【課題】金属酸化物膜を良好にパターニングすることが可能な金属酸化物膜の形成方法を提供する。
【解決手段】酸化チタン膜３の形成方法は、基材１上に、基材１の一部表面を選択的に露出させるために銅を主成分とするメタルマスク２を形成するステップと、メタルマスク２上と露出された基材１の一部表面上とにＣＶＤ法によって酸化チタン膜３を形成するステップと、メタルマスク２上に形成された酸化チタン膜３を剥離によって除去するステップと、酸化チタン膜３を剥離した後、メタルマスク２を除去するステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】無機ナノ粒子の有する様々な特有の優れた性状・特性・機能を利用するためには高分子とのハイブリッド化が注目されている。そしてそのナノ粒子の特性を生かすためにも高分子とハイブリッド化したナノ粒子での無機ナノ粒子の占める比率を高めることが求められている。
【解決手段】コアである無機ナノ粒子の表面にアンカーを介して修飾剤が結合し、該修飾剤と(a)高分子及び(b)キャッピング剤とがリンカーを介して結合しており、該ナノ粒子の表面に(a)高分子及び(b)キャッピング剤が担持された構造を有する高分子修飾ハイブリッドナノ粒子及びその合成方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】良好な結晶性を有する単分散状態の金属酸化物超微粒子を容易に得ることができるようにした。
【解決手段】界面活性剤３で包囲された金属酸化物超微粒子２を疎水性溶媒中に分散させたマイクロエマルジョン原溶液を作製し、前記疎水性溶媒を、４００μＳ／ｃｍ以上の高導電率を有する高導電率溶媒９と置換して置換溶液１０を作製し、その後、前記置換溶液１０を静電噴霧させて微小液滴を発生させる。そしてこの後、キャリアガスにより微小液滴を下流側に搬送し、放射性同位体（例えば、²⁴¹Ａｍ）等の両イオン発生体１８を通過させ、その後加熱炉１９内で微小液滴を分散させた状態で熱処理し、界面活性剤３を燃焼させて除去して金属酸化物超微粒子２を得る。 （もっと読む）

【課題】有機廃棄物の熱分解により発生する熱分解ガスの温度の低下を防止する。
【解決手段】有機物処理装置１００が、原料有機物を熱分解装置１にて熱分解し、その際に発生した熱分解ガスを処理する酸化触媒装置２及び中和洗浄装置３を具えており、熱分解装置１が、熱分解装置１内のセラミックス層２８の下方に配置され、熱分解装置１内で熱分解により発生した熱分解ガスを熱分解装置１内に溜まった材料層の全面にわたって通過させる分解ガス通過管６１を有しており、分解ガス導入管６１の側面もしくは下面に、分解ガス導入管６１によって導入された熱分解ガスをセラミックス層２８に向けて吹き出させるための分解ガス吹出口６２が形成されている。また、熱分解装置１の上部に熱分解装置１内部の熱分解ガスの圧力調整を行なうための大気開放された圧力調整部５１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】より実用的な噴霧熱分解装置用の反応室を提供する。
【解決手段】原料のミストを熱分解する噴霧熱分解装置のための反応室を、ミストＭを、ミストを加熱するための加熱手段１０に対してより遠位部位からより近位部位へと移送可能な移送経路４を備えるようにする。こうした反応室２によると、反応室２内に形成される温度分布を利用してミストの熱履歴を均一化できる。 （もっと読む）

セラミック粉末の製造方法であって、この方法は、複数の溶液状前駆体材料を提供する工程であって、ここで複数の溶液状前駆体材料のそれぞれが、セラミック粉末の少なくとも１種の構成要素イオン種をさらに含む、工程；複数の溶液状前駆体材料とジカルボン酸オニウム沈殿剤溶液とを合わせて、合わせた溶液中にセラミック粉末前駆体の共沈を生じさせる工程；および合わせた溶液からセラミック粉末前駆体を分離する工程を含む。当該方法は、セラミック粉末前駆体をか焼する工程をさらに含み得る。
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【解決課題】微細でありながら分散性に優れ、且つ、不純物の少ない金属酸化物粉末の製造方法を提供すること。
【解決手段】金属塩化物塩の水溶液に、アンモニア水溶液を接触させ、該金属塩化物塩の中和反応を行い、金属塩化物塩中和物及びアンモニウム塩を含有する金属塩化物塩中和反応スラリーを得る金属塩化物塩中和反応工程と、該金属塩化物塩中和反応スラリー中に、該アンモニウム塩を、アンモニウム塩／金属元素のモル比で０．８〜４．４存在させて、該金属塩化物塩中和反応スラリーを１１０〜１５０℃で加熱して、該金属塩化物塩中和反応スラリーの乾燥及び該アンモニウム塩中のアンモニアの蒸発を行い、塩酸含有金属塩化物塩中和物を得る乾燥及びアンモニア蒸発工程と、該塩酸含有金属塩化物塩中和物のスラリーを作製し、ｐＨ４．５〜７で該塩酸含有金属塩化物塩中和物の洗浄を行い、金属酸化物粉末を得る洗浄工程と、を有することを特徴とする金属酸化物粉末の製造方法。 （もっと読む）

