【課題】弁板による開口の開閉時に弁シールと弁シート面との摺動を生じない簡単な構成の無摺動型ゲートバルブを提供する。
【解決手段】エアシリンダ８の駆動ロッド９と弁シャフト７との間に、ガイド溝及びガイドローラ３１ａ，３１ｂからなる平行移動機構と、カム溝３０及びカムローラ３３からなる垂直移動機構とを介在させ、前記弁シャフト７を、前記平行移動機構で弁シート面１０と平行に移動させたあと、前記垂直移動機構で前記弁シート面１０に対して垂直に移動させることにより、弁板５の弁シール６を前記弁シート面１０に垂直に接離させて前記開口３を開閉する。 （もっと読む）

【課題】弁体の無摺動動作によりパーティクルや粉塵の発生を抑えつつ開閉動作でき、大口径に設けた場合にも大型化を防ぎ、スループットを上げるために高速に開閉動作し、開閉動作後の弁体を確実にロックし、ウエハや基板等の大型化に対応し、エアシリンダの駆動源を用いたときに弁閉時にエアを排気しても弁閉止状態を確実に保持するゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁箱１に保持枠体２を介在させてピストンロッド１１を有する複動式エアシリンダ５を設け、ステム４にステムホルダ２１を設け、ステムホルダ２１の摺動部３１を揺動リンク３２のガイド部３３に沿って上下動自在に摺動させ、ピストンロッド１１とステムホルダ２１との間に傾動保持用スプリング１３を装着し、ローラカム１５と傾動用ローラ１４とを弁閉傾動動作開始位置で嵌合させ、これらの嵌合時に揺動リンク３２を揺動させてその揺動動作に伴って弁体３を弁座シール面７に揺動閉止させた。 （もっと読む）

【課題】内部での異物を含んだ流体の滞留を防止するようにして、異物の排出性に優れた流量制御弁を提供すること。
【解決手段】流量制御弁１６は、バルブボディ３１が、バルブニードル３３の軸線方向の一端面との間に、リターンスプリング３５を収容するスプリング収容室５３を有し、バルブニードル３３が、入口側ポート５１から導入され出口側ポート３２から導出される間の流体が通過する内部流路５２と、内部流路５２とスプリング収容室５３とを軸線方向に貫通する貫通孔７１を有し、貫通孔７１の端部に、貫通孔７１内の流体の通過を一方向に制御する逆止弁８１を設けるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】弁体の駆動動力を低く抑えると共に、混入した異物に起因する流体漏れを効果的に防ぐことも可能な三方弁を提供する。
【解決手段】アーチ形の凸状表面を弾性体２１で形成した弁体２と、弁体が回転可能に収容される弁室３ａを有する弁本体３と、弁室に連通する入口ポート４ａ及び２つの出口ポート５ａ、６ａとを備え、弾性体が弁室の内面３ｂを摺動し、２つの出口ポートのいずれか一方を閉じ、他方を開く状態と、一方の出口ポートを開き、他方の出口ポートを閉じる状態とを切り換える三方弁１であって、切り換え途中の中間開度において、弾性体の両端部の一方の端部が２つの出口ポートのいずれか一方の出口ポートに突出し、他方の端部が他方の出口ポートに突出する三方弁。弾性体をコイルばね９によって弁室の内面に付勢してもよく、弁体は、回転軸８の回転により弁室内を回転し、回転軸の軸線方向にコイルばねを複数並置してもよい。 （もっと読む）

【課題】流路を気密的に遮断する弁があるが、摩耗による外部漏れ、複数の作動部材のため、メンテナンスが困難であった。耐摩耗性に優れ、メンテナンスが容易な弁を提供する。
【解決手段】弁体８は、外側弁体部９および内側弁体部１１を有す。内側弁体部は、外側弁体部に対して相対的に直線的に移動可能であり、閉鎖設定において弁体への圧力差により、内側弁体部は、弁筺体に押し付けられ、外側弁体に対する差圧力は無くなる。弁座５は、放射状に内側を向いた第１内面１４を有し、外側弁体部は、放射状に外側を向いた第１外面１５を有する。第１外面は、閉鎖設定において、放射状に封止する接触が第１内面との間に存在する配置となる。外側弁体部は、放射状に内側を向いた第２内面１６を有し、内側弁体部は、放射状に外側を向いた第２外面１７を有する。第２外面は、放射状に封止する接触が第２内面との間に存在する配置となる。 （もっと読む）

