【課題】駆動源の負荷が小さく、真空チャンバの構成部品を高速回転することに適した支持装置を提供する。
【解決手段】本発明の支持装置は、回転軸３に所定の隙間を存して同心に外挿され、回転軸３の長手方向の端面が側壁に密着される筒状部材４を有している。回転軸３の筒状部材４から大気側に延出する部分には、回転軸３より大径のフランジ部５が一体的に形成され、このフランジ部５に所定の隙間を存して囲うカバー部材６が配置されている。カバー部材６の内周面には、回転軸３の長手方向に沿う環状の２つの第２の加圧溝６１ａ，６１ｂが凹設されている。給気通路６２ａ，６２ｂと給気管６３ａ，６３ｂとコンプレッサー４８とが、第２の加圧溝６１ａ，６１ｂにベアリングガスを供給する第２のガス供給手段を構成する。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの外径寸法を減少させることが可能であり、軽量化及び小型化が可能な静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】ハウジング２内へ静圧気体軸受６により回転可能に支持されている回転軸４の一端側へ取り付けられ、且つタービン羽根１２を有する円板状のタービン部１０と、ハウジング２に形成され、且つタービン羽根１２へ向けて気体を噴出するためのタービンエア噴出用ノズル部２２を備え、ハウジング２は、軸方向の両端面のうちタービンエア噴出用ノズル部２２に近い側の端面である第一ハウジング端面２ａ側に形成された凹状溝２４と、タービンエア噴出用ノズル部２２と凹状溝２４とを連通するタービンエア供給用連通路２８を有し、凹状溝２４は、回転軸４の径方向及び軸方向から見て、タービン部１０と重ならない位置に形成されている。 （もっと読む）

【課題】気体の運動エネルギーを高効率で回転駆動力に変換するスピンドル装置及び静電塗装装置を提供する。
【解決手段】スピンドル装置のタービン翼９は、回転方向の前方に向く前方面２１と後方に向き気体を受ける後方面２２とを備えている。後方面２２は、曲率半径Ｒ１を有する凹状円柱面であり、前方面２１は、Ｒ１よりも大きい曲率半径Ｒ２を有する凸状円柱面２１ａと平面２１ｃとの間に、Ｒ１よりも小さい曲率半径Ｒ３を有する凸状円柱面２１ｂを配して滑らかに連続させた面である。前方面２１を構成する３面のうち凸状円柱面２１ａが凸状円柱面２１ｂを挟んで流路の流入口側に配され、平面２１ｃが流路の流出口側に配される。隣接するタービン翼９の対向する前方面２１と後方面２２とに挟まれた空間が、気体の流路を構成し、ノズル１０から噴出された気体が流路の流入口３１から流入し、凹状円柱面の円弧状湾曲に沿う方向に流れて流出口３２から流出する。 （もっと読む）

【課題】自励振動を起こすことがなく、大量生産が可能で安価な静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること
【解決手段】基部４、該基部４の一方の面５から一体的に突設されている環状突出部６、一端７では該環状突出部６の突出端面８で開口している一方、他端９では基部４の外周面１０で開口すると共に環状突出部６及び基部４に設けられた給気通路１１を備えた合成樹脂製の軸受基体２と、基部４の一方の面５に対面している一方の面４１に形成されていると共に軸受基体２の環状突出部６を受容した環状凹所４２、他方の面４３で開口した環状凹溝４４及び一端４５では環状凹溝４４に連通していると共に他端４６では環状凹所４２に開口した自成絞りとしての複数個の空気吹出孔４７を有した合成樹脂製の軸受体３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】磁気軸受機構において、部品点数や消費電流の増加を抑制しつつ、ロータに外力方向逆側の力を作用させる。
【解決手段】外力が作用するロータと、ロータの外周面を覆う筒部、筒部の軸方向両側のうち外力方向に形成される第１端壁部、及び筒部の軸方向両側のうち外力方向逆側に形成される第２端壁部を有するステータコアと、第１端壁部からロータに作用する上記外力方向への吸引力、及び上記第２端壁部から上記ロータに作用する上記外力方向逆側への吸引力の双方を発生させるようにステータコアの筒部内に固定される永久磁石とを備えた磁気軸受機構について、上記ステータコア及びロータの一方又は両方を、永久磁石に起因する上記外力方向逆側への吸引力が、永久磁石に起因する上記外力方向への吸引力よりも大きくなるように構成する。 （もっと読む）

