【課題】インクジェット方式を用いて高粘度の機能性液を高周波で連続吐出させる際のロバスト性が維持された好ましい液体吐出が実現される、機能性液体吐出装置及び機能性液体吐出方法並びにインプリントシステムを提供する。
【解決手段】５mPa・s以上２０mPa・s以下の粘度の光硬化性樹脂液体を基板(20)上に吐出させるノズル(23)を具備し、圧力室(32)内部の液体を加圧する圧電素子(38)が設けられたヘッド(24)と、基板を搬送させる搬送部(22)と、を備え、圧力室を静定状態から膨張させる引き波形(102)及び膨張させた圧力室を収縮させる押し波形(106)を有し、光硬化性樹脂液体の粘度ηとヘッドの共振周期Ｔ_ｃとの関係が、（２／Ｔ_ｃ）≦γ_１≦（η／１０）、γ_２≦γ_１を満たす引き波形の傾きγ_１、押し波形の傾きγ_２を有する駆動電圧を生成し、該駆動電圧を用いてヘッドから基板上に光硬化性樹脂液体を吐出させる。 （もっと読む）

【課題】基板縁部の状態を簡単に早く検出することが出来る基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置１００は、表面に膜を塗布した基板Ｗを保持し回転する回転テーブル５と、基板Ｗに光を照射する光照射手段２と、光照射手段２による基板Ｗ表面からの正反射光を受光し、撮像画像の信号出力する光電変換手段４と、を備える。そして、基板Ｗの回転中心を含んで回転中心から半径方向の一走査分の電気信号の回転手段一周分の検出値を加算して二次元画像を生成し、二次元画像の一方向に沿って設定された判定バンドから変化点を判断する。したがって、基板Ｗ上においてＥＢＲ線の良否を簡単に判断することができ、処理効率の良い検査が可能になる効果を奏する。 （もっと読む）

【解決課題】建造物の外壁面に存在する旧塗膜の上に、大気中の塵芥や油性物質の吸着による塗膜表面の汚染が少なく、降雨後の雨筋跡が残り難い耐汚染性が長期に亘り良好で、かつ耐水性に優れた低汚染性塗膜を形成することができる建造物外壁面の親水性防汚処理方法を提供する。
【解決手段】建造物の外壁面に存在する旧塗膜の上に下塗塗料を塗布して下塗塗膜を形成した後、この下塗塗膜の上に親水性防汚塗料を塗布し、塗膜厚が１０〜４０μmであって、塗膜表面の水接触角が５０°以下である親水性防汚塗膜を形成する建造物外壁面の親水性防汚処理方法である。 （もっと読む）

【課題】薄膜成膜装置および薄膜成膜方法において、塗布液の蒸発を抑制する設備を設けなくても、高精度な膜厚を有する薄膜を形成できるようにする。
【解決手段】塗布液８を被成膜体４に供給する塗布液供給部６と、被成膜体４を保持する保持部２と、塗布液８を薄膜化する回転駆動部３と、薄膜化された塗布液８の膜厚を測定する膜厚測定部６と、膜厚の変化から薄膜化された塗布液８の粘度および密度を算出する塗布液特性算出部と、回転駆動部３の回転制御を行う回転制御部と、を備え、回転制御部は、回転を開始し塗布液８が有効塗布領域Ｅまで拡がったことを検出してから、塗布液８の拡がりが停止する第１の回転速度に回転駆動部３の回転速度を制御し、塗布液８の粘度および密度が算出された後に、これに基づいて目標塗布膜厚を得るための第２の回転速度を算出して、回転駆動部の回転速度を第２の回転速度に切り換える構成とする。 （もっと読む）

