはほぼ直線状態を維持したまま変位する。このように冷却ガス供給管部７１Ｂが湾曲変形するのを抑制し、冷却ガス供給管部７１Ｂの移動により発生する負荷が抑制される。 （もっと読む）

【課題】薬液処理後の基板を水洗処理する場合に、純水の使用量を節減し、排液量を少なくし、処理時間を短縮することができる装置を提供する。
【解決手段】基板搬送方向における長さが基板Ｗの寸法より短くされた置換水洗室１０、置換水洗室内において基板を一方向へ連続して搬送する搬送ローラ、置換水洗室内の入口付近に配設された入口ノズル１６、入口ノズルより基板搬送方向における前方側に配設された高圧ノズル１８、および、置換水洗室内の出口側に配設されたエアーノズル２２を備えて置換水洗部２を構成した。置換水洗室１０内へ基板Ｗが搬入される前に入口ノズル１６および高圧ノズル１８からの洗浄水の吐出を開始し、置換水洗室内から基板が搬出された後に入口ノズルおよび高圧ノズルからの洗浄水の吐出を停止するように制御する。 （もっと読む）

【課題】フローティングユニットを用いて基板をフローティング状態に維持したままで基板の洗浄工程を行うことによって、基板の垂れによる破損を防止することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】本発明の洗浄装置は、基板にプラズマを照射して基板上の異物を除去するプラズマ照射部、基板上に残っている異物を除去する異物洗浄部、基板を洗浄する仕上げ洗浄部、基板を乾燥させる乾燥部と、基板をアンローディングする基板アンローディング部を備え、プラズマ照射部には、プラズマを照射するプラズマ照射ユニット及び基板をフローティング状態に維持させるフローティングユニットを含む。 （もっと読む）

【課題】自動車部品用等のパーツボックスの洗浄において、洗浄性、油水分離性、仕上がり性、貯蔵安定性、低泡性に優れたコンテナ用洗浄剤組成物および洗浄方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）アルカリ剤を０．５〜１８質量％、（Ｂ）両性界面活性剤を０．２〜２０質量％、（Ｃ）水を残質量％含み、且つ（Ａ）成分と（Ｂ）成分との重量比が、（Ａ）成分／（Ｂ）成分＝１０／１〜１／４０の範囲であることを特徴とするパーツボックス用洗浄剤組成物を用いる。更に、（Ｄ）高分子ポリマーを０．４〜９質量％含有することを特徴とする、パーツボックス用洗浄剤組成物を用いる。 （もっと読む）

【課題】低コストで、優れた除去効果を有する付着物の除去方法およびこれに用いる付着物の除去装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる付着物の除去方法は、液滴を含む気体を被処理物に対して吹き付ける、ことを特徴とし、本発明にかかる付着物の除去装置、前記付着物の除去方法に使用する除去装置であって、液滴を含む気体を吹き付けるためのノズルと、気体を送り込む配管と、前記配管に液体を合流させる配管と、気体を送り込む配管の途中に設けられ前記液体の合流前の気体および／または合流後の気体を加熱する少なくとも１つの加熱部と、を含む、ことを特徴とする。 （もっと読む）