移動する基材の側面をコーティングするためのシステム。このシステムは、プラズマ供給源のアレイ、このアレイの上流に位置する第１複数のオリフィスおよびこのアレイの下流に位置する第２複数のオリフィスを含む。コーティング反応物を各オリフィスからそのオリフィスに関連するプラズマ供給源から出るプラズマジェットの中へ噴射する。制御装置がこの基材の輪郭およびこのアレイに対する基材の位置に従ってこのコーティング反応物の流れおよびこれらのオリフィスへのフラッシュガスの流れを調節する。この基材の反対の側面をコーティングするために追加のプラズマアレイおよびオリフィスの組を使ってもよい。
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【課題】基板上における液体の微粒子の密度を増大しつつ、微粒子の基板への到達速度を調整可能にするノズルを提供する。
【解決手段】噴射ノズル４は、液滴生成ガスおよび純水が導入され、液滴を噴射する液滴生成ノズル部４１を有し、液滴生成ノズル部４１の先端には、筒状の補助ノズル部４２が取り付けられる。補助ノズル部４２は、液滴生成ノズル部４１に接続される連結部４２１、および、液滴の基板上における被噴射範囲を制限する先端部４２３を有し、補助ノズル部４２の流路４２５内において液滴を加速する加速ガスが加速ガス導入口４２４から導入される。噴射ノズル４では、液滴生成ガスの流量を高くして微小な液滴を生成し、さらに、被噴射範囲を制限することにより基板上における液滴の密度を増大することができ、加速ガスの流量を制御することにより液滴の基板への到達速度が調整可能となる。 （もっと読む）

【課題】混合処理液による処理効率を向上させることができる二流体ノズル、ならびにそれを用いた基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】二流体ノズル３は、外筒２３および内筒２４を含む。内筒２４の下端には、硫酸を吐出する半円状の第１処理液吐出口３０と、過酸化水素水を吐出する半円状の第２処理液吐出口３４とが形成されている。外筒２３の下端と内筒２４の下端との間は、第１および第２処理液吐出口３０，３４を取り囲み、窒素ガスを吐出する円環状の環状気体吐出口３１となっている。第１および第２処理液吐出口３０，３４から吐出された硫酸および過酸化水素水は、環状気体吐出口３１から吐出された窒素ガスと混合されて液滴状態となり、ウエハＷの上空またはウエハＷの表面上で混合されて、活性の高いＳＰＭとしてウエハＷの表面に供給される。 （もっと読む）

【課題】基材との設置間隔が狭い場合でも使用でき、長時間にわたり安定して緻密で均一な被膜を形成可能なエアロゾル吐出ノズル、および該ノズルを用いた被膜形成装置を提供する。
【解決手段】微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材の成膜部に向けて吐出する、先端部１ｂに吐出開口２ｃを有するエアロゾル吐出ノズル１であって、該吐出開口２ｃは、同長の両短辺と、この両短辺の上端、下端同士をそれぞれ結ぶ２本の連結長辺とからなる略矩形形状であり、上記両短辺間の少なくとも中央位置における２本の連結長辺間の距離が短辺の長さよりも短く、この吐出開口２ｃと、先端部１ｂにおけるエアロゾルを導入するための矩形形状の先端導入開口２ｂとが連続的に繋がっている。本発明の被膜形成装置は、このエアロゾル吐出ノズル１を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】前駆体含有流体流を搬送するための容器、装置を用いる方法を提供する。
【解決手段】容器内に含まれる前駆体物質から前駆体含有流体流を搬送するための容器。上方容積部と下方容積部とに分割された内部容積部。上方容積部と下方容積部とが流体連通していて且つ下方容積部が前駆体物質を含む内部容積部、少なくとも１種のキャリアガスを容器の内部容積部に導く流体入口、流体出口、および上方容積部の少なくとも一部を内部に備えた内部凹部を含む蓋、少なくとも一部が蓋に接する上方リップを有する側壁、蓋と側壁との間に配置されたセパレーター。上方リップに隣接してあり且つ内部容積部を上方容積部および下方容積部に分割しているセパレーター。少なくとも１種のキャリアガスをセパレーターを経由し且つ前駆体物質の方へ導くためにセパレーターに向かって開口しているプレナム室を有する流体入口と流体連通している入口プレナムを含む。 （もっと読む）