【課題】要求粒径の金属酸化物微粒子を非凝集形態で得ることができる製造方法を提供する。
【解決手段】金属硝酸塩水溶液と水酸化ナトリウム水溶液とを混合器に送って合流させ、該混合器で両水溶液を所定温度下で反応させて金属水酸化物のコロイド分散液を得た後、該金属水酸化物のコロイド分散液を減圧乾燥して焼成することにより、金属酸化物微粒子を製造する。 （もっと読む）

ハフニウムおよび／もしくはジルコニウムオキシヒドロキシ化合物を備える薄膜または積層構造体を有する装置およびかかる装置の製造方法を開示する。ハフニウムおよびジルコニウム化合物は、通常ランタンのような他の金属でドープすることができる。電子装置またはそれを作製し得る構成材の例には、限定することなく、絶縁体、トランジスタおよびコンデンサがある。ポジ型もしくはネガ型レジストまたは装置の機能的構成材としての材料を用いて装置をパターン化する方法も開示する。例えば、インプリントリソグラフィー用のマスタープレートを作製することができる。腐食バリアを有する装置の製造方法の実施形態も開示する。光学基板およびコーティングを備える光学的装置の実施形態も開示する。電子顕微鏡を用いて寸法を正確に測定する物理的ルーラーの実施形態も開示する。 （もっと読む）

【課題】金属酸化物の一次粒子が球状に集合した二次粒子がコア部分であり、その二次粒子表面にシェル部分となる高分子の層が存在するコアシェル型金属酸化物微粒子であって、前記コアシェル部分が架橋構造を有する高分子で構成されているコアシェル型金属酸化物微粒子、それを含有する分散液、それらの製造方法及びそれらの用途を提供する。
【解決手段】粒子径の平均が３０−２００ｎｍであるコアシェル型金属酸化物微粒子であって、該微粒子の変動係数が０．２５以下で、コア部分の二次粒子の形状が球状であり、その表面に高分子が付着しており、前記コアシェルが架橋構造を有する高分子で構成されていることを特徴とする、前記微粒子、該金属酸化物微粒子の分散液、該金属酸化物微粒子分散液の乾燥粉体、当該コアシェル型金属酸化物微粒子、金属酸化物微粒子粉体又は金属酸化物微粒子分散液の製造方法、及びそれらの用途。 （もっと読む）

【課題】 流動性と成形性に優れ、バリの発生が更に少ない樹脂組成物、特に半導体封止材料を提供することであり、それに好適な超微粉末と超微粉末の製造方法を提供する。
【解決手段】 ＳｉＯ_２及びＡｌ_２Ｏ_３の酸化物換算の含有率が９９．５質量％以上、平均粒子径が０．０５〜１．０μｍ、粒度分布の変動係数が１０〜１００％であり、Ａｌ_２Ｏ_３の酸化物換算の含有率が１０〜９９質量％である超微粉末。この超微粉末を０．５〜２０質量％含有してなる平均粒子径が５〜５０μｍの無機質粉末。可燃ガスと助燃ガスとによって形成された高温火炎中にＳｉ源物質とＡｌ源物質を噴射し加熱処理して製造する超微粉末の製造方法であって、Ｓｉ源物質とＡｌ源物質は別々のバーナーから噴射し、Ａｌ源物質よりもＳｉ源物質を１〜２０ｃｍ下部から噴射する本発明の超微粉末の製造方法。 （もっと読む）

（ａ）（１）少なくとも１つの塩基と、（２）（ｉ）両性金属酸化物若しくはオキシ水酸化物を形成する金属カチオンから選択される金属カチオン、及び（ｉｉ）乳酸アニオン若しくはチオ乳酸アニオンを含む少なくとも１つのカルボン酸金属塩、又は（ｉ）該金属カチオンと非妨害アニオンとを含む少なくとも１つの金属塩、及び（ｉｉ）乳酸若しくはチオ乳酸、非妨害非金属カチオンの乳酸塩若しくはチオ乳酸塩、又はこれらの混合物を含むカルボン酸金属塩前駆体とを組み合わせる工程と、（ｂ）該塩基と該カルボン酸金属塩又は該カルボン酸金属塩前駆体とを反応させる工程と、を含む、方法。 （もっと読む）

