【課題】被処理基板上に形成される薄膜の膜厚を均一にする。
【解決手段】被処理基板１０の被成膜面１２上に薄膜を成膜する薄膜形成方法は、複数の２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅの各々から噴霧される微粒子ガスの被成膜面１２の高さ位置Ｓにおけるガス風速の分布を測定する工程と、隣り合う２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅ同士の間の間隔Ｌ１〜Ｌ４が所定の値となるように複数の２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅを配置する工程と、を備え、間隔Ｌ１〜Ｌ４は、２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅの各々から噴霧される微粒子ガスのそれぞれのガス風速の分布に基づいて薄膜の膜厚が均一となるように所定の値に設定される。 （もっと読む）

【課題】塗装ガンを被塗装部位に対して斜めに配置した状態で塗布を実施した場合でも、効率よく塗装することができる塗装方法及び塗装装置を提供する。
【解決手段】塗装装置１０は、前記シェーピングエア１７のうち周方向の所定エリアを構成する部分を第１エア１７ａとして、相対的に高風速で噴出させ、第１エア１７ａの噴出と並行して、シェーピングエア１７のうち周方向の他のエリアを構成する部分を第２エア１７ｂとして、第１エア１７ａよりも相対的に低風速で噴出させ、第１エア１７ａ側に第２エア１７ｂを引き寄せる。 （もっと読む）

【課題】著しく多孔性の材料をできるだけ経済的に材料の希釈なしに十分に均一に含浸し、ならびに落書き防止用含浸の改善された材料塗布を可能にする効果的な方法を提供する。
【解決手段】多孔性の鉱物質支持体を噴霧技術によって含浸するための方法の場合に、ガスで支持された噴霧装置を使用する。 （もっと読む）

【課題】対象を媒体でコーティングする装置及び方法を改良する。
【解決手段】本発明の装置は、流出開口部を有しており、そこから媒体が流出し、その媒体はその後、メイン移動方向とビームプロフィールを有するスプレイビームとして噴霧される。少なくとも１つの成形流体開口部を介して成形流体をスプレイビームへ向ける、流出開口部に関して直径方向に対向する、固定的に配置された１対のビーム成形ユニットによって、スプレイビームのビームプロフィールが成形可能である。自動化された塗装のために必要な精度を維持しながら、スプレイビームのメイン移動方向を中心とするビームプロフィールの角度方向付けを変化させるために、少なくとも他の１対の直径方向に対向するビーム成形ユニットが、流出開口部の軸線に関して他の角度位置に設けられており、そのビーム成形ユニットが、第１の対のビーム成形ユニットから独立して駆動可能である。 （もっと読む）

レーザブレードコーティングシステムおよびレーザブレード（３８）の潤滑コーティングを形成する方法は、（ａ）所定の温度（Ｔ）でのレーザブレード（３８）の提供と、（ｂ）ポリマのコロイド分散（１４）のタンクの提供と、（ｃ）タンク（１２）と流体連通したスプレーガン（２２）の提供と、（ｆ）ミスト（２４）へコロイド分散（１４）を噴霧するための第１ガス流の制御と、（ｇ）ステップ（ｆ）とは無関係な、ミスト（２４）を形成するための第２ガス流を独立した制御と、（ｈ）レーザブレード（３８）へのミスト（２４）の搬送と、（ｉ）レーザブレード（３８）上に付加されたポリマの焼結と、を含んでいる。
（もっと読む）

本発明の目的は、加工対象物の連続的なコーティングのために用いられる回転アトマイザー（１０）の機能検査である。これは、アトマイザー（１０）の指向性のある空気フロー（１２）の内部または外側に生まれる圧力値が測定され、アトマイザーの機能にエラーがない場合の所定の参照値と比較されることで、実現される。 （もっと読む）

本発明の目的は、加工対象物の連続的なコーティングのために用いられる回転アトマイザーの回転ベルプレート（１）の制御である。ベルプレート（１）の構造的な設計および／または回転アトマイザーの要素によって、および、ベルプレート（１）の回転によって空気の流れ成分（３１、３２、３３）が生成されることでこれが実現され、空気の流れ成分は前記設計に対応し、要素は、ベルプレートに隣接し、同じものに対して固定される。空気の流れ成分が測定され、所定の参照値と比較される。 （もっと読む）

