【課題】成膜装置に設けられ基板と成膜用マスクとの位置合わせをするアライメント機構に伝達する可能性がある振動及び変形を低減し、位置ずれを抑制することができる成膜装置を提供する。
【解決手段】基板支持体と、マスク支持体と、を室内に備える成膜室と、前記成膜室の室外に設けられている支持体と、前記支持体上に設けられ、前記基板支持体の位置調整手段及び前記マスク支持体の位置調整手段の少なくとも一方と、アライメント用のカメラと、を備えるアライメント機構と、から構成され、前記支持体が、前記アライメント機構を載置する支持板と、脚部と、を有し、前記支持板が、前記脚部により前記成膜室の天板と離間して設けられており、前記支持板の少なくとも一部が、前記支持板に伝わる振動を熱エネルギーに変換して該振動を抑制可能にする制振材料で構成されていることを特徴とする、成膜装置。 （もっと読む）

【課題】本発明では、高画質で信頼性の高い表示装置を低いコストで歩留まり良く製造することができる技術を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、画素領域における画素電極層上、及び画素電極層周辺を覆う隔壁として機能する絶縁層上に、スペーサを有する。このスペーサによって、発光材料を画素電極層上に形成する際、選択的に形成するためのマスクは支持され、マスクのよじれやたわみなどによって画素電極層に接することを防止する。よって、画素電極層にはマスクによる傷などの損傷が生じず、画素電極層は形状不良とならないので、高繊細な表示を行う、高信頼性な表示装置を作製することができる。 （もっと読む）

【課題】製造コストの高騰を来すことなく精密な印刷パターンを形成する。
【解決手段】円筒部材４と、平板状の基板に微細加工によって印刷用の所定のパターンが形成されて成るパターン形成板５とを設け、パターン形成板が屈曲され円筒部材の外周面に巻き付けられて接合されることにより版胴２を構成した。これにより円筒状の母材の外周面に印刷用のパターンを形成する必要がないため、製造コストの高騰を来たすことなく精密な印刷用のパターンを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】微量の液体を高精度に塗布するための液体材料塗布装置に関し、特に１ｐＬ以下の塗布量をディスペンサー方式によって塗布するのに好適な液体塗布技術を提供する。
【解決手段】ディスペンサーノズル先端の内径を細くし、ノズル内の液体が形成する２つの界面に接する気体の圧力を等しくすることにより、ノズル先端の液面位置が安定するようにし、該ノズル先端の液面位置が安定した状態で、ノズル内部の液体に、ノズル後端から高精度に制御されたパルス状の圧力を加えることにより、ノズル内の液体を被塗布物上に塗布し、さらに塗布後において適切なタイミングでノズルを上昇させるよう、液体塗布装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】従来の電極方法であるフォトリソグラフィ、マスクスパッタリングは、工程の簡略化、材料使用効率、コスト、多様な基板サイズに対応において解決するには困難な課題があり、インクジェット方式では高精細度なパターンが得られないという課題がある。
【解決手段】感光性塗布型電極材料を用いて、所望の電極パターンニングを行う。本発明による電極作成工程において、コストメリットがある拡散光を光源とするランプを用いて第１の露光と第１の露光よりも大きい露光量をもった第２の露光を施すことで、所望の電極パターンを得ることができる。拡散光を用いた２回露光プロセスによって、例えばＴＦＴ作成において従来の方法では解決できない材料使用効率、コスト、多様な基板サイズに対応という課題かつ、インクジェット方式では解決できない高精細パターニングを解決するものである。 （もっと読む）

【課題】高歩留まりあるいは高精細化に有効な有機エレクトロルミネッセンスパネルの構造と、それを実現するための適切なテンションを付与することができる蒸着マスクを使用した有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法を提供する。
【解決手段】枠体３４と、間隔をあけて面状に並列された同じ幅の複数の線材３８を有する第１サブマスク３６と、少なくとも１つの開口４４を有する第２サブマスク４２と、を有する蒸着マスクを用意する。回路基板１０に、蒸着マスクを使用した蒸着によって、有機材料からなる複数の発光層２０を形成する。第１サブマスク３６は、複数の線材３８に長さ方向に張力が付与されるように枠体３４に固定され、複数の線材３８のみが張力の方向に一直線に切れ目なく連続し、複数の線材３８が少なくとも１つの開口４４と重なるように、第２サブマスク４２の一方の面上に配置されている。 （もっと読む）