【課題】軸受部材の内部空間から潤滑剤が流出する量を低減でき、軸受部材の内部空間に異物が混入する量を低減できるとともに、軸受部材のシール部材の変形を防止できる蓄冷器式冷凍機を提供する。
【解決手段】シリンダと、蓄冷器と、蓄冷器を往復駆動するための駆動力を発生する回転駆動部と、回転駆動部により回転駆動される回転部材３１ａと、同一の回転軸ＲＡを中心として相対回転可能に設けられた内輪部材６１及び外輪部材６２と、回転軸ＲＡに沿って内輪部材６１及び外輪部材６２の前後両側に各々が設けられた２つのシール部材６３−１、６３−２とを含み、回転部材３１ａを回転可能に支持する軸受部材６０とを有する。シール部材６３−１、６３−２は、内輪部材６１及び外輪部材６２のいずれか一方の部材に固定されるとともに、他方の部材との間に隙間Ｇが形成されるように設けられたものである。 （もっと読む）

【課題】弾性材が流体中に溶出する可能性を低減できるソフトシール弁を提供する。
【解決手段】弁体３は、芯金１２と、芯金１２の外縁部に設けられ且つ閉位置Ｓにおいて弁箱シート部６に当接する弁体シート部１３とを有し、弁体シート部１３は芯金１２にゴム２１をライニングすることによって形成され、芯金１２の外表面は、弁体シート部１３で囲まれた部分に、ゴム２１がライニングされていない非ライニング部２５を有している。 （もっと読む）

【課題】スライド弁体やこれを収容する弁体ハウジングの磨耗等を効果的に防止し得るとともに、スライド弁体をスムーズにスライドさせ得るスライド式弁装置及びこれを備えた輸送切替装置を提供する。
【解決手段】スライド式弁装置１は、スライド弁体２０と、このスライド弁体を略水平方向にスライド可能に収容する中空ガイド部１７を有するとともに輸送路２，３，４に連通される開口１１，１２，１２を有した弁体ハウジング１０と、前記スライド弁体の下面２０ａと前記中空ガイド部の底面１７ａとの間に臨むように設けられたエアー供給口３４を有するとともに、これらの間にエアー層が形成されるようにエアーを供給するエアー供給部３０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】スリーブ５の外周にフィードバック油路が形成され、且つ、スリーブ５の全周にストレーナ１３を取り付けるための取付け溝１２が形成された油圧制御弁において、入力ポート６側からフィードバック油路へ作動油が流れ込むことを防止する。
【解決手段】スリーブ５の外周には、入力ポート６の開口面を含んでスリーブ５の全周に凹設された取付け溝１２が形成され、この取付け溝１２には、作動油に含まれる鉄粉等の異物を取り除くためのストレーナ１３が装着される。このストレーナ１３には、入力ポート６側から取付け溝１２を通ってフィードバック油路へ作動油が流れ込むことを防止するシール部品１４が取り付けられている。シール部品１４は、ストレーナ１３に２箇所取り付けられて、スリーブ５の外周面に凹設された窪み面９の周方向両側に配設され、ストレーナ１３の外周面と取付け孔の内周面との間に形成される隙間をシールしている。 （もっと読む）

