【課題】半導体製造における成膜原料であるテトラ−ｔ−ブトキシハフニウム、テトラキス（アセチルアセトナト）ハフニウム、テトラキス（１−メトキシ−２−メチル−２−プロパノラト）ハフニウム、等の製造方法の提供。
【解決手段】テトラ−ｔ−ブトキシハフニウム、テトラキス（アセチルアセトナト）ハフニウム、テトラキス（１−メトキシ−２−メチル−２−プロパノラト）ハフニウム、等の製造方法において、一般式：Ｈｆ［Ｎ（Ｒ₁）（Ｒ₂）］₄で示されるハフニウムアミド錯体に一般式：Ａ（Ｏ_yＸＯ_nＲ_f）_mで示される化合物を添加した後、減圧蒸留を行う工程、得られる留分に一般式：Ｌｉ（ＮＲ₃Ｒ₄）で示されるリチウムアルキルアミドを添加した後、減圧蒸留を行う工程、得られる留分にｔ−ブタノール、アセチルアセトン、１−メトキシ−２−メチル−２−プロパノール、等を添加した後、減圧蒸留を行う工程を順次実施する。 （もっと読む）

【課題】遷移金属化合物、これを含むエチレン単独重合体またはエチレンとα−オレフィンとの共重合体製造用として高い触媒活性を有する遷移金属触媒組成物を提供する。
【解決手段】４族遷移金属の周囲にシクロペンタジエン誘導体及びオルト(ortho−)位置に酸素を含むヘテロ環が融合されたアリールオキシドリガンドを少なくとも一つ以上含み、リガンド間相互架橋されなかったことを特徴とする４族遷移金属化合物、前記遷移金属化合物とアルミノキサン助触媒またはホウ素化合物助触媒を含む触媒組成物。これを用いたエチレン単独重合体またはエチレンとα−オレフィンの共重合体を効率よく製造できる。 （もっと読む）

【課題】非架橋形構造として触媒合成が最も経済的だけでなく、オレフィン重合で触媒の活性に優れて高級α−オレフィンとの共重合性能に非常に優れる遷移金属化合物、及びこれを含む触媒組成物及びこれらの遷移金属及び遷移金属触媒組成物を用いて多様な物性を有するエチレンとα−オレフィンの共重合体を商業的な観点から経済的に製造できる重合方法を提供する。
【解決手段】下記化学式１の遷移金属化合物を特徴とする。
＜化学式１＞


式中、Mは周期律表上の４族の遷移金属であり；CpはMとη⁵⁻結合でき、（C1-C20）アルキル基、（C6-C30）アリール基、（C2-C20）アルケニル基、（C6-C30）アリール（C1-C20）アルキル基で置換され若しくは置換されないシクロペンタジエニル環、又はシクロペンタジエニル環を含む（C1-C20）アルキル基、（C6-C30）アリール基、（C2-C20）アルケニル基、（C6-C30）アリール（C1-C20）アルキル基で置換され若しくは置換されない融合環であり；R¹は（C1-C20）アルキル基、（C3-C20）シクロアルキル基、（C6-C30）アリール基、（C1-C20）アルキル（C6-C30）アリール基、（C1-C20）アルキル置換又は（C6-C30）アリール置換シリル基、（C6-C30）アリール（C1-C10）アルキル基、（C1-C20）アルコキシ基、（C1-C20）アルキル置換又は（C6-C20）アリール置換シロキシ基、（C1-C20）アルキル置換又は（C6-C30）アリール置換アミノ基又は（C1-C20）アルキル置換又は（C6-C30）アリール置換ホスフィド基、（C1-C20）アルキル置換メルカプト基又はニトロ基であり；R²は水素原子、ハロゲン原子、一つ以上のハロゲン原子が任意で置換された線形若しくは非線形（C1-C20）アルキル基、又は一つ以上のハロゲン原子が任意で置換された線形若しくは非線形（C1-C20）アルキル置換シリル基、一つ以上のハロゲン原子が任意で置換された（C6-C30）アリール基、一つ以上のハロゲン原子が任意で置換された（C6-C30）アリール（C1-C10）アルキル基、一つ以上のハロゲン原子が任意で置換された（C1-C20）アルコキシ基、（C3-C20）アルキル又は（C6-C20）アリール置換シロキシ基、（C1-C20）アルキル置換又は（C6-C30）アリール置換アミノ基又は（C1-C20）アルキル置換又は（C6-C30）アリール置換ホスフィン基、（C1-C20）アルキル置換メルカプト基又はニトロ基であり；ｎは整数１又は２であり；Xは互いに独立にハロゲン原子、（C1-C20）アルキル基、（C3-C20）シクロアルキル、（C6-C30）アリール（C1-C20）アルキル基、（C1-C20）アルコキシ基、（C3-C20）アルキルシロキシ基、（C1-C20）アルキル置換又は（C6-C30）アリール置換アミノ基、（C1-C20）アルキル置換又は（C6-C30）アリール置換ホスフィン基、及び（C1-C20）アルキル置換メルカプト基からなる群から選ばれる。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、製造が容易であり、オレフィンの重合において高い重合活性と高温安定性を有するテトラゾール基を含む非メタロセン系遷移金属化合物、および前記遷移金属化合物と助触媒を含む触媒組成物を提供する。また、前記触媒組成物を用いてオレフィン系ホモ重合体または共重合体を効率的に製造できる製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】前駆体組成物及び方法の提供。
【解決手段】アミド基含有蒸着前駆体及び安定化添加剤を含有する組成物が提供される。このような組成物は、アミド基含有蒸着前駆体自体と比較したとき、改良された熱安定性及び増加した揮発度を有する。これらの組成物は、例えば、原子層堆積による薄膜の堆積において有用である。 （もっと読む）