【課題】配管の内壁や噴射ノズルの内壁等に付着した凝集体が再飛散することによる圧粉体の形成や膜厚のむらを防止する。
【解決手段】この成膜方法は、エアロゾル生成部において原料粉をガス中に分散させることによりエアロゾルを生成する工程（ａ）と、エアロゾル生成部から搬送管に供給されるエアロゾルを、成膜室に配置されたノズルに搬送する工程（ｂ）と、成膜室において、ノズルと基板との相対位置を変化させながら、ノズルから基板に向けてエアロゾルを噴射することにより基板上に原料粉を堆積させて膜を形成する工程（ｃ）と、ノズルと基板との相対位置に応じて、エアロゾル生成部と搬送管とノズルとの内の少なくとも１つを間欠的に振動させる工程（ｄ）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法による成膜において、厚さ及び品質が均一な膜を形成できる成膜装置を提供する。
【解決手段】この成膜装置は、原料粉をガス中に分散させることによりエアロゾルを生成するエアロゾル生成部と、基板が配置される成膜室６と、エアロゾル生成部において生成されたエアロゾルを成膜室に搬送するエアロゾル搬送管５と、成膜室に配置され、エアロゾル搬送管を介して搬送されたエアロゾルを基板に向けて噴射するノズル７と、該ノズルと基板との相対的位置を変化させるために、ノズル又は基板の位置を移動させる基板ステージ８と、成膜を中断してエアロゾル搬送管内を清掃するように各部を制御する制御部１０とを有する。 （もっと読む）

【課題】マイクロ加工を可能にするために、微細空間に微細な液滴を供給すること、そのために微細な液滴の形成方法及び装置を提供すること。
【解決手段】液体を噴霧し、発生した霧状液体粒子から慣性分別して微細液滴部分を分別した後、加熱したキャリアガスと接触させて液体粒子を熱的乾燥させてさらに微粒子化する、液体微粒子発生方法及び装置。 （もっと読む）

【課題】従来技術における噴霧手段では、水分等を一様に噴霧することは可能であるが、その微調整が容易ではなかった。特に食品加工システムにおいては、如何に噴霧量を調節するかが極めて重要な課題である。
【解決手段】そこで、本発明の加工システムでは、保持タンク（０２０１）に保持された液状体を、保持タンクから面に沿って滴るような壁面部（０２０４）を有する導管（０２０２）にて導き、この壁面部から滴る液状体を噴射部（０２０３）にて霧状散布するため、噴霧対象物へ噴霧する水、油、調味料等の噴霧量の微調整が可能である。このため、本発明の加工システムでは、噴霧対象物が食物であれば、その食物に最も適した噴霧量を噴霧することができ、外観、食感、味ともに良好な食品を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法による成膜において、厚さが均一な膜を効率良く形成できる成膜方法を提供する。
【解決手段】略一定のペースで供給される原料粉をガスによって分散させることによりエアロゾルを生成する工程（ａ）と、工程（ａ）において生成されたエアロゾルをノズルから基板に向けて噴射することにより、基板上に原料粉を堆積させる工程（ｂ）とを含み、工程（ｂ）が、ノズルと基板との内の少なくとも一方を移動させることにより、基板にエアロゾルを吹き付けることによって基板上に堆積する原料粉に対し、異なる軌道を通って原料粉を重ねて堆積させることにより、原料粉の厚さのばらつきが互いに相殺されるように、ノズルと基板との相対位置を制御しながら行われる。 （もっと読む）

