【課題】低減した周波数ドリフトを達成することができる、実質的に安定した周波数で出力信号を発生するためのＭＥＭＳにシステムを提供する。
【解決手段】所定周波数は、温度依存性及び少なくとも一つの所定の特性に基づく。さらに、所定周波数で発振するためにＭＥＭＳ発振器を励振するよう構成された励振機構、及び、抵抗感知を用いてＭＥＭＳ発振器の温度を検出し、周波数ドリフトを最小限にするために温度依存性及び少なくとも一つの特性に基づいて、ＭＥＭＳ発振器の温度が所定温度の所定範囲内にあるか否かを決定し、ＭＥＭＳ発振器の温度を所定範囲内に留めるように適合させるように構成された温度制御ループを含む。さらに、ＭＥＭＳ発振器の所定周波数を出力するように構成された周波数出力を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】センサデバイスと基板との間に発生する寄生容量を従来よりも抑制することができるとともに、センサデバイスと基板との電気的な結合を切り離すことによるセンサデバイスと基板との間の電気絶縁性を従来よりも向上することのできる三次元構造体を提供する。
【解決手段】三次元構造体１００は、第１の基板１と、第１の基板１の一方の面に形成された絶縁体からなる多孔層２と、多孔層２において第１の基板１が形成されている側の面と反対側の面に形成された第２の基板３とを備え、多孔層２における各孔２ａの積層方向に対する断面形状が、正六角形状の孔２ａを複数個並べたハニカム形状を有し、多孔層２の厚さは、１μｍよりも大きくなっている。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳによるシャッタ組立体Ｍにおける歪みの発生を抑えた表示装置を提供する。
【解決手段】板状に形成されるシャッタ板ＳＨと、アクチュエータ部ＡＣと、を有する複数の画素を備えた表示装置であって、アクチュエータ部ＡＣは、シャッタ板ＳＨに接続される梁部Ｂと、電圧が印加されることにより、梁部Ｂを湾曲させてシャッタ板ＳＨを駆動する駆動電極Ｅと、駆動電極Ｅを支持し、基板Ｂ１上に固定される第１支持部Ｓ１と、梁部Ｂを支持し、基板上に固定される第２支持部と、を有し、第１支持部Ｓ１および第２支持部の少なくとも一方は、基板から離れた平面部分Ｓｐと、平面部分Ｓｐから窪み、基板に接続する凹部Ｓｃと、を有し、凹部Ｓｃは、平面部分からほぼ垂直に傾斜して形成される垂直形成部分Ｓｖと、垂直形成部分Ｓｖから開始して、基板Ｂ１側に進むに従って傾斜が緩くなるように形成される部分Ｓｇを有する、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、機械式のシャッタが配置されたパネルを満たすオイルに気泡が発生することを防止することを目的とする。
【解決手段】表示装置は、間隔を有して対向配置された一対の光透過性基板１０，１２と、一対の光透過性基板１０，１２を貼り合わせるシール材３８と、封止空間に充填されたオイル４２と、光透過性基板１０に形成され且つ封止空間に配置されたシャッタ１４とを有し、シール材３８の熱膨張係数αはオイル４２の熱膨張係数βよりも大きい、又は０．８β≦α≦１．２βの関係を有する。 （もっと読む）

【課題】低電圧で駆動でき、リップルを抑えて安定した出力が得られる可変インダクタを提供する。
【解決手段】対向配置した薄膜インダクタと磁界遮蔽板、磁界遮蔽板を変位自在に支持する梁部及び薄膜インダクタと磁界遮蔽板の対向間隔を変化させるための駆動電圧が与えられる駆動電極を有し、互いに直列接続された複数のインダクタ素子と、この複数のインダクタ素子の駆動電極に、該素子毎に所定の位相差をもって、交流の駆動電圧を順に印加する駆動制御手段とを備え、複数のインダクタ素子のインダクタンス総和をインダクタンスとする可変インダクタ。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴ基板の信頼性を向上させることのできる表示装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の表示装置は、基板上に配置された複数のデータ線と複数のゲート線との交点のそれぞれに対応して配置される複数の画素と、前記基板上に配置された第１絶縁膜と、前記第１絶縁膜の上層に前記第１絶縁膜の少なくとも一部と接して配置され、前記第１絶縁膜とは異なる材質の膜である第２絶縁膜と、前記第２絶縁膜上に前記複数の画素のそれぞれに対応して配置され、側部に第３絶縁膜が配置される複数のＭＥＭＳシャッターと、前記複数のゲート線及び前記複数のデータ線に電位を供給する複数の端子であって、前記複数の端子の上部に配置された前記第１絶縁膜及び前記第２絶縁膜の開口部から前記電位の供給を受ける前記複数の端子と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】機械式のシャッタが配置されたセルを満たすオイルを注入するときにシャッタに与えるダメージを減らすことを目的とする。
【解決手段】表示装置は、切れ目４６を有して空間を囲むシール材４４と、シール材４４の切れ目４６を塞いで封止空間を形成するエンドシール５０と、封止空間に満たされたオイル５２と、一対の光透過性基板１０，１２間の間隔を保持するスペーサ５４と、シャッタ１４と、シャッタ１４を機械的に駆動するための、オイル５２内に配置された駆動部３８と、一対の光透過性基板１０，１２の対向面の少なくとも一方上に形成された壁部６０と、を有する。壁部６０は、シール材４４の切れ目４６と表示領域４８との最短経路を遮る位置に配置された部分を有し、スペーサ５４、シャッタ１４及び駆動部３８を構成する材料から形成されている。 （もっと読む）