【課題】片チャネルのトランジスタで構成された容量素子を含む回路構成のインバータ回路を有する駆動回路部を表示パネル上に実装するに当たって、表示パネルの狭額縁化を可能にする。
【解決手段】容量素子を含む回路構成の駆動回路部、例えば書込み走査回路を表示パネル７０上に実装する。その際に、画素アレイ部３０の周辺部、即ち、表示パネル７０の額縁領域に、有機ＥＬ素子２１の有機層２１２と同一プロセスにて有機層９２を形成する。そして、表示パネル７０の額縁領域に形成した有機層９２を、誘電体として用いて容量素子９０を形成する。 （もっと読む）

【課題】蒸着工程中に基板と薄膜蒸着装置との精密なアラインが可能である薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】蒸着源１１０の一側に配され、第１方向Ｙに沿って複数個の蒸着源ノズル１２１が形成された蒸着源ノズル部１２０と、蒸着源ノズル部１２０と対向し第２方向Ｘに沿って複数個のパターニング・スリット１５１が形成されるパターニング・スリットシート１５０と、を具備し、該基板が、第１方向Ｙに沿って移動しつつ蒸着が行われ、該パターニング・スリットシート１５０は、第１アラインマーク１５２及び第２アラインマーク１５３を含み、該基板は、第１アラインパターン５０２及び第２アラインパターン５０３を含み、これらを撮影する第１カメラアセンブリ１６１及び第２カメラアセンブリ１６２と、をさらに具備する薄膜蒸着装置。 （もっと読む）

【課題】高精細で高い画質の画像表示装置を実現する。
【解決手段】それぞれ自発光素子を有する複数の画素を有し、前記各画素は、入力された画像電圧を基に前記自発光素子を駆動する駆動トランジスタと、前記駆動トランジスタのソース電極とゲート電極との間に接続される保持容量素子と、前記複数の信号線の中の対応する信号線と、前記駆動トランジスタのゲート電極との間に接続されるセレクトスイッチ素子とを有し、前記セレクトスイッチ素子のゲート電極は、第１の水平アドレス選択回路と第２の水平アドレス回路に接続されている。 （もっと読む）

【課題】ドクタリング工程を要する印刷方式において、ドクターブレード摺動方向に対して０°のストライプパターンを微細で高精度、且つ安定的に形成することができる印刷版を提供する。
【解決手段】 表面上に多数の帯状の凹部２７を有する印刷版であって、帯状の凹部２７の長尺方向が、印刷方向と同一方向であり、且つ帯状の凹部２７の少なくとも一方の長尺方向終端部２９が、末端に向かって、その幅が徐々に減少している先細り形状を有することを特徴とする印刷版、及びその印刷版を用いる導電性部材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 異なる色の発光素子を時間順に発光させる表示装置では、動画表示に際して色割れが生じる。
【解決手段】 １対の電極間に流れる電流によってそれぞれの色で発光する複数の発光素子（１０３−１０５）と、前記発光素子の第１電極に接続される複数の駆動回路（１０）と、前記発光素子の第２電極に接続される複数の電源線（２０６−２０８）とを有し、
前記複数の駆動回路の各々に、互いに異なる色の光で発光する前記発光素子の群の前記第１電極が共通に接続され、
前記第１電極が共通の駆動回路に接続された前記発光素子の群（１００）の前記第２電極は、別々に、前記複数の電源線のいずれか１つに接続され、
前記複数の電源線の各々に前記第２電極が接続された前記発光素子が、異なる色の前記発光素子を含んでいることを特徴とする表示装置。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルターは、定められた波長域の光以外を遮断するため、カラーフィルターを２層重ねることで、光を遮断する機能を果たす遮光層を構成することができる。しかし、カラーフィルターを２層重ねるとその厚さは、概ね２層の厚みの和となるため段差が生じる。そして、以降のプロセスはこの段差を含んだ状態で行われるため、場合によっては、例えば斑が生じ、表示画質が低下するという課題がある。
【解決手段】青色カラーフィルター１０５が逆テーパー形状を備え、赤色カラーフィルター１０６が、青色カラーフィルター１０５の逆テーパー形状を埋める形状を含むことでカラーフィルターを２層重ねた遮光部１２２が構成される。青色カラーフィルター１０５と赤色カラーフィルター１０６が重なる領域の厚さを抑えることができるため、高い表示画質を保った状態で、遮光部１２２を構成することができる。 （もっと読む）