【課題】ノズルから吐出される液滴の重量ばらつきを高精度に較正可能なノズル吐出量の補正方法、これを用いた液滴の吐出方法、有機ＥＬ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】本適用例のノズル吐出量の補正方法は、ノズルから吐出される液滴の重量補正を行わない場合の吐出領域に吐出される全液滴の重量の合計値Ａと、あらかじめ設定した所定量Ｂとの差分から、補正後のノズル列単位の液滴の重量と、上記吐出領域に吐出を行う他のノズル列単位の液滴の重量の合計値Ｃが所定量Ｂとなるように、ノズル列単位の数の分の補正量計算を段階的に行う。このような補正は、吐出単位または走査単位を基準として行ってもよい。 （もっと読む）

【課題】露光量が小さくても薄膜を形成することができる薄膜形成用組成物、塗布液、及び薄膜形成方法を提供すること。
【解決手段】金属化合物粒子と、前記金属化合物粒子の表面を修飾する化学式１〜４のいずれかで表される、エチルマルトール等の配位子と、を含む薄膜形成用組成物。その薄膜形成用組成物と、前記薄膜形成用組成物を分散させる分散媒と、を含むことを特徴とする塗布液。その塗布液を、基体の表面に塗布して、塗布膜を形成する塗布膜形成工程と、前記塗布膜に、前記配位子の光吸収帯、又は前記配位子で表面を修飾された前記金属化合物粒子の光吸収帯に属する波長の電磁波を照射する露光工程と、を備えることを特徴とする薄膜形成方法。 （もっと読む）

【課題】生産性が高く微細な電界効果トランジスタとその製造方法ならびに製造装置を提供すること。
【解決手段】以下の工程（１）から（３）よりなる印刷工程により前記基板上へラインもしくはスペース最小幅が１から５０μｍであり、印刷位置精度が１００ｐｐｍ以下の機能性膜の形成を行うことを特徴とする電界効果トランジスタの製造方法としたもの。
工程（１） 版の画線部に相当する溝構造部にドクターブレードを用いたインキング法で、機能性材料が溶媒へ溶解もしくは分散した薬液を充填する工程。
工程（２） 転写シリンダーと前記版を接触させ、前記溝構造部の薬液を前記転写シリンダーへ転移させる工程。
工程（３） 前記転写シリンダー上の薬液を前記基板の所定の位置へ転写し、機能性膜の形成を行う工程。 （もっと読む）

【課題】ノズル毎のインク吐出量のバラツキによって発生する濃度ムラ、かつ視覚的なざらつき感による品質低下がなく、高品質な有機機能性素子を製造できるインクジェットパターン形成装置を提供する。
【解決手段】複数のマトリクス状の隔壁に囲まれた吐出領域が設けられた基板上に、複数のノズルを有するインクジェットヘッドを少なくとも１個用い、吐出パターンデータにより前記ノズルからインクを吐出して濃度ムラを解消した機能層を少なくとも１層形成するインクジェットパターン形成装置において、機能層を形成する際に、吐出パターンデータは、所定の面積からなる任意の領域に存在する開口部のインクの平均量を均一にするための基準データと前記基準データを調整する調整テーブルと多値誤差拡散法によって算出する工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】基板に塗布液を塗布して所定のパターンを形成するパターン形成技術において、異形基板に効率よくパターン形成を行うことのできる技術を提供する。
【解決手段】基板に対する走査移動方向に直交する方向（Ｙ方向）に沿って、塗布液を吐出する吐出ノズル５２３を列状に並べた第１ノズル体５２と、ボールねじ機構７４０によりＹ方向位置を変更可能な１対の吐出ノズル７２３を有する第２ノズル体７２とを有する。第１ノズル体５２からの塗布液の吐出により互いに平行で同一長さの複数のパターンを形成する一方、これとは長さの異なるパターンについては、第１ノズル体５２とは独立したタイミングで塗布制御される第２ノズル体７２により行う。 （もっと読む）