【課題】部品の表面上、特に従来のコールドスプレー装置を用いてアクセスするには困難である表面にコーティングを堆積するのに好適なスプレーコーティング方法及び装置（１４、１６、２０）を提供すること。
【解決手段】本方法及び装置（１４、１６、２０）は、長手方向軸線とその１つの端部に出口とを備えた管状本体（２２）を有するスプレーガン（１６）を利用する。本体（２２）は、収束通路（３８）を画成する第１の部分（２６）と、拡大通路（４０）を画成し且つ本体の出口（３２）を画成する第２の部分（２８）と、収束通路（３８）及び拡大通路（４０）の間でこれらを接続するスロート（４２）を画成するスロート部（３０）と、を有する。ガン（１６）は更に、収束通路（３８）の上流側にガスを導入するための少なくとも１つの入口（３６）と、スロート（４２）及びその直ぐ上流側で原材料を導入するための少なくとも１つの原材料入口（３４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】コールドスプレーコーティングの施工を簡略化し、且つコールドスプレーコーティングの施工効率を増加させる方法、システム、及び装置を提供する。
【解決手段】コールドスプレーコーティングシステムは、ノズル部材２１４によって画成されるノズル開口部２１８からガス流及び皮膜材料の粒体を放出し、皮膜材料の粒体が基板の第１の領域に衝突し結合するように動作可能なノズル部材２１４を有するコールドスプレーコーティングガンと、基板の第１の領域を加熱するように動作可能な熱源部材２０２と、を含む。 （もっと読む）

【課題】被塗布物に対して粉体塗料を効率よく塗着させるとともに、塗装ガンに対するメンテナンス頻度を低減する。
【解決手段】粉体塗装装置１０は、内壁に保護材６３が設けられた塗装ブース１４と、該塗装ブース１４を構成する側壁３６、３８及び天井壁４０に設置された塗装ガン１６ａ〜１６ｅとを備える。塗装ガン１６ａ〜１６ｅのノズルチューブ６６の終端は、側壁３６、３８及び天井壁４０に形成された連通孔７０に挿入され、この連通孔７０を介して、搬送用エアに同伴された粉体塗料が塗装ブース１４内に吐出・噴霧される。塗装ガン１６ａ、１６ｂにおける吐出パターンと塗装ガン１６ｃ、１６ｄにおける吐出パターンとは互いに干渉し、且つ塗装ガン１６ｅの吐出パターンは塗装ガン１６ａ〜１６ｄにおける吐出パターンに干渉する。この干渉によって粉体塗料の運動エネルギが相殺されることに伴い、該粉体塗料が静電作用下にワークＷ（被塗布物）に容易に引き寄せられるようになる。 （もっと読む）

【課題】物質、そして好ましくはホトレジスト、を支持体から除去する。
【解決手段】３つのオリフィスノズルからの液体のスプレーの方向を変える。ａ）ｉ）十分な圧力下で液体源から液体を供給され、そこから液体の流れを噴出する第１オリフィス１２４；ii）ガス源からガスを制御された圧力で供給されてガスの流れを噴出し、少なくとも部分的に液体の流れを偏向させる、第１ガスオリフィス１３０；iii）第２ガス源から第２ガスを制御された圧力で供給されてガスの流れを噴出し、少なくとも部分的に液体の流れを偏向させる、第２ガスオリフィス１４０、を有するノズルを装備し；そしてｂ）中央オリフィス１２４からの液体の流れに方向を付与するように第１ガスオリフィス１３０及び第２ガスオリフィス１４０の少なくとも１つのガス流の流れを修正することにより、ノズル１２２からの液体のスプレー方向を調節する。 （もっと読む）

【課題】 基板洗浄をさらに効率的に実行できる二流体ノズル、およびこの二流体ノズルによって洗浄処理を実行可能な基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】 流路形成部材３１および蓋部材３９は、主として圧縮空気供給源側から供給される気体の導入路を形成する部材である。流路形成部材４１および蓋部材４９は、主として圧縮空気供給源側から供給される気体の導入路を形成する部材である。また、各流路形成部材３１、４１の背面同士が合わせられると、洗浄液供給源７１から供給される液体の導入路が形成されるとともに、Ｙ軸方向を長手方向とし、Ｘ軸方向を幅方向とする略長方形状の液体吐出口が形成される。導出部材５１は、流路形成部材３１側から供給される気体の吐出口と、流路形成部材４１側から供給される気体の吐出口と、を形成する部材である。 （もっと読む）

【課題】 長時間エアロゾルを発生させても、初期状態と同じ濃度でエアロゾルを発生させることを可能とし、且つエアロゾル濃度の濃淡を高度に且つ高速で調整可能とする。
【解決手段】 微粒子をガス中に分散したエアロゾルを発生するエアロゾル発生部５と、このエアロゾルを高速で基板へ向けて噴出するノズル１０とを備え、エアロゾルを基板へ衝突させることで前記微粒子と基材とからなる複合構造物を作製する複合構造物作製装置であって、前記エアロゾル発生部５へ供給するメインガス流量を調整するメイン調整部２と、前記エアロゾル発生部５によって発生したエアロゾル濃度を読み取るセンサ７と、前記エアロゾル経路に補正ガスを供給するガス導入路と、このガス導入路を流れる補正ガス流量を調整する補正調整部３と、前記センサ７の検出値に基づいて、メイン調整部２と補正調整部３を制御する制御手段８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

