【課題】流量制御機器の流量精度を常時監視しつつ、必要な場合には、再検定又は流量監視ユニット自体の自己診断を含む、より信頼性の高い流量検定を行う。
【解決手段】ガスを流量制御機器を経由してから所定のプロセスチャンバに供給する複数のプロセスガスラインに配設し、流量制御機器の前後におけるガス圧の下降又は上昇を測定することで流量制御機器の流量監視を行うガス流量監視システムにおいて、プロセスガスラインの内、選択した任意のプロセスガスラインの流量制御機器の上流側流路に備える第１流量監視ユニットと、プロセスチャンバの上流側流路から分岐する排出流路に備える第２流量監視ユニットと、第１流量監視ユニットによって流量制御機器の流量を常時監視するとともに、第１流量監視ユニットが複数回流量異常と検知した時に第２流量監視ユニットによって流量制御機器の流量異常の有無を再検定するよう指令する制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】検査プローブと伝熱管との中心軸を合わせること。
【解決手段】伝熱管５が開口する管板４の管板面に固定される検査ロボットに設けられ、伝熱管５に挿入される検査プローブ３０を自身の中心軸Ｃ１に沿って挿通案内する筒状のガイド部材２２２と、検査ロボットに設けられ、ガイド部材２２２の中心軸Ｃ１に対して自身の中心軸Ｃ３を平行とするとともに、各中心軸Ｃ１，Ｃ３が伝熱管５の配列間隔を基準とした間隔で配置されており、かつ伝熱管５に対して嵌合可能に設けられた嵌合部２２３２ｃと、嵌合部２２３２ｃの中心軸Ｃ３に沿って当該嵌合部２２３２ｃを移動させる移動手段２２４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】配管内の状態を監視する装置において、流量低下要因を容易に判別可能とする。
【解決手段】配管経路に検査用透明配管１１を介在し、照明光源１５でその検査用透明配管１１の外側から検査用の照明光を照射し、それによる該検査用透明配管１１の透過または反射光をカメラ１６で撮像し、パーソナルコンピュータ１７で光強度を解析することで、該検査用透明配管１１の内壁への付着物の状態を検出する。したがって、設備経路配管全体の内壁の錆び、スケール、スライム等の付着状態を、簡便に安価な方法で連続して監視することができる。また、経路配管全体の情報が得られるので、配管内流量に低下が生じている場合、その原因が配管全体の内壁への固体付着による管径細りなのか、局所的な異物付着なのかを簡単に判別することもできる。 （もっと読む）

【課題】物品の加工設備や製造設備における人為的な物品汚染を防止することができるセキュリティシステムを提供する。
【解決手段】セキュリティシステム１０においては、食品の加工設備や製造設備を構成する流体配管１１，１２，１３に設けられた継手１１ａ，１２ａ，１３ａが、隔壁１４によって周囲から隔離された継手室１５内に配置されている。継手室１５の内部には監視用のＴＶカメラ１７が配置され、隔壁１４の一部には施錠機構を有するドア１６が設けられている。ドア１６の施錠機構の解除手段を有する者のみがドア１６を開いて継手室１５に出入りすることができる。継手１１ａなどは、配管１１，１１の端部に形成されたフランジ同士の間に挟持されたメタルシールリングと、締付バンド１１ｂを縮径方向に締め付けることによりフランジ同士を圧着する締付ボルト１１ｄと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】水中ケーブルを曳航しながら航走する水中航走体と、その支援システム等の小型化と制御の簡単化を図ることができる、水中航走体、管内調査システム、水中航走体の上昇及び下降制御方法、及び、管内調査方法を提供する。
【解決手段】水中ケーブル４２の接続点Ｐを航走用推進器２２の推進軸の軸線Ｃから上下方向に関して距離Ｈを置いて設けるとともに、航走用推進器２２が発生する推進力Ｔによって発生する接続点Ｐ回りの第１モーメントＭ１と、水中航走体２０の水中重量の沈下力Ｗｔ又は浮上力Ｆｔによって発生する接続点Ｐ回りの第２モーメントＭ２とが、推進力Ｔが予め設定した設定推進力Ｔ０であるときに等しくなるように、水中重量の沈下力Ｗｔ又は浮上力Ｆｔを設定し、水中航走体２０の上昇又は下降の制御を、航走用推進器２２の推進力Ｔの増減によって行う。 （もっと読む）

【課題】流路の少なくとも一部を構成する樹脂管の劣化度合いを検知可能な配管システムを提供すること。
【解決手段】流路１８の少なくとも一部を構成する樹脂管２０と、樹脂管２０を曲げて形成され該樹脂管２０の中で最も曲げ半径が小さい管曲げ部２２と、内部に密閉された収容空間３０Ｓが構成され該収容空間３０Ｓに管曲げ部２２を収容した収容ボックス３０と、を配管システム１０が備えることで、樹脂管２０の劣化度合いを検知することができる。 （もっと読む）

