【課題】 ガス供給装置の緊急事態への対応、および消費量が変動する用途への対応ができるとともに、こうした対応時においても、製品ガスやエネルギーのロスが少なく、ガス供給システム全体のエネルギー消費を最小化することができること。
【解決手段】 消費設備に給送される基準ガス量Ｇｏを設定し、基準ガス量Ｇｏをガス供給装置１から分流点Ｍに給送されるガス量Ｇｓによって確保するように、ガス供給装置１から供出されるガスとベント流路Ｌ４に放出されるガスの、それぞれの圧力および流量を制御するとともに、消費設備に給送される所望のガス量Ｇが基準ガス量Ｇｏを超える場合の差量分ｄＧ、およびガス供給装置１が停止あるいは急速な供給量の低下状態の発生時における所望のガス量Ｇを、バックアップ装置２から分流点Ｍに給送されるガス量Ｇｗによって確保するように制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】薬液の注入不良を防止することが可能な薬液注入装置を提供すること。
【解決手段】薬液注入装置１は、薬液槽１０に貯留された薬液を本管１００に流れる水に注入するダイヤフラムポンプ１１と、ダイヤフラムポンプ１１により本管１００に注入される薬液の流量を検出する第１流量センサ１４と、本管１００を流れる水の流量を検出する第２流量センサ１５と、第１流量センサ１４及び第２流量センサ１５により検出された流量から、水に注入された薬液の濃度を算出するとともに、目標の薬液の濃度とするために、ダイヤフラムポンプ１１から注入される薬液の量を制御する制御装置１８と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】薬剤濃度の変動が少ない薬剤水溶液を供給することができる薬剤溶解供給装置を提供する。
【解決手段】槽３は、下部の一方の側面部に水の流入口３ａを有し、他方の側面部に水の流出口３ｂを有している。流入口３ａ及び流出口３ｂは、槽３の底部と同レベルに設けられている。流入口３ａ及び流出口３ｂには、それぞれ固形薬剤Ａの流出防止用のメッシュ４が設けられている。流入口３ａには、ポンプ２からの水が定流量弁６を介して導入可能とされている。槽３の上部には、空気の導入口３ｅが設けられ、ブロワ５からの空気が槽３内に導入可能とされている。 （もっと読む）

【課題】安価な構成で純水の供給量を正確に計量することができる純水供給システムを提供する。
【解決手段】純水供給システム１は、純水を溜める貯留槽１０と、この貯留槽１０に溜めた純水を貯留槽１０の外部に送給して貯留槽１０に戻す循環路１２と、貯留槽１０から循環路１２に純水を送給するポンプ１１とを備えている。循環路１２の途中部には、鉛直下方に延びて循環路１２を流れる純水を反応槽３に供給する供給配管１３が接続されている。前記循環路１２には、前記途中部から上流側の所定範囲にかけて水平方向に延びる主管部１２ｅ１が設けられ、この主管部１２ｅ１には反応槽３に供給される純水の流量を計量する流量計８が配置されている。循環路１２の前記塗中部よりも下流側には、循環路１２を開閉する第１開閉弁１４ａが配置され、供給配管１３には当該供給配管１３を開閉する第２開閉弁１４ｂが配置されている。 （もっと読む）

【課題】薬剤補充口の開閉が容易であると共に、流量計等の機器の腐食が防止される薬剤溶解供給装置を提供する。
【解決手段】槽３の上部には固形薬剤Ａの補充口３ｃが設けられ、蓋３ｄが着脱自在に装着されている。槽３内に水を供給するための給水管７の途中は上下方向に延在した上向流部７ａとなっており、流量計５及び逆止弁７は、この上向流部７ａに、流量計５が逆止弁６の上側となるように設置されている。給水管７からの水は散水器３ａからシャワー状に吐出され、薬剤水溶液は槽３の下部の流出口３ｂから取り出される。 （もっと読む）

【課題】除菌剤などの薬剤を、少ない濃度ムラで注入する薬液注入器、および給水ユニットを提供する。
【解決手段】薬液注入器は、送水管内の流量を検出する流量検出手段と、薬液を注入する注入ポンプと、流量に基づき注入ポンプを作動させる制御手段を備え、算出された注入ポンプの作動頻度が下限値以上であれば、算出された作動頻度で注入ポンプを作動させ、作動頻度が下限値未満であれば、予め定められた最低頻度で注入ポンプを作動させることとした。給水ユニットは、薬液注入器と、給水ポンプと、濾過装置などから構成されている。送水管には、薬液注入器の注入位置より下流に濾過装置を設け、薬液は、原水を除菌、および酸化させる薬液であることとした。 （もっと読む）

