【課題】気泡を含む液体が基板などの対象物に供給されることを抑制または防止できるスリットノズルおよびこれを備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】スリットノズル１１は、長手方向Ｘ１に延びるスリット状の吐出口５４が形成された吐出部４５と、吐出口５４に供給される液体が流通する液体流路５５が形成された供給部４３と、液体流路５５を上流側と下流側とに仕切っており、上流側と下流側とを接続する複数の第１接続路６４が形成された第１拡散板４７とを含む。 （もっと読む）

【課題】ノズルと基板表面の距離（ギャップ）を精度良く制御することを可能とする。
【解決手段】実施形態にかかる塗布方法は、測定により、基準となるノズルの位置情報である基準情報を検出し、前記基準情報測定の後に、前記ノズルを洗浄し、前記洗浄後に、測定により、前記ノズルの位置情報である実測情報を検出し、前記実測情報、及び前記基準情報の変化量から、ノズルの位置変化量を検出し、前記ノズルの位置変化量が、予め設定されたノズルの許容変化量の範囲内である場合には、前記実測情報を対象情報とし、この対象情報に基づいて前記ノズルの位置調整を行って、塗布対象物に塗布材料を供給し、前記ノズルの位置変化量が、前記許容変化量の範囲外である場合には、再度、前記ノズルを洗浄し、その後、前記塗布対象物に、前記塗布材料を供給することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可撓膜の影響を抑え、圧力緩衝部の性能を維持したまま、圧力緩衝部を小型化する。
【解決手段】複数のノズルが配置された記録ヘッドに連通する液体供給流路と、前記液体供給流路に設けられ、液体に所定の圧力を付与する液体圧力付与手段と、前記液体供給流路の途中に設けられた圧力緩衝部であって、前記液体供給流路を流れる液体を流出入させる供給口及び排出口を有する液体室と、前記液体室と可撓膜を挟んで対設された気体室と、を含んで構成される圧力緩衝部とを備え、前記可撓膜は、予め初期撓みが与えられている液体供給装置によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】液膜の幅を安定させることができるスリットノズルおよびこれを備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】スリットノズル１１は、長手方向Ｘ１に延びるスリット状の吐出口５４が形成された吐出部４５と、吐出口５４の長手方向Ｘ１の両端にそれぞれ配置された一対のガイド部４６とを含む。一対のガイド部４６は、長手方向Ｘ１に間隔を空けて対向する一対のガイド面６６をそれぞれ含む。一対のガイド部４６のそれぞれには、ガイド面６６より凹んだ凹部６８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】板材の側面に均一な厚さの塗装膜を形成することができる塗装装置を提供する。
【解決手段】例えばＡＬＣ等からなる板材１は、搬送ローラ３上に載置され、搬送ローラ３の回転に伴って矢印で示す水平方向に搬送される。板材１は、上面、裏面及び側面を有し、裏面が搬送ローラ３に接している。塗装装置は、板材１の側面を塗装するものであり、押圧ローラ４０、固定ローラ８０、可動ローラ７０、可動ローラ７０の付勢手段、押圧ローラ４０、固定ローラ８０及び可動ローラ７０に架け渡された塗装ベルト６０、塗装ベルトに塗料を転写する塗料供給ローラ１０、押し当て装置２３、塗料供給ホース２２、塗料圧送ポンプ３０、塗料貯留タンク３１等を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】吐出部と対象物の間の離間距離の変動を検査する対象物上の地点が少ない場合でも、吐出タイミングの補正を良好に行うことができる技術を提供すること。
【解決手段】液滴吐出装置は、液滴を吐出する複数の吐出口が形成された吐出部に対して対象物を移動機構によって相対的に移動させ、該吐出部から吐出した前記液滴を前記対象物に着弾させる。液滴吐出装置は、吐出部に対して吐出信号を出力することにより、吐出口からの液滴の吐出を制御する吐出制御部と、対象物上の複数の地点について、対象物の相対的な移動に応じた、吐出部と前記対象物との間の離間距離の変動を検査する検査部と、対象物上の領域のうち、前記複数の地点を除く地点における前記変動を、検査部の検査結果に基づいた演算により補間する補間部と、補間部によって取得された前記変動に関する情報に基づいて、吐出口からの液滴の吐出タイミングを補正する補正部とを備える。 （もっと読む）

