【課題】温度差のある二流体を混合して吐出するノズル構造において一方の流体から他方の流体への熱伝導を抑制し、塗布状態を安定させ、均一な塗布を実現すると共に液吐出部における詰まりの発生を防止すること。
【解決手段】内壁２２と外壁２３の二重構造を有するノズルにおいて、内壁２２及び外壁２３のそれぞれにエアギャップ３１、３２を形成して当該エアギャップ３１、３２の先端を閉じた構造とする。内壁２２に設ける液溜部２４は加熱窒素ガスが通過する加熱ガス供給エリアよりもノズル基端部側に配置する。内壁２２の液溜部２４にレジスト液を供給すると共に内壁２２と外壁２３との間に形成した気体通路２７に加熱窒素ガスを供給して、ノズル先端部より吐出するレジスト液を加熱窒素ガスで加熱して対象物５０に塗布する。 （もっと読む）

【課題】 大型化が容易で、液体を自吸することができ、所望の大きさの微細液滴を発生させることができる微細液滴発生装置を提供する。
【解決手段】 管体１０の上流側から高圧気体Ｇが供給される。この管体１０の、上流側の第１領域１０Ａと下流側の第２領域１０Ｂとの境界位置に、球状の負圧発生体１１が配置されている。管体１０の壁面には複数の液体吸引孔１３が設けられ、液体室１２から管体１０の内部に液体Ｌ２が自吸される。高圧気体Ｇが管体１０の内壁と負圧発生体１１との隙間を通過して高圧気体Ｇの流れが高剪断流れになり、この高剪断流れによって管体１０の内部に自吸された液体Ｌ２が微細にせん断される。これにより微細液滴Ｌ１を含むミストＭが下流側に噴出される。 （もっと読む）

【課題】 乾燥工程をなくしもしくは簡素化するため、無溶剤もしくは少量の溶剤の塗料をスプレーして導電性ローラの表面層を形成することのできる、導電性ローラの製造方法、および導電性ローラ塗装装置、ならびに、この製造方法によって形成された導電性ローラを提供する。
【解決手段】 この発明の導電性ローラの製造方法においては、塗料をスプレーして表面層を形成し、塗料のスプレーに先立って、塗料の粘度が1〜1000ｍPa・Sとなるよう、塗料と塗料霧化用の圧縮ガスとの両方を昇温することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、コーティング室（１２）と、少なくとも一つのデバイス取付部（１６）を有するデバイスロテータ（１４）を備えるデバイス（１０）をコーティングするための装置を提供する。装置は、コーティング室（１２）の内及び外へのデバイス取付部上のデバイスの挿入と抜き出しをそれぞれ許容する。他の特徴において、本発明は、デバイス（１０）をコーティングするための装置を備えるステップと、デバイス取付部（１６）にデバイス（１０）を装着するステップと、コーティング室（１２）の湿度を低下させるためにコーティング室（１２）を浄化するステップと、コーティング室（１２）内に含まれる低下した湿度を保持するステップと、コーティング室（１２）へデバイス（１０）を挿入するステップと、デバイス（１０）上にコーティング材料を堆積する段階と、デバイス軸の回りでデバイス取付部（１６）を回転させるステップとを備える、デバイス（１０）上に実質的に均一なコーティングを適用する方法を提供する。
（もっと読む）

【課題】 有機溶剤ミストの粒径を均一にし、供給量及び濃度を広範囲に制御でき、種々のデバイスに適用できる乾燥処理システムを備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】 有機溶剤供給源及び不活性ガス供給源１６にそれぞれ接続されこれらの供給源から供給される有機溶剤と不活性ガスとを混合する混合器２１と、混合器２１で混合された混合ガスにより被処理基板Ｗを乾燥処理する基板処理槽２とを備えた基板処理装置１において、混合器２１と基板処理槽２との間にミスト生成器２２を結合し、このミスト生成器２２にミスト整流板２６、３０を設け、このミスト整流板２６、３０により混合器２１から供給される有機溶剤の液滴を均一粒径のミストを含む気体にして基板処理槽２に供給する。 （もっと読む）

【課題】揮発性の低い洗浄薬液を用いて強打力で洗浄を行った際でも乾燥性が非常に高く、洗浄薬液残りに起因する縦筋ムラを無くすことができ、且つ毎回一動作の洗浄でスリットノズルの先端部に乾燥固着する異物を完全に除去することで歩留まりを向上させ、タクトタイムを短縮する事が可能な洗浄装置付塗布装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置は、スリットノズル先端部８の外側に洗浄薬液と不活性ガスを混合した２流体を噴出する２流体ノズル１０と、２流体ノズル１０の逆進行方向側に不活性ガスを噴出する液切りノズル１８とをスリットノズル１の長手方向に配列してなる２組が、スリットノズル先端部８の外側を挟みこむようにスリットノズル１の長手方向に平行に近設されている洗浄部と、この洗浄部の下部に位置して、発生したミスト状廃液を強制排気する排気部とで構成される洗浄ヘッド２３を具備する。 （もっと読む）

