表面、及び、結合マトリックスによって前記表面に結合したダイアモンド粒子を含み、各ダイアモンド粒子は表面粗さが約０．６０〜約０．８０でありそして真球度が約０．２５〜約０．５０である、ワイヤ。
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【課題】 砥粒の電着効率を高めることによって短時間で電着することができ、装置の小型化が容易な電着砥粒ワイヤ工具の作製方法と作製装置を提供する。
【解決手段】 砥粒電着槽が回転式ドラム槽３１と固定式ドラム槽３４から構成され、回転式ドラム槽３１の下方に形成された鍔部上に砥粒を沈殿させて砥粒溜まりを作り、この鍔部上に所定間隔で立設して配された搬送ローラにワイヤ２０１を沿わせて前記砥粒溜まりにワイヤ２０１を入れ、ワイヤ巻取り機９０にて巻き取ることによって前記鍔部上でワイヤ２０１を周回走行させながら、ほぼ同時に回転式ドラム槽３１を回転させ、周回走行中のワイヤ２０１と砥粒電着槽内に配されたアノード電極との間を通電してワイヤ２０１表面に砥粒を電着させる。 （もっと読む）

【課題】本発明はダイヤモンド砥粒突出量分布を制御することにより、ダイヤモンド砥粒破壊によるウエハの損傷防止とコンディショニング性能のばらつきとを解消したＣＭＰコンディショナおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】電着技術により砥粒を固着するＣＭＰコンディショナにおいて、ダイヤモンド砥粒の突出量が高い砥粒を除去することによって、ダイヤモンド砥粒に損傷を与えることなく突出量をそろえる。ダイヤモンド砥粒が除去された後、除去部位をめっき層によりコーティングして、めっき屑等が脱落することを防止する。 （もっと読む）

コア（３１０）とコアよりも軟質の外側シース層（３２０）とを備えている固定砥粒ソーシングワイヤが提示されている。砥粒は、シース内に埋設され、結合層によって保持されている。コアとシースとの間の結合部は、該結合部を粗くすることによって、高められている。算術平均偏差粗さは、少なくとも０．５０μｍよりも大きくなっていなければならない。コアとシースとの間に噛合いが導入されていると、特に好ましい。このような界面粗さは、ワイヤにワイヤ伸線による十分な冷間加工を施すことによって得ることができる。さらなる強冷間加工において、噛合いが生じる。結合層は、金属結合層であってもよいし、または有機結合層であってもよい。
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砥粒（２０）を備えたソーワイヤー（１００、１１０、１２０、１３０）が提示され、前記粒子（２０）が、前記金属コア（１４）に部分的に埋め込まれ、かつ前記有機バインダー層（３０）に部分的に埋め込まれている。前記ワイヤー（１００、１１０、１２０、１３０）の利点は、金属バインダー層（３０）の適用を回避できることである。金属バインダー層は、固定砥粒ソーワイヤーのコストを増し、多くの場合、健康問題と安全問題を引き起こす。これは、有機バインダー層の使用により回避できる。更に砥粒を金属ワイヤーに良好に固定する利点が保持される。種々の実施形態が、金属ワイヤーへの種々の埋め込み程度により提示される。
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向上した砥粒保持力及び性能を有する研磨物品及び製造方法が開示される。向上した砥粒保持力をもつ研磨物品により、性能が向上した、製品寿命のより長い物品が得られる。
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【課題】切れ味が高められ、脱粒を防止でき、剛性を確保できるダイヤモンド砥粒及びこれを用いた半導体研磨布用コンディショナー。
【解決手段】ダイヤモンド粒子３Ａに、ダイヤモンド膜３Ｂが被覆されている。その被覆されたダイヤモンドが基板から突出する切刃の作用をし、前記基板に対向配置された半導体研磨布に研削加工を施す半導体研磨布用コンディショナー。また、そのダイヤモンド砥粒の平均粒径が、５５μｍ〜３００μｍの範囲内に設定されている。 （もっと読む）

【課題】従来のレジンボンド法や電着法による固定砥粒ワイヤーソーでは、曲げ強度が小さく、ボンド材の剥離や砥粒の脱落を生じ易いとする問題点を解消し、生産性の安定した、長寿命かつ研削性に優れる固定砥粒式ワイヤーソーとその製造方法を提供する。
【解決手段】ろう材の金属粉末と砥粒と有機バインダとを含むペースト状物質を作る工程、該ペースト状物質を金属製芯線の表面に塗布して前記金属粉末と前記砥粒とを金属製芯線の表面に定着させる工程、該金属製芯線の表面に定着された前記金属粉末と前記砥粒とをレーザー光などで加熱して、前記金属粉末を溶融させ、次いで冷却する工程、を含む固定砥粒式ワイヤーソーの製造方法であり、砥粒が、化学的に結合した合金もしくは金属間化合物の層を介して金属製芯線に固着されてなる固定砥粒式ワイヤーソーである。 （もっと読む）