【課題】良好な厚さを有して光透過率及び導電性が共に優れた透明導電膜を、液相法にて容易に製造することのできる透明導電膜の製造法の提供。
【解決手段】基板１０の表面にＩＴＯのナノ粒子を含むＩｎＳｎ粒子分散液１１を塗布し（Ａ）、乾燥させることによって前記ＩＴＯナノ粒子を含むＩｎＳｎ粒子塗膜１３を形成する（Ｂ）。更に、Ｉｎ及びＳｎを含む錯体が溶解したＩｎＳｎ錯体溶液２１を塗布し（Ｃ）、乾燥させることによってＩｎＳｎ錯体塗膜２３をＩｎＳｎ粒子塗膜１３の上に形成する（Ｄ）。これを酸素濃度０．０１〜１０％の低酸素雰囲気で焼成し、続いて、還元雰囲気でアニールすると、ＩＴＯからなり光透過率及び導電性が共に優れた透明導電膜３０が、基板１０上に形成される（Ｅ）。 （もっと読む）

【課題】ペーストの塗布高さの測定精度を上げ、塗布製品の品質を向上させる。
【解決手段】ペースト塗布装置１は、塗布対象物Ｗの被塗布面にペーストを塗布する複数の塗布ヘッド３ａと、それらの塗布ヘッド３ａにそれぞれ一体的に設けられ被塗布面の変位を測定可能な複数のレーザ変位計３ｃと、制御を行う制御部とを備える。複数のレーザ変位計３ｃのうち少なくとも一つは光路面が塗布パターンにおける二直線のうち一方の直線に沿うように配置されており、少なくとも他の一つは光路面が二直線のうち他方の直線に沿うように配置されている。制御部は、被塗布面に描画された塗布パターンを形成するペーストの塗布高さを測定するとき、当該塗布パターンにおける直線状のペーストの延伸方向に光路面が沿った状態のレーザ変位計３ｃを直線状のペーストの延伸方向と交差する方向に移動させる制御を行う。 （もっと読む）

【課題】１つのシリンジで塗布する場合には、塗布面積が大きい場合には時間がかかる。また、複数のシリンジで塗布する場合には、それぞれのシリンジの違い（圧力さ、ペースト量、等）により、流動性材料を同一の塗布量にすることが難しく、塗布むらや断線が発生し易い。本発明の目的は、上記のような問題に鑑み、複数のシリンジで塗布作業を短時間とし、かつ、塗布形状が安定した半導体製造方法を提供する
【解決手段】Ｘ軸およびＹ軸方向に任意の距離を相対的に水平移動する基板に流動性材料で所定のパターンを描画塗布して形成するペースト塗布方法であって、複数のシリンジそれぞれが異なるサブパターンを描画塗布して１つのパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】光沢感、耐擦性に優れたパターン（印刷部）を備えた記録物を提供すること、また、当該記録物を効率よく製造することができる製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の記録物の製造方法は、光沢を有する鱗片状の粉末および紫外線の照射により重合する重合性化合物を含む紫外線硬化型インクジェット用組成物を、インクジェット方式により記録媒体上に付与する組成物付与工程と、加熱により、前記記録媒体に付与された前記紫外線硬化型インクジェット用組成物を構成する前記粉末を配列させる配列工程と、紫外線を照射することにより、前記重合性化合物を重合させる重合工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ダイコータで、ガラス基板とダイ間のクリアランスを全幅に渡って略均一に非常に小さくすることで、ガラス基板に非常に薄い塗布膜を形成できる塗布装置および塗布方法、並びにディスプレイ用部材の製造方法を提供する
【解決手段】スリット状の吐出口を有する塗布器から、塗布液を被塗布部材上に吐出して塗布膜を形成する塗布方法で、被塗布部材表面が高さＨだけエアー浮上されて保持されている被塗布部材に、塗布器の吐出口面がＨ−６０μｍ〜Ｈ＋５０μｍの高さに位置するよう塗布器を近接させ、吐出口より塗布液を吐出しながら、塗布器および被塗布部材の少なくとも一方を相対的に移動させて、被塗布部材上に塗布膜の形成を行う塗布方法。 （もっと読む）