【課題】粉末粒子を被覆する動的吹き付けシステムのノズルアッセンブリを提供する。
【解決手段】動的吹き付けシステムのノズルアッセンブリは、先細部、スロート部及び末広部を備え、各々は、高圧加熱ガスの流れに浮遊した粉末粒子の混合物を通過させるための通路を画定するように協働する。ノズルアッセンブリは、末広部に取り付けられ、且つ、ノズルアッセンブリの末広部から所定の長さで末端部まで延在する延長部を更に備える。延長部は、高圧加熱ガスの流れにより粉末粒子に発揮された引きずり力が、より長い期間に亘って粉末粒子に作用することを可能にし、これによって粉末粒子を以前には達成できなかったより高速度にまで加速することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法において粗大なセラミックス凝集粉等を容易に除去し、一次粒子の発生割合を容易に増やすことができ、得られる被膜の硬度や、成膜速度および成膜効率に優れる被膜形成方法および被膜形成装置を提供する。
【解決手段】原料セラミックス微粒子をガス中に分散させてエアロゾルとするエアロゾル発生装置１１と、捕集チャンバー３と、真空チャンバー５と、該真空チャンバー５内に配設されたエアロゾル噴射ノズル１２とを備える被膜形成装置１であって、捕集チャンバー３は、エアロゾル発生装置１１と、噴射ノズル１２との間に設けられ、エアロゾル発生装置１１から供給されるエアロゾル中の粗大なセラミックス微粒子を捕集チャンバー３の底部に沈降させて捕集し、噴射ノズル１２に供給されるエアロゾル中のセラミックス微粒子の平均粒子径が、0.1μm〜2μm である。 （もっと読む）

【課題】起動時間を大幅に短縮するとともに安定したドライアイススノーを噴射できるドライアイススノー洗浄装置を提供する。
【解決手段】加圧液化炭酸ガスを断熱膨張させることにより形成されたドライアイススノーを噴射ノズル１から被洗浄物に対して噴射して洗浄をする装置であって、供給された液化炭酸ガスを断熱膨張させるオリフィス３と、上記オリフィス３から噴射ノズル１に至る流通管２とを備え、上記流通管２の先端部よりも噴射ノズル１側の部分から分岐して流通管２とは離隔した状態で噴射ガス供給管４が連通し、上記流通管２の内径Ｄに対し長さＬが（Ｄ^２×１０００）±（Ｄ^２×１２５）未満となるよう設定した。 （もっと読む）

【課題】ＡＤ法においてエッチング効果等により膜成長を阻害する要因となる粗大な凝集粉等を解砕し、一次粒子の発生割合を容易に増やすことができ、成膜速度および成膜効率に優れる被膜形成装置および該装置を用いる被膜形成方法を提供する。
【解決手段】セラミックス等の微粒子をガス中に分散させてエアロゾルとするエアロゾル発生装置９と、真空チャンバー３と、真空チャンバー３内に配設されたエアロゾル噴射ノズル２とを備え、エアロゾルデポジション法によりエアロゾル噴射ノズル２からエアロゾルを基材５上に噴射し衝突させて成膜を行なう被膜形成装置であって、上記エアロゾル噴射ノズル２から基材５に対する垂線に対称となる噴射角度でエアロゾルを噴射させ、基材５との衝突前に微粒子同士を衝突させる。 （もっと読む）

