【課題】 被洗浄物を均一に洗浄しつつ、複数種類の機械部品等の被洗浄物を安価に自動洗浄することのできる自動化された超音波洗浄機を提供すること。
【解決手段】 被洗浄物を回転可能な保持籠に入れ、超音波を用いて複数の槽で洗浄する超音波洗浄機であって、該保持籠を槽間移動せしめる移動機構を備えている自動超音波洗浄機とそれを用いた自動超音波洗浄方法によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】フィルム状物の表面の洗浄能力を高めつつ、しかも、洗浄後の脱水・乾燥をも一つの装置内で行えるようにする。
【解決手段】本装置１では、バックアップロール２に吸着されたフィルム状物Ｗとクリーニングヘッド３の凹部３ａとの間に形成されたギャップＧに、噴射通路８ｂを通って高速高圧の水流が、また、噴射通路９ｂを通って高速高圧のエア流が流入する。流入した水流は、図１の矢印で示すように、排気通路５ｂ及び排気通路６ｂに二分されてギャップＧから流出する。このとき、この水流によってフィルム状物Ｗに付着したダストなどが剥離洗浄される。一方、流入したエア流は、図１の矢印で示すように、排気通路５ｂ及び排気通路７ｂに二分されてギャップＧから流出する。このとき、このエア流によってもフィルム状物Ｗに付着したダストなどが剥離洗浄されるとともに、このエア流によって当該フィルム状物Ｗに付着した水分が脱水・乾燥される。 （もっと読む）

【課題】ウエハを保持した環状のフレームがスピンナーテーブルの所定位置に確実に固定されたことを確認することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】スピンナーテーブル３１上へのフレーム保持機構３２は環状のフレームの下面を保持する保持面を有する下面支持部材３２１と、下面支持部材に中間部が支持軸３２３によって揺動可能に軸支され支持軸の上側に環状のフレームの上面を押圧する爪部３２２ｂが設けられているとともに支持軸の下側に錘部３２２ｃを備えた振り子部材３２２とを具備している。下面支持部材３２１にはスピンナーテーブルの回転が停止されている状態において爪部より内側にあって保持面より上方に突出し環状のフレームの外周縁を規制する規制部３２１ｅが設けられている。フレームのスピンナーテーブル上への設定がズレていると、フレームが規制部に乗り上げ真空吸着力が低下するので、ズレが検出可能である。 （もっと読む）

【課題】プラスチックフィルムの表面に付着した数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れまでも連続的に除去することができるフィルムの洗浄装置を提供する。
【解決手段】１又は２枚の平部材５３と、この平部材５３に形成され、平部材５３に平行に走行するフィルム１２の表裏面の少なくとも一方の面側に対して洗浄液を吹き付ける洗浄液吐出口５２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】手作業による作業効率の低いインキ装置の清掃作業を、生産性、作業効率の向上と溶剤、ウエスの資材の消費を抑え、洗浄によるコスト削減の自動洗浄装置を提供する。
【解決手段】インキドクターブレード自動洗浄装置１においては、インキドクターブレード３に固着したインキ汚れを洗浄するためにエアーと共に微少量の溶剤を噴射、また回転式エアーノズルにてインキを掻き取る作用を利用しております。このエアーノズルを可変速にて移動させることにより、インキドクターブレード３全体において、汚れの度合いに応じて自動洗浄致します。また、ドクターブレード本体３を任意角度にて揺動させることによりインキドクターブレード３の複雑な形状の自動洗浄に対応しております。これにより、手作業での洗浄に比較し、洗浄時間の短縮、洗浄コストの削減、洗浄効果の向上を提供致します。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板に所定温度に加熱された処理液を確実に供給することができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】処理液が貯えられる貯液タンク３２と、貯液タンクに貯えられた処理液を基板に噴射するための上部ノズル体３１に給液管路３３を通じて供給する供給ポンプ３４と、給液管路に設けられ上部ノズル体に供給する処理液を所定温度に加熱する第１の加熱ヒータ３７と、上部ノズル体が基板の上面から外れた待機位置にあるときに供給ポンプによって上部ノズル体から噴射される処理液の温度を測定する温度センサ４３と、温度センサが測定した処理液の温度が所定温度であることを検出したときにその検出に基いて上部ノズル体を基板の上方に移動させて上記処理液を噴射させる制御装置を具備する。 （もっと読む）

