【課題】冷凍機の熱負荷を可能な限り低減してランニングコストを抑制する溶剤回収装置を提供することを課題とする。
【解決手段】溶剤蒸気を含む気体から溶剤を回収する溶剤回収装置１であって、冷凍設備において冷却された冷却媒体が管内を流れるコイルに前記気体を接触させて、該気体に含まれる前記溶剤蒸気を凝縮させる第一の冷却器６と、冷却塔から供給される冷却水が管内を流れるコイルに、前記第一の冷却器６を通過した前記気体を接触させて加熱する加熱器７と、前記冷却塔から供給されて前記加熱器７のコイルの管内を通過した冷却水が管内を流れるコイルに、前記第一の冷却器６へ流す前の前記気体を接触させて冷却する第二の冷却器５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】四塩化ケイ素を亜鉛によって還元し、高純度シリコンを製造する亜鉛還元法シリコン製造において副生する反応排ガスを適正に処理・回収する処理装置を提供することを課題とした。
【解決手段】本発明は、亜鉛還元法によるシリコン製造に於ける生成排ガスの処理において、該生成排ガスを塩化亜鉛水溶液を循環した塔の上部から導入して吸収させるガス吸収溶解機構、該塩化亜鉛水溶液の循環機構、該生成排ガスを吸収した塩化亜鉛水溶液の濾過機構、該生成排ガスを吸収した塩化亜鉛水溶液の濃度調整機構、並びに前記処理を行った塩化亜鉛水溶液の保持機構を有する排ガスの処理装置である。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造、プロセスで、効率の高いガス濾過システムを提供する。
【解決手段】ガス濾過システムは、液体濾過システムおよびガス移送システムを含む。液体濾過システムは、ガス洗浄液を含有する互いに接続された複数のタンク３０を有し、ガスは泡となってこの液体を通される。ガス移送システムは、ガスを移送するためにタンクに結合されたパイプを含む。タンクは、ガスポンプ１４ａ,ｂ、流体ポンプ１６、フィルタおよびガス流バッファのうち１つまたはそれ以上を格納するために用いられる乾燥タンクを含む。 （もっと読む）

【課題】二酸化炭素を含む被処理気体に対する二酸化炭素の除去率を向上させることが可能な二酸化炭素除去装置を提供する。
【解決手段】二酸化炭素を吸着する二酸化炭素担持体２２が充填され且つ下部から導入された被処理気体により、充填された二酸化炭素担持体２２の流動層が形成される反応槽２と、二酸化炭素担持体２２を反応槽２への上部から間欠的に投入する担持体投入手段４と、二酸化炭素を吸着した二酸化炭素担持体２２を反応槽２の下部から回収する担持体回収部６と、担持体回収部６が回収した二酸化炭素担持体２２から二酸化炭素を分離させる二酸化炭素分離手段８を備え、担持体投入手段４は、二酸化炭素を分離させた二酸化炭素担持体２２を反応槽２へ間欠的に投入し、担持体回収部６は、反応槽２の下部と連通し且つ被処理気体が侵入しない圧力の回収液２８が充填された担持体誘導管２４を備える。 （もっと読む）

