【課題】少ない工程数で、必要十分な洗浄を行うことができる容器内洗浄装置を提供する。
【解決手段】容器内洗浄装置１は、開口部を下にした状態で被洗浄容器２を収納可能な受け容器３と、受け容器３から被洗浄容器２の開口部を通って上方に伸びる洗浄管４と、この洗浄管４に取付けられて被洗浄容器２の内壁に向かって高圧の液剤を噴射する噴射部５と、受け容器３の底面または側面に取付けられる廃液ダクト６と、被洗浄容器２を受け容器３内で回転させる回転機構７とを備えている。受け容器３内の溝８ａに被洗浄容器２の開口部の端部を嵌合させて被洗浄容器２を回転させた状態で、被洗浄容器２の内壁に高圧の液剤を噴射し、洗浄後の廃液は受け容器３から廃液ダクト６に流すようにすることで、被洗浄容器２の内壁に塗料等がへばりついている場合でも、一回の洗浄できれいに除去することができる。 （もっと読む）

【課題】ノズル内の流路における異物の付着を防止し、被処理基板に対する塗布液の塗布
の際に、ノズル吐出口から処理液を均一に吐出する。
【解決手段】吐出口１６ａから塗布液を吐出するノズル１６と、前記ノズル１６の待機期間において前記ノズル１６内の流路が前記塗布液から前記塗布液の溶剤Ｔに置換された状態で保持するメンテナンス手段２６とを具備し、前記メンテナンス手段２６は、前記ノズル１６に前記溶剤Ｔを供給する溶剤供給手段３３，３４と、前記ノズル１６の吐出口１６ａとの間に所定の間隙を形成する液保持板２８の液保持面２８ａと、この液保持面２８ａを洗浄する液保持面洗浄手段５１とを有する。 （もっと読む）

【課題】より簡易な構造で安全性を確保することができる処理装置を提供することである。
【解決手段】発火及び爆発に対する所定の安全対策の施された設備が配置され、引火性のある処理液を用いて所定の処理が行われる処理室と、該処理室とは隔離されつつ一体となり、電気設備及び前記処理室にて用いられる前記処理液の通路が配置された遮蔽室とを備えた処理装置であって、前記遮蔽室内から気体を導出する気体導出手段と、該気体導出手段にて導出された気体のガス濃度を検出するガス濃度検出手段とを有する構成となる。 （もっと読む）

【課題】水蒸気中の不純物を低減することで基板上の微粒子等を確実に除去すること。
【解決手段】純水ＰＷを加熱沸騰させて水蒸気を発生させる石英ガラス製の水蒸気発生容器１１０と、水蒸気発生容器１１０に純水ＰＷを供給する純水供給部４００と、水蒸気発生容器１１０で発生した飽和水蒸気ＳＶを加熱して過熱水蒸気ＨＶを生成する石英ガラス製の過熱水蒸気生成容器１５０と、過熱水蒸気生成容器１５０で発生した過熱水蒸気ＨＶを基板Ｗの表面に噴射させる基板処理装置３００とを備えている。 （もっと読む）

【課題】移動の際に洗浄液が飛散しにくく設置スペースが狭いノズル洗浄装置、および当該ノズル洗浄装置を備える電子部品実装機を提供することを課題とする。
【解決手段】ノズル洗浄装置５は、洗浄液Ｌが貯留される洗浄槽６００を有しノズル８の被洗浄部８２を洗浄する洗浄部６０と、洗浄部６０の上方に配置され洗浄後の被洗浄部８２に気体Ｇを吹き付けることにより、被洗浄部８２を乾燥させる乾燥部６１と、洗浄部６０と乾燥部６１との間に配置され、洗浄部６０と乾燥部６１とを連通、遮断可能に仕切るシャッター６２０を有するシャッター部６２と、を有する装置本体６を備える。洗浄モードにおいてはシャッター６２０を開け被洗浄部８２を洗浄し、乾燥モードにおいてはシャッター６２０を閉じ被洗浄部８２を乾燥させる。 （もっと読む）

