【課題】小型、省エネルギーの除湿機を有するミニエンを提供する。
【解決手段】ミニエンにおいて、ウェーハ搬送を行う搬送室を内部に有するミニエン本体と、ミニエン本体の排気側と吸気側との間に設置され、ミニエン本体の内部を除湿する除湿機とを備えている。そして、除湿機は、吸着式除湿機からなり、水分を吸着する除湿材に供給する空気を冷却するプレクーラー２７、アフタークーラー２８と、水分を吸着する除湿材に供給する空気を加熱する排気ヒーター３３、再生ヒーター２３とを備え、プレクーラー２７、アフタークーラー２８と排気ヒーター３３、再生ヒーター２３との熱源にペルチェ素子４１が使用されている。 （もっと読む）

【課題】高負荷状態においても圧縮機の焼損を招くことなく動作させて冷却対象体の冷却処理を継続し得る冷却装置を提供する。
【解決手段】コントローラ４が、温度センサ５による検出温度が予め規定された第１の温度に達したときに、配管Ｐ２ａ，Ｐ３ａを相互に連結して配管Ｐ２ａ内を移動する冷媒の一部を配管Ｐ３ａ内に流入させる配管Ｐ４にキャピラリチューブ２６と共に配設されている制御弁２５ｂを制御して配管Ｐ３ａに対する配管Ｐ２ａからの冷媒の流入量を増加させる第１の処理を実行すると共に、温度センサ５による検出温度が第１の処理の実行中に第１の温度以上の第２の温度に達したときに、凝縮器２２において凝縮させた冷媒を蒸発器２４ａに供給するための配管Ｐ２ｃに配設されている制御弁２５ａを制御して蒸発器２４ａに対する冷媒の供給量を減少させる第２の処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】よりいっそうの運転コストを削減したドライルーム用給排気システムを提供する。
【解決手段】ドライルーム１，２に給気する空気を除湿し、ドライルーム１，２に給気ダクト３を介して接続されている除湿手段１０と、ドライルーム１，２外へ排気された空気中の揮発性有機化合物を除去し、製造装置１ａ，２ａに排気ダクト４を介して接続されている揮発性有機化合物除去手段１１と、を備え、ドライルーム１，２には少なくとも２つの製造装置１ａ，２ａが設けられているとともに、除湿手段１０、揮発性有機化合物除去手段１１及び２つの製造装置１ａ，２ａがダクトを介して相互に接続され、２つの製造装置１ａ，２ａのうちの一方の製造装置から少なくとも他方の製造装置に前記ダクトを介して給気が行われることを特徴とする、ドライルーム用給排気システム１００。 （もっと読む）

【課題】 ドライバー等の操作者の意思に従ってパージ処理の実行を禁止して、不用意にパージエアに伴って水分や油分・塵挨等が排出されることのないエア供給システムを提供する。
【解決手段】 本発明は、圧縮したエアをエアタンクに貯留して利用するエア供給システム１００であって、エアタンク１１２の内圧が所定圧力になったときに、エアコンプレッサ１１１をアンロードすると共にエアドライヤ１１３のパージバルブ１２７を開弁させてパージ処理を実行するアンロード信号用エアを送出する圧力調整器１１７が備えられ、アンロード用配管１１７ｂの途中に三方弁２００が介装され、オンオフスイッチ３００がオフのときに第１入口２０１と出口２０３が連通される通常状態とされ、オンのときに第２入口２０２と出口２０３が連通されてエアコンプレッサ１１１をアンロードすることでパージ処理実行禁止状態とされることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】除湿／空調装置の効率を向上させる。
【解決手段】
ある量の液状乾燥剤と、その中に調整される空気が導入されて液状乾燥剤の第１の部分と接触する除湿装置セクションと、その中に外部の空気が導入されて液状乾燥剤の第２の部分と接触する再生装置セクションと、液状乾燥剤の第１の部分と関連付けられた第１の熱交換器、および液状乾燥剤の第２の部分と関連付けられた第２の熱交換器を有する冷却システムと、を備える空調装置であって、第１の熱交換器は、第２の熱交換器よりも低温であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】除湿負荷が変化した場合、露点温度を目標露点温度へ短時間で追従させるようにする。
【解決手段】例えば、再生側の空気の流量を制御対象とし、露点温度ｔｄpvを目標露点温度ｔｄspに一致させるように、制御対象に対する制御値（再生ファンＩＮＶ出力）を決定する。決定された今回の再生ファンＩＮＶ出力と前回の再生ファンＩＮＶ出力とからフィードフォワード量を演算する。演算されたフィードフォワード量を補償量として、再生コイルバルブ開度出力、ロータＩＮＶ出力、給気ファンＩＮＶ出力、予冷コイルバルブ開度出力を制御値とする関連制御対象の制御の遅れを改善する。 （もっと読む）

