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Fターム[4G077HA01]の内容

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【課題】結晶シリコンインゴットの製造方法が提供される。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る製造方法は、方向性凝固法を用いてシリコン原料を溶融及び冷却するために形成された鋳型を供給し、鋳型内部にバリア層を配置し、バリア層の上に1つ以上のシリコン種結晶を配置し、シリコン種結晶の上にシリコン原料を入れ、鋳型を加熱してシリコン融液を得て、鋳型を方向性凝固法で冷却することでシリコン融液を凝固させてシリコンインゴットを得ることを含む。鋳型は、シリコン原料が完全に溶融し且つシリコン種結晶が少なくとも部分的に溶融するまで加熱される。 (もっと読む)


【課題】高出力レーザー装置の光アイソレータ用ファラデー回転子に使用されるBi含有量が多いビスマス置換型希土類鉄ガーネット結晶膜(RIG)の製造方法を提供する。
【解決手段】液相エピタキシャル成長法により非磁性ガーネット基板上にRIGを育成させる方法で、育成温度におけるRIGと基板との格子定数差Δagを0.0205Å以下とし、室温でのRIGと基板との格子定数差Δarを0.003Å以下とし、育成中における格子定数差(Δag−Δar)とRIGに転位が発生する格子定数差Δadとの関係が数式(1)を満たすように調整し、かつ育成温度TgをRIG育成に用いる原料融液中のPbOとBiからなる混合酸化物の融点Tmより95℃以上高く設定することを特徴とする。(Δag−Δar)< Δad=−0.0156b+0.0415 (1)
[数式中、bはRIGの単位格子中におけるBi量を示す] (もっと読む)


【課題】高純度のGaAsのエピタキシャル成長層をGaAs基板上に得ること。
【解決手段】試料台上に、Ga及びGaAsを配置して、少なくとも水素を含むキャリアガスを流した雰囲気において、第1温度で加熱する高純度化工程を有する。高純度化工程の後に、冷却した後、反応管から試料台を取り出し、試料台にGaAs半導体基板を設置して、反応管に戻した後、キャリアガスを流した雰囲気において、エピタキシャル成長層の成長を開始させる成長開始温度以上の第2温度で加熱する前加熱工程を有する。雰囲気温度を第2温度から冷却させながら、雰囲気温度が成長開始温度に達した時に、Ga及びGaAsの溶液をGaAs半導体基板表面に接触させて、GaAsのエピタキシャル成長を開始させる成長工程を有する。高純度化工程における処理時間を、該処理時間とエピタキシャル成長層の移動度との関係において、最大移動度が得られる極限時間の0.96倍以上、極限時間以下の時間範囲の値とした。 (もっと読む)


【課題】光電変換装置の半導体層の形成に好適に使用できる酸化チタン構造体及びその製造方法、並びに高い光電変換効率を有する光電変換装置を提供すること。
【解決手段】酸化チタン構造体の製造方法は、Ti基板の面に酸化チタンナノワイヤを作製する工程と、オキシ硫酸チタン、尿素を溶解させた溶液中に酸化チタンナノワイヤを浸漬させて、酸化チタンナノワイヤ3aの表面に酸化チタン微粒子3bを形成する工程と、酸化チタン微粒子が形成された酸化チタンナノワイヤを回収し、乾燥させる工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】光学的用途に適した、改良されたスピネル材料ならびにそれらの改良された製造方法を提供する。
【解決手段】融液法により形成される単結晶スピネルブールであり、そのブールは非化学量論的な組成を有し、約20%以上の収率で表される、減少した機械的応力もしくはひずみを有し、ここで収率は式Wi/(Wi+Wf)×100%であり、Wi=ブールから加工処理された無傷ウェハの数、そしてWf=ブールにおける機械的内部応力もしくはひずみによる、ブールからの破壊されたウェハの数である、単結晶スピネルブール。前記単結晶スピネル非化学量論的組成を有し、波長範囲にわたって吸光率により表される透明性窓を有し、その波長範囲は通常、約400nm〜約800nmに延び、透明性窓は波長範囲に沿って最大単一吸光率ピーク高さとして定義され、最大単一吸光率ピーク高さは0.35cm−1以下である (もっと読む)


【課題】チョクラルスキー法によってフッ化金属の単結晶体を製造する方法に使用され、散乱体の発生がさらに抑制されたアズグロウン単結晶体を製造することが可能な二重坩堝構造を提供する。
【解決手段】チョクラルスキー法によるフッ化金属単結晶育成炉内に配置される外坩堝1と内坩堝3とからなる二重坩堝構造において、外坩堝1は、原料フッ化金属及びその融液を収容、保持するものであって、上下動可能に且つ内坩堝3と同軸上に設けられており、内坩堝3は、外坩堝1の上部に位置固定されていると共に、下方中心に向かって縮径した傾斜壁21を備え、傾斜壁21の中心には、外坩堝1に保持されている原料フッ化金属の融液が流通し得る貫通孔Aが形成されており、傾斜壁21には、その上端径をLで表して、径が(2/3)×Lとなるよりも上方の位置に複数の貫通孔Bが回転対称に形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】TGG単結晶よりもベルデ定数が大きな磁気光学素子用の結晶体及び、等軸晶系以外の結晶体を磁気光学素子に適用する方法を提供する。
【解決手段】磁気光学素子用の複合酸化物であってその化学組成がMVO(MはSc、Y、ランタノイドから選択した1種類以上の元素)である単結晶であって、フローティングゾーン法(FZ法)等の融液からの結晶成長法によって単結晶化される。更に、当該単結晶を用いることにより、磁気光学素子の構成を単結晶の結晶方位のc軸をレーザの伝搬方向と一致させたレーザ用の磁気光学デバイスが得られる。 (もっと読む)