【課題】空気と混合され吸引されたＶＯＣ含有排ガスの吸着・回収処理方法において、プロセスのコストを下げ、かつ脱離ガス中のＶＯＣガスが爆発する危険性のない、安全な揮発性有機化合物の除去・回収方法を提供すること。
【解決手段】揮発性有機化合物を含有する排ガス中から揮発性有機化合物を吸着させるための吸着剤を収納する吸着塔を用い、前記吸着塔に排ガスを供給して、排ガス中の揮発性有機化合物を前記吸着剤に吸着させることで揮発性有機化合物の除去を行う吸着除去工程と、前記吸着塔にパージガスを供給して、前記吸着剤に吸着させた揮発性有機化合物を脱離させることで回収を行う脱離回収工程と、を有する揮発性有機化合物の除去・回収方法において、吸着除去工程と脱離回収工程を繰り返し行うにあたり、前記脱離回収工程において吸着塔から排出される脱離ガス中の揮発性有機化合物濃度を分析計により測定し、当該測定値に応じて吸着塔に供給するパージガス流量を制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、トリメチルシラノールの脱着率の低いトリメチルシラノール用吸着剤、前記吸着剤を担持したケミカルフィルタ、及び前記ケミカルフィルタを設置した半導体素子製造装置又は半導体素子製造用クリーンルーム、並びにトリメチルシラノールの除去方法を提供することにある。
【解決手段】前記課題は、ＢＥＴ法により求められる比表面積が１３５０ｍ^２／ｇ以下であり、且つ嵩密度が０．６００ｇ／ｍＬ以上である活性炭からなることを特徴とするトリメチルシラノール用吸着剤、又は前記活性炭を半導体素子製造におけるフォトリソグラフィ工程の排気に接触させることを特徴とするトリメチルシラノールの除去方法によって解決することができる。 （もっと読む）

【課題】多様な種類の揮発性有機化合物を含有する排ガスから揮発性有機化合物を高い効率で除去することができ、環境負荷が小さい脱臭装置及び脱臭方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る脱臭装置は、揮発性有機化合物を含有する排ガスの脱臭装置であって、排ガス中の揮発性有機化合物を吸着除去する吸着装置と、該吸着装置から排ガスの供給を受けて残存する揮発性有機化合物を除去洗浄する洗浄装置とを有することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】濃縮装置の内部の多孔物質の孔又はその端面に堆積した粒径が数μm〜数１０μm程度のダストを効率よく系外に排出させて、濃縮装置のＶＯＣ除去能力を維持しながら、脱臭処理を可能とする脱臭処理装置及び脱臭処理方法を提供する。
【解決手段】本発明の脱臭処理装置は、多孔物質を有してなり、該多孔物質内にＶＯＣ含有ガスを吸着し、浄化したガスを通過させると共に、吸着されたガスを脱着できる濃縮装置と、濃縮装置から脱着されたＶＯＣ含有脱着ガスを燃焼する脱臭燃焼装置と、を具備し、濃縮装置が、前記多孔物質に堆積されたダストを除去するための、エアーブロー式又はエアー吸引式のダスト除去手段を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】省エネルギーでガス中に含まれる二酸化炭素を安定に分離するための二酸化炭素吸収剤の提供。
【解決手段】下記一般構造式（Ｉ）：


｛式中、Ｒ^１、Ｒ^２及びＲ^３は、それぞれ独立に水素原子又は置換基を有していてもよい炭素数１〜３のアルキル基であり、Ｒ^４は、水素原子又は炭素数１〜２のアルキル基であり、Ｒ^１、Ｒ^２及びＲ^３の置換基は、水酸基、メトキシ基、エトキシ基、フェニル基又はメトキシカルボニル基である。｝
で表される構造を含むポリアルキレンイミン誘導体を含む二酸化炭素吸収剤。 （もっと読む）

【課題】工場に設置される溶剤回収装置は、広い敷地面積に設置されているので、小型化や省電力化が望まれており、また溶剤を回収するための脱着ガスが流れるダクト内に溶剤が結露して劣化が生じやすく、メンテナンスを行うための手間を軽減するとともに、結露の発生や滞留を少なくするための対策が必要であった。
【解決手段】本発明は、主送風機９と溶剤回収タンク３５とが配置された第１フロア部６３と、被処理ガス４０から溶剤を分離する冷却システム、デミスタ５、ロータ部６とが配置された第２フロア部６４と、処理ガス４４の一部を取り出して加熱しロータ部６に戻す加熱器１６と、ロータ部６から脱着ガス５４を吸い出す副送風機１９と、副送風機１９から被処理ガスダクト２に吹き下ろす傾斜ダクト２１とが配置された第３フロア部６５を有する溶剤回収装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】臭気成分を効率的に吸着して脱臭し、しかも、吸着したこれらの臭気成分の温度上昇による再放出の少ない脱臭剤および脱臭フィルターを提供する。
【解決手段】活性炭をイオン交換樹脂で被覆してなる脱臭剤及びそれを用いた脱臭フィルター。 （もっと読む）