【課題】ＡＤ法において緻密なセラミックス被膜を、基材の表面、特に軸受外周部等の基材の外円周曲面上に均一に形成できる被膜形成装置および被膜形成方法を提供する。
【解決手段】エアロゾル発生装置１１と、真空チャンバー２と、該真空チャンバー２内に配設された、被膜形成対象である基材７に対し所定の開口部を有するマスク６と、円周曲面を有し円周方向に回転する回転部材５と、エアロゾル噴射ノズル１２とを備えてなる被膜形成装置１であって、エアロゾルを上記エアロゾル噴射ノズル１２より噴射させ、回転部材５の円周曲面に一次衝突させ、該回転部材５の円周曲面から反射したエアロゾル中のセラミックス微粒子を、基材７の表面にマスク６を介して二次衝突させてセラミックス被膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】金属粒子の混入による絶縁被膜の絶縁特性低下を抑制する。
【解決手段】本実施形態の絶縁被膜形成方法で使用するノズル１は、絶縁被膜を形成する絶縁材料と同質の物質（アルミナ）で形成された２枚の板状部材２，３を貼り合わせて構成されている。高速で通過する絶縁材料の微粒子によってエアロゾルが通過するノズル１の第２の流路表面が削り取られ、削り取られた粒子の一部が絶縁材料の微粒子とともに対象物表面に噴射されて被膜を形成する。しかしながら、ノズル１が絶縁材料と同質の材料たるアルミナで構成されているから、対象物表面に形成される絶縁被膜に絶縁特性を低下させるような不純物（例えば、金属粒子）が混じることがなく、金属製のノズルを用いる従来例とは違い、金属粒子の混入による絶縁被膜の絶縁特性低下を抑制することができる。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つのジェットの方向及び／又は軸角度が可変であり得る少なくとも１つの流体のジェットを噴射する装置であって、少なくとも１つの主たる流体ジェットを噴射する手段と、少なくとも１つの第２流体ジェットを噴射する手段と、少なくとも１つの主たる流体ジェットを少なくとも１つの第２流体ジェットと相互作用させ、この相互作用の結果として得られる、方向及び／又は軸角度が可変な流体ジェットを製造する手段とを具備した方法と共に、関連した方法及びこれらの使用にも関する。 （もっと読む）

溶射方法は、次のステップ、すなわち、少なくとも１つの燃料（Ｃ）および少なくとも１つの燃焼剤（Ｄ）を燃焼室（１）内に導入するステップと、燃焼プロセスを生成するステップと、高温ガスの流れ（Ｅ）に被膜材料（Ｆ）を添加するステップとを含む。また、部分的にイオン化されたガスが生成され、この部分的にイオン化されたガスを、燃焼室（１）内に導入することで、燃料および燃焼剤の燃焼を引き起こす。また、本発明は、溶射装置にも関する。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法を用いる成膜装置において、膜厚を正確に制御する。
【解決手段】基板に原料粉を吹き付けて堆積させることにより膜を形成するエアロゾルデポジション法を用いる成膜装置であって、原料粉をガスによって分散させることによりエアロゾルを生成するエアロゾル生成部１〜４と、成膜チャンバ６と、該成膜チャンバ内に配置された基板ステージ８と、エアロゾル生成部によって生成される原料粉のエアロゾルを、基板ステージ上に配置される基板に向けて噴射するノズル７と、基板上に形成される膜の厚さをリアルタイムで光学的に測定する色測定用光ファイバ１０、色測定部１１、及び、膜厚算出部１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】ＡＤ法において噴射開始直後の不安定なエアロゾルでの成膜を容易になくすことができる被膜形成装置および被膜形成方法を提供する。
【解決手段】被膜形成装置１は、真空チャンバー５内に基材７と、エアロゾル噴射ノズル１２と、エアロゾル吸気口２と、該エアロゾル吸気口２を移動させる移動手段３とを備え、エアロゾル噴射ノズル１２よりエアロゾルの噴射を開始してから、噴射されるエアロゾルの濃度が安定になるまでの所定期間、エアロゾル吸気口２が、基材７に対しエアロゾル噴射を遮蔽する位置に移動するとともに噴射されたエアロゾルを真空チャンバー５外に吸引・排出し、所定期間経過後、エアロゾル吸気口２が、基材７に対しエアロゾル噴射を遮蔽しない位置に移動する。 （もっと読む）