【課題】油内で油に対して開放された形状で、油中の異物の噛み込みを防止できる弁、およびこの弁を変速制御弁として備えるトロイダル型無段変速機を提供する。
【解決手段】変速制御弁８５は、ハウジング弁孔８９を備える弁孔部としてのバルブハウジング８６と、ハウジング弁孔８９内に挿入されるとともに、ハウジング弁孔８９内に満たされた油中に浸かった状態で作動する弁体としてのスリーブ８７を備える。また、変速制御弁８５は、スリーブ弁孔９０を備える弁孔部としてのスリーブ８７と、スリーブ弁孔９０内に挿入されるとともに、スリーブ弁孔９０内に満たされた油中に浸かった状態で作動する弁体としてのスプール８８を備える。ハウジング８６のハウジング弁孔８９の開口部９９は油中に開放されている。バルブハウジング８６の開口部９９の周囲に、環状の磁石１００が配置されている。 （もっと読む）

【課題】ガス流出孔の下流側の端部に水や油が入って溜まることを防止する。
【解決手段】ガス流出孔４ｂの上端部に弁座孔部４ｆを形成する。弁座孔部４ｆに副弁体１３の弁部１３ｃを着座、離間可能に着座させる。弁部１３ｃの上端面１３ｄについては、弁部１３ｃが弁座孔部４ｆに着座しているとき、つまり副弁体１３が閉位置に位置しているとき、プラグ部４Ａの上端面と同一平面上に位置させる。主弁体８及び副弁体１３については、両者が閉位置に位置しているとき、上下方向へ互いに離間するように配置する。 （もっと読む）

【課題】弁箱の内部に乾灰が固着することを防止する仕切弁を提供する。
【解決手段】仕切弁Ｖ１は、乾灰Ｄａが流通する輸送管９１の流路を開閉する。仕切弁Ｖ１は、弁箱１と弁体２を備える。弁箱１は、輸送管９１に接続され、輸送管９１の流路の一部を構成する弁室１１を内部に有する。弁体２は、弁箱１の外周に設けた開口１ａに出入りすると共に、弁室１１の遠心方向に進退して弁室１１を開閉する、又、仕切弁Ｖ１は、空気圧シリンダ３とジェットノズル４を備える。空気圧シリンダ３は、弁箱１に取り付けられ、弁体２を進退させる。ジェットノズル４は、弁箱１の外周に取り付けられ、弁体２及び弁体２を囲う弁室１１の内壁に付着する乾灰Ｄａを飛散させて除去するように、弁体２及び弁室１１の内壁に向けて圧縮空気を噴出する。 （もっと読む）

【課題】所定以上の圧縮力がシール材に作用した場合であっても、パーティクルの発生や、シール材が破損したりすることがないとともに、シール部がエッチングされ難いシールプレートおよびこれに用いられるシール材を提供すること。
【解決手段】シール材の断面形状が、シール溝の底面に接合される底辺部と、シール溝の内側面に接合される内側辺部と、弁座面３２に向かって突設する頂部１７と、頂部の外側に形成される外側傾斜辺部１８と、頂部の内側に形成される内側傾斜辺部１６と、を少なくとも有しており、さらに、外側傾斜辺部または内側傾斜辺部の少なくともいずれか一方には、少なくともシール溝の天端面よりも高い位置に、前記外側傾斜辺部および／または内側傾斜辺部に対して腹付けされたような形状をなした余剰部１６ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】シートリングを弁体に接離させるタイプのボールバルブを粉粒体の空気輸送に用いたときに懸念されるシートリングと弁体間の隙間からの粉粒体の洩れ出しを防止し、洩れた粉粒体が弁体の摺動隙間などに噛み込む現象をなくすることを課題としている。
【解決手段】弁体４に押し付けて弁体外周の摺動隙間を封鎖するシートリング５を有し、そのシートリング５を弁体４から離反させて弁部の開閉操作を行なうボールバルブに、弁体４とその弁体から離反させたシートリング５との間に生じる隙間の外周を取り巻いて外部から供給された空気を前記隙間に向けて噴射するパージ環８を設けた。 （もっと読む）

【課題】弁の分解が不要で、弁箱内部や弁体の洗浄作業を容易にし、弁の状態に応じて洗浄方法が選択できる洗浄可能な弁及び弁洗浄システムを提供する。
【解決手段】弁箱１と弁体２を備え、弁箱１の内部と弁体２が洗浄可能な弁１２において、弁箱１は、洗浄液を注水するための注水口３ａ、３ｂと、洗浄液を排出するためのドレンノズル４を備える。注水口３ａ、３ｂは、洗浄液を弁箱１の内部へ導くための洗浄用ライン１０が接続可能である。ドレンノズル４には、弁箱１の内部と弁体２を洗浄した後の洗浄液を排出するためのドレンライン９が接続される。 （もっと読む）