【課題】徴候型電子デバイス製品の製造に使用される高純度液体試薬及び化学機械的研磨組成等の化学試薬及び組成を保存し、分配するために、分配作業中に閉じ込められた液体が涸渇するか、涸渇に近づいている場合、空の状態又はほぼ空の状態を検出する機能を有する流体供給システムを提供する。
【解決手段】ディスペンサから分配された材料を使用する下流のツールへの材料を流すために、供給パッケージとサーボ油圧分配ポンプの中間で分配された材料を監視するか、周期的なスケジュールで補給されているディスペンサ内で、ディスペンサ室の補給時間を監視する圧力変換器を含む、空検出構成を使用する流体送出システムである。 （もっと読む）

【課題】単位時間内に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の供給量を精度よく管理することができる供給量管理システムを提供する。
【解決手段】供給量管理システム１は、プラント内において、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の供給量を管理するシステムであり、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物の流量を連続的に計測する流量計測部２と、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の濃度を連続的に計測する濃度計測部３と、流量計測部２によって計測されるＣ４混合物の流量データ及び濃度計測部３によって計測されるＣ４混合物に含まれる有効成分の濃度データを用いて、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に単位時間内に供給される有効成分の供給量を算出する算出部７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】新たなブロワを別途設けることなく、かつ、ブロワの利用効率を可及的に高くする流体供給装置を提供する。
【解決手段】空気ブロワ１２で昇圧された空気を燃料電池Ｃ１に供給する配管１４と、空気ブロワ３２で昇圧された空気をバーナＣ３に供給する配管３４とを、空気ブロワ１２および空気ブロワ３２より下流側で、配管６３によって接続した。また、配管３４と配管６３との接続部に三方弁６２を設けた。燃料電池Ｃ１が空気ブロワ１２の容量以上の空気を必要とする場合は、空気ブロワ３２から排出される空気の流路を配管６３側に切り替える。これにより、空気ブロワ１２から排出される空気と空気ブロワ３２から排出される空気とが、燃料電池Ｃ１に供給される。 （もっと読む）

【課題】リザーバから、典型的にはノズルである送達装置まで流体を移送するための流体移送システムおよび方法の提供。
【解決手段】 本発明は、リザーバ(2)から、典型的にはノズルである送達装置まで流体を移送するための流体移送システムおよび方法に関する。本発明は特に、リザーバ(2)から1つまたは複数の燃焼機関(1)の排出システム(4)内に配置されたノズル(5)に、高精度に計量された量の尿素を移送するための流体移送システムおよび方法に関する。 （もっと読む）

圧力分配パッケージのための分配アセンブリは、独立しており、かつ別個のものである液体導管と抽出導管とを有するとともに、加圧気体導管を有するコネクタを含む。ライナ取り付け部アダプタには、液体抽出導管を画定するコネクタのプローブ部を受容するための長手方向の穴を含んでもよく、気体の除去を可能にする側方穴を含んでもよい。コネクタを分配アセンブリに挿入すると、（ａ）気体抽出導管と分配容積との間、（ｂ）液体抽出導管と分配容積との間、および（ｃ）加圧気体導管と圧力分配容器内の加圧されるべき空間との間に同時に流体連結が形成される。流体回路内の流体の存在または流動流体の相変化は、第１の感温体の出力と第２の感温体の出力を比較することによって検出してもよい。一方の検出素子は、気体に曝露しているが液体に曝露していない検出素子の温度を上昇させるためのヒータを含む。流体を分配するためのシステムおよび方法は、第１の圧力分配装置と、分配される流体の気体飽和への接近と相関する状態を検出するために配置された検出素子とを含み、そのような検出した状態に応答して、使用箇所に供給される圧力分配される流体の流れを組み合わせるために第２の圧力分配装置によって分配を開始する。
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【課題】マイクロリアクタを用いた化学プロセスの処理量のスケールアップを容易に実現できる化学装置を提供する。
【解決手段】原料の分岐部に原料タンクへ連通する送液ラインを設け、そのライン上には原料の流れを検出する手段と流れを調節する制御弁を設ける。また、複数に並列接続されたマイクロリアクタへの各分岐ラインにも原料の流量をモニタリングする手段とその流量を調整する手段を設け、各送液ラインの流量をモニタリングしつつ、各制御弁とポンプからの送液量をコンピュータによって調節することで、ラインの気泡や沈着物の影響を回避する安定な送液状態を実現する。 （もっと読む）

【課題】符号２０ユニオンへ注入される不安定で条件範囲の狭い悪条件のガスを符号２１ユニオンで排出するまでに、安定した湿度に調整し流量を一定に調整して、また希釈や混合ガス作成など条件範囲を拡大し、安定したものに変換させ、あらゆる試験条件に対応可能なガスを供給する。
【解決手段】符号５，６コントローラにてガスの圧力値を一定に保ち、符号１，２水槽筒又は、符号７，８乾燥筒にガスを流し、湿度調節し、符号１５，１６の切換バルブでガスを混合させ希釈ガスを作成し、作成符号１９流量計にて調整、排出する。 （もっと読む）