【課題】耐久性を確保しつつ、軽い操作力での開閉を可能にすることができる回転ユニットを提供すること。
【解決手段】回転ユニット１０に、鉛直方向に延在する軸部１２を有する軸側部材１１と、軸部１２が入り込む中空部２３を有すると共に、中空部２３に軸部１２が入り込んだ状態で相対回転可能に軸部１２を支持する支持側部材２１と、軸側部材１１における鉛直方向で支持側部材２１に対向する面に配設される軸側磁石１６と、対向面同士の極性が同じ極性で軸側磁石１６に対向するように支持側部材２１に配設される支持側磁石２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】環境温度が低温になっても、スピンドルが回転不能に陥るのを防止できる空気静圧軸受スピンドル装置、これを用いた回転霧化装置および塗装装置を提供する。
【解決手段】軸部２２およびフランジ部２３を有するスピンドル２１、軸受本体３１、軸部２２との間にラジアル隙間４３を有するラジアル軸受部材４１Ａ，４２Ａ、および、フランジ部２３との間にスラスト隙間４５を有するスラスト軸受部材４１Ｂ，４２Ｂを備えた空気静圧軸受スピンドル装置２０において、環境温度が２０℃の状態においてスラスト隙間が４０μｍ以下に形成され、環境温度が０℃の状態においてスラスト隙間が１０μｍ以上確保されるように、軸受本体３１およびスラスト軸受部材４１Ｂ，４２Ｂに用いる材料の線膨張係数が選択されている。 （もっと読む）

【課題】電磁石の電源が入っているときには所定の剛性を維持でき、電源が切られた際にはベアリングにタッチダウン可能で、かつ制御方向に直角な偏心に対しても有効に作用しつつこの偏心方向には磁束の漏れが少ない磁気軸受装置及び該磁気軸受装置を搭載した固液分離機を搭載した固液分離機を提供する。
【解決手段】固定子コア２９の下面には２つの電磁石鉄心２９ａ、２９ｂが突設されている。この２つの電磁石鉄心２９ａ、２９ｂの間に一つの環状スロット４９が形成されている。この環状スロット４９と電磁石鉄心２９ａの内側及び環状スロット４９と電磁石鉄心２９ｂの外側とにそれぞれ巻線を配設する。一方、回転子コア３５の上面には、この電磁石鉄心２９ａ、２９ｂに対峙するように回転軸を中心として環状に磁性体５１、５３が突設されている。この磁性体５１、５３の間に環状の永久磁石５５が固着されている。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールに対してスライダを着座させる際の姿勢制御を有効に行える案内装置を提供する。
【解決手段】第１の支持面１３ａの凹部１３ｄと第２の支持面１３ｂの凹部１３ｆとが、独立して流体の供給を中止可能な配管系即ち第１通路１３ｈ、第２通路１３ｉを介して、圧縮空気源Ａ，Ｂに接続されているので、例えばバルブＶ２を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第２の支持面１３ｂと第２の案内面１２ｂとの隙間を維持しつつ、第１の支持面１３ａが第１の案内面１２ａに着座することができ、或いはバルブＶ３を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第１の支持面１３ａと第１の案内面１２ａとの隙間を維持しつつ、第２の支持面１３ｂが第２の案内面１２ｂに着座することができ、これによりスライダ１３を静止した際に、これに連結されたテーブル等に載置されたワークを精度良く位置決めすることができ、加工精度や検査精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】質量の大きな物体の非接触支持が可能な磁気浮上制御装置を提供する。
【解決手段】浮上体３０に対向する磁極から浮上体を磁気浮上させる磁束を発生する支持力発生用永久磁石２１と、支持力発生用永久磁石２１の浮上体３０に対向する側で、前記磁極と同一の磁極が互いに向き合い、反対の磁極が向き合わないように配置された複数の磁力制御用永久磁石１３、１４と、磁力制御用永久磁石１３、１４の向き合う磁極の間隔を、浮上体に作用する磁力を強めるときには狭くし、弱めるときには拡げるように磁力制御用永久磁石を動かすアクチュエータ１５、１６とを備える。磁力制御用永久磁石の間隔を狭くすると、浮上体に達する支持力発生用永久磁石の磁束が集中し、浮上体に作用する磁力が強くなる。逆に、磁力制御用永久磁石の間隔を広くすると、磁束の集中が緩和され、浮上体に作用する磁力が弱くなる。 （もっと読む）

