【課題】 本発明が解決しようとする課題は、基板処理部の端部領域における紫外線照度の低下を抑制することで、照射エリアの大面積化を図ることが可能な紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】 実施形態の紫外線照射装置は、紫外線処理される基板Ａが配置される基板処理部１と、基板処理部１と面するように格子状に配置された複数の紫外線照射ユニット２１を有する紫外線照射部２と、を具備する紫外線照射装置において、紫外線照射部２は、第１の紫外線照射ユニット２１Ａと、前記第１の紫外線照射ユニット２１Ａに対して基板処理部１の位置における紫外線照度のピーク値Ｐが高く、かつ、ピーク値Ｐの５０％の値以上を照射する照射面積Ｓが狭い第２の紫外線照射ユニット２１Ｂとを備え、紫外線照射部２の配列の少なくとも一部の行または列においてその中央領域に第１の紫外線照射ユニット２１Ａを、その端部領域に第２の紫外線照射ユニット２１Ｂを配列する。 （もっと読む）

【課題】安価でコンパクトな紫外線照射装置と、そのような紫外線照射装置を用いて低コストで実施できる光硬化性塗布物の硬化処理方法を提供する。
【解決手段】紫外線を一方向へ照射する紫外線照射部と、前記紫外線照射部の紫外光照射側に該紫外線照射部と離間しかつ該紫外線照射部に対向して設けられた、前記紫外線を反射して該紫外線発光部との間に集光させる反射集光部と、を有している紫外線照射装置。 （もっと読む）

【課題】 金属細片を半導体表面にパターン化しなくとも、光照射により発生したキャリアを効率的に利用する手段の提供。
【解決手段】 第一の半導体と第二の半導体とが接合し、第一の半導体側の接合界面に二次元ホールガス層が形成されたヘテロ接合半導体を含むデバイスであって、第二の半導体の厚さが３０ｎｍ以下であるエネルギー変換デバイス。 （もっと読む）

【課題】
紫外線照射による熱影響の少ない光照射装置および印刷装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の光照射装置は、紫外線硬化型インクまたは紫外線硬化型樹脂を被着させた光透過性を有するフィルム状の対象物に対して紫外線を含む光を照射するための光照射装置であって、前記対象物の一方主面に対向するように配置された光照射デバイスと、前記対象物の前記光照射デバイスに対する移動方向の前記光照射デバイスよりも下流側に位置し、前記対象物の他方主面側に当接して下方に反転させて、反転した前記対象物の他方主面が上方に位置する前記対象物を介して前記光照射デバイスに対向するように前記対象物の移動方向を反転させる第１のリターンローラとを備えているため、紫外線硬化を十分に行ないつつ、発光素子からの熱影響が比較的少ない小型化された光照射装置が実現される。 （もっと読む）