鋼製ワイヤおよびその上に固定された砥粒（４２）を含む固定砥粒ソーイングワイヤ（４０）が開示される。鋼製ワイヤは、高炭素鋼の高強度パーライトコア（１４）および低炭素フェライト鋼皮膜（１２）を有する。粒子は皮膜（１２）に圧入され、バインダ層（１８）によって所定の位置にさらに保持される。低炭素（またなお鉄）皮膜（１２）の使用によると推測される、良好な鋸切断結果が得られた。固定砥粒ソーイングワイヤ（４０）は、シリコンウェハ（ソーラーおよび半導体）または他の高コスト材料を切断するために、しかし砥粒スラリの必要なしに、既存のワイヤソーで便利に使用することができる。
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【課題】繰り返し使用による研磨フィルムの劣化が抑制された研磨フィルムの提供。
【解決手段】フィルムの一方の面に、研磨層を有する研磨フィルムにおいて、該研磨層がバインダー樹脂と研磨粒子とからなり、かつ、該研磨粒子は、表面に複数の突起、このましくは疣状突起を有する球状シリカ微粒子であることを特徴とする研磨フィルム。前記球状シリカ微粒子は、該球状シリカ微粒子のＢＥＴ法により測定された比表面積を（ＳＡ１）とし、画像解析法により測定される該シリカ微粒子の平均粒子径（Ｄ２）から換算した比表面積を（ＳＡ２）としたときの表面粗度（ＳＡ１）／（ＳＡ２）の値が、２．０〜５．０の範囲にあり、該平均粒子径（Ｄ２）が１０〜１５０ｎｍの範囲にあり、前記球状シリカ微粒子の粒子径の変動係数が４．０〜２０％の範囲にある球状シリカ微粒子である。 （もっと読む）

本発明は、マトリックス材料中に分散させた、第１の超硬質又は硬質粒子材料と、少なくとも１つの第２の超硬質又は硬質粒子材料とを含む超硬質又は硬質複合材料を提供する。第１の超硬質又は硬質粒子材料の熱膨張率は、マトリックス材料の熱膨張率よりも低く、少なくとも１つの第２の超硬質又は硬質粒子材料の熱膨張率は、マトリックス材料の熱膨張率よりも高い。 （もっと読む）

【課題】砥粒の保持力が強く、かつドレス性が良好である低コストで長寿命なビトリファイドボンド砥石を提供する。
【解決手段】立方晶窒化ホウ素（ＣＢＮ）粒またはダイヤモンド粒からなる超砥粒１４をビトリファイドボンド結合剤１５により結合及び保持してなるビトリファイドボンド砥石１３において、ビトリファイドボンド結合剤１５は酸化物粒子１５ａと非結晶ガラス１５ｂとからなり、ビトリファイドボンド結合剤１５内部には外気に連通する連続気孔を有しない。 （もっと読む）

【課題】砥粒の保持力を十分に確保しながらも、安定的かつ良好な加工精度を得ることができ、しかも生産性にも優れた固定砥粒ワイヤーソーを提供する。
【解決手段】高強度で導電性を有する芯線２の外周面に対し、ダイヤモンド砥粒４を、電着により生成された金属メッキ層３で単粒固着させた固定砥粒ワイヤーソー１において、上記ダイヤモンド砥粒を、その砥粒本体４ａの表面に対し導電性粒子４ｂを点状に多数分散させて被着させることにより形成し、それにより、上記金属メッキ層を、上記芯線の外周面及び上記ダイヤモンド砥粒の基部４ｃを被覆すると共に、該砥粒の刃先部４ｄを露出させるように生成させた。 （もっと読む）

【課題】被覆砥粒１１の脱落を抑えて、砥粒加工用工具１の工具寿命及び砥粒加工性能を容易に向上させること。
【解決手段】加工面側に多数の被覆砥粒１１を電着ボンド材１３で結合してなる砥粒層９が形成された砥粒加工用工具１において、被覆砥粒１１は、砥粒１７と、砥粒１７の表面に包み込むように形成されたカーボンナノチューブ被覆２３とを備え、カーボンナノチューブ被覆２３は、多層カーボンナノチューブ２５（又は単層カーボンナノチューブ）の自己凝集力によって絡み合うように構成されていること。 （もっと読む）