開示されている堆積装置は堆積ヘッドと構造的に一体化された１以上の噴霧器を備えている。堆積ヘッド全体が交換式であり、材料を再充填できる。堆積ヘッドは複数のノズルを有することができる。また、三次元材料堆積用の堆積装置は、傾斜不能な噴霧器に取り付けられた傾斜可能な堆積ヘッドを備えている。異なる複数の材料を同時的または順番に堆積させる方法及び装置も開示されている。 （もっと読む）

【課題】液状材料を安定して噴霧供給し得る造粒・コーティング方法および装置を提供する。
【解決手段】容器内に投入された粉体に衝突させるように、空気流を供給することにより該粉体を流動化させ、この流動化した粉体に対し、二流体式スプレーノズル方式によりスプレーガスを用いて溶媒、溶液、分散液またはスラリーからなるスプレー液のミストを噴霧する造粒・コーティング方法において、前記スプレー液に二相流を形成するためのスプレーガスをあらかじめ混合し、この混合物からスプレーノズル内流路中で二相流を形成させて流速を加速した後、さらに該二相流とスプレーガスとを衝突させることにより該二相流をミスト化して噴霧することを特徴とする造粒・コーティング方法。 （もっと読む）

本発明は、ドロップレット印刷法を用いて材料を基板に塗布する方法であって、キャリアガスと、材料の懸濁液の液滴または材料のプレカーサー溶液の液滴または材料自体のプレカーサーの液滴とを含む気流が基板の方向に放出され、それにより気流中の液滴は最初は定常流に維持され、その後は液滴が基板に接触するまで収束流に維持される、方法を提供する。本発明はさらに、方法を実施する器具も提供する。 （もっと読む）

粉体塗装材料を供給するためのシステムが、粉体塗装材料源（６）と、圧縮ガス源（８）と、前記粉体塗装材料源に結合され前記粉体材料が噴出する開口部（１０）を有したノズルを移動可能に支持する装置（３８）と、前記開口部から離間し、噴出した塗装材料の雲の成形を補助するデフレクター（１２）とを具備する。前記デフレクターは、該デフレクターの半径方向の成分とともに延びる少なくとも１つの第１通路であって、圧縮ガス源に連通し、噴出する塗装材料の雲内へ半径方向にガスを噴出するする第１通路（１３１）を含んでいる。
（もっと読む）

本発明は、塗装対象部品へ、塗装手段のスプレー噴流３を塗布するための噴霧器１と、スプレー噴流３を整形するための整形用空気を放出する少なくとも１つの整形用空気ノズル８と、整形用空気の温度を制御する温度制御装置９と、あらかじめ決められた整形用空気の温度を設定するために少なくとも１つの噴霧器１の動作変数に応じて温度制御装置９を駆動する制御ユニット１０と、を備えた塗装装置に関する。さらに、本発明は、対応する塗装方法に関する。 （もっと読む）

本発明は、或る全体流量を有するキャリヤガスの中に粉材料を導入して噴霧する方法に関する。本発明による方法は、加圧されたキャリヤガスの流れを準備し、加圧されたキャリヤガスを音速まで加速させ、加圧されたキャリヤガスを膨張させ、キャリヤガスの上記流れの圧力よりも低い圧力の値を有する負圧ゾーンを形成し、或る量の粉材料が、膨張させたキャリヤガスによって同伴させられる。加速させたキャリヤガスのうちの或る量を、膨張の前にバイパスさせ、それを負圧ゾーンの中に、上記全体の流量を変化させることなしに再導入して、加速させたキャリヤガスのうちの上記或る量を調節したり、加速させたキャリヤガスのうちの上記或る量をバイパスさせなかったりすることによって、上記低い圧力を調節する。
（もっと読む）

【課題】液状材料の塗布時点で、塗膜形成対象物の貫通穴内部へ液状材料の侵入をより確実に防止する塗膜形成方法及び塗膜形成装置を提供すること。
【解決手段】塗膜形成対象物１の塗布面３に塗膜１０を形成する際に、塗布面３側の気圧より反対面４側の気圧を高くし、貫通穴２内に塗布面３側へ向かう空気７の流れを発生させた状態で、スプレーノズル８から液状材料９を噴出させる。空気７の流れにより、液状材料９が貫通穴２内に入り込むことを防止する。 （もっと読む）