【課題】ワイパブレードに付着したインクによる汚れを低減したインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】被記録媒体にノズル面からインクを吐出して記録を行う記録ヘッドと、前記ノズル面に対して下方に略垂直に配置されて、前記ノズル面に付着しているインクを拭き取る拭取部を上端部に有するワイパブレードを備えたインクジェット記録装置であって、前記ワイパブレードは下端部に下方へ突出するように延設される突出部を有し、前記突出部は、上下方向に対して直交する方向における一端部と他端部との間隔が、下方へ向かうほど小さくなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】材料の供給状態を正確に調整して高精度に膜圧形状を制御することが可能な塗布装置及び塗布方法の提供。
【解決手段】実施形態の塗布装置は、塗布対象物に材料を吐出して塗布するノズルと、前記ノズルに供給される材料を貯留する貯留部と、前記貯留部と前記ノズルとを連通する流路と、前記流路の開閉状態を切り替える吐出用ダイヤフラムバルブと、前記流路に接続され前記流路における材料の流量を調整するとともに、そのサックバック量が調節可能なサックバック部と、を有する吐出弁と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】吸収体で回収した廃液量を検出するための検出電極の、吸収体に対する接触状態を長期間にわたって維持できる液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】廃液回収装置４０は、廃液を吸収する廃液フォーム４３と、廃液フォーム４３で吸収された廃液量を検出するための検出電極５１ａ，５１ｂを有する。検出電極５１ａ，５１ｂは廃液フォーム４３の端面４３ａに接触し、さらに、この端面４３ａは、インクジェットヘッドの走査方向、及び、カバーの回動方向である上下方向に沿った端面である。 （もっと読む）

【課題】塗液の脈動による塗膜の膜厚ばらつきを低減させる。
【解決手段】塗液を供給する塗液供給ポンプ２と、基材に塗工するコーティングヘッド７と、塗液供給ポンプ２からコーティングヘッド７までを接続するメイン配管３と、メイン配管３に設けられた間欠塗工に使用できる塗液流路切替えバルブ４とを有した塗工装置１００において、塗液供給ポンプ２から塗液流路切替えバルブ４までの間に、一時的に塗液を蓄えることのできるアキュムレータ５を設け、さらにこのアキュムレータ５のガス空間領域の上端の位置が、コーティングヘッド７の吐出口の位置よりも高い位置となるように、アキュムレータ５を配置することで、配管圧力の経時変化にも耐え、塗液供給ポンプ２から発生する吐出脈動による膜厚ばらつきを低減させる。 （もっと読む）

【課題】塗布対称物の塗布面に塗布される材料の厚みが不均一になることを抑制できる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布装置１０は、アプリケータ５０と、材料供給部８０と、第１〜３の移動機構とを備える。前記アプリケータは、メニスカス柱形成部Ｓと、余剰材料回収用の凹部５２とを備える。前記材料供給部は、前記アプリケータに前記材料を供給する。前記第１の移動機構４０は、前記塗布面に対する前記アプリケータの位置を前記塗布面に沿って相対的に移動する。前記第２の移動機構は、前記メニスカス柱形成部と前記塗布面との間に形成されるメニスカス柱を、前記塗布面と前記凹部との間に移動するように前記塗布面に対する前記アプリケータの位置を相対的に移動する。前記第３の移動機構は、前記塗布面に対する前記アプリケータの位置を離れる方向と近づく方向とに相対的に移動する。 （もっと読む）

【課題】走行するウェブに塗布液を塗布する際に厚塗り部を吸引ノズルで従来よりも効率的に吸引することができるので、吸引圧力を比較的小さくすることができ、走行するウェブがバタつく等の不具合がない。
【解決手段】走行する帯状のウェブ１８に塗布液を塗布する際に、塗布幅方向両端部に形成され、目標塗布膜厚ｄよりも厚い厚塗り部４３を吸引する吸引ノズル１５を備えた塗布装置１０において、吸引ノズル１５の塗布幅方向における吸引面幅Ｄｏ及び吸引口幅Ｄｉは、厚塗り部４３の塗布幅方向の幅をＷ及び高さをＨ、ウェブ１８と吸引面５４との間のクリアランスＬとしたときに、下記の式１及び式２を満足する。
Ｗ≦Ｄｏ…（式１）、Ｗ＊Ｈ／Ｌ≦Ｄｉ＜Ｄｏ−１ｍｍ…（式２） （もっと読む）

【課題】ガラスペーストの塗布高さを所定の誤差範囲に好適に維持できるペースト塗布装置およびペースト塗布方法を提供することを課題とする。
【解決手段】ノズル５５ａの始点Ｐｓから始端部１０１Ｓを形成する部分ではノズル高さＮｈを基準塗布高さＳｔｄＨより低くしてノズル５５ａが移動し、ノズル５５ａの終点Ｐｅまでの終端部１０１Ｅを形成する部分では、ノズル高さＮｈを基準塗布高さＳｔｄＨより高くしてノズル５５ａが移動し、始端部１０１Ｓが形成される部分および終端部１０１Ｅが形成される部分以外の部分ではノズル高さＮｈを基準塗布高さＳｔｄＨとしてノズル５５ａが移動し、さらに、始端部１０１Ｓと終端部１０１Ｅの少なくとも一部でガラスペーストＧｐが重なって塗布されるようにノズル５５ａが移動することを特徴とするペースト塗布装置およびペースト塗布方法とする。 （もっと読む）