【課題】各種のシリコン加工プロセスで発生し、かつ高濃度に金属汚染されたシリコンスラッジおよびシリコン塊を再利用し、シリコン系太陽電池を得る溶融原料を製造可能なシリコン系太陽電池用原料の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン加工プロセスからの1×1015atoms/cm以上の金属不純物を含むシリコンスラッジを原料としたスラッジ成形物と、同レベルの金属不純物を含むシリコン塊とをルツボに投入して溶融し、チョクラルスキー法でシリコンインゴットを引き上げる。その際、不純物の偏析現象によりシリコンが精製される。これにより、高濃度に金属汚染されたシリコンスラッジおよびシリコン塊を再利用し、シリコン系太陽電池を得る溶融原料を製造できる。 (もっと読む)


【課題】 半導体リソグラフィー装置の光学系に用いるレンズ、プリズム、窓材等の真空紫外光を透過させて使用するフッ化カルシウム単結晶中の亜鉛不純物濃度を簡便に高精度で評価する。
【解決手段】 フッ化カルシウム単結晶の透過スペクトルを測定し、前記透過スペクトルにおける、亜鉛不純物濃度を評価するための基準透過率となる吸収波長を、該透過スペクトルにおける吸収波長が120〜200nmの範囲から決定し、該吸収波長の変化により、前記フッ化カルシウム単結晶中の亜鉛不純物濃度を決決定する。この方法により高度な分析技術の必要なICP質量分析等の精密化学分析に比べて、非破壊で、短時間かつ簡便に亜鉛不純物濃度を評価することができる。 (もっと読む)


【課題】 チョクラルスキー法やキロポーラス法でフッ化金属単結晶体を製造する際に、結晶成長炉内におけるトラブルにより、下端中心部が周縁部に比して陥没した状態になってしまった種結晶体を、結晶成長に適した形状に該結晶成長炉内で再生する方法を提供する。
【解決手段】 下端中心部が周縁部に比して陥没した状態になってしまった種結晶体116を10〜30rpmで回転させつつ降下させて、その下端部を融点より10〜100℃高い温度に加熱保持した原料溶融液104に浸漬させた後、その浸漬から120秒以内に種結晶体116を上昇させて原料溶融液104と非接触状態にする操作を繰り返す。これにより、種結晶体116の下端部を平坦形状に再生させることができる。その後、下端部を平坦形状になった種結晶体を用いて単結晶体の育成を開始する。 (もっと読む)


【課題】チョクラルスキー法やキロポーラス法によるフッ化カルシウムなどのフッ化金属単結晶体の製造において、種結晶体表面への黒色物質の付着を効果的に抑制する方法を提供する。
【解決手段】少なくとも原料フッ化金属が溶融を開始してから種結晶体を原料溶融液に接触させるまでの間は、種結晶体の原料溶融液に接触させる部分(先端部)を炉内の高温領域に待機させて、各種揮発成分の種結晶先端への凝縮・付着を防止する。具体的には、原料フッ化金属の融点未満かつ(融点−400℃)以上の温度となる位置cにて待機させる。さらにスカベンジャーを用いる場合には、スカベンジャーの溶融及び/又は分解が開始するよりも前に当該位置にての待機を開始させる。 (もっと読む)


【課題】ベルデ定数が大きく、かつ、融液からの大型単結晶育成が可能であり、さらに、稀少で高価な原料成分の使用量を低減することによって、ベルデ定数が大きな磁気光学素子用の結晶体を安価に提供する。
【解決手段】テルビウム・アルミニウム・ガーネットに、元素百分率がSc:L:M=100−X−Y:X:Y(Lはマグネシウムとカルシウムから選択される1種類以上の元素、Mはジルコニウムとハフニウムから選択される1種類以上の元素、5≦X≦30、5≦Y≦30、0.9≦X/Y≦1.1)の割合のスカンジウムと元素Lと元素Mを加えることによって、融液からの結晶育成が可能であることを特徴とする磁気光学素子用のガーネット結晶。
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【課題】約300〜600℃の中温で高い性能指数が期待できる熱電変換材料や光センサ、光学素子などとして有効利用できる安価なGaあるいはSnでドーピングされたバルク状マンガンシリサイド単結晶体あるいは多結晶体の提供および短時間でしかも安全に容易に製造できる製造方法の提供。
【解決手段】下式(1)あるいは下式(2)で表されることを特徴とするGaあるいはSnでドーピングされたバルク状マンガンシリサイド単結晶体あるいは多結晶体により課題を解決できる。
Mn11Si19-xGax 式(1)
[式(1)において、xは0を超え0.1以下である。]
Mn4 Si7-y Sny 式(2)
[式(2)において、yは0を超え0.1以下である。]
2 Si多結晶体により課題を解決できる。 (もっと読む)


