本発明は、一般的に、X線発生技術に関する。X線発生装置の電子収集素子を、静的に供給することによって、減少した動作部分及び駆動部分岐を持つことが可能であってよく、場合によっては製造費用及び故障原因を減らす。その結果、増加した熱負荷可能性を持つ電子収集素子が提示される。本発明に従って、電子収集素子（28）が提供され、それは、表面素子（22）及び熱伝導素子（26）を含む。その熱伝導素子（26）は、第1方向において第1熱伝導率及び少なくとも第2方向において少なくとも第2熱伝導率を有する。その第1熱伝導率は、第2熱伝導率よりも大きい。その第1方向は、表面素子（22）に対して実質的に垂直である。
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一部の態様によれば、画像化および／または放射線治療のためのＸ線装置が提供され、このＸ線装置は、電子を発生させることが可能な電子源と、電子源からの電子を受け取るように配置構成され、電子を照射されることに反応して広域スペクトル放射Ｘ線を放出する材料を含む、少なくとも１つの第１ターゲットと、この広域スペクトル放射Ｘ線の少なくとも一部を受け取るように配置構成され、第１ターゲットからの広域スペクトル放射Ｘ線による照射に反応して、単色放射Ｘ線を放出する材料を含む、少なくとも１つの第２ターゲットと、この少なくとも１つの第２ターゲットから放出される単色放射Ｘ線の少なくとも一部を検出するように配置される、少なくとも１つの検出器とを含む。一部の態様によれば、医療／臨床目的に好適で、病院および／または小さな臨床設定などの既存の医療施設での使用に適した、単色放射Ｘ線を発生させるための、比較的低コストで、比較的占有面積の少ないＸ線装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線照射装置において、制御機構等に不具合を生じた場合にも、安全機構の各部品や回路の自己診断動作が阻害されない、信頼性の高いＸ線照射装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管球１５に電力を供給するＸ線管球電源１６、Ｘ線の照射対象を格納する試料室１１を有するＸ線照射機構１と、Ｘ線照射機構１の動作を制御する制御機構２と、試料室１１蓋１２の開閉を検知する蓋センサ３４、蓋センサ３４からの出力信号に基づき、Ｘ線管球電源１６への通電を禁止又は許可とするインターロック機構３７を有する安全機構３とを備える。安全機構３は、制御機構２からの通信を受けることなく、制御機構２から独立して安全機構３の状態を自己診断する診断機構３８を更に有する。 （もっと読む）

【課題】スループットを良好に維持できる光学素子、露光装置、及びこれらを用いたデバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】基板と、前記基板上に各層の層厚の比率が一定になるように複数層積層され、極端紫外線及び軟Ｘ線の少なくとも一方を含む露光光を反射する反射領域を有し、当該反射領域で反射される前記露光光の入射角の分布に応じて前記反射領域内に前記層厚の分布が形成された多層膜とを備える。 （もっと読む）