【課題】高い除湿能力を備えながらも、デシカントロータ駆動部や、吸着部と脱着部との境界部分のシール構造を不要として装置を簡素にでき、コンパクト化、低コスト化を図ることが可能な除湿装置を実現する。
【解決手段】第１熱交換器４、デシカントブロック７及び第２熱交換器６を直列に配置する。そして、除湿運転では、第１熱交換器４が凝縮器又は放熱器として動作すると共に、第２熱交換器６が蒸発器として動作する第１運転モードと、第１熱交換器が蒸発器として動作すると共に、第２熱交換器６が凝縮器又は放熱器として動作する第２運転モードとを交互に繰り返す。 （もっと読む）

【課題】 輻射用パネルヒーターに冷温水を循環する居室内冷暖房システムに於いて、居室内の湿度コントロールシステムを合理的に一体化する。
【解決手段】 水熱交換ユニット６Ｃから放熱回路７を引出して輻射用パネルヒーター７Ａを配置した冷温水循環タイプの冷暖房システムに於いて、放熱回路７の水熱交換ユニット６Ｃの近傍から空気熱交換器１用の冷温水循環回路６を分岐し、冷温水循環回路６は、空気熱交換器１を経由して、還流を放熱回路７と合流させて水熱交換ユニットに還流させると共に、空気熱交換器１には、吸気回路３、供給回路４及びドレン回路８を連設し、居室内の温湿度及び循環水の温度を検知回路５で検知して空調システムを制御運転する。 （もっと読む）

【課題】空気の調湿を無風状態で実施できる調湿用ホースを提供する。
【解決手段】調湿用ホースのホース本体１２は、形状保持用の管体１６と、選択透過膜１８と、内側保護層２０と、外側保護層２２とを備えている。管体１６は、断面が円筒状を呈し、内周面と外周面とにわたって水蒸気を含む空気が流通可能に形成されている。選択透過膜１８は、管体１６の外周面を覆うように形成され水蒸気を除いた空気の透過係数を水蒸気の透過係数よりも小さくしたものである。内側保護層２０は、選択透過膜１８の内周面を覆うように形成され、外側保護層２２は、選択透過膜１８の外周面を覆うように形成されている。各保護層２０、２２は、水蒸気を含む空気が各保護層２０、２２の厚さ方向と、厚さ方向と交差する方向の双方に水蒸気を含む空気が流通可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造でドライルーム内の湿分負荷変動に対応することのでき、消費エネルギーを抑えたドライルーム装置を提供する。
【解決手段】ドライルームからの還気の一部をドライルーム前室に通し、前室の湿度を外気より低湿度とすることにより、ドライルームへの人の入退室による湿分負荷変動に対応するようにした。また、前室からの排気を還気としてドライルーム装置に戻すことにより乾燥空気の無駄な消費を減らして消費エネルギーを抑えるようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は除湿装置に関するもので、安全性を更に向上できるものである。
【解決手段】そしてこの目的を達成するために本発明は、ヒータユニット８を発熱するヒータ部２０と、このヒータ部２０を覆う略椀形状のヒータカバー部２１とから形成し、このヒータカバー部２１に設けられた温度検出手段２２の検出値により、再生風路７の風量を調節させることを特徴とし、温湿度の変化や第１の送風手段１４の送風量の変化に伴うヒータユニット８からの発熱量の変化を検知させ、再生風路７の送風量を調節することにより、除湿ロータ４への熱負荷を一定にすることができる除湿装置を得られる。 （もっと読む）