【課題】ミラー基板の高剛性化と軽量化を同時に実現できる電磁型マイクロミラー装置を提供する。
【解決手段】電磁型マイクロミラー装置１は、ミラー基板２と、ミラー基板２を往復振動させるための駆動手段とを備えている。ミラー基板２の表面２ａには、光ビームを反射するためのミラーが形成されている。ミラー基板２の裏面２ｂには、構造補強材１０が形成されている。この構造補強材１０は三次元規則配列多孔体から構成され、構造補強材１０中には磁性材料が含まれている。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】検出範囲によらず、適切な自己診断を行うことのできる容量式物理量検出装置を提供する。
【解決手段】可動部２０と、可動部２０の変位方向に対向して配置され、可動部２０と共に第１容量部１６ａ、１６ｂを構成する第１固定部３０、４０と、可動部２０の変位方向と垂直方向に対向して配置され、可動部２０と共に第２容量部１７を構成する第２固定部１７とを備える。そして、自己診断時に、第１容量部１６ａ、１６ｂに第１変位信号を印加して第１容量部１６ａ、１６ｂで発生する静電気力によって可動部２０を当該可動部２０の変位方向に変位させ、第２容量部１７に第２変位信号を印加して第２容量部１７で発生する静電気力によって可動部２０を垂直方向に変位させる。 （もっと読む）

【課題】光反射性光学部品と光透過性光学部品とを近づけて配置することができ、基板の特性に関する要求が光学部品によって相反する場合でもそれらの要求を満たすことが可能な光モジュール及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光モジュールは、シリコン領域１１をエッチングすることにより形成された光透過性光学部品１２を有する第１の板状部材１０と、光透過性光学部品１２を透過した光を反射する為の光反射性光学部品（鏡２１〜２４）を有する第２の板状部材２０とを備える。第１及び第２の板状部材１０，２０は互いに接合されており、光透過性光学部品１２を透過する光の光路が、第１の板状部材１０の部品形成面及び第２の板状部材２０の主面に沿っている。 （もっと読む）

【課題】繰り返しの応力に対して信頼性の高いアクチュエータを提供する。
【解決手段】配線１４を備えた可動部９と、この可動部９を捩れ運動または曲げ運動、もしくはその両方で駆動させるための駆動部１２と、からなり、配線１４は導電性有機高分子としたことを特徴とするアクチュエータである。このように、繰り返しの応力が印加される可動部９に設けた、下部電極、上部電極、配線などを金属でなく導電性有機高分子で形成することにより、マイグレーションが生じることはなく、また可動部の可撓性を高めることができるので、高い信頼性を有するアクチュエータを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】複数の反射要素のアレイを有する空間光変調器を用いるときに、反射光の強度を大きくする。
【解決手段】空間光変調器２８は、それぞれ光が照射される複数のミラー要素３０のアレイを有し、ミラー要素３０は、回転軸ＲＣの回りに回転可能に支持されるとともに、ミラー要素３０は、回転軸ＲＣから第１の距離ａ１にあり回転軸ＲＣに平行な方向に幅ｂ１を持つ部分３１Ａａと、回転軸ＲＣから第１の距離ａ１よりも離れた第２の距離ａ２にあり回転軸ＲＣに平行な方向にその幅ｂ１よりも広い幅ｂ２を持つ部分３１Ａｂとを含む第１反射部３１Ａを有する。 （もっと読む）

【課題】可動部を有するＭＥＭＳ素子に対する外部からの静電気の影響を低減して信頼性を向上することができるＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】固定部及び可動部を有するＭＥＭＳ素子と、所定の間隔をもって可動部を覆い、固定部でＭＥＭＳ素子と固定された第１キャップと、第１キャップと導電部材により電気的に接続され、固定部上に配置され、且つグランド電位が供給される第１グランドパッドとを備えたＭＥＭＳデバイス。 （もっと読む）

