【課題】有機層蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸着工程中に基板と有機層蒸着装置との精密な整列の可能な有機層蒸着装置である。有機層蒸着装置は、第１マーク及び第１整列パターンを撮影する第１カメラアセンブリーと、第２整列マーク及び第２整列パターンを撮影する第２カメラアセンブリーと、を備え、前記第１カメラアセンブリーにより撮影された前記第１整列パターンの映像が同一であり、前記第２カメラアセンブリーにより撮影された前記第２整列パターンの映像が同一であるように、前記基板の移動速度と前記第１カメラアセンブリー及び前記第２カメラアセンブリーの撮影速度とを同期化する。 （もっと読む）

【課題】非共通キャッピング層を有する有機デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】第一の方法は、第一の基板の上に複数の有機発光デバイス（ＯＬＥＤ）を備え付ける工程を含む。そのＯＬＥＤのそれぞれは、光透過性のトップ電極（上面電極）を含む。その複数のＯＬＥＤはＯＬＥＤの第一の部分と、その第一の部分とは異なるＯＬＥＤの第二の部分を含む。第一の方法は、その複数のＯＬＥＤの少なくとも第一の部分の上に第一のキャッピング層を堆積させ、その第一のキャッピング層がその複数のＯＬＥＤの少なくとも第一の部分と光学的に結合されている。第二のキャッピング層が、その複数のＯＬＥＤの少なくともその第二の部分の上に堆積されており、その第二のキャッピング層がその複数のＯＬＥＤの第二の部分とは光学的に結合されているが、その複数のＯＬＥＤのその第一の部分とは光学的に結合されていない。 （もっと読む）

【課題】薄膜蒸着用マスクフレームアセンブリーを提供する。
【解決手段】開口部が形成され、開口部を取り囲むマスクフレーム１１０と、マスクフレーム１１０上に結合されるマスク１２０と、マスク１２０を支持する少なくとも一つの支持台１３０と、支持台１３０を固定する複数の固定部１４０と、を備える薄膜蒸着用マスクフレームアセンブリー。これにより、蒸着用基板のたるみによる蒸着用基板の割れ現象を防止できる。 （もっと読む）

【課題】共通電極の配線抵抗を低め、共通電極を保護するための有機発光表示装置を提供する。
【解決手段】有機発光表示装置は、基板１と、基板１上に備えられた薄膜トランジスタと、薄膜トランジスタを覆う第１絶縁膜２１８と、第１絶縁膜２１８上に形成され、薄膜トランジスタと電気的に連結された第１電極２２１と、第１電極２２１を覆うように第１絶縁膜２１８上に形成され、第１電極２２１の一部を露出させる開口２１９ａを持つ第２絶縁膜２１９と、第２絶縁膜２１９上の一部及び第１電極２２１上に形成された有機発光層と、第２絶縁膜２１９及び有機発光層上に形成された第２電極２２２と、第２電極２２２上の第１領域上に形成されて第１エッジ２２４ａを持つキャッピング層２２４と、第２電極２２２上の第１領域以外の領域である第２領域上に形成され、キャッピング２２４層の第１エッジ２２４ａの側面とその側面が互いに当接する第２エッジ２２３ａを持つ第３電極２２３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】迅速に成膜速度を算出し、被処理基板へ供給する有機材料ガスの濃度を略一定にして良質な膜を効率良く形成することができ、保守管理も容易である成膜装置、成膜速度算出方法、成膜方法、有機発光素子の製造方法を提供する。
【解決手段】成膜装置１のプロセスコントローラ１１は、イオンゲージ１０に搬送ガスのみを通流させた場合の（Ｉｉ／Ｉｅ）₀ と、有機材料及び搬送ガスを通流させた場合の（Ｉｉ／Ｉｅ）との差と、成膜速度Ｄ／Ｒとの関係を示す成膜速度検量線を作成する。プロセスコントローラ１１は成膜時に（Ｉｉ／Ｉｅ）を算出し、前記成膜速度検量線を用いてＤ／Ｒを求め、求めたＤ／Ｒに基づいてマスフローコントローラ５を制御し、搬送ガスの流量を制御して、成膜処理を行う。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料の利用効率の高い成膜装置を提供する。
【解決手段】
真空槽１１と、真空槽１１内に配置され、内部に蒸着材料の蒸気が配置される中空の放出容器１６ａと、真空槽１１内に配置され、基板５を保持する基板保持部１４と、先端の開口１７が基板５表面に向けられて放出容器１６ａに設けられ、内部が放出容器１６ａの内部空間と連通する複数の中空の筒１５とを有し、各筒１５の開口１７の法線１８は基板５表面と交差され、放出容器１６ａ内の蒸気は各筒１５の開口１７から放出され、基板５表面に到達して薄膜が形成される成膜装置１０であって、筒１５には、先端が基板５表面と対面する範囲の外側に配置された筒が含まれる。先端が基板５表面と対面する範囲の外側に配置された筒１５の開口１７の法線も基板５表面と交差され、開口１７から放出された蒸気のうち基板５表面に到達する蒸気の割合が従来より高い。 （もっと読む）