【課題】流体膜軸受と組み合わせた磁気軸受を用いて流体膜軸受の不安定性を制御する方法の提供。
【解決手段】流体膜軸受１８が主耐荷軸受として作用し、磁気軸受アッセンブリ１２がこの流体膜軸受の不安定性を制御する。この効果的な組み合わせによって、安定性の問題も信頼性の問題もなく高速で使用できる軸受が提供される。流体膜軸受の不安定性を制御する代替の方法は、軸方向におけるフローを妨害することである。例えば、スリーブ（ジャーナル）軸受は、軸受軸をシャフト軸に対して傾けて製造することができ、あるいは、可変ジオメトリの軸受は、軸受の角度ミスアラインメントを作るように製造することができる。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールの軽量化、生産効率の向上、低コスト化を図ると共に、当該ガイドレールに沿って可動体を移動させて位置決めする際において、負荷を非接触で安定してかつ効率良く支持することを可能にする静圧気体軸受直線案内装置を提供する。
【解決手段】一方向に沿って形成された凹部６ｇが同一向きに整列するようにレール構造体６Ｓ,６Ｔを相互に組み合わせたガイドレール２には、一方向に沿って延出した第１及び第２のガイド面６ｃ,６ｂが直交配置され、可動体４は、第１のガイド面６ｃに対向する第１の軸受パッド４ａと、第２のガイド面６ｂに対向する第２の軸受パッド４ｂとを備え、各軸受パッド４ａ、４ｂに設けられた気体噴出部８から可動体４とガイドレール２との間に加圧気体を噴射して導入することで、可動体４は、ガイドレール２に沿って非接触で移動可能となる。 （もっと読む）

【課題】隙間調整機構などの装置を設けることなく、ダイアフラムと弁座との隙間を所定の隙間に設定できるダイアフラム式可変絞り装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】第1開口部２１が形成された第1ハウジング１１と、第1開口部２１と対向するように第２開口部２２が形成された第２ハウジング１２と、第1開口部２１の周縁部に形成された第1挟持部３２と、第２開口部２２の周縁部に形成された第２挟持部３３と、第1開口部２１と第２開口部２２との間に設けられ、第1挟持部２１と第２挟持部２２により周縁が挟持されたダイアフラム１３と、第１開口部２１に連通する流体導入路４１と、第1開口部２１に設けられた弁座４５と、ダイアフラム１３との弁座４５との隙間４３に応じた流体を排出する流体供給通路と、を備え、第１ハウジング１１の第1挟持部３２と弁座４５は別体となっており、第1挟持部３２は弁座４５に取り付け又は取り外しが可能とした。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得るカムフォロアを提供すること。
【解決手段】カムフォロア１は、中空の転動体２と、転動体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関して転動体２を静圧気体によって支持すべく転動体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７と、スラスト方向に関して転動体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】簡便な構造で、高回転にも耐える回転機器用の流体軸受装置を提供する。
【解決手段】軸孔を区画する内周面に軸方向に所定幅の軸受面１ａを持つ軸孔部材１と、軸孔に回動自在に保持され軸受面に対向する軸面２ａをもつ軸部材２と、軸受面と軸面の間に流体を供給する流体供給手段とを有し、軸受面及び軸面はいずれも円錐台形の側周面状であり、流体供給手段は軸受面及び軸面との間に軸方向に流体を供給する。軸受面と軸面は円錐台形の側周面状であり、それらの間隙に流体が軸方向に供給されるので、軸部材２が軸孔部材１の軸心に付勢され、半径方向の荷重と、軸方向の荷重とを１つの機構で受けることができ、構造が簡単な回転機器が実現できる。軸部材２は軸上にタービン８を有し、軸孔部材１のノズル６からの噴流で回転する。 （もっと読む）

【課題】軸受本体を大型化する場合や、矩形板状以外の様々な形状の軸受本体を用いる場合であっても軸受本体を容易に加工することができる空気軸受の提供。
【解決手段】空気軸受２は、軸受本体３を備え、軸受本体３は、軸受面４１を有する矩形板状に形成される板状部材４と、軸受面４１の裏面４２に取り付けられる矩形板状の蓋部材５とを備える。軸受面４１には、空気を排気するための複数の排気孔が軸受面４１の四辺に沿って形成される。軸受面４１の裏面４２には、溝部４２１が裏面４２の四辺に沿って形成される。各排気孔は、溝部４２１に連通し、蓋部材５にて溝部４２１を覆うことで排気用流路を構成する。 （もっと読む）