【課題】スラグを乱すことなく気液界面の面積を拡大するマイクロリアクタを提供する。
【解決手段】互いに気液界面又は液液界面を形成する流体試料３，４が交互に供給される供給流路１０と、供給流路１０を介して供給された試料３，４が交互に連続するスラグを形成するスラグ形成流路１１と、スラグ形成流路１１よりも幅広に形成され、光を照射することにより、試料の界面において化学反応を進行させる反応流路１２と、スラグ形成流路１１と反応流路１２との間に介在し、一端をスラグ形成流路１１と連続され、他端を反応流路１２と連続され、漸次拡幅された拡幅部２０と、反応流路１２から連続し、反応した試料を排出する排出流路１３とを有する。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図れる導膜製造装置、製造した電気機械変換素子、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第１のアライメント調整工程では着弾位置２５１をカメラ２０５で捕捉し着弾位置２５１がカメラ２０５の撮影撮影基準位置２５２に一致するように基板又は液滴吐出ヘッド２０１を相対的に移動する。第２のアライメント調整工程ではレーザレッドによってレーザ光を照射して照射跡を形成し照射跡をカメラ２０５で捕捉し照射跡がカメラ２０５の撮影撮影基準位置２５２に一致するように基板又はレーザヘッドを相対的に移動する。第３のアライメント調整工程では基板上に予め形成されているアライメントマークを撮像手段２０５で撮影したアライメントマークの形状に基づいて基板の向きを検知して基板の向きの調整を行いアライメントマークを撮像手段２０５の撮影基準位置に一致するように基板を移動することで基板の組付け位置の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】ＵＶ硬化に際して酸素による硬化阻害を抑制するため、不活性ガスを光源を経由させて硬化部に直接吹き付けることにより、高精度・低濃度の濃度管理を可能とし、かつ光源を効率的に冷却し得る紫外線照射ユニットを提供する。
【解決手段】不活性ガス供給口９および不活性ガス排出口１０および不活性ガスを充填する空間部１１を有する筐体８を備え、紫外線(ＵＶ)を照射する紫外線光源１が回路基板４に固定され、不活性ガス排出口の近傍に配置され、紫外線光源に電力を供給するように構成された電源を備えた、紫外線照射ユニット。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな光照射装置を提供する。
【解決手段】実施形態の光照射装置は、内部に細長い第１の空間として空間２１を備える、長尺でかつ幅がＷ１である給気側ボックス（第１のボックス）２と、空間２１と連通するように給気側ボックス２に接続された給気ダクト（第１のダクト）４と、給気側ボックス２の長手方向に沿って配置されたＵＶ照射モジュール（光照射源）５１〜５６と、内部に細長い第２の空間として空間７１を備え、空間７１の長手方向が空間２１の長手方向に沿うように配置された、長尺でかつ幅がＷ２であり、Ｗ２＜Ｗ１を満たす排気側ボックス（第２のボックス）７と、空間７１と連通するように給気側ボックス７に接続された排気ダクト（第２のダクト）８と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で複数の紫外線照射装置を適切に冷却できる紫外線照射システムを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、紫外線照射システムは、複数の紫外線照射装置を有する紫外線照射モジュールと、複数の冷却ダクトと、複数のブロアと、制御装置とを備えている。紫外線照射モジュールは複数のグループにグループ分けされ、複数の冷却ダクトはグループごとに設けられている。同じグループに属する複数の紫外線照射装置のそれぞれのランプハウスの内部は、グループごとに設けられた共通の冷却ダクトに通じている。制御装置は、同じグループに属する複数の紫外線照射装置の中で熱負荷が最大の紫外線照射装置を検知して、熱負荷が最大の紫外線照射装置に合わせた風量制御をそれぞれのグループごとに実行する。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも短波長の光を透過させ、紫外線による劣化を防ぐ。
【解決手段】 水晶からなり所定のパターンで形成された流路が形成された第一のプレートと、水晶からなり第一のプレートと接合される第二のプレートと、第一のプレートの流路が形成された面と第二のプレートの流路と対向させる面とに１ｎｍ以下の厚みで設けられる接合材と、を備え、第一のプレートに設けられた接合材と第二のプレートとに設けられた接合材とが原子拡散接合法により接合されて構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を抑制し、被照射面に凹部や凸部があったとしても、当該凹部や凸部に対応する被照射面に光を十分に照射することができるようにすること。
【解決手段】光照射装置１０は、接着シートＡＳの接着剤層により形成される被照射面Ｓ１に光を照射する装置である。被照射面Ｓ１は、第１照射面ＳＡと、この第１照射面ＳＡに設けられた凸部からなる第２照射面ＳＢとを有する。光照射装置１０は、接着シートＡＳを支持する支持手段１１と、被照射面Ｓ１に対向して所定波長の光を照射可能な発光ダイオード２７を有する発光手段１２と、接着シートＡＳと発光手段１２とを相対移動させる移動手段１３とを備えている。発光手段１２は、発光ダイオード２７の中心ＣＴと被照射面Ｓ１上の焦点ＦＣとを通る光軸ＡＸを第１照射面ＳＡに対して斜め方向に設定可能に設けられ、第２照射面ＳＢでの光照射量の増大を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】幅広の照射エリア内で良好な光量分布の照射光を得ることが可能な照射装置用光学ユニット及び照射装置を提供する。
【解決手段】照射装置用光学ユニットは、複数の光源から入射される光を多数のファイバ素線を束ねた複数のファイババンドルによってそれぞれ導光し出射する光照射装置用光学ユニットであって、各光源から入射される光を各ファイババンドルに導光する複数のカップリングレンズを備え、各ファイババンドルは、基端部においてファイバ素線が結束され各カップリングレンズからの光が入射される光入射面を形成し、先端部においてファイバ素線が矩形状に接合され導光した光を出射する光出射面を形成し、複数のファイババンドルの先端部は光出射面が連続するように一列に並べられて接合されており、各ファイババンドルのファイバ素線は、光出射面の少なくとも隣接する光出射面との接合部近傍において、二次元の正方稠密に配置されている。 （もっと読む）