【課題】製造時に任意の引張応力に設定可能な微小機械振動子を簡易なプロセスで実現する。
【解決手段】シリコン基板１上に２つのエッチングマスクパターン２および２本の両持ち梁型パターン３を形成する（図１（Ａ）、図１（Ｂ））。シリコンのウェットエッチングを行う（図１（Ｃ）、図１（Ｄ））。シリコン基板１を純水で洗浄して、大気中で自然乾燥させる。自然乾燥工程において、水の表面張力により２本の両持ち梁型パターン３が互いに引き合い、接触して固着する。シリコン基板１上に形成された２つの支持部１０と、一部の箇所が接触して固着し、両端が２つの支持部１０で固定されることによってシリコン基板１から浮いた状態で支持される２本の梁部１１とを備えた微小機械振動子が完成する（図１（Ｅ）、図１（Ｆ））。 （もっと読む）

【課題】振動子内に共振周波数制御機構を組み込むことが容易で、かつ広い周波数帯域での共振周波数制御が可能な微小機械振動子を提供する。
【解決手段】微小機械振動子は、シリコン基板１上に形成されたシリコン酸化膜２と、シリコン酸化膜２上に形成された電極４，５と、一端が電極４に接続され、電極４およびシリコン酸化膜２で固定されていない一部が開口部６内に突出するように形成される振動子部７と、一端が電極５に接続され、電極５およびシリコン酸化膜２で固定されていない方の先端部が開口部６内に突出した振動子部７の先端部と対向するように形成される制御極部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスを増やすことなく、オイルに対する耐性の高いバンプを形成することを目的とする。
【解決手段】第３上面６８を囲むように樹脂層５０を貫通する切れ目７６が形成されている。膜５２は、切れ目７６の内側では樹脂層５０の底面を除く全体を覆い、切れ目７６の外側では樹脂層５０の少なくとも一部が露出するように形成する。切れ目７６の内側では膜５２に全体的に覆われた樹脂層５０を残し、切れ目７６の外側では膜５２からの露出面から連続する樹脂層５０の全体を除去する。切れ目７６の内側に樹脂層５０及び膜５２からバンプ４８を形成し、切れ目７６の外側に第１基板１０から浮いた状態で膜５２からシャッタ１４と駆動部４０の少なくとも一部とを形成する。 （もっと読む）

【課題】基板面に対して大きく傾斜した（或いは垂直に近い）半透過反射面に酸化シリコン膜を均一に形成し得る光学部品の製造方法、並びにこの方法により製造された光学部品を提供する。
【解決手段】光透過性光学部品１２を製造する方法であって、板状部材のシリコン領域１１をエッチングして凹部を形成する第１のエッチング工程と、凹部の内側面を熱酸化させて酸化シリコン膜１４を形成する熱酸化工程と、酸化シリコン膜１４を覆う窒化シリコン膜１６を形成する窒化膜形成工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】向上した発光効率を有する、低電力のディスプレイを提供する。
【解決手段】前部および後部反射面の両方を有する光キャビティを利用する、空間光変調のための改良された装置および方法が開示される。光を空間変調するために、前部反射面内に、光透過領域が形成される。意図される見る人に面した前面と、光源に面した後面とを有する基板と、基板の前面の上に配置された誘電体材料層と、複数のアパーチャを含む、誘電体材料層の上に配置された金属層と、金属層の上に配置された複数の光変調シャッタ組立体１０２とを備え、複数のアパーチャは、複数の光変調シャッタ組立体１０２による変調のために、金属層を光源からの光が通過するのを許可する、ディスプレイデバイス。 （もっと読む）

【課題】トーションバーである梁の内部応力を少なくし品質良くミラーが動作する光スキャナーを提供する。
【解決手段】光反射面９ａを有する光反射部材９と、光反射部材９を支持する可動部８と、可動部８に一端が接続され、光反射面９ａと略平行に延在する複数の可動梁１０と、可動梁１０の他端に接続された変位部５と、変位部５に固定された永久磁石７と、可動梁１０の延長方向に変位部５から隔てて配置され、永久磁石７と協働して変位部５を駆動する駆動部１１と、変位部５に一端が接続され可動梁１０に略直交するとともに光反射面９ａと略平行に延在し、変位部５を支持する駆動梁６と、駆動梁６の他端が接続された固定部３と、固定部３が固定された基台２と、を備え、固定部３は接着剤４を介して基台２に固定され、接着剤４は固定部３が基台２と対向する対向領域３ａにおいて、対向領域３ａの中心３ｂから離れた場所に枠状に配置される。 （もっと読む）