【課題】吸着液を再利用することで運転費用の削減と連続運転を容易なものとし、また、ガス状のＶＯＣを効率的に吸着可能な吸着・分解装置及び処理方法を提供する。
【解決手段】ガス状の揮発性有機化合物を塔内に通気させる通気路１１及び通気路１１を遮断して配置された充填材１２を塔内に有した充填塔１と、充填塔１の塔内に高分子系の吸着液Ｐを散布供給する吸着液供給機構２と、前記塔内に供給された後の吸着液Ｐを回収して超音波処理を行う超音波処理装置３と、前記超音波処理を行う際の吸着液Ｐの温度をコントロールする温度制御手段４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】発生源で発生するガス流からのＮＯ_ｘ排出を低減する方法およびシステムを提供すること。
【解決手段】この方法は、ガス流と酸化触媒（１６）を接触させることによってガス流中に存在するＮＯガスのかなりの部分を酸化させてより高次のＮ_ｘＯ_ｙ分子を生成するステップと、その後、溶媒吸収または溶媒反応によってガス流からより高次のＮ_ｘＯ_ｙ分子を除去するステップとを含むことができる。システム（１０）は、ＮＯ_ｘを含むガス流を発生させるように構成されるガス発生源と、このガス発生源の下流に位置する酸化触媒（１６）であって、ガス流中のＮＯガス分子を酸化させてより高次のＮ_ｘＯ_ｙ分子を生成するように構成される酸化触媒（１６）と、溶媒吸収または溶媒反応によってガス流からより高次のＮ_ｘＯ_ｙ分子を除去するように構成される酸化触媒（１６）の下流に位置する除去装置とを備えることができる。 （もっと読む）

【課題】 別の臭気を発生させることがなく脱臭効率に優れた脱臭装置を提供する。
【解決手段】 臭気成分を含む被処理ガスを装置内に取り込む吸入部１０と、臭気成分を含む被処理ガスから臭気成分を除去する脱臭部２０と、清浄ガスを排出する排出部３０とを備え、脱臭部２０は、被処理ガスに散水して臭気成分を処理水に溶解させる散水部２１と、臭気成分が溶解された処理水を電気分解することにより臭気成分を分解除去する電気分解部２２と、装置内に脱臭のための処理水を循環させる処理水循環部２３と、電気分解されるときの処理水に含有される電解質濃度を硫酸塩３％〜１０％及び無機塩化物０．０１％〜３％に調整する電解質濃度調整部２４とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、最大限にエネルギーを有効利用することができる揮発性有機化合物含有排ガスの浄化・回収・濃縮方法および装置の提供。
【解決手段】乾燥施設から排出される揮発性有機化合物を含んだ排ガスのエネルギーを最大限に有効利用するための揮発性有機化合物ガスの浄化・揮発性有機化合物の回収・濃縮方法において、必要な排ガス温度（熱エネルギー）を、その排ガスの元となる加温前の空気（あるいは窒素等の不活性ガス）の温度と湿度より決定し、その決められた温度以上の排ガスの保有するエネルギーを、当該排ガスの元となる加温前の空気（あるいは窒素等の不活性ガス）の予備加熱等に利用することを特徴とする揮発性有機化合物ガスの浄化・揮発性有機化合物の回収・濃縮方法。 （もっと読む）