【課題】ブラウンガスの発生量を安定化させて、ブラウンガスを含有する混合燃料の安定供給装置を提供する。
【解決手段】ブラウンガス生成装置１と、ブラウンガス生成装置１が生成したブラウンガスと臭気ガスとを混合するガス流量調節タンク７０と、ガス流量調節タンク７０からの臭気ガスが混合されたブラウンガスと燃料を混合するガス混合槽９０と、ガス混合槽９０から供給された臭気ガスが混合されたブラウンガスと燃料との混合物をクラスター化又はナノバブル化するＳＰＧシラス多孔質ガラスフィルター１３０とを有する混合燃料生成供給装置。 （もっと読む）

【課題】２種類の流体を貯留した第１及び第２貯留タンクを取り違えることなく、対応した供給経路に確実に取り付けるようにする。
【解決手段】第１貯留タンク５５０のタンク本体５５１を、第２貯留タンク５８０のタンク本体５８１よりも大きくまたは小さくし、第２貯留タンク５８０の挿入部５８２を、第１貯留タンク５５０の挿入部５５２よりも小さくまたは大きくし、第１及び第２受け体５６０，５９０の上側受け部５６１，５９１及び下側受け部５６２，５９２を、各貯留タンク５５０，５８０のタンク本体５５１，５８１及び挿入部５５２，５８２の大きさに対応させる。 （もっと読む）

【課題】大容量のガスを小スペースで、且つ安定して供給出来るガス供給装置を実現する。
【解決手段】所定のガスを供給するガス供給装置において、前記所定のガスの冷媒が内蔵される冷媒コンテナと、この冷媒コンテナに設けられ前記冷媒を加熱する加熱手段と、この冷媒コンテナの出力口に接続された流量計と、前記冷媒コンテナに設けられた安全弁とを具備したことを特徴とするガス供給装置である。 （もっと読む）

【課題】常に正確で安定した揮発性有機化合物の処理能力の評価を行うことができる溶剤ガス処理装置、運転方法、溶剤ガス発生装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被処理気体を処理する溶剤ガス処理装置本体２００と、溶剤液を加熱気化させて溶剤ガスとするとともに、溶剤ガスと希釈気体と混合させた希釈溶剤ガスを発生させる溶剤ガス発生装置１００と、被処理気体の溶剤ガス処理装置本体への被処理気体供給ラインと、溶剤ガス発生装置で発生させた希釈溶剤ガスの溶剤ガス処理装置本体への希釈溶剤ガス供給ラインとを備え、被処理気体と溶剤ガス発生装置で発生させた希釈溶剤ガスの溶剤ガス処理装置本体への供給を選択可能とし、溶剤ガス発生装置で発生させた希釈溶剤ガスの供給による溶剤ガス処理装置本体の溶剤ガスの処理能力の評価運転と、被処理気体の供給による被処理気体の処理運転を行うことを可能とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、複数種類の濃度の標準ガスを高速に生成できるガス生成装置と、当該ガス生成装置を備え、ガスセンサの評価を短時間で行うことができるセンサ評価システムを提供する。
【解決手段】ガス生成部１０において、互いに直列に接続されたＮ個（２≦Ｎ）のガス混合部を備え、第１ガス混合部１１により、標準ガスラインＬ１から導入された標準ガスと希釈用ガスラインＬ２から導入された希釈用ガスとを混合して第１低濃度標準ガスを生成して、当該生成された第１低濃度標準ガスを第２ガス混合部１２及び／又はガス供給ラインＬ３に導入し、第Ｍガス混合部（２≦Ｍ≦Ｎ）により、第Ｍ−１ガス混合部から導入された第Ｍ−１低濃度標準ガスと希釈用ガスラインＬ２から導入された希釈用ガスとを混合して第Ｍ低濃度標準ガスを生成して、当該生成された第Ｍ低濃度標準ガスを第Ｍ＋１ガス混合部及び／又はガス供給ラインＬ３に導入するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】 微小な圧力変動による脈動を吸収又は低減できる送液方法、及び塗布ムラのない塗布方法を提供する。
【解決手段】
液体を一方側から他方側に送液する送液配管の一部に、液体が流出入される液室１０３と、気体が導入されたエア室１０４と、液室１０３とエア室１０４を隔離する、２５℃・大気圧・湿度５０％ＲＨ下において、ＪＩＳ硬さ６０以上、かつ伸び１７５％以下の素材で構成される弾性膜１１５を備える第１の脈動吸収装置５６を設けて、微小な脈動を吸収又は低減する。 （もっと読む）

【課題】フィルター装置が配設された液体製品の製造管路に残留する残留物としての液体製品を有効に管路から送液させて回収する。
【解決手段】
管路内に残留した液体を加圧空気により圧送して送液する管路内残留液の送液方法であって、上記管路には液体をろ過するろ過フィルター装置が設けられ、上記管路に設けられたベントバルブの開度を調製することにより空気の流速を制御して管路内に残留する液体を上記空気と分離して送液する。 （もっと読む）