【課題】低い光量の光の照射や、短時間の光の照射であっても優れた光触媒活性や超親水性を呈し、且つ基材との密着性が高く経年劣化の少ない被覆を形成できるコーティング材と、それを用いた被覆の形成方法を提供する。
【解決手段】コーティング材は、ナシコン型構造を有する結晶を少なくとも表面に含有する。また、被覆体の製造方法は、ナシコン型結晶を有する光触媒結晶を含有するコーティング材を基材の表面に被覆する被覆工程を有する。 （もっと読む）

【課題】光沢感、耐擦性に優れたパターン（印刷部）を備えた記録物を提供すること、また、当該記録物を効率よく製造することができる製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の記録物の製造方法は、少なくとも表面が金属材料で構成され、かつ、強磁性を有する鱗片状の粉末および重合性化合物を含む紫外線硬化型インクジェット用組成物を、インクジェット方式により記録媒体上に付与する組成物付与工程と、磁力により、前記記録媒体に付与された前記紫外線硬化型インクジェット用組成物を構成する前記粉末を配列させる配列工程と、紫外線を照射することにより、前記重合性化合物を重合させる重合工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光沢感、耐擦性に優れたパターン（印刷部）を備えた記録物を提供すること、当該記録物を効率よく製造することができる製造方法を提供すること、当該記録物の製造に好適に用いることのできる紫外線硬化型インクジェット組成物を提供すること、また、当該紫外線硬化型インクジェット組成物の製造に用いられる粉末を提供すること。
【解決手段】本発明の紫外線硬化型インクジェット組成物は、インクジェット方式により吐出される紫外線硬化型インクジェット組成物であって、重合性化合物と、鱗片状をなす粉末とを含み、前記粉末が、Ａｌで構成されたＡｌ層と、強磁性を有する強磁性層とを備えるものであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液状体として、例えば有機ＥＬ装置に用いられる発光層を形成する殆ど透明なものを用いた場合、液状体が塗布された領域とそれ以外の領域とのコントラストが取れないため、液状体が塗布された領域の面積や体積を測定することは極めて困難になるという課題があった。
【解決手段】溶媒中に溶質を含む機能液、または前記溶媒のみを含む透明な液状体を浸透させた塗布領域を観察するための液滴吐出評価方法であって、受容層を備える透明な基板の前記受容層側に前記液状体の液滴を吐出し、前記受容層に前記液状体を浸透させる塗布工程と、前記液状体中の前記溶媒を残した状態で、前記基板の一方の面から前記基板に光を照射し、前記基板を透過させ、他方の面側から前記塗布領域を観察する観察工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】所定のパターン形成予定部に対応した良好なパターン形成をすることができるパターン形成装置及びパターン形成方法を提供することである。
【解決手段】実施形態のパターン形成方法は、インクジェット方式により対象物のパターン形成予定部の周りに撥液性を有するコーティング材を塗布する表面処理工程と、前記表面処理工程の後にインクジェット方式により前記対象物の前記パターン形成予定部にパターン形成用材を塗布するパターン形成工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】コールドスプレー装置が正常であるか否かを検査できるコールドスプレー検査装置を提供する。
【解決手段】コールドスプレー装置１００が正常であるか否かを検査するコールドスプレー検査装置１０であって、コールドスプレー装置１００によって噴射される噴射体を堆積させる基材２と、基材２上に堆積した噴射体の略円錐形状ＲＣの側面断面形状ＲＴを認識するＣＣＤカメラ３と、側面断面形状ＲＴを二等辺三角形Ｔに近似し、二等辺三角形Ｔの頂角αが所定の範囲内であれば、コールドスプレー装置１００は正常であると判断するコントローラ５と、を具備する。 （もっと読む）