【課題】金属酸化物繊維材の長さや径などの形態をより広い範囲で制御することが可能な金属酸化物繊維材形成体の製造方法を提供すること。
【解決手段】基材と、この基材の表面に形成された金属酸化物繊維材と、を備える金属酸化物繊維材形成体の製造方法であって、金属酸化物繊維材の構成金属を含有する基材原料を、酸素濃度が第１酸素濃度である第１の雰囲気下において加熱する（１）工程、及び酸素濃度が第１酸素濃度である第１の雰囲気下において加熱した基材原料を、第１酸素濃度と異なる第２酸素濃度である第２の雰囲気下において加熱する（２）工程を含む。 （もっと読む）

【課題】 酸化珪素膜、金属埋め込み膜等へ研磨傷の発生を防止又は低減することが可能なＣＭＰが実施できる金属酸化物粒子、これを含む研磨材、この研磨材を用いた基板の研磨方法及び研磨して得られる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 金属化合物を１０００℃以上で加熱処理することによって作製され、かつ結晶子サイズが３０ｎｍ以上及び結晶歪が１％以下である金属酸化物微粒子、この金属酸化物微粒子を含む研磨材、該研磨材を用いて、所定の基板を研磨することを特徴とする基板の研磨方法及び酸化珪素膜が形成された半導体チップを、前記の研磨材で研磨することを特徴とする半導体装置の製造方法若しくは金属膜が形成された半導体チップを、前記の研磨材で研磨することを特徴とする導体装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ナノ結晶、例えば、安価な工程によって非極性環境で可溶性の金属酸化物ナノ結晶を得る合成工程を提供する。
【解決手段】新規の無溶媒方法を用いて高品質・高収率のナノ結晶、すなわち、金属酸化物ベースのナノ結晶を作成するための方法。ナノ結晶は、有利には有機アルキル鎖キャッピング基を含み、空気中及び非極性溶媒内で安定している。 （もっと読む）

【課題】金属化合物またはその金属化合物膜を製造するための金属化合物含有ゲルまたは金属化合物含有液体を効率的に製造する方法を提供する。
【解決手段】本金属化合物含有ゲルの製造方法は、金属酸化物および金属水酸化物の少なくともいずれかを含む金属化合物含有ゲル１３の製造方法であって、金属アルコキシド１１にアルコキシ基含有液体と第１の過酸化水素含有水性液体を加えて金属水酸化物１２を生成させる工程と、金属水酸化物１２を含水状態で母液から分離する工程と、分離された含水状態の金属水酸化物１２に第２の過酸化水素含有水性液体を自己熱反応させて金属化合物含有ゲル１３を生成させる工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡単で微細な粉末の焙焼を効率的に行うことができる焙焼炉と、それを用いて厚膜抵抗体形成用として好適な酸化イリジウム粉の効率的な製造方法を提供する。
【解決手段】 焙焼炉内を複数の加熱領域に分け、各加熱領域を別々に温度制御することができる焙焼炉を使用する。また、焙焼炉内の断面形状が略角型であって、雰囲気ガスが原料表面を吹込み方向と略同一方向のみに流れる層流とする。複数本の雰囲気ガス吹込み用ノズルを並列して設置してある。この焙焼炉を用いて、昇温時に各加熱領域を別々に温度制御しながら、ヘキサクロロイリジウム（IV）酸アンモニウム又はヘキサクロロイリジウム（IV）酸カリウムを６００〜１０５０℃で酸化焙焼することにより品質の安定した酸化イリジウム粉が得られる。 （もっと読む）

【課題】外殻部がメソ細孔構造を有し、その内部に金属化合物を包含してなる複合シリカ粒子、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】外殻部が平均細孔径１〜１０ｎｍのメソ細孔構造を有するシリカからなり、その内部に金属又は金属化合物を包含してなるコアシェル型複合シリカ粒子、及びその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】金属酸化物微粒子の製造方法及び製造システムの提供。
【解決手段】微粒子化のターゲットとなる金属の金属塩を該金属塩の分解温度未満でアルカリ金属塩の溶融塩に溶解した後、この溶融塩をターゲット金属の塩の分解温度以上に昇温させてターゲット金属の酸化物微粒子を生成せしめた後、該微粒子を含有する溶融塩を急冷することによって、ターゲット金属の酸化物微粒子を製造する方法及び製造するシステム。金属酸化物微粒子の生成が促進される一方、該微粒子の粗大化が抑制され、粒度分布の狭い微粒子群を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】
金属酸化物を経済的であり大量に生産する新規な製造方法を提供する。
【解決手段】
ａ）溶媒に金属ハロゲン化物を溶解する段階、ｂ）水または塩基性の強い金属水酸化物を添加して反応させる段階、ｃ）前記反応溶液に塩基性化合物を添加した後、加温して金属酸化物を形成する段階、ｄ）過量の水または金属水酸化物を投入して加温させ、反応を停止させる段階、及びｅ）分離及び洗浄して金属酸化物を収得する段階；とを含む金属酸化物の製造方法を提供する。
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