【課題】レーザー彫刻方式にて表面が凹凸パターンに形成されたフレキシブル円筒状印刷版を簡便に洗浄する方法の提供。
【解決手段】樹脂硬化物層表面にレーザー彫刻方式にて凹凸パターンが形成された印刷層を含有するフレキシブル円筒状印刷版の洗浄方法であって、（１）該印刷版の内周面を少なくとも２つのローラーで保持する装着工程、（２）２つのローラーの間隔を離し、該印刷版にテンションをかけつつ回転させながら洗浄液により洗浄する洗浄工程、を含むフレキシブル円筒状印刷版の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】プラスチックフィルムの表面に付着した数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れまでも連続的に除去することができるフィルムの洗浄システムを提供する。
【解決手段】走行するフィルム１２に、洗浄液を用いて洗浄を行う洗浄部３６と、洗浄した前記走行するフィルムの乾燥を行う乾燥部３８と、を備え、洗浄部３６は、フィルム１２を走行させながら該フィルム表裏面の少なくとも一方の面側に洗浄液を供給することにより、少なくとも一方の面に沿った水流で洗浄する構造であるようにする。 （もっと読む）

【課題】付帯設備の少ない洗浄装置で効率よく洗浄でき、洗浄作業や保守点検作業等の経費を節減可能な金属部品の洗浄方法および洗浄装置を提供する。
【解決手段】金属製の被洗浄対象部品１の表面の付着物を除去する金属部品の洗浄方法であって、陽極８ａおよび陰極８ｂを挿入した洗浄液中に直流電圧を印加処理して洗浄液を調製する洗浄液調製工程と、調製された洗浄液中で上記被洗浄対象部品を超音波洗浄する超音波洗浄工程とを備えてなり、洗浄液調整工程と超音波洗浄工程とが異なる槽内で行なわれ、洗浄液調製槽３での洗浄液調整工程で調整された洗浄用水溶液を、超音波洗浄工程を行なう洗浄槽４に循環供給する。 （もっと読む）

【課題】基板表面に付着したパーティクル等の汚染物質を除去する基板洗浄装置および基板洗浄方法において、低い温度に保たれた冷却ガスを安定的に基板に供給することのできる技術を提供する。
【解決手段】スピンベース２３上に保持され、表面に液膜を形成されて回転する基板Ｗに対し、冷却ガスを吐出する冷却ガス吐出ノズル３をスキャンすることにより液膜を凍結させてパーティクル等を除去する。冷却ガスを生成するガス冷却ユニット６４０を、冷却ガス吐出ノズル３を支持するアーム３４の回転軸３３に取り付け、アーム３４とともに揺動するようにしている。このため、冷却ガス供給管６４８を短くすることができ、輸送中にガス温度が上昇するのが防止されて、低温のガスを安定して供給することができる。 （もっと読む）

【課題】、処理対象物を容器内に収容して洗浄する場合に、処理対象物を効率的に洗浄することが可能な滅菌装置及び洗浄方法を提供すること。
【解決手段】滅菌装置１であって、容器２０と、前記容器２０を支持する支持部材３１、３２と、前記容器２０を振動させる振動源と、前記容器２０に洗浄液を供給する洗浄液供給手段６０と、前記容器２０内に蒸気を供給する蒸気供給手段７０と、処理液排出手段６５と、処理対象物排出部２７とを備え、前記容器２０は、両端部が壁部により閉塞され略水平に配置可能とされる筒状体からなり、前記駆動源は、振動モータ５０により構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

電極は経路に沿って端部を縦にして搬送される。電極は、底部外周端で支持されて、概ね垂直に保持される。複数の洗浄ノズルが経路に隣接してその対向する両側に配置される。ノズルからの洗浄スプレイは電極の両側面に当てられる。ノズルは、直線状に配置されてノズルアレイを形成し、電極の底部より先に上部に洗浄スプレイが当たるように角度が付けられる。リンスまたは前洗浄用の分離した部分を洗浄チャンバ内に備えてもよい。使用済みの水を回収して再利用してもよい。
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【課題】 ベースから基板が落下することを低減し、十分な洗浄ができる基板の製造方法、を提供することを目的とする。
【解決手段】 ベース２に接着されたブロック１と、アルカリ液４と、を準備する工程と、ベース２に接着されたブロック１をスライスし、ベース２に接着された基板列とする工程と、基板列をアルカリ液４により洗浄する工程と、基板列をベース２から剥離し複数の基板１ａとする工程と、を有し、アルカリ液はＢｒｉｘ値で管理される。 （もっと読む）