【課題】 埋設金属管と他の金属構造物とのメタルタッチ部の位置を従来よりも効率よく検出する。
【解決手段】 埋設金属管１の検出対象区間の両端から、埋設金属管１と地中に対して、異なる周波数の信号電流Ｉ₁、Ｉ₂を通電する。この状態で、センサ駆動装置１４の台座１４ｅの上で、Ｘ方向に磁気センサ１３を往復させると共に、センサ駆動装置１４の台座１４ｅをＹ方向に移動させる。このような動作を行っているときに磁気センサ１３で検出された磁束密度に基づいて、信号電流Ｉ₁、Ｉ₂に対応する磁束密度のＸ方向成分Ｂ_xを抽出し、そのピークの位置の軌跡を表示する。具体的に、そのピークの位置と、測定開始地点を基準としたセンサ駆動装置１４のＹ方向への移動距離との関係を表示する。 （もっと読む）

【課題】本発明は上記事情に鑑み、衝撃波を利用して埋設配管等の管壁の減肉状況を迅速かつ簡単に把握できる導管の劣化診断設備、導管の劣化診断方法を提供する。
【解決手段】内部が液体によって満たされた導管の劣化を、衝撃波を利用して診断する方法であって、導管内と外部との間を連通する連通管１３を通して導管内の液体を外部に排出させている状態から、連通管１３内の液体の流れを遮断し、流れを遮断することによって発生する衝撃波を、導管の軸方向において互いに離間した位置で検出する。導管内から流出している液体の流れを遮断すれば、液体の流れが急に止められることによって、液体内に、急峻に圧力が変化する衝撃波を発生させることができる。よって、この衝撃波の到達時間のずれに基づいて算出される衝撃波の伝播速度も正確に把握することができるから、測定位置の間に存在する導管の劣化をより正確に診断することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置の配管系とは独立した比較的簡素な検査ユニットを構成し、比較的重要度が低い、又は比較的人体及び環境への危険性の低い供給及び排出等を担う配管を対象とする場合であっても、迅速且つ確実なガス又は液体の漏れ検知を可能とする。
【解決手段】易破断性の導電部１１を有しており、接続された配管を支持することにより導電部の導通ループが形成される配管支持部１０と、導電部１１と電気的に接続されており、導電部１１の破断を導通ループの分断に基づいて電気的に検知する破断検知部２０とを備えて、接続装置１が構成される。 （もっと読む）

【課題】効率的に配管の状態を検査することができる検査用台車を提供すること。
【解決手段】配管の検査に用いられる検査用台車であって、前記配管に接する第１配管接触部を備える２つのアーム部と、前記２つのアーム部を摺動可能に収容するアーム収容部と、前記配管に接する２つの第２配管接触部と、前記配管を検査するための検査装置を収容する検査装置収容部とを備える検査用台車であって、前記２つのアーム部が前記アーム収容部から延びるときの軌道が曲線軌道であり、該曲線軌道の曲率中心が前記配管の中心よりも前記本体側にあり、前記第２配管接触部は前記配管の前記本体側の半円に接し、前記本体部から前記アーム部が延びたときの前記第１配管接触部は前記配管の前記本体側とは反対側の半円に接する。 （もっと読む）

【課題】配管の方向は全て水平方向に変換され、また前後配管の表示を行えなかった。さらに、より網羅的な管理のためには、肉厚を測っていない配管についても減肉状態を表示することが必要であるが、肉厚を測定した配管しか減肉状態を表示できなかった。
【解決手段】プラント配管の肉厚の測定データと前記プラント配管のレイアウトデータを記憶する記憶手段と、前記レイアウトデータからある配管と類似した配管を検索する類似配管検索手段と、前記ある配管と前記類似した配管の肉厚測定データを比較して減肉差分量を算出する減肉比較手段とを備え、前記減肉差分量を表示する表示手段を有することを特徴とするプラント配管の減肉可視化装置。 （もっと読む）

【課題】 配管部等の取り付け・取り外し操作に伴う不純物の混入を排除するとともに、簡易な構成によって、高純度ガスの充填容器を迅速な操作で安全に保守管理を行うことができるガス供給システムを提供すること。
【解決手段】 パージガス流路Ｌｓと配管部Ｌの接続部Ｓを有し、該配管部Ｌの一部として、容器バルブ１ａとの接合部Ｓｏと、接合部Ｓｏと容器バルブ１ａの中間に設けられた第１バイパス流路Ｂ１と、接続部Ｓとプロセス装置２の中間に設けられた第２バイパス流路Ｂ２を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】減肉率測定箇所を漏れなく抽出するとともに、減肉率測定箇所の抽出作業の負荷軽減を図る。
【解決手段】測定箇所抽出処理部１０１ｃは、グラフ作成処理部１０１ｂによって、保守点検支援対象の配管プラントの設計情報であるＣＡＤデータを元に作成された木構造グラフに基づいて、測定箇所抽出条件記憶部１０２ｃに記憶される測定箇所抽出条件に従って、保守点検のために配管の肉厚の測定が必要な測定箇所を抽出する。測定箇所抽出処理部１０１ｃは、配管の肉厚の測定が必要な測定箇所の抽出の際に、測定箇所を一意に測定可能な測定番号を生成して、各測定箇所に付与する。 （もっと読む）