原子層成長による金属含有膜の形成方法を提供する。この方法は、少なくとも一種の前駆体を基板に供給することを含んでなり、少なくとも一種の前駆体は構造が式ＩＩ（式中、ＭはＨｆまたはＺｒであり、ＲはＣ_１−Ｃ_６アルキルであり、ｎは０、１、２、３、４または５であり、ＬはＣ_１−Ｃ_６アルコキシである）に対応する。さらに液体注入原子層成長による金属含有膜の形成方法を提供する。この方法は少なくとも一種の前駆体を基板に供給することを含んでなり、少なくとも一種の前駆体は構造が式ＩＩＩ（式中、ＭはＨｆまたはＺｒであり、ＲはＣ_１−Ｃ_６アルキルであり、ｎは０、１、２、３、４または５であり、Ｌはアミノであり、アミノは独立してＣ_１−Ｃ_６アルキルによって１又は２置換されていてもよい）に対応する。

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【課題】
【解決手段】金属イオンＭに対して錯体形成した式（Ｉ）の配位子を含む錯体。
【化１０２】


（式中、Ｒ¹はそれぞれ同一または異なっていてもよく、水素、置換されていてもよいＣ_1-20ヒドロカルビル基、Ｎ（Ｒ⁵）₂、シリル、シロキシ、置換されていてもよいヘテロアリール基、置換されていてもよいヘテロシクリル基であるか、あるいは隣接する炭素原子上の２個のＲ¹基は一緒になって、置換されていてもよい５〜８員縮合環を形成してもよく；
Ｒ²はそれぞれ同一または異なっていてもよく、水素、置換されていてもよいＣ_1-20ヒドロカルビル基、Ｎ（Ｒ⁵）₂、シリル、シロキシ、置換されていてもよいヘテロアリール基、あるいは置換されていてもよいヘテロシクリル基であり；
インデニル基の６員環に結合するＲ³は、−（Ｓｉ（Ｒ⁵）₂）_p−、ここでｐは１もしくは２、または−（Ｃ（Ｒ⁵）₂）_n−、ここでｎは２以上の整数であり；
Ｒ⁴はそれぞれ同一または異なっていてもよく、水素、置換されていてもよいＣ_1-20ヒドロカルビル基、Ｎ（Ｒ⁵）₂、シリル、シロキシ、置換されていてもよいヘテロアリール基、置換されていてもよいヘテロシクリル基であるか、あるいは隣接する炭素原子上の２個のＲ⁴基は一緒になって、置換されていてもよい５〜８員縮合炭素環を形成してもよく；
Ｒ⁵はそれぞれ同一または異なっていてもよく、水素、置換されていてもよいＣ_1-20ヒドロカルビル基であるか、あるいは２個のＲ⁵は一緒になって、置換されていてもよい５〜８員環を形成してもよく；
ａは０〜３であり；
ｂは０〜３であり；
ｃは０〜４である。）
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本発明は、新規な二金属錯体、およびエポキシドのイソ選択的重合における該錯体の使用方法に関する。本発明は、また、エポキシドの速度論的分割法を提供する。本発明は、消費財から材料にわたる応用で有用である、高いエナンチオマー過剰率を有するポリエーテルも提供する。一態様によれば、本開示は、食品包装、電子機器、消費財、キラルなクロマトグラフィー媒体、ポリマー試薬、およびポリマー触媒に適した材料を提供し、該材料は、本明細書に記載のように提供されたポリマーを含む。いくつかの実施形態において、材料は耐油性である。いくつかの実施形態において、材料はフィルムである。若干の実施形態において、材料は押出し成形される。
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少なくとも１つのオルト−金属化された芳香族配位子基を含有する多価ヘテロアリールドナー配位子の遷移金属錯体と、エチレン性官能基又はポリ（エチレン）性官能基を有する粒子化された有機固体又は無機固体との反応生成物を含む担持された金属錯体、その調製方法、及び、付加重合触媒としてのその使用。 （もっと読む）