【課題】生産性を高めることができるとともに均一な蒸着膜を形成することができる真空蒸着装置および真空蒸着方法を提供する。
【解決手段】フィルムＦを外周に沿わせて連続的に送る冷却ドラム２１を備え、このフィルムＦの外周側に、有機材料を加熱して蒸発させるとともに放出させて当該フィルムＦに負圧下で蒸着させる蒸発源３１を４基配置した真空蒸着装置１であって、上記蒸発源３１のうち、第１蒸発源３１Ａおよび第２蒸発源３１Ｂは、同一の有機材料を蒸着させるものであり、上記第１蒸発源３１Ａは蒸発させた有機材料の放出量を調整し得るバルブ駆動部３３を有せず、第２蒸発源３１Ｂは当該バルブ駆動部３３を有するものであり、上記第１蒸発源３１Ａおよび第２蒸発源３１Ｂ以外の他の蒸発源３１Ｃ，３１Ｄは、上記バルブ駆動部３３を有するものである。 （もっと読む）

【課題】ボトムエミッション方式において開口率を高めることのできる画素構造を有する有機ＥＬ装置を提案する。
【解決手段】有機ＥＬ装置は、三原色に対応する三つの副画素１０Ｒ−２、１０Ｇ−２、１０Ｂ−２を含む画素領域１０−２を備える。三つの副画素１０Ｒ−２、１０Ｇ−２、１０Ｂ−２のうち少なくとも一つの副画素１０Ｂ−２は、有機ＥＬ装置を駆動するための信号又は電流を供給する複数の配線４０に絶縁膜を介して積層形成された画素電極２４Ｂ−２と、蒸着法により画素電極２４Ｂ−２に形成される発光層とを備える。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出法と蒸着法を組み合わせた画素形成に好適な画素レイアウトを有する有機ＥＬ装置を提案する。
【解決手段】有機ＥＬ装置は、複数の画素領域１０を備えており、各画素領域１０は三原色に対応する第一、第二及び第三の副画素１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂを有している。隣接する第一の副画素１０Ｒ同士、及び隣接する第二の副画素１０Ｇ同士は、それぞれ、一定間隔Ｄで配列されており、第三の副画素１０Ｂは、画素領域１０から第一及び第二の副画素１０Ｒ，１０Ｇを除いた隙間領域に形成されている。 （もっと読む）

【課題】寿命が長くかつ安定した発光特性を有し、定電流駆動における電圧増加が最小限に抑えられた有機電界発光素子を提供する。
【解決手段】陽極と有機電界発光層との間に形成された界面劣化防止層を備え、界面劣化防止層は、芳香族アミン化合物と無機物との混合物からなり、無機物は、周期律表上の１Ａ族、２Ａ族、３Ａ族及び４Ａ族のハロゲン化合物または酸化物から選ばれ、芳香族アミン化合物は、下記の化学構造式：