【課題】
人体と接触することによって皮脂等の汚れが付着した物品を、安全に、簡便にかつ効果的に洗浄する方法を提供する。
【解決手段】
蛋白分解酵素及び脂肪分解酵素を含有し、界面活性剤を含有しないマイクロバブル洗浄用組成物、並びにマイクロバブルを含有する洗浄液を用いることを特徴とする、物品の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】洗浄後の脱脂を不要とすることができる、機械加工品の洗浄方法を提供する。
【解決手段】まず、第１洗浄工程および第２洗浄工程が行われる。第１洗浄工程および第２洗浄工程では、シリンダヘッドに洗浄液が供給されて、シリンダヘッドが洗浄される。次に、第１乾燥工程が行われる。第１乾燥工程では、シリンダヘッドにエアが吹き付けられ、シリンダヘッドに付着した洗浄液が除去される。その後、ミスト工程が行われる。ミスト工程では、第１乾燥工程で一旦乾燥したシリンダヘッドに対して、洗浄液のミストが吹き付けられる。ミスト工程の後は、第２乾燥工程が行われ、シリンダヘッドにエアが再び吹き付けられて、シリンダヘッドから洗浄液が除去される。 （もっと読む）

【課題】より簡素な構成によってダウンフローを発生させること。
【解決手段】スピンナ洗浄装置１は、ワークを保持するスピンナテーブル３０と、鉛直方向を回転軸としてスピンナテーブル３０を回転させるモータ４２と、スピンナテーブル３０に保持されたワークに洗浄水を供給する洗浄水供給ノズル５０と、スピンナテーブル３０を収容するケーシング２０と、モータ４２に接続された羽３６Ａを備え、羽３６Ａは、モータ４２によってスピンナテーブル３０が回転する際に同時に回転し、ケーシング２０内にダウンフローを発生させる。 （もっと読む）

【課題】液中洗浄と気中洗浄とを行うことができるタレット式洗浄装置を提供すること。
【解決手段】タレット式洗浄装置１は、クイル２１に固定されたセンターポスト２２と、センターポスト２２に軸支されたタレットヘッド４と、ワークＷを洗浄するための洗浄工具Ｔと、タレットヘッド４を旋回させるタレット駆動装置６と、タレットヘッド４が配置された洗浄室３と、洗浄液Ｃを貯溜する洗浄槽７と、ワークＷを回動させる回動ユニット８と、洗浄液Ｃを供給する第１洗浄液供給流路１４と、洗浄液Ｃを供給する第２洗浄液供給流路１５と、第１洗浄液供給流路１４及び第２洗浄液供給流路１５に洗浄液Ｃを供給する洗浄液供給源１６と、洗浄槽７内の洗浄液Ｃを排出する排出口７ａと、を備えている。タレット式洗浄装置１は、選択された洗浄工具ＴからワークＷに洗浄液Ｃを噴射することによって液中洗浄、半液中洗浄及び気中洗浄することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 ワーク載架用のステージに接離可能となる二重カップによる洗浄槽において、二重カップの内側カップに洗浄ノズルを付設し、内外側カップで構成される通路を、排液、又は排気用の流路とする構造であり、密封型の清浄槽である。渦状の流れをつくり、ワークに均一に洗浄液が噴射され、均一な清浄が可能となる。通路による吸引効果と、内側カップの周辺部には吸引力が生成し、渦の発生は可能である。しかし、渦発生力が弱いので、渦のトルネード効果は期待できないと考えられる。
【解決手段】 本発明は、カプセル型の開閉自在の洗浄室と、洗浄室の一方に設けたノズルと、他方に設けた吸引部と、洗浄室内に設けた回転自在のワーク支持台とで構成したカプセル型の洗浄機であり、洗浄室において、ノズルより噴射される洗浄液、洗浄水、又は空気を旋回するとともに、吸引部に誘導可能とする構成としたカプセル型の洗浄機である。 （もっと読む）