【課題】コンパクト且つシンプルな構成でありながら、除去効率および安全性が向上された空気浄化装置を提供する。
【解決手段】空気に含まれるＶＯＣを捕捉して除去する空気浄化装置であって、空気を通過させる収容空間１２ａと、収容空間１２ａ中に配設されて、収容空間１２ａを流れて通過する空気のＶＯＣを捕捉して、ＶＯＣが除去された空気を収容空間１２ａから排出させる流入側捕捉部１０とを有し、流入側捕捉部１０が、ＶＯＣを捕捉可能な多孔質構造を有する材料が積層されて形成された上流側捕捉層２１と、上流側捕捉層２１の材料を担持させて難燃性を持たせた波板状のプリーツフィルタ３５と、収容空間１２ａにおける上流側捕捉層２１の下流側に配設されて、上流側捕捉層２１の材料よりも小さな多孔質構造を有する材料が積層されて形成された下流側捕捉層３１とを備え、円筒状のハニカム基部８３およびハニカム芯部８４からなる排出側捕捉部８０も備える。 （もっと読む）

【課題】揮発性有機化合物含有ガスを吸着塔に導入して吸着させた後、加熱した脱着用水蒸気で脱着させて、脱着用水蒸気に同伴した揮発性有機化合物を、脱着用水蒸気を生成するための燃料として利用する際に、他の燃料の消費量を抑制する。
【解決手段】吸着塔１１への脱着用水蒸気の供給口を吸着塔１１両端方向に複数段となるように設け、脱着後の水蒸気を抜き出して燃焼炉１３へ通じる一端側に設けた供出口１６に近い供給口１５Ａと、吸着塔の他端側に設けた供給口１５Ｅとを少なくとも設けて、供出口１６に近い側の供給口１５Ａから順に開放するようにする。 （もっと読む）

【課題】塗装、めっき、印刷等の各種工場の排気ガスに含まれるミスト、ＶＯＣ、ダストなどの有害成分を、ろ布と２種類のろ過補助材を使って捕集する。ろ過補助材は未利用資源である木材を有効利用し、適宜回収、再生することで経済的なプロセスを確立する。
【解決手段】 排気ガスを、付着材２４と吸着剤２３とからなるろ過補助剤の２重層を吸着担持した回転可能な筒状ろ過体２２に通気して処理する。所定時間通気した後、ろ過補助剤を剥離し、これを加熱器３６で再生して付着または吸着した有害成分を分離、無害化して再利用する。 （もっと読む）

【課題】本発明は排ガスに含まれる臭化メチルを除去する手法において、排ガスを燃焼することなく、経済面で有利な手法で臭化メチルを除去する方法を提供することを課題とする。
【解決手段】臭化メチルを含有する排ガスを乾燥状態のイオン交換樹脂と接触させることで、排ガス中の臭化メチルをイオン交換樹脂に吸着分解させることを特徴とする排ガスの処理方法である。イオン交換樹脂とアルカリ水溶液を接触させることで、イオン交換樹脂に吸着した臭素イオンを除去し、イオン交換樹脂を再生して用いることができる。 （もっと読む）

【課題】触媒を用いることなく、Ｎ_２Ｏを短時間かつ高分解率で、効率的に熱分解処理する方法、その効率的なＮ_２Ｏ熱分解処理を実現するための装置及びその装置の設計方法を提供すること。
【解決手段】本発明のＮ_２Ｏの熱分解処理方法は、Ｎ_２Ｏを含有する被処理ガスをＮ_２Ｏ熱分解温度域まで加熱する加熱工程と、当該加熱工程後に上記被処理ガスを所定の熱分解温度で所定時間処理する熱分解工程と、を含み、上記熱分解工程で上記被処理ガスのレイノルズ数を４６００から１００００の乱流域とすることで、熱分解温度が９５０℃から１０００℃の範囲内であって、かつ、処理時間が０．７秒から２．０秒の範囲内で、９０％以上のＮ_２Ｏ熱分解率を得ることを特徴とする。 （もっと読む）