【課題】制御性及びメンテナンス性を向上させ、イニシャルコストを低減する。
【解決手段】本発明の省エネ除湿システム２０は、除湿セクション２２の出口側における処理空気の露点温度が所定値の時の、パージセクション２３を通過する低温空気が取得したエネルギーと再生セクション２４を通過する高温空気が損失したエネルギーとの差分のエネルギーを除湿セクション２２を通過する処理空気の風量で除して得たエネルギー収支値と、再生セクション２４を通過する高温空気の風量を除湿セクション２２を通過する処理空気の風量で除して得た再生風量比と、の第１の関係式を予め格納し、実際の測定により得られたエネルギー収支値及び再生風量比と第１の関係式とにより推定した除湿セクションの出口側における処理空気の推定露点温度が所定の露点温度の時の第１の関係式に一致するように、再生風量比を制御する制御装置を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】衣類を乾燥する機能を備えた除湿装置において、使用者の好みに応じた衣類の乾燥状態の調整を行う除湿装置を提供することを目的とする。
【解決手段】使用者による衣類乾燥運転の短縮または延長する嗜好を操作表示部８に接続された切タイマー設定スイッチ１５の操作を受けて学習する運転要求確認手段２７により運転時間短縮嗜好判断手段２８と運転時間延長嗜好判断手段３１にて切タイマー設定スイッチ１５の操作がなくても運転の短縮または延長を実行するようにしたことにより、使用者の好みに応じた衣類の乾燥度合いに仕上げる衣類乾燥運転を行うことができ使い勝手の向上が図れた除湿装置が得られる。 （もっと読む）

【課題】複雑な制御を行うことがなく、再生エア量が変化した場合であっても二次側の給気露点温度を安定させること。
【解決手段】差圧計２８の差圧に基づいて二次側に供給される給気エア量を演算すると共に、モータ２０によって回転される吸着ロータ１２の回転速度を制御するコントローラ３２と、吸着ロータ１２の処理エリア３６を通過する前の位置において処理エアの絶対湿度を検出する温湿度センサ２６と、前記温湿度センサ２６で検出された処理エアの絶対湿度、及び、前記コントローラ３２で演算された給気エア量と、予め設定される給気露点温度の設定値とに基づいて再生エア量を演算し、前記演算結果に基づいてコントローラ３２により再生エア量が制御される。 （もっと読む）

【課題】電池パックの耐用年数を通じて動作可能な電池パックの湿度制御のメンテナンスフリーの解決策を提供する。
【解決手段】電池パックの筺体内の相対湿度を制御するための電池パックの除湿システム及び使用方法が提供される。所定の時間間隔又はシステム２００内の湿度が予め設定されたレベルに達したときには、システム２００は電池パック内の乾燥剤を加熱し、再活性化する。これにより、乾燥剤は水蒸気を吸収／吸着するポテンシャルを取り戻すことができる。 （もっと読む）