【課題】半導体製造における成膜原料として好適なハフニウムアミド錯体の製造方法を提供する。
【解決手段】ジルコニウム成分を含有する式：Ｈｆ［Ｎ（Ｒ_１）（Ｒ_２）］_４で示されるハフニウムアミド錯体を製造するに際し、式：Ａ（Ｏ_ｙＸＯ_ｎＲ_ｆ）_ｍで示されるカルボニル基又はスルホニル基を含有する化合物を添加し、減圧蒸留を行い（但し、Ｒ_１及びＲ_２はメチル基又はエチル基を表わし、Ａは水素原子、酸素原子、又はハフニウム原子を表わす。Ｘは炭素原子又は硫黄原子を表わす。ｍ,nは１又は２、ｙは１又は０を表わす。Ｒ_ｆは、炭素数１〜１２のアルキル基、炭素数１〜１２のペルフルオロアルキル基、炭素数６〜１２のアリール基、炭素数４〜１２のヘテロアリール基を表わす。）、さらに得られた蒸留物に、式：Ｌｉ（ＮＲ_３Ｒ_４）で示されるリチウムアルキルアミドを添加し、減圧蒸留を行う（但し、Ｒ_３及びＲ_４はメチル基又はエチル基を表わす。）。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、アミド基が導入されたモノシクロペンタジエニル配位子が配位された新しい遷移金属錯体とその合成方法およびそれを用いたオレフィン重合に関する。本発明に係る遷移金属錯体の製造方法は、保護基を含む化合物を用いて窒素原子の副反応を遮断するステップを含むため、より簡単で且つ高収率で遷移金属錯体を製造することができる。また、本発明に係る遷移金属錯体は、フェニレンブリッジに環状で連結されたアミド基によって金属サイトの周囲が堅固な五角形リング構造で非常に安定に維持され、それにより、構造的に単量体の接近が非常に容易である。前記遷移金属錯体を含む触媒組成物をエチレンと立体障害の大きい単量体間の共重合に適用する場合、高分子量でありながらも線形低密度であるポリオレフィンの他に、高分子量でありながらも密度が０．９１０ｇ／ｃｃ未満である超低密度ポリオレフィン共重合体の製造が可能である。また、反応性も非常に高い。 （もっと読む）

【課題】有機金属化合物の提供。
【解決手段】ホスホアミジネートリガンドを含有する有機金属化合物が提供される。かかる化合物は蒸着前駆体としての使用に特に好適である。かかる化合物を用いた、ＡＬＤおよびＣＶＤなどによる薄膜を堆積させる方法も提供される。 （もっと読む）