【課題】被処理基板のエッチング時において被処理基板のエッチング量の面内均一性を向上させることが可能な基板の処理装置を提供する。
【解決手段】ガスの供給部および排気部を有する処理チャンバ；処理チャンバ内に配置され、被処理基板を回転可能および上下動可能に保持する保持部材；チャンバに供給するガスの温度調整を行うための第１温度調整器；被処理基板にエッチング液を供給してエッチング処理を行うためのエッチング液供給部材；エッチング液供給部材とチャンバの外部で接続されたエッチング液供給タンク；タンク内のエッチング液の温度調整を行うための第２温度調整器；および第１、第２の温度調整器によるガスの温度調整およびエッチング液の温度調整をチャンバ内の温度がタンク内のエッチング液の温度より高く、かつそれらの温度差を一定になるように制御するための制御機構；を具備した基板の処理装置。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム屑に付着している油脂分、水分を、環境負荷なく、かつエネルギー消費量を抑え、効率的に除去し、アルミニウム屑の溶融リサイクル使用でのアルミニウムの回収率を高めるとともに環境改善を図る。
【解決手段】付着液が随伴したアルミニウム屑を洗浄槽内に投入し、アルミニウム屑の充填層に溶剤を通過させて、アルミニウム屑を洗浄する工程を含むアルミニウム屑の処理方法であって、上記洗浄槽内のアルミニウム屑を洗浄中、又は洗浄後に加温し、次いで、アルミニウム屑の顕熱にて前記アルミニウム屑に付着した溶剤を後工程の真空乾燥工程において蒸発できる程度の付着量以下まで減少させた後、当該アルミニウム屑を真空乾燥工程においてアルミニウム屑を加熱することなく前記付着した溶剤を減圧下において蒸発させて乾燥させることを特徴とするアルミニウム屑の処理方法。 （もっと読む）

【課題】効率よく、かつ医療器具の細部分まで洗浄できる医療器具の洗浄方法および医療器具の洗浄装置を提供する。
【解決手段】医療器具にオゾンガスを接触させること、および、医療器具を洗浄液で洗浄する液体洗浄工程をさらに含むこと、また、前記液体洗浄工程で用いた洗浄液を貯水する工程を含み、前記貯水工程で貯水された洗浄液を前記液体洗浄工程で再利用することにより、前記医療器具を洗浄する。また、オゾンガスを発生させるオゾンガス発生部１６と、前記オゾンガスを利用して前記医療器具を洗浄する洗浄部１７とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 水面下に超音波振動子を配置した水槽の水中へ被洗浄物を搬送コンベヤでもって連続的に又は間欠的に水平に搬出入できて効率的な洗浄が行え、しかも通過する開口部からの水槽の洗浄水の排出量を低く抑えて小型化する。
【解決手段】 側壁の左右に開口部２，３を設けた水槽１内に超音波振動子７を上下及び前後に対向するように設け、開口部２，３を介して被洗浄物を収容するネットトレー５ｆが通過するように搬送コンベヤ５を設け、各開口部に上下動するシャッター４と水吹出ノズル８を設け、水槽１の外側に未洗浄の洗浄物を収容したネットトレー５ｆを搬送コンベヤ５に取り付ける投入ステーション１１と、水槽で洗浄したネットトレー５ｆ及び被洗浄物にリンス液を吹付けその後空気を吹付けて乾燥させる仕上げステーション（乾燥室１０）と、洗浄処理完了したネットトレー５ｆを搬送コンベヤ５から取り外す回収ステーション１２とを設ける。 （もっと読む）

【課題】基板洗浄工程中に電析の発生を防止しつつ基板の状態を観察することが可能な基板洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】発電層が形成された基板１２を洗浄する洗浄部と、それらの上流側に設けられて、基板１２を基板搬入口から洗浄部に搬入する搬入部と、洗浄された基板１２の発電層を乾燥させる乾燥部と、乾燥部の下流側に設けられて乾燥した基板１２を基板搬出口へ搬出する搬出部と、基板搬入口を除く搬入部、洗浄部、乾燥部、基板搬出口を除く搬出部内に入射する光を遮断する光遮断手段９と、それに設けられる観察窓１０と、観察窓１０から入射する光のうち発電層の発電に寄与する波長の少なくとも一部を遮断し、発電層の発電電圧を波長の少なくとも一部を遮光しない場合の発電電圧の１／１０以下にする光透過手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】階層状に並んだ複数の洗浄ラインに設けられる、ロールブラシ等の回転洗浄ロールの使用本数を低減可能な基板の洗浄装置の提供。
【解決手段】本発明の洗浄装置１は、載せられた基板Ｗを各々が上流側から下流側へ向けて搬送し、互いに間隔を置いて階層状に並んだ複数の搬送路２と、各搬送路２上を通過する基板Ｗをその上面側とその下面側とから挟むように配置する複数の回転洗浄ロール３を備える。前記回転洗浄ロールは、最上階の搬送路上を通過する基板をその上面側から接触して回転洗浄する最上階専用回転洗浄ロールと、最下階の搬送路上を通過する基板をその下面側から接触して回転洗浄する最下階専用回転洗浄ロールと、上下方向で隣り合う搬送路の間に配置し、上階側の搬送路上を通過する基板をその下面側から接触して回転洗浄し、かつ下階側の搬送路上を通過する基板をその上面側から接触して回転洗浄する兼用回転洗浄ロールとからなる。 （もっと読む）