【課題】適度の砥粒の固着力と砥粒本来の切れ味を備えた電着固定砥粒工具を安定して製造することができる方法を提供する。
【解決手段】電解液に含まれる砥粒の表面の一部には、金属製の基材の表面に被覆される金属メッキ層を構成する金属の一部もしくは全部と同じ金属または上記金属メッキ層を構成する金属と親和性のある金属が被覆され、当該砥粒の残部には金属の被覆が施されていないものを砥粒として用い、上記基材を、複数個の砥粒およびメッキしようとする金属の陽イオンを含有する電解液に浸し、陰極である基材の表面に電解液に含まれる複数個の砥粒とともに陽イオンから還元された金属が析出することによって複数個の砥粒が含有された金属メッキ層の被覆を有する電着固定砥粒工具を製造する。 （もっと読む）

【課題】硬質粒子の大きさに関わらず、台金の作用部へ固定される硬質粒子の数量を制御できる電着工具の作製装置を提供することにある。
【解決手段】台金の作用部に硬質粒子がめっきで固定された電着工具を作製する電着工具の作製装置であって、めっき液１０１が溜められるめっき液槽１０２と、めっき液１０１内に配置され、めっき液槽１０２に移動可能に支持された台金１０３と、台金１０３へ硬質粒子１０４を供給する硬質粒子供給器具１０５と、台金１０３とめっき液１０１へ電流を供給する整流器１１１と、台金１０３を移動しつつ、硬質粒子供給器具１０５を制御して台金１０３へ硬質粒子１０４を供給すると共に、整流器１１１を制御して台金１０３とめっき液１０１へ電流を供給して台金１０３に硬質粒子１０４をめっきで固定する制御装置１１５を具備する。 （もっと読む）

【課題】超砥粒の脱落が少なく耐脱落性の高い超砥粒砥石を提供する。
【解決手段】砥粒コート工程Ｐ１において、超砥粒３４に酸化物微粒子分散液が塗布された状態で乾燥および焼成を行うことで複数の酸化物微粒子３６が表面に固着された超砥粒３４が得られ、成形工程Ｐ３においてその超砥粒３４およびビトリファイドボンドを用いて成形され、焼成工程Ｐ４において焼成されることにより、超砥粒３４はその表面に固着された酸化物微粒子３６を介してビトリファイドボンド結合剤３２に結合されているので、その超砥粒３４の表面に固着された酸化物微粒子３６によるアンカー効果によって、超砥粒３４の脱落が少なく耐久性の高い超砥粒砥石１０が得られる。 （もっと読む）

【課題】耐熱性と機械的特性が更に向上したポリイミド樹脂結合砥石を提供する。
【解決手段】バインダー樹脂と、砥粒とを含む組成物を圧縮成形して得られる砥石において、前記バインダー樹脂が、数平均粒子径０．１〜９μｍのポリイミド粒子であることを特徴とする。
【効果】ポリイミド粉末は、ダイヤモンドや金属粉末からなる研削砥石組成物を構成するバインダーとして有用であり、研削性に優れ、研削工具は、芳香族ポリイミドを砥粒の結合剤として用いることで、砥粒層の成形性、砥粒との密着性においても優れているので、砥石性能が極めて安定して優れている。 （もっと読む）

本発明は、シリカを含むコーティングによって少なくとも部分的に被覆された溶融基材粒子を含む被コーティング粒子であって、上記基材粒子がその重量を基準にして４０重量％超のアルミナを含む被コーティング粒子に関する。 （もっと読む）

【課題】被研磨物に対する研磨性、耐熱性、耐フィブリル性、耐砥材粒子脱落性に優れ、持続的な研磨性能を発揮する研磨ブラシ用毛材および研磨ブラシを提供する。
【解決手段】ポリエーテルイミドブロック単位とシロキサンブロック単位を共重合したポリエーテルイミド−シロキサンブロックコポリマー樹脂（Ａ）１００重量部、または、前記樹脂（Ａ）に相溶可能な他の熱可塑性樹脂（Ｂ）を５０重量％未満混合した樹脂組成物１００重量部に対し、研磨砥材粒子５〜５０重量部を含有せしめた混合物を溶融紡糸したモノフィラメントからなることを特徴とする研磨ブラシ用毛材。 （もっと読む）