【課題】分解及び組み立てを容易に実施可能なシンプルな構成でありながら、塗布剤の吐出圧及び吐出量を自在に調整可能であり、適正な厚みを有する道路標示を形成可能な道路プリンタを提供する。
【解決手段】道路プリンタ１０は、路面Ｒに塗布される道路標識用の塗布剤Ｐを圧送するための圧送装置５０を備えており、圧送装置５０から吐出幅可変装置１００を経由して吐出された塗布剤Ｐを直接的あるいは間接的に路面Ｒに塗布する。圧送装置５０は、一軸偏心ねじポンプ機構を備えたものであり、駆動機から動力を受けて偏心回転する雄ねじ型のロータと、内周面が雌ねじ型に形成されたステータとを有する。 （もっと読む）

【課題】塗布液の粘性やぬれ性を制御して膜厚を制御する。
【解決手段】塗布装置１は、基板Ｗを支持するステージ２と、前記ステージに対して相対移動可能であり、前記ステージ上の基板に塗布材料を吐出する材料吐出ノズル７と、前記材料吐出ノズルとともに前記ステージに対して相対移動可能であり、前記ステージ上の基板に気体を噴射する気体噴射ノズル８と、を一体に備える塗布ヘッド４を備えた。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造でわずかな乾燥ムラの発生を抑制することができる塗布物の製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】搬送中の帯状の基材３に有機溶剤を含む塗布液を塗布した後、乾燥炉４を通過させて乾燥する装置であって、乾燥炉は塗布膜が搬入する搬入口を有する搬入側乾燥炉４ａと、塗布膜を搬出する搬出口を有する搬出側乾燥炉４ｃと、両者の間の少なくとも１つの中間乾燥炉４ｂとを備えており、搬入側乾燥炉内外の差圧を−０．１Ｐａ以上０．１Ｐａ以下の範囲となるように制御し、中間乾燥炉内部および搬出側乾燥炉内部の圧力を乾燥炉外部の圧力より１Ｐａ以下の範囲で低くなるように制御する。 （もっと読む）

【課題】 例えばフィンガー配線のような塗布パターンを基板の主面に形成する際に、塗布パターンを厚膜（高アスペクト比）に形成することができるパターン形成装置を提供する。
【解決手段】 第１ノズル４１の第１吐出口４７から吐出され、第１ノズル４１の対向面４５と、ステージにほぼ水平に支持されて第１ノズル４１に対して移動する基板９の主面との間に界面張力により存在する、光硬化性を有するペースト７に対して、その側方から光を照射することにより、ペースト７を硬化させる。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換膜を形成するための原料を含む塗布液をノズルから吐出させて電極上に塗布するときに不要な液滴を電極に付着させることなく、かつ所望パターンの電気機械変換膜を形成することができる。
【解決手段】所定の極性に帯電されているＰＺＴ前駆体溶液２０３がノズルから吐出された後所定時間が経過した後にミスト回収用電極２０９に電圧を印加する。ミスト回収用電極２０９への電圧印加の開始を吐出から所定時間遅らせることで、主液滴３００は電圧が印加されたミスト回収用電極２０９の電界から静電気力を受ける時間を少なくするとともに、ミスト液滴３０１を第１の電極に到達する前に回収される。第１の電極の所定部分に塗布され、基板１１上の所望のパターンに塗布される。 （もっと読む）

【課題】ＵＶ硬化型インクジェットプリンターを利用して様々な形状の被印刷物を搭載する治具を極めて容易に提供できる立体形状印刷物用印刷治具を提供する。
【解決手段】印刷治具１は、ＵＶ硬化型のプリンターヘッドと向かい合う面に、堤２により仕切られた複数の窪み３と、窪み３に投入された常温より高く１００℃よりも低い温度に融点を有する飽和脂肪酸、これをエステル化した蝋或いは油脂又は、飽和炭化水素のいずれかからなる形状記憶剤４と、形状記憶剤４を被覆する樹脂シート５とを備えている。印刷治具１を加熱して、形状記憶剤４を軟化させたのち、被印刷物を押し込んで型を作成する。 （もっと読む）

【課題】容器本体から塗料が零れにくく、かつ、必要な場合に簡単に刷毛などに塗料を付着させることができ作業性が良好となる塗料用の容器を提供する。
【解決手段】塗料Ｃを収容する容器本体２の側壁２２上部に両端部４，５が回転可能に取り付けられ容器本体２を吊り下げる取っ手３と、容器本体２の上下方向途中位置Ｐ１で塗料Ｃを上から覆うと共に塗料Ｃの通過を制限する小穴１１が複数形成されかつ容器本体２の傾きに追従して傾く中蓋６と、中蓋６と容器本体２との間に設けられているバネ７とを備えている。バネ７は、中蓋６に容器本体２の底部側へ押す力を与えると、弾性変形して中蓋６を底部側へ移動させ、かつ、前記押す力を解除すると、弾性復元力によって中蓋６を途中位置Ｐ１に復帰させる。 （もっと読む）