【課題】流体制御装置を提供する。
【解決手段】入口１８、出口２０、および、この入口から出口に延びる流路２２が形成された弁箱１６と、弁箱に接続された、流体が通過するオリフィスを形成する弁座リング２４と、前記弁箱に接続され且つ内部空洞を有するケージ３０であって、流体が通過する少なくとも一つの流路を含むケージ３０と、ケージの前記内部空洞に進入しうるサイズにされ、軸に沿って開位置と閉位置との間を移動可能に構成された絞り要素１４であって、前記軸に実質的に平行なシール面５２が形成された絞り要素１４と、この絞り要素が実質的に閉位置にあるときに前記シール面に係止し、そうすることによって前記弁座リングのオリフィスを通過する流体の流れを制限するシール１２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】弁体に付着したダストや粘着物の噛み込みを防止することのできるボール弁及びボール弁用シートリングの提供。
【解決手段】ボール弁１のシートリング５をドーナツ形の板状とする。シートリング５を弁箱２の内面から径方向で内向きに突出させる。弁体４の球形面３がシートリング５の内周縁に接触して閉弁する。シートリング５を表層１７と裏層１８と中層１９に分割して変形しやすくする。シートリング５の内周縁が弁体４の球形面３に密着する。開弁する際、弁体４に付着したダストや粘着物をシートリング５の表面側に削ぎ落とす。 （もっと読む）

【課題】低コストの構成であり、拡張ユニットの微小なストロークだけで閉塞プレート及び対プレートのそれぞれが、シート及び対シートのそれぞれに対して押し付けられる真空バルブを提供する。
【解決手段】各プレート（１０）（１１）が、閉塞装置（１２）の開位置において各平面（１３）（１４）に対して平行に配置されている。閉塞装置（１２）が、両プレート（１０）（１１）の間において、バルブロッド（２３）に対して固定され、両プレート（１０）（１１）の間隔を広げて、各平面（１３）（１４）に対して平行な拡張面（１７）（１８）を有するシート（８）（９）に対して閉塞プレート（１０）を押し付ける拡張ユニット（１６）を備えている。閉塞装置（１２）が、縦軸線（２６）の方向に拡張ユニット（１６）に対して動かされるとともに、縦軸線（２６）の方向に動かないようにプレート（１０）（１１）に対して固定されている少なくとも１つの支持部（３４）をさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】帯状部材が加工処理される真空装置に用いられる真空バルブであって、バルブ開口部を通じて帯状部材が案内される際、閉塞可能かつバルブ開口部が密閉可能な真空バルブを提供する。
【解決手段】パッキン(10)(11)がその延在範囲のうち第１パッキン主要部の中央部(19)にある第１範囲(22)において、閉塞子(9)に対して固定されるとともに溝部(12)(13)の２つの側壁のうち一方の側壁(24’)を構成する押縁部材(23)によりクランプされている。また、パッキン(10)(11)の延在範囲のうち第２範囲において、溝部(12)(13)を画定する２つの側壁(24)(25)および底壁(26)が閉塞子(9)により構成されている。 （もっと読む）

【課題】温度分布や昇温条件を任意に設定可能で、均一な発熱も高精度に実現でき、故障時のリスクを低減でき、修復作業が容易なゲートバルブを提供する。
【解決手段】バルブプレート２０中に、複数の発熱体モジュール３０を設置してバルブプレート２０を加熱する。発熱体モジュール３０は、各々が発熱体を収容部材中に封止した部材であって、これを単位に温度制御が可能であるとともに、故障した場合にはこの発熱体モジュール３０のみを交換すればよい。また、１つが故障をしても全体に対する影響は少なくリスクも低減できる。 （もっと読む）