自己クリーニングＸ線窓構成体は、中間の領域から周囲の圧力の領域を分離している第１のＸ線透過窓要素と、減圧の領域から中間の領域を分離している第２のＸ線透過窓要素とを有する。汚染物質は、減圧の領域に面している第２の要素の側面に沈着することが予測される。熱源は、汚染物質を蒸発するために第２の窓要素の一部分を加熱する。第２の要素は、汚染物質が存在する減圧の領域から第１の要素を防護する。圧力気密性の第１の窓要素は、周囲の圧力の領域と減圧の領域との間の大きな圧力差の大部分を支える。本発明の特徴は、汚染物質が中間の領域に侵入する比率を減少することに役立つ。減圧の領域に近い中間の領域の圧力を維持することによって、第２の窓要素の機械的応力は、有毒ガスへの照射と同様に制限され得る。
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【課題】ＥＵＶ光発生チャンバ内に設置されたレーザ光集光光学系の光学素子の劣化を確実に検出して、的確な劣化判定を行えるＥＵＶ光源装置を提供する。
【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、ＥＵＶ光発生チャンバ２と、ターゲット物質供給部と、ＥＵＶ光集光ミラー８と、ドライバーレーザ１２，１３と、ウインドウ６（１）（２）と、コリメートされたレーザ光を反射して集光するＥＵＶ光発生チャンバ内に配置された放物面鏡４３（１）（２）と、ウインドウと放物面鏡の温度を測定する温度センサ８２（１），（２），（３），（４）と、極端紫外光の発生が行われるときに温度センサによって検出されたウインドウ及び光学素子の温度に基づいてウインドウ及び放物面鏡の劣化を判定する処理部８０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】極端紫外光光源装置の集光点以降における角度分布特性が悪化して非対称になったことを検知できるようにすること。
【解決手段】レーザービームを照射して固体の原料Ｍを気化させ、放電電極２ａと２ｂの間にパルス電力供給部３からパルス電力を供給し、放電電極２ａ．２ｂ間で放電を発生させる。これにより高温プラズマが発生し、ＥＵＶ光が放射される。集光反射鏡６の光軸を中心とする円環上に、検知手段２０が配置され、検知手段２０内には、ピンホールを有する２つの絞り部材が配置され、ピンホールは、集光点Ｐと集光反射鏡６の光反射面６ａにおける任意の点とを結ぶ仮想線上に並ぶように配置される。このピンホールを通過した光は、受光素子に入射する。この受光素子で検知した照度データに基いて集光点Ｐに集光されたＥＵＶ光の角度分布変動を求めることができる。 （もっと読む）

光学モジュールを用いて、ＥＵＶ放射線ビームを案内する。光学モジュールは、真空排気可能なチャンバ（３２）と、チャンバ（３２）内に収容した少なくとも１つのミラーとを備える。上記ミラーは、互いに補完し合ってミラー反射面全体を形成する反射面（３４）を有する複数の個別ミラー（２７）を有する。支持構造を、熱伝導部（３７）により個別ミラー（２７）それぞれのミラー本体（３５）にそれぞれ機械的に連結する。ミラー本体（３５）の少なくとも若干は、少なくとも１自由度での支持構造（３６）に対するミラー本体（３５）の所定の変位を得るための関連のアクチュエータ（５０）を有する。熱伝導部（３７）は、ミラー本体（３５）が吸収する少なくとも１ｋＷ／ｍ^２の熱パワー密度を支持構造（３６）に放散させるよう構成する。光学モジュールの一態様では、集積電子変位回路を、変位可能な個別ミラー（２７）のそれぞれに空間的に近接して関連付ける。この変更形態では、中央制御装置を、変位可能な個別ミラー（２７）の集積電子変位回路と信号接続する。その結果、個別ミラーに無視できない熱負荷がかかる場合でも高いＥＵＶ放射線スループットを確保する照明光学系を構成できる、光学モジュールが得られる。 （もっと読む）