【課題】ネットワーク接続状態の有無により器具の使用制限機能を適切に制御することを目的とする。
【解決手段】ガス通路内のガス流量を求め、該流量値が器具流量と判定したとき登録する流量情報取得手段１１０と、流量値が登録されてからの連続使用時間を計測し、使用時間設定手段１１２の設定値と比較して使用時間の適否を判断する異常使用判定手段１０３と、外部と各種情報の送受信を行う通信手段１１３と、外部との通信状態が正常か否かで使用時間設定手段の設定値を変更する使用時間切替手段１０８とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】流路管内調査装置において、液体に浮かぶ流路管内調査装置の移動が流路管内の途中で停止した場合に、流路管内調査装置を液体中に浮遊させて移動可能とし、流路管内調査装置の回収を容易に行わせる。
【解決手段】装置本体が流路管内を流下する液体に沿って移動していない状態である装置本体の移動停止状態を検知する移動停止検知手段２１を設け、駆動機器９の制御装置１１は、移動停止検知手段が装置本体の移動停止状態を検知した場合に、流路管内の液体を液体用タンク７に導き入れ、この導き入れた液体の重さにより装置本体を流路管内の液体中に浮遊させて移動可能とするように、導液弁８を開動作する。 （もっと読む）

【課題】低コストの構成にて送液管の液漏れを確実に検出することができる二重配管の液漏れ検知方法及び装置を提供する。
【解決手段】送液管３とその外周を空間６をあけて覆う保護管５とから成る二重配管７における送液管３の液漏れを検知するため、保護管５の一端から他端にわたって連続する前記空間６が送液管３から漏れて溜まった液で遮断されるトラップ部１３を１又は複数形成し、保護管５の一端から前記空間６に排気ブロア１１などの送風手段にて気体を送風し、保護管５の他端部で圧力検出手段１２にて圧力変化を検出して送液管３からの液漏れを検知するようにした。 （もっと読む）

【課題】 集合住宅にガスを供給するガス配管系を対象とした場合でも、微少流量だけでなく大流量や同一流量のガス漏れも的確に検知することができるようにする。
【解決手段】 この発明のガス漏洩検知装置５は、ガス供給元から各ガス使用先に向けて分岐しているガス配管および各ガス使用先でのガスの漏洩を検知する装置であり、後段のガス配管等でのガス流量を検出する超音波式のガス流量検出手段６と、そのガス流量検出手段６が検出したガス流量に基づいて、ガス漏洩があるか否かの判別を行うガス漏洩判別手段７とを備え、ガス漏洩判別手段６は、所定の微少流量以上の検出が第１の判定時間以上連続したとき微少流量漏洩と判別し、所定幅内の同一流量の検出が第２の判定時間以上連続したとき同一流量漏洩と判別し、所定の大流量以上の検出が第３の判定時間以上連続したとき大流量漏洩と判別するようにしている。 （もっと読む）

【課題】 ガス漏れの検知を短時間に行うことができ、かつ微少流量だけでなく大流量や同一流量のガス漏れも的確に検知することができるようにする。
【解決手段】 この発明のガス漏洩検知装置５は、ガス供給元から各ガス使用先に向けて分岐しているガス配管および各ガス使用先でのガスの漏洩を検知する装置であり、ガス供給元の分岐する前のガス配管に直列に接続され、後段のガス配管および各ガス使用先でのガス流量を検出する超音波式のガス流量検出手段６と、そのガス流量検出手段６が検出したガス流量に基づいて、ガス漏洩があるか否かの判別を行うガス漏洩判別手段７と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】 音響式配管調査システムにおいて、配管路状態の分析精度を向上することができると共に、その分析処理を簡単なものとすること。
【解決手段】 音響式配管調査システム１は、調査対象となる配管１の配管路に音波を入射する発音部２と、入射した音波の反射波を観測するセンサ部３と、センサ部３にて得られた反射波信号を分析する分析部４とを備える。発音部２はタイムストレッチドパルス音波を配管路に入射するものである。分析部４はセンサ部で得られた反射波信号を分析して配管１の状態を調査するものである。 （もっと読む）

【課題】 腐食電流が小さい場合でも腐食の程度を推定可能な腐食推定方法を提供する。
【解決手段】 少なくとも一部が第１媒質１中に配置される長手状金属体２の腐食状態を推定する腐食推定方法であって、長手状金属体２と第１媒質１と同一又は異なる第２媒質３中に配置される導電性部材４とが接触する状態で、長手状金属体２の媒質１と接触する部位と導電性部材４との間に存在する直流電位差に相当する設定電位差を、交流電位差形成手段１２を用いて長手状金属体２と導電性部材４との間に形成する交流電位差形成工程と、交流電位差形成工程によって長手状金属体２に流れる交流電流を測定する交流電流測定工程とを実行し、交流電流測定工程において測定された交流電流に基づいて長手状金属体２に流れる腐食電流を推定する。 （もっと読む）