【課題】酸化ガリウムの融点(1900℃)よりも低温で酸化ガリウムの単結晶を成長させる方法を提供することを課題とする。
【解決手段】Ga原子とO原子と昇華しやすい原子または分子を含む化合物膜(以下酸化ガリウム化合物膜と呼ぶ)を加熱し、酸化ガリウム化合物膜中から昇華しやすい原子または分子を昇華させることで、酸化ガリウムの結合エネルギーよりも低い熱エネルギーにより酸化ガリウムの単結晶を成長させる。昇華による酸化ガリウム化合物膜の消失を防ぐために、間隔を設けて別の酸化ガリウム化合物膜を配置する。 (もっと読む)


【課題】(001)、(111)方位を向く結晶が多く存在し、かつ、底部における酸素濃度が高い部分が少なく、生産歩留まりを大幅に向上させることができる多結晶シリコンインゴット、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン融液を底面から上方に向けて一方向凝固させる多結晶シリコンインゴットの製造方法であって、ルツボ20の底面にはシリカ多層コーティング層27が配設されており、前記ルツボ20内における凝固過程を、前記ルツボ20の底面を基準として、0mmから高さX(10mm≦X<30mm)までの第1領域A1と、高さXから高さY(30mm≦Y<100mm)までの第2領域A2と、高さY以上の第3領域A3と、に区分けし、前記第1領域A1における凝固速度V1が、10mm/h≦V1≦20mm/hの範囲内に設定され、前記第2領域A2における凝固速度V2が、1mm/h≦V2≦5mm/hの範囲内に設定される。 (もっと読む)


【課題】表面増強ラマン散乱の研究用の基板を提供する。
【解決手段】基板は、銀、金、白金、銅及び/又はそれらの合金から成る群から選択された金属により被覆されている、ウィスカーを含む半導体表面を含んでおり、半導体はガリウム含有窒化物であり、本質的に各ウィスカーは内部に線状欠陥を含んでいる。ウィスカーは、半導体表面から離れた末端を介して互いに接続されて、円錐状の束を形成している。被覆金属の膜厚は50nm〜150nmであり、好ましくは70nm〜80nmである。 (もっと読む)


【課題】 多結晶シリコンインゴット用の原料になるシリコン粉末成形体を製造する水分離・成形装置およびそれを用いたシリコン粉末成形方法を提供すること。
【解決手段】 水分離・成形装置1は、加圧容器であるダイ4、圧力付与装置の一部である上パンチ2、そして下パンチ3とベース5を一体とした下側の加圧容器などが備えられている。そしてダイ4には、上方に上パンチ2に配置される。上パンチ2は、先端部に有機樹脂製のOリング6aを持つ。下パンチ3には有機樹脂製のOリング6bが取付けられる。下パンチ3の上面には濾過シート13が上に置かれている。下パンチ3及びベース5には、4個の排水路9が形成され、そして排水口10に繋がっている。そして排水口10は吸水装置に接続されている。吸水装置7は、吸水管12、吸引濾過瓶12そして油回転型真空ポンプ8で構成されている。 (もっと読む)


【課題】単結晶の育成中に、ルツボ材料やカーボン蒸気と原料融液との反応に起因する内包物の生成が抑制され、高品質なサファイア単結晶を得ることができる単結晶製造方法を提供する。
【解決手段】カーボン系ヒータ3,4又はカーボン系断熱材5を用いたチャンバ6内に、モリブデン、タングステン、もしくはそれらの合金製のルツボ1を設置し、このルツボ1にサファイア原料粉末を装入し、雰囲気ガスを予め不活性ガスで置換した後、ルツボ1を直接加熱してサファイア原料粉末を溶融し、得られた原料融液10に種結晶11を接触させて成長結晶12を引き上げる融液成長法によるサファイア単結晶の製造方法において、前記雰囲気ガスは、不活性ガスと一酸化炭素ガスの混合ガスであり、かつ、一酸化炭素ガスの含有量が、カーボン蒸気又はルツボ材料とサファイア原料融液との反応に起因する内包物の生成を抑制するのに十分な量であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】複数のダイヤモンド層をより高速に分離するダイヤモンドの剥離方法及び、高速分離を実現するダイヤモンドの剥離装置の提供。
【解決手段】ダイヤモンドにイオン注入をすることにより得られた導電性の非ダイヤモンド層がダイヤモンド層に挟まれた構造を有する構造体をエッチング液に浸漬して直流電圧を印加し、非ダイヤモンド層を電気化学的にエッチングすることで、ダイヤモンド層を分離するダイヤモンドの剥離方法であって、エッチング液としてpHが8.0より大きく且つ導電率が300μS/cm以下のエッチング液を使用することを特徴とするダイヤモンドの剥離方法。 (もっと読む)


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