【課題】チクソトロピー性の高い塗液であっても、塗工開始後から所望の目付け量で安定して塗工可能な塗工装置及びその塗工方法を提供すること。
【解決手段】塗工装置は、塗工開始前に塗工ヘッド（２）から塗液タンク（３）に還流する塗液経路を設け、所望の目付け量が得られる塗工時の塗工ヘッド（２）の内圧以上の圧力で還流可能なポンプ（３）を有する。このような構成により、塗工直前まで塗工ヘッド（２）内の圧力を塗工時と同じもしくはそれ以上に保ち、流動させておくことが可能となる。その結果、塗工開始時の塗液粘度を低減し、かつ流動性を確保することで、塗工開始からの目付け量の変動を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】分解及び組み立てを容易に実施可能なシンプルな構成でありながら、塗布剤の吐出圧及び吐出量を自在に調整可能であり、適正な厚みを有する道路標示を形成可能な道路プリンタを提供する。
【解決手段】道路プリンタ１０は、路面Ｒに塗布される道路標識用の塗布剤Ｐを圧送するための圧送装置５０を備えており、圧送装置５０から吐出幅可変装置１００を経由して吐出された塗布剤Ｐを直接的あるいは間接的に路面Ｒに塗布する。圧送装置５０は、一軸偏心ねじポンプ機構を備えたものであり、駆動機から動力を受けて偏心回転する雄ねじ型のロータと、内周面が雌ねじ型に形成されたステータとを有する。 （もっと読む）

【課題】スリットコータのスリット部を清掃する能力を一層向上することができる清掃具及び清掃装置を提供すること。
【解決手段】被塗布面Ｋａ上に塗工液を塗布するスリットコータ１のスリット部２４を清掃する清掃具７であって、スリット部２４に挿入され、スリット部２４を構成する一対の壁部２４１，２４１に付着した塗工液を清掃する清掃部材７３と、一対の壁部２４１，２４１の少なくとも一方に向けて清掃部材７３を付勢する付勢部７４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】塗布液が乾燥する前に撓みが生じる状態で持ち上げられる操作が行なわれる基板に対して塗布液を塗布する際に、出来上がった塗布膜の厚さ分布の均一性の悪化を抑制できる塗布方法及び塗布装置を提供する。
【解決手段】本発明の塗布方法は、表面ｆに塗布されたレジスト液ｒが乾燥する前に撓みが生じる状態で持ち上げられる操作が行なわれる基板Ｓに対して塗布液を塗布する塗布方法であって、前記操作で生じ得る基板（Ｓ）の撓みが大きい箇所が小さい箇所に比べてレジスト液ｒの厚さが薄くなるように基板Ｓの表面ｆにレジスト液ｒを塗布する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】連続走行するウェブに薄膜を形成する際、スジやムラ等の塗工欠陥の抑制を図り、安定して高性能、高機能な薄膜を得ることを可能にするダイコート塗工装置及び塗工方法を提供する。
【解決手段】連続走行するウェブに塗液を塗布する塗工装置であって、前記ウェブを走行させるバックロールと、バックロールに近接して設けられ、前記ウェブに塗布する塗液を押し出すスリットを有するダイヘッドと、ダイヘッドにおける前記スリットの上流側に設けられた減圧チャンバーと、前記減圧チャンバの上流側に設けられ、前記バックロールの外周面と同一の形状を有するバックブロックと、前記バックブロックのゆるやかな傾斜の掛かった形状を有する面に沿って前記ウェブの走行方向と逆方向にエアを噴射する第一のエアブロー機構を備えたことを特徴とするダイコート塗工装置。 （もっと読む）