本発明は、電気的に動作される放電によって、光学放射（特に、ＥＵＶ放射又は軟Ｘ線）を生成する装置及び方法に関する。プラズマ１５は、少なくとも２つの電極１、２間のガス媒体において点火され、前記ガス媒体は、少なくとも部分的に、前記放電空間において移動する表面に供給されると共に、１つ又は複数のパルスエネルギビームによって少なくとも部分的に蒸発される液体材料６から生成される。提案される方法及び装置において、パルスエネルギビームのパルス９は、前記表面の移動方向に対して少なくとも２つの異なる横方向の場所に指向される。この手段により、この放射放出ボリュームは、拡張され、空間変動に対する感度があまり高くなく、如何なる用途の光学システムの要件に対してもより良好に適合化されることができる。更に、前記光学出力電力は、この手段によって増大されることができる。
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【課題】本発明は、既存の炭素ナノチューブのＸ線管を歯科用Ｘ線撮影システムに応用に関する。陰極部に装着される炭素ナノチューブ電子放出源の交換が可能である。
【解決手段】ペン形状で製作された本発明に係るＸ線管システムは、厚さが薄くて人体の口腔内部に挿入が可能であり、これによって診断が必要な口腔内の位置に対する正確なイメージを実現することができるシステムである。さらに、適正量の放射線治療を要する口腔癌治療の際に、患部に放射線の直接照射が可能であるため、他の正常組職に放射線の被爆の憂慮なく接近治療が可能であり、常用化時にその波及効果が極めて高いと判断される。本発明に係る歯科用などの医療用として用いることができるＸ線管システムは、チップ化させたナノ構造物質（炭素ナノチューブなど）を用いてＸ線を放出するＸ線放出モジュールを備え、Ｘ線放出モジュールに含まれたナノ構造物質基盤の陰極部を交換するために、Ｘ線放出モジュールが本体から分離する構造を含む。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線管において、試料の位置に漏洩するＸ線管の磁界型電子レンズによる磁界をレンズ性能に殆ど影響することなく遮蔽すると共に、試料が非磁性体である場合には磁界型電子レンズによる磁界を遮蔽せずに、試料を透過するＸ線を観察したときに最大限の高倍率が得られるようにすることのできるＸ線管用磁気シールド板を提供する。
【解決手段】磁界型の対物レンズによって電子線を集束させて、Ｘ線ターゲットに照射することにより発生するＸ線を試料に照射するＸ線管の前記Ｘ線ターゲットと前記試料の間に設置される、磁性体から成るＸ線管用磁気シールド板であって、Ｘ線を通すための孔を有し、Ｘ線管に対して着脱可能になっている。 （もっと読む）

【課題】小さな電界で大きな出力の軟Ｘ線を安定した状態で大面積状に発生することができるとともに、発生したＸ線の照射方向を制御して非照射物に対して効率良く集中させて照射することが可能な、安価で性能の良い軟Ｘ線発生装置を提供する。
【解決手段】密閉可能な筒状の真空ハウジング内に、ハウジングの内壁面の長手方向に沿ってＸ線放出物質により構成されたわん曲面を有する陽極を設け、基材表面に針状体を密集して形成させた電極材料からなる冷陰極を前記陽極と間隔を空けて平行に配置してなり、陽極から発生するＸ線を冷陰極側に放射することを特徴とする軟Ｘ線発生装置。 （もっと読む）

【課題】 被写体に対応した正確な放射線画像を得ることのできる放射線照射装置を提供する。
【解決手段】 放射線を用いた撮像に用いられる放射線照射装置（１０）であって、撮像面と向かい合った面内に並んで配置され、被写体（３０）に対して放射線（Ｘ線）を照射する複数の放射線源（５０）と、複数の放射線源の駆動を制御するコントローラ（６１）とを有する。 （もっと読む）

【課題】外囲器を回転させるモータの容量を抑えることができ、簡易な構造で、かつ流体の流路を確保して流体を効率的に移送させることができるＸ線管装置を提供することを目的とする。
【解決手段】外囲器２外部である両側面部の回転軸７、８の同軸上にそれぞれ保持された２つの円板１７を備え、冷却用流体である絶縁油１６の粘性により円板１７が回転軸７、８に対して相対的に回転するように構成する。絶縁油１６の粘性により円板１７が回転するので、外囲器２とハウジング２０との間に介在する円板１７が介在することにより相対速度を分割させて、外囲器２を回転させるモータの容量を抑えることができる。また、回転軸７、８を除けば回転する部分は側面部の円板１７のみであるので、簡易な構造で、絶縁油１６の流路を確保して絶縁油１６を効率的に移送させることができる。 （もっと読む）