【課題】有機金属化合物の提供。
【解決手段】電子供与基置換アルケニルリガンドを含有する有機金属化合物が提供される。かかる化合物は蒸着前駆体としての使用に特に好適である。かかる化合物を用い、例えばＡＬＤおよびＣＶＤなどにより薄膜を堆積させる方法も提供される。 （もっと読む）

本発明は、式（Ｌ_１）_ｘＭ（Ｌ_２）_ｙによって表され、式中、Ｍは金属又はメタロイドであり、Ｌ_１とＬ_２とは異なり、それぞれ炭化水素基又はヘテロ原子含有基であり；ｘは少なくとも１である値であり；ｙは少なくとも１である値であり；ｘ＋ｙはＭの酸化状態に等しく；式中、（ｉ）Ｌ_１は、立体障害のゆえにｘがＭの酸化状態に等しい値を取り得ないくらい大きい立体的体積を有し、（ｉｉ）Ｌ_２は、立体障害がないゆえにｙがＭの酸化状態に等しい値を、ｘが少なくとも１である値ではない場合にのみ、取り得るくらい小さな立体的体積を有し、（ｉｉｉ）Ｌ_１及びＬ_２は、ｘ＋ｙがＭの酸化状態に等しいヘテロレプティック構造を維持するのに十分な立体的体積を有するヘテロレプティック有機金属化合物；該有機金属化合物を製造する方法、並びに有機金属前駆体化合物から被膜又はコーティングを製造する方法に関する。 （もっと読む）

【課題】気化工程を有する薄膜の製造方法において、薄膜にチタニウム、ジルコニウム及びハフニウムを供給するプレカーサに対して、薄膜形成用原料、特にＣＶＤ用原料として合致する熱及び／又は酸化による分解特性、熱安定性、蒸気圧等の性質を付与すること。
【解決手段】下記一般式（１）で表される金属アルコキシド化合物。


（式中、Ｒ¹〜Ｒ⁸は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基を表し、Ｍは、チタニウム、ジルコニウム又はハフニウム原子を表す。） （もっと読む）

金属（IV）テトラキス（N,N’−ジアルキルアミジネート）は合成され、特性を決定された。例示金属はハフニウム、ジルコニウム、タンタル、ニオブ、タングステン、モリブデン、錫及びウランを含む。これらの化合物は揮発性、高熱的安定性、及び、金属およびそれらの酸化物、窒化物ならびに他化合物蒸着適性である。 （もっと読む）

【課題】オレフィン重合用メタロセン触媒の提供。
【解決手段】下記の一般式で表されるメタロセン化合物。
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【課題】薄膜にハフニウムを供給するプレカーサにおいて、ＣＶＤ原料として合致する性質を付与された薄膜形成用原料を提供すること。
【解決手段】下記一般式（１）で表されるハフニウム化合物を含有してなる薄膜形成用原料及び下記一般式（I）において、Ｒ¹がメチル基であり、Ｒ²がメチル基、エチル基及びイソプロピル基から選ばれる基であり、ｎが１である新規ハフニウム化合物。


（式中、Ｒ¹は、同一でも異なってもよい炭素数１〜３のアルキル基を表し、Ｒ²は、同一でも異なってもよい炭素数１〜４のアルキル基を表し、ｎは、１〜５の数を表す。） （もっと読む）

【課題】エチレン又は炭素数４〜２０のα−オレフィンとプロピレンのバランスの取れた反応性を呈するα−オレフィン重合用メタロセン系触媒の提供。
【解決手段】ジクロロ｛ジメチルシリレン（２−インデニル）（２−メチル−４−フェニル−４Ｈ−１−アズレニル）｝ハフニウムで代表されるメタロセン。 （もっと読む）

【課題】プロピレンとエチレン或いは炭素数４〜２０のα−オレフィンとを共重合する際に、プロピレンと共重合モノマーのバランスの取れた反応性を呈し、高い分子量の共重合体を与えるα−オレフィン重合用メタロセン系触媒を提供する。
【解決手段】メタロセン系遷移金属化合物、例えば、ジクロロ｛１，１’−ジメチルシリレン（２，３，５−トリメチルシクロペンタジエニル）（２−メチル−４−フェニル−４Ｈ−アズレニル）｝ハフニウムが上記特性を持つ触媒となる。 （もっと読む）