【課題】塗工液の吐出口に対応する上下ダイ間の隙間を調整することが可能な塗工ダイヘッドに関して、該隙間の調整量を安定化させ、被塗工物の横幅方向における塗膜厚のさらなる均一化を図る。
【解決手段】本願発明の塗工ダイヘッド２６は、下面を有する上ダイ２と、塗工液を吐出するための隙間９を形成するように該下面に対向する上面を有する下ダイ１とを備える。さらに、上ダイ２の下面から該下面とは反対側の面までのダイ部分が上リップ４として、上ダイ２から分離されている。上リップ４の下面を下ダイ１の上面に対して平行移動して隙間９の間隔を調整する調整機構の部品として、楔５、天板３および調整ねじ７が設けられている。さらにダイヘッド２６は、上リップ４を固定することが可能な固定機構の一部品として固定ねじ６を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子に駆動信号を印加して液体を噴射する液体噴射装置を高い電力効率で動作させる。
【解決手段】圧電素子に印加する駆動信号を、Ｄ級増幅器を用いて生成する。デジタル電力増幅器では、プッシュ・プル接続された二つのスイッチ素子を、変調信号のデューティー比、変調信号に変調する前の駆動波形信号の電圧、あるいは駆動信号の電圧の何れかに応じたデッドタイムで駆動する。こうすれば、二つのスイッチ素子の寄生容量での電荷の回生および充電が完了した後に、スイッチ素子をＯＮに切り換えることができる。その結果、ＯＮにしようするスイッチ素子の寄生容量に蓄えられた電荷が、ＯＮにしたスイッチ素子を流れて電力損失が発生することを回避することができるので、高い電力効率で駆動信号を生成して圧電素子を駆動することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】電極パターンの断線が生じ難いインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に枠部材を設置し、この枠部材に囲まれた空間内に、溝状の圧力室を形成した圧電部材を設置し、前記空間を、前記圧力室との対向部にノズルを有するノズルプレートにより覆って共通液室を形成し、前記基板に穿設したインク流通孔を通して前記共通液室に供給されるインクを、外部からの信号により前記圧力室を変形させて、前記ノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、前記圧電部材は、直方体の両側面を所定の傾斜面とした台形状を成し、前記圧力室は、前記圧電部材の台形面と平行で、上面に開溝する溝状に形成され、この圧力室の溝底部上面から前記両傾斜面上を通って基板上に達する電極パターンが形成されており、前記圧力室として前記圧電部材に形成される溝の底辺と前記傾斜面との交差部は滑らかに形成されている。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式によるカラーフィルタの製造過程において、ノズルの不吐出による白抜け欠陥の発生を完全になくすことができる、インクジェット塗工装置を提供すること。
【解決手段】基板を保持するステージ２の上に、複数のノズルを有するインクジェットヘッド１４を一つ以上備えたヘッドユニット３と、基板上の各開口部が正常に塗工されているかを確認し、塗工異常部を特定するカメラ５とを配置する。本塗工に付随して塗工検査を行うことで、即座に白抜け欠陥発生を検知することが可能であり、同時に不吐出ノズルの発生も検知できる。 （もっと読む）

【課題】付随液滴がノズル孔の縁に付着して塗布対象物上の狙いの位置に塗布液が塗布できなくなるのを抑制できる薄膜製造装置、前記薄膜製造装置で製造した電気機械変換薄膜を備えた電機機械薄膜素子、液滴吐出ヘッド、及び、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル孔とノズル板電極とを有するノズル板が設けられた液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドと対向する塗布対象物と、塗布対象物を介して液滴吐出ヘッドと対向する対向電極と、対向電極に電圧を印加する対向電極電圧印加手段と、ノズル板電極に電圧を印加するノズル板電極電圧印加手段とを備えた薄膜製造装置において、ノズル孔を基点にして所定方向にノズル板電極が２つ以上並んでおり、各ノズル板電極からの静電気力で付随液滴を前記所定方向に移動させ、ノズル孔側から２番目以降の所定のノズル板電極に付随液滴が静電気力で引き寄せられて回収されるように、各ノズル板電極に電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】生産効率の向上を図りつつ、基板の破損を抑制することが可能となる。
【解決手段】基板Ｗの各主面Ｓ1、Ｓ2へのパターン形成を並行して実行することで、生産効率の向上が図られている。しかも、ディスペンサー３、４、５、６それぞれは、基板Ｗに対して非接触で対向するノズル３１、４１、５１、６１から塗布液を吐出することで、基板Ｗにパターンを形成する。これによって、パターン形成の際に基板Ｗに加わる圧力を小さく抑えることができる。こうして、生産効率の向上を図りつつ、基板の破損を抑制することが可能となっている。 （もっと読む）

【課題】送液系内での塗液の滞留を低減し、塗液に含まれる微粒子や顔料の沈降及び凝集を減少させ、塗液に含まれる樹脂や溶媒なども分散させることができ、さらに効率の良い洗浄装置を備える塗布装置を提供する。
【解決手段】ダイヘッドに均一に混合分散させた塗液を送液させるため、さらには洗浄時においてダイヘッドおよび送液系内の汚れを除去するためのスタティックミキサーおよび超音波振動子を備え、塗布および洗浄が可能な送液系であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＣとＦＦＣとを接合接続したフレキシブル配線部材の接合部における亀裂破損を低減する。
【解決手段】フレキシブル配線部材は、ＦＰＣ１５の後端側とＦＦＣ１６の先端側で配線電極３０２と配線電極３１２とが半田にて接合されて電気的に接続され、ＦＰＣ１５には、ＦＰＣ１５とＦＦＣ１６の接合端６８の延長線７０上であって、ＦＦＣ１６の配線電極３１２の並び方向両側部に、ＦＰＣ１５を補強する補強部材７１、７１が延長線７０に沿う方向設けられている。 （もっと読む）