を有する。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィーによるパターニング手法を利用しつつ、メタルマスク等を用いて真空一貫で形成した有機ＥＬ素子と同等の素子特性を有する有機ＥＬ素子を備える有機ＥＬ表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第一電極と第二電極と、前記第一電極と前記第二電極との間に配置されている有機化合物層と、からなる有機ＥＬ素子を有し、前記有機化合物層がパターニングされている有機ＥＬ表示装置の製造方法において、第一電極上に有機化合物層を形成する有機化合物層の形成工程と、前記有機化合物層上に剥離層を形成する剥離層の形成工程と、前記剥離層及び前記有機化合物層をパターニングする加工工程と、前記剥離層の表層を除去する剥離層の表層加工工程と、を有し、前記剥離層が、電荷輸送性かつ極性溶媒に可溶な有機化合物からなる蒸着膜であることを特徴とする、有機ＥＬ表示装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】基材上に形成された有機ＥＬ膜の損傷を防止しつつ該有機ＥＬ膜が形成された基材の巻き取りを可能とする有機ＥＬ素子の製造方法、その製造装置及び有機ＥＬ素子を提供する。
【解決手段】帯状の基材を供給しつつ、該基材の一面側に発光層を含む有機層と電極層とを少なくとも順次蒸着することにより前記基材上に有機ＥＬ膜を形成し、前記有機ＥＬ膜が形成された前記基材の巻き取りを順次行って有機ＥＬ素子を製造する有機ＥＬ素子の製造方法であって、前記巻き取りにおいては、前記基材よりも柔らかい帯状の保護フィルムをさらに供給し、前記基材の非蒸着面側に接着させつつ前記基材を前記保護フィルムと共に巻き取ることを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 フォトリソ法を用いて有機化合物層を数μｍの精度でパターニングし、高精細な有機ＥＬ表示装置を製造する際、従来技術のように発光層を塗布法で形成すると、フォトレジスト層の側面部の表面張力の影響を受けて発光層に膜厚ムラが生じるため、発光ムラや開口率が低下し、高精細化に限度があった。
【解決手段】 有機化合物層をパターニングするための層を設けた後は、有機化合物層を蒸着法により形成することで、有機化合物層をパターニングするための層の側面部の表面張力の影響を受けずに、均一な膜厚で発光層などの有機化合物層を形成する。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィーによるパターニング手法を利用しつつ、メタルマスク等を用いて真空一貫で形成した有機ＥＬ素子と同等の素子特性を有する有機ＥＬ素子を備える有機ＥＬ表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第一電極上に前記有機化合物層を形成する有機化合物層の形成工程と、有機化合物層上に剥離層を形成する剥離層の形成工程と、剥離層と有機化合物層とを、それぞれ所定のパターン形状に加工する加工工程と、剥離層を極性溶媒にて除去する剥離層の除去工程と、を有し、有機化合物層の形成工程が、有機化合物層の最上層として縮合多環炭化水素化合物（ｍ−ターフェニル基を有する化合物を除く。）を含む層を形成する工程であり、剥離層の形成工程が、極性溶媒に可溶な化合物からなる層を、蒸着法により、前記剥離層の少なくとも最下層に形成する工程であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】材料の損失の少なくできる又は内圧の上昇による再開放時の蒸発・昇華速度の変化や材料の変質を齎すことない或いは蒸発源の保守時間の短く、稼働率の高い有機ＥＬデバイス製造装置及び有機ＥＬデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】真空蒸着チャンバに設けられた一つ又は２つの処理部に基板６を搬入し、蒸着物噴射口部を長手方向に複数備える蒸発源７を走査して前記基板に蒸着する有機ＥＬデバイス製造装置又はその方法において、前記２つの処理部の有するそれぞれ前記基板を保持する基板保持部９を垂直または略垂直にした状態で互いに正対させ、前記蒸着物噴射口部を回転させて、蒸着する基板を替えること、或いは前記蒸発源を前記真空蒸着チャンバに隣接して設けられた蒸発源保守交換室に移動し、前記真空蒸着チャンバの真空を蒸発源保守交換室から隔離し、前記蒸発源を保守又は新たな蒸発源と交換する。 （もっと読む）

【課題】有機層の性能の変動が抑制された、高品質な有機機能性素子を効率的に製造し得る有機機能性素子の製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】気化された有機層形成材料をノズルから吐出させることにより、該ノズルに対して相対的に移動する基材２１上に有機層を形成する蒸着工程を含む有機機能性素子の製造方法であって、前記ノズルの開口部９ａａと前記基材との間に介在され、互いに並列し且つ前記基材の移動方向に対して交差する方向に配置された複数の線部材３１を有する蒸着量調整部材を用い、基材移動方向と垂直な開口部幅方向において、該開口部の中央部から両端部へ向かう程、前記線部材同士の間隔が大きくなるように前記線部材を配置し、前記線部材間において前記開口部から吐出された有機層形成材料を通過させつつ、前記蒸着工程を行う。 （もっと読む）

【課題】複数のスティック型分割マスクが採用されるマスクフレーム組立体を提供する。
【解決手段】フレームに互いに交差して設けられ、その交差位置は互いに溶接で固定された支持バー及び分割マスクを備え、その溶接点の周囲には分割マスクの一部を切除した部分切除部が形成されるマスクフレーム組立体。かかる構造によれば、支持バーで分割マスクの下反りを防止でき、基板と分割マスクとの密着性も向上させることができるマスクフレーム組立体が具現される。 （もっと読む）

【課題】薄膜蒸着用のマスクフレームアセンブリーを提供する。
【解決手段】蒸着用基板に蒸着しようとする素材を蒸着するためのものであって、開口部が形成され、開口部を取り囲む複数のフレームが互いに連結されたマスクフレーム；マスクフレーム上に結合されるマスク；を備えるが、マスクの少なくとも一領域には変形防止部が形成されたものであって、マスクの蒸着用パターン部の周辺部に変形防止部が形成されることで、マスクの垂直方向の変形を低減させることができる。これにより、基板へのマスクの密着不良を最小化する。 （もっと読む）

【課題】高い配向度、高い外部量子効率、及び高い耐久性を満足する有機電界発光素子の提供。
【解決手段】発光層に、（分子長／分子厚み）が３以上の平板状発光材料と、（分子長／分子厚み）が２以下のホスト材料とを含有し、（発光材料の分子半径／ホスト材料の分子半径）が、０．８〜１．２である、有機電界発光素子。 （もっと読む）

【課題】発光効率が高く、駆動劣化に伴う色度変化が小さい有機電界発光素子の提供。
【解決手段】下記一般式で表される化合物を用いる。（Ｖ¹あるいはＷ¹、Ｖ²あるいはＷ²のいずれか一方は環を形成し、Ｖ¹、Ｖ²は６員環、Ｗ¹、Ｗ²は５員環を形成する。Ａ²〜Ａ⁴、Ａ⁶〜Ａ⁸はＮ等を、Ｒ²、Ｒ³、Ｒ⁷、Ｒ⁸は水素原子等を表す。）
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