【課題】柔らかい材質の粉末コーティング時にノズルが塞がる現象を最少化し、高硬度材質の粉末コーティング時にノズルの摩耗を防止することができて、ノズルを長時間使用できるので大量生産への適用が容易であり、長時間高品質のコーティングを実施できるコールドスプレー用ノズル及びこれを利用したコールドスプレー装置を提供する。
【解決手段】コールドスプレー用ノズル及びこれを利用したコールドスプレー装置は、断面積が収斂する収斂引入部２と、前記収斂引入部の収斂端部に連結されるスロート部４と、前記スロート部の端部に連結される出口部６とからなる中空型のノズル部１０及び前記収斂引入部の内部に位置し、その端部噴射口１２が前記スロート部またはこれを過ぎた出口部内に位置するように配置される噴射チューブ２０を含み、前記出口部での粉末の出口端流速が３００〜１，２００ｍ／ｓになるようにする。 （もっと読む）

【課題】溶射材を一定に供給することができ、且つ皮膜または堆積状態をコントロールすることができる溶射ノズル装置および溶射装置を提供する。
【解決手段】ノズルの入口側にキャリアガスを導入して超高速のガス流を形成し、そのガス流によって溶射材をアトマイズし放出する溶射ノズル装置において、ノズル２は導入されたキャリアガスを超音速に加速するスロート部２ａと、このスロート部２ａの下流側に設けられ加速されたガス流を超音速に維持するための拡径流路部２ｂとを有し、ノズル２の入口側端部に、溶射材としての溶融金属を貯留するための貯留部４が連通路４ａを介して接続されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 エアロゾルを停止することなく原料の補充が可能な複合構造物形成システム及び形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材に衝突させて前記微粒子の構成材料からなる構造物と前記基材との複合構造物を形成する複合構造物形成システムであって、前記微粒子を収容する収容機構と、前記微粒子をガス中に分散させてエアロゾルを形成するエアロゾル化機構と、前記収容機構から前記エアロゾル化機構に前記微粒子を供給する供給機構と、前記収容機構と前記エアロゾル化機構との間のガスの流れを遮断する圧力遮断機構と、前記エアロゾル化機構に前記ガスを供給するガス供給機構と、前記エアロゾルを前記基材に向けて噴射する吐出口と、を備えたことを特徴とする複合構造物形成システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】 一定粒子濃度であるエアロゾルを効率的に生成し、均一膜厚の膜を形成することができる成膜方法及び成膜装置を提供する。
【解決手段】 複数の粒子を粒子供給手段（１７）を用いて第２チャンバー（１２）内空間に定量供給し、エアロゾル化させることにより、一定濃度のエアロゾルを効率的に形成することができ、圧力調整手段（７、１１、１４）を用いて第１チャンバー（２）と第２チャンバー（１２）との間の圧力差によりエアロゾルを搬送管（３）を通して第１チャンバー（２）内に固定された基材（９）上に噴射することで、基材上に均一膜厚の膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単でしかも気体量に対する液量が多く、さらには微粒子化が可能なスプレー式気化器のノズルを提供すること。
【解決手段】加圧気体を移送する外筒１ａと、液体を移送する内筒（チューブ）２と、外筒と内筒とを同心円状で、かつ先端同士がほぼ一致するように位置決めして加圧気体の噴出口となる間隙４を形成する凸部３とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】均一な液晶滴下と液晶表示装置の画質を向上させることができる液晶噴射装置及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の液晶噴射装置は、液晶が充填される液晶容器と、液晶容器に充填された液晶を微細粒子形状に噴霧する液晶ノズルと、液晶容器に充填された液晶を液晶ノズルに供給する液晶噴射機と、液晶ノズルに供給される液晶を微細粒子形状で噴霧させるためのガスを供給するガス供給部と、ガス供給部にガスを供給するガスタンクとを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガスタービンの圧縮機ブレードなどの基体の一部をマスキングすることなくマイクロプラズマ溶射する方法並びに装置。
【解決手段】装置１０は、陽極１６、陰極１８及び該陽極と陰極の間に電気アークを発生させるためのアーク発生器を備える。アークガス・エミッタ１４は、電気アークを介して不活性なガスを噴射する。電気アークは、プラズマガス流２１を生じさせるよう、ガスをイオン化するよう作動可能である。粉末インジェクタ２２は、プラズマガス中に粉末材料を噴射する。圧縮機ブレードの限定領域が、マスキングすることなく粉末材料でコーティングされる。 （もっと読む）