【課題】基板に付着するリンス液に起因する基板の処理不良を防止することができる基板洗浄方法および基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗが回転するとともに、気液供給ノズル４５３の液体ノズル４５３ａが回転する基板Ｗの中心部ＷＣの上方の位置まで移動する。この状態で、液体ノズル４５３ａから回転する基板Ｗにリンス液が吐出される。気液供給ノズル４５３が基板Ｗの外方位置に向かって移動する。ガスノズル４５３ｂが回転する基板Ｗの中心部ＷＣの上方位置に到達することにより、気液供給ノズル４５３が一時的に停止する。気液供給ノズル４５３が停止した状態で、回転する基板Ｗ上の中心部ＷＣに一定時間不活性ガスが吐出される。その後、気液供給ノズル４５３が再び基板Ｗの外方位置に向かって移動する。 （もっと読む）

【課題】ワークの細部まで清浄に、且つ、効率よく乾燥させる乾燥装置を提供する。
【解決手段】乾燥装置１は、乾燥室５の側壁９５に設けた投入口１０から投入されたワークＷを、複数の貫通孔を有する底板を備えるバケット４０の底板上に載置した状態で、所定の間隔をおいて無限軌道帯に一列に吊るして複数配置させ、水平移動、下降移動、送り方向とは反対方向へ水平移動、上昇移動の順に該バケットを搬送させて、側壁９５に設けた排出口２０からワークＷを排出させる。ワークＷのバケット４０Ａへの投入に際して、底板のワーク出入口側が高所となるようにバケット４０Ａを傾斜させる投入用バケット傾斜手段と、ワークＷのバケット４０Ｂからの排出に際して、底板のワーク出入口側が低所となるようにバケット４０Ｂを傾斜させる排出用バケット傾斜手段と、乾燥室５の底部からバケット４０の底面に向かって熱風を送る送風手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】部品実装機の吸着ノズルを能率良くクリーニングできるようにする。
【解決手段】部品実装機のホルダ着脱機構に着脱可能に取り付けられた交換用吸着ノズルホルダ１１を該部品実装機から取り外して該交換用吸着ノズルホルダ１１に収納された吸着ノズル１２を吸着ノズル用クリーニング装置２１でクリーニングするために、吸着ノズル用クリーニング装置２１のクリーニング槽２２内に、部品実装機のホルダ着脱機構と共通のクリーニング用ホルダ着脱機構２３を設け、部品実装機のホルダ着脱機構から取り外した交換用吸着ノズルホルダ１１を、クリーニング槽２２内のクリーニング用ホルダ着脱機構２３に取り付けて、該交換用吸着ノズルホルダ１１に収納された複数本の吸着ノズル１２を超音波洗浄等によりクリーニングする。 （もっと読む）

【課題】発熱体の劣化を防止しつつ流体の加熱効率を高めて、運転性能を向上させた洗浄装置を提案する。
【解決手段】洗浄用の水を供給する給水路４と、給水路４内の流体を誘導加熱により加熱する流体加熱装置６とを具備してなり、流体加熱装置６により加熱された流体を被洗浄物に供給する洗浄装置において、流体加熱装置６は、給水路４の中途部に配設され、内部中空を有する筒状の本体部６４、及び本体部６４の内部空間と区画されかつ外部空間と連通される収容部６５が設けられる管体６０と、管体６０の外側に巻回される誘導加熱コイル６１と、管体６０の収容部６５に収容されて配設される発熱体６２と、誘導加熱コイル６１に高周波電流を印加する高周波電源部６３と、を有する。 （もっと読む）