【課題】電子ビームとレーザ光の正面衝突が実現でき、かつ衝突点におけるレーザ光のプロファイルを運転中に計測することができ、これにより、衝突確率が高くＸ線の発生出力を高めることができ、かつ衝突点で発生したＸ線をレーザ光の導入方向から効率よく取出すことができるＸ線発生装置用のレーザ導入兼Ｘ線取出機構を提供する。
【解決手段】レーザ光３を電子ビーム１との衝突点２ａに向けて反射するレーザ導入ミラー３２と、レーザ導入ミラーを気密に囲みかつ電子ビームの通過するビームチャンバ１ａと連通するレーザチャンバ３４と、ビームチャンバとレーザチャンバとの間を気密に開閉可能な真空バルブ３６と、衝突点で発生しレーザ導入ミラーを透過したＸ線をレーザチャンバから取出すＸ線取出し窓３８と、レーザ導入ミラーを透過したレーザ光３ａのプロファイルを運転中に計測するプロファイル検出装置４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】充分に大きなサイズの１次焦点を使用し得るとともに、２次焦点として微小孔を使用することにより、ボケの発生を極力小さくし解像度の高い撮影像を得るようにした微小孔焦点Ｘ線管および装置を提供する。
【解決手段】フィラメントを有する陰極、該陰極にある距離離間して対向配置されその対向面にある角度を持って設けられたターゲットを有する陽極、これら陰極および陽極を真空密封するガラス円筒管を備えるＸ線管を用意し、このＸ線管の外部に前記ガラス円筒管を囲んで絶縁体層を設け、該絶縁体層を囲んでＸ線遮蔽層を設け、前記Ｘ線管のＸ線照射部前面に位置する前記Ｘ線遮蔽層の位置に微小孔を設ける。 （もっと読む）

【課題】内視鏡で直接検査対象１４を特定し、この特定に基づいて検査対象１４に直接Ｘ線を照射することにより検査対象１４内部を検査可能として検査不要箇所への被曝をなくし、かつ、高精度な検査を可能とした内視鏡式Ｘ線装置を提供すること。
【解決手段】真空管管壁にＸ線透過可能な薄膜からなるＸ線導出窓７を備え、真空管内部にＸ線発生手段（軸状陽極３７、環状陰極３９、電子遮蔽部材５１）を備えると共にこのＸ線発生手段が発生したＸ線をＸ線導出窓７から窓外前方へ照射するＸ線管３と、Ｘ線照射方向のＸ線照射領域内を撮影可能にＸ線管３に一体固定された内視鏡５と、を備え構成。 （もっと読む）

【課題】低エネルギの単色性の高い特性Ｘ線20を得ることができるＸ線源11を提供する。
【解決手段】ターゲット19の厚み寸法を電子ビーム15の浸透深さ以上とし、低エネルギのＸ線成分を吸収する。電子ビーム15のエネルギを１０ｋｅＶ以下とし、高エネルギのＸ線成分がターゲット19を透過するのを制限する。低エネルギのＸ線成分の吸収と高エネルギのＸ線成分の非透過により、低エネルギの単色性の高い特性Ｘ線20を得る。 （もっと読む）

【課題】多数の配管が密集した狭隘部などに高エネルギーＸ線を照射することができる高エネルギーＸ線発生装置及び管状部材非破壊検査装置並びに高エネルギーＸ線発生方法を提供する。
【解決手段】パルス状のレーザー光線を創出するレーザー光線発生部１０と、パルス状のレーザー光線を試料に入射させて高エネルギー粒子を発生させる高エネルギー粒子発生部１００と、レーザー光線発生部と前記Ｘ線発生部とを連結してレーザー光線発生部から創出されたパルス状のレーザーを前記高エネルギーＸ線発生部に導く導光管群５０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】中間集光点におけるＥＵＶ光の輝度分布が光軸対称性を有するようにし、ＥＵＶを利用した露光装置の光学系の設計を容易にすること。
【解決手段】第１の電極２ａに貫通孔２ｃを設け、第２の電極２ｂをこの貫通孔２ｃの一方の側に近接させて設ける。第２の電極２ｂは回転し、液体状または固体状の原料を、第１の電極２ａの貫通孔の中心軸上の貫通穴近傍に搬送する。そして、レーザ光を照射して原料を電離させ、第１の電極２ａと第２の電極２ｂ間に放電電圧を印加して放電電流を流し、電離した原料から上記貫通孔内に高密度高温プラズマを生成させてＥＵＶ光を発生させる。貫通孔２ｃの中心軸と、ＥＵＶ光を集光する集光鏡３の光軸を一致させ、貫通孔の中心軸と放電電流の流れる方向を一致させる。これにより、輝度分布が光軸対称性を有するＥＵＶ光を取り出すことができる。 （もっと読む）