【課題】 アルカリ現像性、露光感度、および解像度に優れ、その硬化物が、低温処理を採用した場合でも、基板との密着性および弾性回復特性に優れている有機ＥＬ素子用感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】 種々の酸性基またはこれらの塩を含有する多官能（メタ）アクリレートモノマー（Ａ）、光ラジカル重合開始剤（Ｂ）、エポキシ基および／またはアルコキシ基を２個以上を分子内に有するカチオン重合性化合物（Ｃ）、２個以上の加水分解性アルコキシ基を有するシロキサン化合物（Ｄ）、および酸発生剤（Ｅ）を含有するアルカリ現像可能なネガ型の感光性樹脂組成物で、光照射による硬化物を２００℃以下でポストベークさせて形成された有機ＥＬ素子用スペーサの弾性回復率が５０％以上であることを特徴とする有機ＥＬ素子用感光性樹脂組成物（Ｑ）である。 （もっと読む）

【課題】アルカリ現像性、露光感度、および解像度に優れ、その硬化物が、低温処理を採用した場合でも基板との密着性および弾性回復特性に優れている有機ＥＬ素子用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】種々の酸性基またはこれらの塩を含有する多官能（メタ）アクリレートモノマー（Ａ）、２個以上の加水分解性アルコキシ基を有するシロキサン化合物（Ｂ）、および光ラジカル重合開始剤（Ｃ）を含有するアルカリ現像可能なネガ型の感光性樹脂組成物で、感光性樹脂組成物の（Ａ）〜（Ｃ）の合計に基づく酸価が１０〜１１０ｍｇＫＯＨ／ｇで、かつ感光性樹脂組成物の（Ａ）〜（Ｃ）の合計に基づく（メタ）アクリロイル基濃度が６．５〜１０．０ｍｍｏｌ／ｇである有機ＥＬ素子用感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】従来では、あまり狭い幅の隔壁は形成できないため、高精細化することが困難であり、さらに発光素子としての開口率が低いという問題点があった。また、陽極が設けられた基板をＥＬ材料を蒸着する装置に搬送する際には、静電破壊の恐れやゴミが付着する恐れがある。
【解決手段】無機絶縁膜からなる第１の隔壁１１を形成し、その上に絶縁膜を形成した後、エッチバックを行って、第１の隔壁の側面に接する第２の隔壁１２を形成することに
よってサイドウォール型の隔壁を形成する。また、静電破壊を防ぐため、帯電防止層を設
けて搬送を行った後、帯電防止層を除去して第２の隔壁１２を形成する。 （もっと読む）

【課題】アルカリ現像性、露光感度、および解像度に優れ、その硬化物が、低温処理を採用した場合でも、基板との密着性および弾性回復特性に優れている有機ＥＬ素子用感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】 親水性エポキシ樹脂（Ａ）、多官能（メタ）アクリレートモノマー（Ｂ）、エポキシ基および／またはアルコキシ基を２個以上を分子内に有するカチオン重合性化合物（Ｃ）、２個以上の加水分解性アルコキシ基を有するシロキサン化合物（Ｄ）、光ラジカル重合開始剤（Ｅ）、および酸発生剤（Ｆ）を含有するアルカリ現像可能なネガ型の感光性樹脂組成物で、光照射による硬化物を２００℃以下でポストベークさせて形成された有機ＥＬ素子用スペーサの弾性回復率が５０％以上であることを特徴とする有機ＥＬ素子用感光性樹脂組成物（Ｑ）である。 （もっと読む）