【課題】均一でしかも密な金属積層を精度良く実現することができる溶射ノズル装置およびそれを用いた溶射装置を提供する。
【解決手段】ノズル１の入口側にキャリアガスを導入してその内部全域に超音速のガス流を形成し、そのガス流によって溶射材をアトマイズし放出する溶射ノズル装置であって、線状に成形された溶射材４をガス流と略平行な状態で入口側からノズル１内に挿入する溶射材挿入部５と、溶射材挿入部５の先端近傍でその溶射材挿入部から突出した溶射材４を加熱溶解するレーザー装置とを備え、このレーザー装置より溶解されアトマイズされた溶射材粒子をノズル１内の超音速ガス流によって急冷し、凝固状態若しくは半凝固状態で放出するように構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

溶融金属２０を噴射させる吐出ノズル３１と、吐出ノズル３１の吐出口３２の周囲に不活性ガスを供給するガス流路３３を有し、吐出ノズル３１の吐出口３２およびガス流路３３の出口には、ノズルカバー３４が設けられる。ノズルカバー３４には、吐出口３２およびガス流路３３の出口に連通して下方に開口した空間３５を有し、その開口周辺にはリング状の突出部３６を有する。吐出口３２から空間３５内に溶融金属２０を噴射させる際、空間３５に不活性ガスを供給することにより溶融金属２０の酸化が防止され、吐出口３２のノズル詰まりを防止し、溶融金属２０の形状を球状化することができる。
（もっと読む）

物理的、電気的、化学的または光学的な特性の内のひとつ以上の特性において、5％以下の許容差を有する受動的構造を直接的に書き込む方法および装置である。本装置は、延長された析出時間を可能とする。上記装置は、単独動作用に構成され得ると共に、当該システムの物理的特性を検出して最適なプロセス・パラメータを特定かつ維持するセンサおよびフィードバック・ループを使用する。
（もっと読む）

様々なエアゾール物質の直接印刷のための小型エアゾールジェット流又は小型エアゾールジェット流配列構造に関する。最も多用される実施態様ではエアゾールストリームが焦点処理され、平面または非平面である標的上に堆積され、対応バルク物質のものに近い物性、光学特性及び／又は電気特性を提供するように熱的あるいは光化学的に処理されるパターンを形成する。この装置は、外側シースガスフローと内側エアゾール含有キャリアフローとで成る環状拡散ジェット流を形成するエアゾールジェット流堆積ヘッドを使用する。堆積ヘッドの小型化は配列された堆積ヘッドの組み立て並びに操作を容易にし、エアゾールジェット流配列構造の構築と操作を独立したものとすることができる。配列エアゾールジェット流は堆積速度、堆積配列構造及び多重物質堆積性能を向上させる。
（もっと読む）

【課題】基板に噴射される微細液滴の粒径の均一性を向上するとともに微細液滴を所望の速度で基板に衝突させる。
【解決手段】基板洗浄装置１は、洗浄液液滴を生成し、所定の粒径以下の微細液滴を選別する液滴生成部３、液滴生成部３から供給される微細液滴を加速ガスと共に基板９に向けて噴射する噴射ノズル４を備える。液滴生成部３は、液滴を生成する液滴生成用ノズル３１、および、微細液滴を選別する液滴選別室３２を備える。液滴選別室３２では、液滴がキャリアガス中にて浮遊した状態で移動し、液滴選別室３２内での移動距離が長い液滴が微細液滴として噴射ノズル４に供給される。その結果、基板９に噴射される微細液滴の粒径の均一性を向上することができる。また、微細液滴を適切な噴射速度で基板９に向けて噴射することにより微細液滴を所望の速度で基板に衝突させることができる。 （もっと読む）

【課題】マスキングすることなくワークピースの一部を正確に被覆するための方法と装置を提供する。
【解決手段】ガスタービンの圧縮機ブレードなどのワークピースの一部を、ワークピースのいずれの部分もマスキングすることなく溶射するための方法と装置。装置は、陽極、陰極、それらの陽極と陰極の間に電気アークを発生させるアーク発生器を備えるプラズマ溶射装置である。アークガス・エミッタは、電気アークを介して不活性ガスを噴射する。電気アークは、プラズマガス流を生じさせるためにガスをイオン化するよう作用可能である。粉末材料インジェクタノズルは陽極を通って延在しかつワークピースに移動させるためにプラズマ流中に粉末材料を噴射する。 （もっと読む）

【課題】迅速な修復作業を容易にするべく作業現場への搬送が可能で、かつ、精度の高い溶射の適用が可能な、携帯型手持ち式マイクロプラズマ溶射装置を提供する。
【解決手段】ハウジング内に配置される陽極、陰極及びアークガス・エミッタと、粉末供給システムと、冷却システムと、装置に連結される動力源を含んでなる携帯型手持ち式マイクロプラズマ溶射装置。粉末供給システム、冷却システム及び動力源は、可搬式プラットフォーム上に着脱可能に実装される。マイクロプラズマ溶射装置は、迅速な修復作業を容易にするために、作業現場へ搬送することができる。 （もっと読む）