【課題】貯蔵プールの水中で、狭隘部や障害物があっても、目的とする部位の各種作業を遠隔地点から行うことにある。
【解決手段】水中を航行する遠隔操縦式移動体であるＲＯＶ６，１７，２６に電動ウインチ８と空気袋６ｂに接続された吸着パッド６ａや、内視鏡カメラ２２やサンプリングヘッド２９を装備させ、それらを貯蔵プール１の外側から操作卓１３等で操縦して、容器２を吸着パッド６ａで吸着保持して検査個所から移動させる作業や、内視鏡カメラ２２を用いてその移動跡での観察作業を行ったり、サンプリングヘッドで貯蔵プール壁面に付着した物質の採取作業を行ったりする。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、従来よりも洗浄能力を向上させた、ダイコーター用洗浄装置を提供することである。
【解決手段】ダイコーターのスリットノズル先端部を洗浄するための洗浄装置であって、洗浄ユニットと、該洗浄ユニットをスリットノズルの幅方向に沿って移動させる洗浄ユニット移動手段とを備え、該洗浄ユニットは、洗浄液と搬送気体との混合流体を噴射して前記スリットノズル先端部を洗浄する二流体ノズル群と、洗浄によって生じ前記スリットノズル先端部に付着した洗浄廃液を除去するエアーナイフ群と、噴射された気体および洗浄廃液を排出する排出手段とを有し、前記二流体ノズル群は、噴射範囲が狭いラウンドスプレーノズルと、噴射範囲が広いフラットスプレーノズルとを少なくとも含む２種類以上のスプレーノズルの組合せを含むものであることを特徴とする洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】酸素濃度を低減した処理液で基板を処理できる基板処理装置および基板処理方法を提供すること。
【解決手段】基板処理装置１は、基板Ｗを保持するスピンチャック３と、スピンチャック３に保持された基板Ｗに対向する基板対向面３４を有し、基板対向面３４の周囲からスピンチャック３に向かって突出した周壁部３２が形成された遮断板６と、スピンチャック３に保持された基板Ｗに処理液を供給する第１上側処理液供給管３５とを備えている。第１上側処理液供給管３５には、第２上側処理液供給管３８を介して第１配管内調合ユニット５１から薬液が供給される。この薬液は、薬液原液と、不活性ガス溶存水生成ユニット５０によって純水中の酸素が脱気され、当該純水中に不活性ガスが添加されて生成された不活性ガス溶存水とが第１混合部５９内で混合されることにより調合されたものである。 （もっと読む）

【課題】搬送される基板を流体によって処理する場合、流体の圧力で基板の搬送状態が不安定になるのを防止した基板の処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板を搬送しながら流体によって処理する基板の処理装置であって、
チャンバ３と、チャンバ内に設けられ基板を所定方向に搬送する支持ローラ１４及び駆動ローラ１７と、支持ローラ１４と駆動ローラ１７によって搬送される基板の板面に流体を噴射供給するノズル体６２と、搬送される基板を挟んでノズル体から噴射される流体の噴射方向に対して傾斜して配置され基板の先端が流体の流路に到達する前にノズル体から噴射された流体の一部をその傾斜角度に応じて反射させ、残りを透過させて減衰させる減衰制御部材６５を具備する。 （もっと読む）

【課題】ほぼ自動的にロールスクリーンを洗浄し、作業能率の向上と、均質な作業ができるロールスクリーンの洗浄装置並びにロールスクリーンの洗浄用車両を提供する。
【解決手段】ロールスクリーンの洗浄装置Ａは、適宜の機枠１に対し、ロールスクリーンユニットＳにおけるスクリーン本体ｓ３を洗浄する洗浄ユニット３が具えられ、この洗浄ユニット３は、スクリーン本体ｓ３の送り方向上流側に洗浄剤Ｌを噴出する洗浄スプレーボックス３１を配置し、更にその近傍に吸引ボックス３６を具えた。 （もっと読む）

【課題】乾燥に用いられるフッ素系溶剤の消費量を低減させたフッ素系溶剤スチーム洗浄方法を提供する。
【解決手段】被洗浄物１０を保持した被洗浄物治具１１は、洗浄槽内２０の超音波手段２２により超音波が加えられたフッ素系溶剤中に浸漬されて洗浄され、洗浄後、フッ素系溶剤中から引き上げられ、引き上げられた被洗浄物治具１１に、過加熱蒸気供給手段３０により発生した過加熱のフッ素蒸気が噴射されて被洗浄物１０が乾燥され、余剰の過加熱のフッ素蒸気は、チルド手段４０により凝縮されて回収される。 （もっと読む）

【課題】汚れを除去できると共に、確実に滅菌でき、さらには箸の握り部分を揃えて包装することができると共に、箸の再生日あるいは所定の箸が所定のユーザに配送されているかどうかを容易に知ることができる箸の再生方法を提供する。
【解決手段】使用済みの箸を洗浄する洗浄工程と、箸の頭を揃える箸揃え工程と、箸を消毒する滅菌工程と、箸を乾燥させる乾燥工程と、箸を１膳毎に個別に包装する包装工程とから構成し、箸揃え工程では、箸の頭部と先端部とで異なる重量を利用して揃え、滅菌工程にはオゾン水を適用する。そして、前記包装工程時には、一般的な広告文、図柄等と共に、前記各工程の実施により再生した再生日と再生した箸の配送先のユーザ名の少なくとも１個が印字されている包装紙を使用する。 （もっと読む）