【課題】画素駆動回路のレイアウト面積を増加させず、かつ、短絡箇所のリペアをしなくとも、高精細かつ高信頼性を有する表示品質を維持する。
【解決手段】複数の走査線１３と複数のデータ線１２との交差部に配置された発光画素１１を複数具備する有機ＥＬ表示装置１であって、発光画素１１は、走査線１３を介して走査信号が供給される選択トランジスタ２１と、選択トランジスタ２１を介してデータ線１２から供給されるデータ電圧を保持するコンデンサ２３と、データ電圧がゲートに印加されることにより、ドレイン電流を制御する複数の駆動トランジスタ２２Ａ、２２Ｂ及び２２Ｃと、複数の分割電極に分割された下部電極を含む有機ＥＬ素子とを有し、各分割電極は、分割数と同数設けられた駆動トランジスタのそれぞれに接続されており、有機ＥＬ素子は、各駆動トランジスタにより制御された電流が同時に流れることにより、当該電流に応じた発光をする。 （もっと読む）

【課題】フィルム基材を被印刷基材に使用した場合に、印刷時に被印刷基材の印刷面に凹凸が生じにくいようにすること。
【解決手段】被印刷基材６の非印刷面側に、クッション層２１と強磁性体層又はマグネット層２２を有する裏面用基材２をラミネートし、裏面用基材２が印刷定盤４に接触するようにフィルム基材６を印刷定盤４上に乗せる。そして、印刷定盤４の表層部分４１又は内部の電磁石４４の磁力により強磁性体層又はマグネット層２２を磁着することで、裏面用基材２を介して被印刷基材６を印刷定盤４上に固定する。この状態で、色インキを用いてフィルム基材６上に任意のパターンを形成した後、電磁石４４の磁力を解除又反転させて印刷定盤４上からフィルム基材６を裏面用基材と共に取り外す。そして、裏面用基材２をフィルム基材６から分離させることで、フィルム基材６上に精細パターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】微細なパターンの印刷に凸版印刷法を適用する場合の印刷用凸版の版材として、凸部高さの均一性や気泡・ムラを改善するために添加剤を用いても、有機ＥＬ素子の効率や寿命の特性の低下がおこることがない、樹脂膜厚が均一で欠陥のすくない印刷用凸版の版材及び印刷用凸版と、それを用いた有機ＥＬ素子の製造方法、並びに有機ＥＬ素子、並びに有機ＥＬディスプレイを提供する。
【解決手段】基材上に、少なくとも樹脂層、保護層、カバーフィルムが形成された印刷用凸版の版材において、前記樹脂層がゴム状のポリマー成分と架橋性を有するモノマー成分と光重合開始剤とを主成分とする感光性樹脂層であって、前記感光性樹脂層は表面調整剤を含み、印刷用凸版作成時に前記感光性樹脂層表層の前記表面調整剤が前記保護層に移行する。 （もっと読む）

【課題】１枚の基板に１枚のメタルマスクを用いる場合のメタルマスクの膨張量を基板の膨張量に近づけて蒸着パターンの位置ズレを防止する。
【解決手段】支持体付きメタルマスク装置１００は、半導体基板１０２の複数のスクライブライン１０６を物理的に１枚のプレートで覆い、半導体基板と異なる線膨張係数を有し、複数のチップにそれぞれ対応する複数の所定のパターン１１２を複数の貫通孔として有し、複数の貫通孔を通じて半導体基板に金属を蒸着させる単一のメタルマスク１１０と、メタルマスクの線膨張係数と半導体基板の線膨張係数との間の線膨張係数、又は半導体基板と同一の線膨張係数を有し、複数のスクライブラインの少なくとも一部のスクライブラインに対応する格子部１１６を有する支持体１１４と、一部のスクライブライン内の少なくとも一部の領域において、メタルマスクと支持体とを接続する接合体とを備える。 （もっと読む）