【課題】ノズルへの異物詰まりを防止する。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル４と、該ノズル４に連通する個別流路６と、液体が個別流路６に至る途中に設けられたフィルタ１０と、を少なくとも備えた液滴吐出ヘッド１において、フィルタ１０は、ノズル４から液滴を排出する方向に液体を流した場合と、ノズル４から液体を供給する方向に液体を流した場合とでは、捕捉できる異物のサイズが異なるものとしている。 （もっと読む）

【課題】吐出孔１を固形物で塞いでしまうことによる吐出不良の発生を抑えるとともに、個別液室３に気泡を詰まらせることによる吐出不良の発生を抑える。
【解決手段】供給液室１８における個別液室並び方向の全域に渡って延在するフィルター部材１３により、供給液室１８を、第１側壁１８ｄや第２側壁１８ｆの立ち上がり方向に２つに仕切り、この仕切りによって得られた前室１８ａと、前室１８ａよりも液体導入方向下流側に位置する後室１８ｂとのうち、後室１８ｂの個別液室並び方向における一端部に第１連通対面部１８ｃを配設するとともに、後室１８ｂの個別液室並び方向における他端部に第２連通対面部１８ｅを配設した。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、二液を混合して塗布する際に、丸ビート以外のビートに塗布できるようにすることを目的とする。
【解決手段】
主剤送入口と、添加剤送入口を有する外筒の内側へ内筒を回転可能に内装し、該内筒の内側へ小間隙を保って中空ロッドを内装し、該中空ロッドの内側へ小間隙を保ってバルブロッドを内装し、前記主剤送入口と添加剤送入口とを前記内筒と中空ロッドとの小間隙及び中空ロッドとバルブロッドとの小間隙とに夫々連通し、前記内筒端にミキサーを介してノズルを連結したことを特徴とする粘性液塗布装置により上記課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】
液処理モジュール２に載置されたウエハＷに対して処理液ノズル１１から処理液を供給して液処理を行うにあたって、処理液の供給量を安定させ、これによりウエハＷの間における塗布の均一性を図ること。
【解決手段】
ノズル１１がノズルバス１５に待機しているときに一定量だけサックバックバルブ５２によりサックバックを行ってノズル１１の先端部のレジスト液の液面を引き上げる。ノズル１１を液処理モジュール２の上方に移動させた後、ノズル１１を支持するアーム１３に設けられたカメラ１６により、当該ノズル１１の先端部を撮像し、画像データを取得する。この画像データに基づいて、液面レベルを検出し、その検出結果に応じて液面レベルが予め設定した基準レベルになるようにサックバックバルブ５２を制御する。このためレジスト吐出前の液面レベルが一定化し、処理液の吐出量が一定化する。 （もっと読む）

【課題】移動するノズルから吐出される処理液の流量の変動を抑えられる技術を提供する。
【解決手段】基板処理装置２０は、基板２００を略水平に保持する基板保持部３０と、基板２００に対して略平行な主走査方向に沿って延びる主走査機構ガイド部４２と、主走査機構ガイド部４２により主走査方向に沿って移動可能に支持されたスライダ４４と、を有する主走査機構４０と、スライダ４４により主走査方向に沿って移動可能に支持され、基板２００に塗布液を吐出する吐出部５０と、吐出部５０に接続されるとともに吐出部５０に塗布液を導く可撓性の塗布液配管８０ｂと、塗布液配管８０ｂの途中の部分を支持するとともに、主走査の繰返しによるスライダ４４の周期的な動きに追随してその向きが周期的に変化する可動配管支持部１００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】別途駆動源を設ける必要がなく、簡単に圧力室内の液体を攪拌することができる液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズルプレート１７に開設したノズル２９に連通する圧力室２３に液体を充填し、当該圧力室２３内の液体に圧力変動を付与することによりノズル２９から液滴を噴射可能な液体噴射ヘッド２であって、圧力室２３は、底面の少なくとも一部に、当該圧力室２３内の液体の圧力変動に基いて変形する変形部３１を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電部材と配線部材の電気的接続信頼性を確保するために生産性が低下する。
【解決手段】ＣＳＰ１６の出力端子１６２と駆動柱１２Ａの個別外部電極２３とははんだバンプ１６４による半田４１Ｂで接合され、ＣＳＰ１６の入力端子１６１とＦＰＣ１５の配線電極とははんだバンプ１６３による半田４１Ａで接合され、ＣＳＰ１６の出力端子と圧電部材１２の個別外部電極２３とを接合する半田４１Ｂの厚みは、ＣＳＰ１６の入力端子とＦＰＣ１５の配線電極１５Aとを接合する半田４１Ａの厚みよりも薄くしている。 （もっと読む）