【課題】圧縮空気の除湿と、それと異なる系統の気体又は液体の温度調整を、除湿能力を下げることなく実行できる圧縮空気除湿装置を提供する。
【解決手段】圧縮機４１からの冷媒が、第１の分岐流路４３に分配器４５，４６により分配され、第１凝縮器４７、膨張弁４８、蒸発器４９、および圧縮機４１の順に循環される冷却回路Ｘと、圧縮機４１から送り出される冷媒が、第２の分岐流路４４に分配器４５，４６により分配され、第２凝縮器５８を経て冷却回路Ｘの第１凝縮器４７の上流側に合流するように循環する異系統温調回路Ｙとを具備し、冷却回路Ｘの蒸発器４９に圧縮空気が導入されて冷却・除湿され、異系統温調回路Ｙの第２凝縮器５８に、蒸発器４９に導入される圧縮空気とは異なる系統の温度調整対象の気体又は液体が導入される。 （もっと読む）

【課題】乾湿監視が簡易な配管素材を提案する。
【解決手段】ｐＨの変化で色が変化する染料でイオン交換樹脂を着色することにより，樹脂を主素材とする新たな感湿変色インジケータを作製する。 （もっと読む）

【課題】温度制御の応答性がよく、高精度に温度制御ができる圧縮空気除湿装置を提供する。
【解決】圧縮機３１から送り出される冷媒が、冷媒流路３２から分岐する第１の分岐流路３３に分配器３５、３６により分配され、第１凝縮器３７ 、第１膨張弁３８、第１蒸発器３９、および圧縮機３１の順に循環される冷却回路Ｘと、圧縮空気入口４２から流入された圧縮空気が、冷却回路Ｘの第１蒸発器３９によって冷却され、除湿されたうえで、リヒート部によって再加熱されて圧縮空気出口４４から流出される圧縮空気流通部Ｙとを具備する圧縮空気除湿装置３０において、圧縮機３１ から送り出される冷媒が、第２の分岐流路３４に分配器３５、３６から分配され、リヒート部を構成する第２凝縮器４８、第２膨張弁４９、冷却回路Ｘの第１凝縮器３７ の排熱を吸熱する第２蒸発器５０、および冷却回路Ｘの第１蒸発器３９の下流側となる冷媒流路３２に合流されて圧縮機３１に循環されるリヒート回路Ｚを具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】除湿された圧縮空気を従来よりも高温に加熱することができ、且つその温度を高精度に制御可能な圧縮空気除湿装置を提供する。
【解決手段】圧縮機４１からの冷媒が、第１の分岐流路４３に分配され、第１凝縮器４７、膨張弁４８、蒸発器４９および圧縮機４１の順に循環される冷却回路Ｘと、蒸発器４９によって冷却・除湿された圧縮空気が導入され、冷却前の圧縮空気と熱交換して除湿後の圧縮空気を加熱するリヒート部５５と、圧縮機４１からの冷媒が、冷媒流路４２から分岐する第２の分岐流路４４に分配され、リヒート部５５により加熱された圧縮空気を再加熱する第２凝縮器５８を通過した後に第１凝縮器４７の上流側に合流する冷媒リヒート回路Ｙと、圧縮空気の出口温度を検出する出口温度センサ６４と、圧縮空気の温度が所要設定温度となるように第１の分岐流路４３と第２の分岐流路４４とに流れる冷媒量を分配器で制御する制御部６０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】室温と物体の表面温度の温度差を精度良く検知する。
【解決手段】衣類等の被乾燥物を乾燥するための衣類乾燥機能と、本体１に設けた吹出口４から被乾燥物に風を送風するファンと、前記吹出口に設けて送風方向を変化させるルーバー６と、特定の範囲の温度変化を検知する赤外線センサ９を備え、前記衣類乾燥機能の運転を開始して前記ファンからの風を気化熱の影響で周囲の温度よりも表面温度が低くなっている衣類等の被乾燥物に当てるとともに、前記ルーバーによって前記ファンからの風を前記赤外線センサの温度変化を検知する特定の範囲を超えるように揺らし、前記赤外線センサで被乾燥物の揺れによる温度変化の信号を検知して被乾燥物が濡れていると判断することができるという効果を得ることができる。 （もっと読む）