【課題】紫外線ランプの寿命末期まで出射部から出射する紫外線の紫外線強度を一定にすることが可能な紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】紫外線ランプ１と、紫外線ランプ１からの紫外線を出射する出射部２と、紫外線ランプ１と出射部２との間の光路に配置され出射部２から出射する紫外線の紫外線量を調整可能な第１シャッター４と、紫外線ランプ１と第１シャッター４との間に配置され紫外線ランプ１から放射された紫外線の紫外線強度を検出する紫外線センサ６と、紫外線ランプ１と紫外線センサ６との間で紫外線ランプ１と第１シャッター４との間の光路に配置され紫外線ランプ１から出射部２へ向う紫外線の紫外線量を調整し紫外線の紫外線強度を変更可能な第２シャッター９と、紫外線センサ６で検出された紫外線の紫外線強度に基づいて紫外線ランプ１から出射部２へ向う紫外線の紫外線強度が一定になるように第２シャッター９を制御する制御部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】照射特性の自由度を高くすることができる紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】それぞれ円筒形状であって中心軸同士を互いに平行とした複数本の冷却管２と、各冷却管２に対してそれぞれ１個ずつ取り付けられた光源ブロック１とを備える。各光源ブロック１は、それぞれ、冷却管２を囲む筒形状のベース１２と、冷却管２の軸方向に平行に直線状に並べてベース１２に固定されそれぞれ紫外線を放射する複数個の発光ダイオード１１とを有する。ベース１２は、冷却管２周りに回転可能とされている。光源ブロック１が相互に連結される場合に比べ、各光源ブロック１の回転可能な角度を大きくして照射特性の自由度を高くすることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光反応容器に設けられたポート（開口部）からの光損失を抑制することで、生成物の収率を向上させることの可能な光反応容器及び光反応装置を提供することを課題とする。
【解決手段】光反応容器本体１２を貫通するように設けられた少なくとも１つの開口部１５と、光反応容器本体１２の内面１２ｂ側に配置され、光を拡散反射させる拡散反射面１６ａを備え、かつ開口部１５の内周側面１５ａと接触するように開口部１５に配置された拡散反射板１６と、拡散反射板１６と開口部１５の内周側面１５ａとの間に隙間が形成されるように、拡散反射板１６を変位させる拡散反射板変位手段１８と、を有する。 （もっと読む）

【課題】小型化を図った紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】紫外線照射装置１は、被照射物に対して紫外光を照射する紫外光照射部２と、紫外光照射部２からの紫外光の照射領域に窒素ガスを噴き出すガス噴出部３とを備える。紫外線照射装置１の装置本体１０は、紫外光照射部２が設けられた光源部本体１１と、光源部本体１１と一体に設けられて、下面に窒素ガスのガス噴出口１２ａを有するフード１２とで構成されている。 （もっと読む）

【課題】光に反応する被照射体を簡易な構成で効率よく反応させることができる光照射装置および光照射方法を提供すること。
【解決手段】光に反応する被照射体に光を照射する光照射装置１は、被照射体に対向可能に設けられ、当該被照射体に光を照射する発光手段４と、被照射体と発光手段４とを相対移動させる移動手段３と、移動手段３により相対移動される被照射体に所定の気体を吹き付ける吹付手段５とを備え、移動手段３により被照射体と発光手段４とを相対移動させつつ、被照射体の被照射領域に吹付手段５により気体を吹き付けながら、発光手段４により当該被照射領域に光を照射する。 （もっと読む）

【課題】 装置の小型化を図りながら、エキシマランプの高電圧側電極とケーシングとの間での外部放電を防止して所期の紫外線照射処理を確実に行うことのできる光処理装置を提供すること。
【解決手段】 この光処理装置は、光取出窓を有するランプ収容室が内部に形成された金属製のケーシングと、このケーシングにおける前記ランプ収容室内に配置された、高電圧側電極およびアース側電極の一対の電極が放電容器の外表面に対向して配置されてなるエキシマランプとを具えた光放射ユニットを具えてなり、
前記エキシマランプは、放電容器の管壁の肉厚をＴ〔ｍｍ〕とするとき、前記高電圧側電極が、前記ランプ収容室の高さ方向の中央位置を中心に±１．５Ｔの範囲内に位置された状態で、配置されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光化学反応におけるレーザ光の利用効率を高めることの可能な光化学反応装置、及び光化学反応装置を用いた同位体濃縮方法を提供することを課題とする。
【解決手段】プロセスガスが供給され、レーザ光によりプロセスガスを光化学反応させる光透過性反応用容器２１と、光透過性反応用容器２１の外側に、光透過性反応用容器２１を囲むように配置され、レーザ光を反射する金属ミラー１９と、光透過性反応用容器２１、金属ミラー１９、及び極低温液体１２を収容可能な構成とされ、極低温液体１２により、金属ミラー１９の温度を極低温に保持するクライオスタット１１と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 流体に対する処理能力（処理効率）を高め、さらに、全体のコストダウン及び小型コンパクト化を実現するとともに、省エネルギ性及び汎用性を向上させる。
【解決手段】 ガラス棒体２の一端面２ｐと他端面２ｑ間における内部の長手方向に、被処理液Ｗを流通可能な処理通路Ｒｍ…を有する光反応器を製造するに際し、ガラス棒体２の内部に、内径Ｌａを選定し、かつ相互に所定の間隔を有する複数の処理通路Ｒｍ…を形成するとともに、この処理通路Ｒｍ…の形成により、ガラス棒体２の外周面２ｆに照射された光Ｃがガラス棒体２の内部を透過して処理通路Ｒｍ…の周面に照射可能な導光路Ｒｃを設ける。 （もっと読む）