【課題】前回り成分と後回り成分の両方を安定化することができ、複数の周波数帯域の減衰を増加させることが可能な磁気軸受制御装置と方法を提供する。
【解決手段】ロータの変位Ｘ，Ｙに基づきロータを中立位置に保持するフィードバック制御器３２と、ターゲット周波数Ｎｆが含まれる予め設定した前回りターゲット周波数帯域に一致するロータの前回り変位信号のみを抽出するＦクロス制御フィルタ３６Ａ，３６Ｂと、ターゲット周波数Ｎｂが含まれる予め設定した後回りターゲット周波数帯域に一致するロータの後回り変位信号のみを抽出するＢクロス制御フィルタ３７と、抽出したｘ軸の入力信号に所定のゲインｋをかけてｙ軸用電磁石の電流指令信号Ｉｙに重畳させ、抽出したｙ軸の入力信号に所定のゲインｋをかけてｘ軸用電磁石の電流指令信号Ｉｘに重畳させるクロス回路３８Ａ〜３８Ｃとを備える。 （もっと読む）

【課題】 ロボットや多自由度ステージ等に用いられる球面軸受に要求される、広い揺動角度と高い軸受剛性とを有し、回転揺動方向の平滑な動作と微小な角度の位置決めとを可能にし、且つ、長期間にわたって高精度を維持できる高い耐久性の全てを満足する球面軸受を提供する。
【解決手段】 軸部と球体部とを有する回転揺動体と、この回転揺動体の球体部に外嵌する凹面部を有する軸受体とから構成される球面軸受において、前記軸受体の凹面部を半球若しくはそれより浅い球面状に形成し、且つ、前記回転揺動体の球体部と前記軸受体の半球状の凹面部との少なくとも一方を磁石として、この磁石の吸引力によって前記揺動回転体と前記軸受体とを一体に保持すると共に、前記回転揺動体の球体部と前記軸受体の半球状の凹面部との少なくとも一方に静圧ポケットを刻設して、該静圧ポケットに圧油を供給して静圧軸受とすることを特徴とする球面軸受によって達成される。 （もっと読む）

【課題】大きな振動を受けることがなく、その結果、プロペラユニットの各部の摩耗を減らすことのできる船舶用のリムドライブ・プロペラユニットを提供すること。
【解決手段】本発明は、船舶用リムドライブ・プロペラユニットの軸受装置に係る。複数のプロペラ羽根を備えたプロペラユニットの回転ロータハウジングの周りに複数の永久磁石が配設され、回転ロータハウジングを格納した外部静止ケーシングの周りに複数の永久磁石が配設される。回転ロータハウジングおよび外部静止ケーシングの一部に配設された永久磁石が同じ極性をもって互いに上下に配置される一方、回転ロータハウジングおよび外部静止ケーシングの他の部分に配設された永久磁石は反対の極性をもって相互に対向することにより、ロータハウジングと静止ケーシングとが相互に反発し、また相互に引き合うことで、相互に接触しないように構成されている。 （もっと読む）

【課題】
転写ピンを懸吊支持するための内孔部分で、転写ピンをエアフローティングすることにより、転写ピンに掛かる摺動抵抗や付勢力をなくし、転写時のランドにかかる荷重を転写ピンの自重のみにすると共に転写ピンのセンタリングによる位置精度の向上を図ること。

【解決手段】
第１に、転写ピンと被転写物を相対的に接近させる昇降手段を備え、転写ピンの先端を被転写物の転写部位に当接させてフラックスを転写する装置とする。
第２に、転写ピンは外周を拡大させた拡径部を備える。
第３に、転写ピンを上下に遊貫させる内孔が形成され、内孔に転写ピンの拡径部を係合させて転写ピンを懸吊支持する支持部材を備える。
第４に、内孔に開口する通気路と、通気路に気体を供給する手段とを備える。
第５に、遊貫させた転写ピンと内孔の隙間に気体を供給して転写ピンに浮上力を生じさせてフラックスを転写する。 （もっと読む）