【課題】本発明は、安定したエッチング処理を行うことができるエッチング処理方法、微細構造体の製造方法、およびエッチング処理装置を提供する。
【解決手段】硫酸溶液を電気分解して酸化性物質を生成するとともに、生成される前記酸化性物質の生成量を制御して、所定の酸化種濃度を有するエッチング溶液を生成し、生成された前記エッチング溶液を被処理物の表面に供給すること、を特徴とするエッチング処理方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】第２次混合ガス生成槽に於いて、活性化された第２次混合ガス（活性イオン）を生成することできる燃焼ガス発生装置を提供する。
【解決手段】第１次混合ガス生成槽及び気液分離槽３によって生成された第１次生成ガスｃ及びガス供給装置９から供給された混合前燃料ガスをそれぞれ同時に受け入れると共に、活性化促進部材を介してかつ揮発性炭化水素ｅの中を通過させながら、これらの物質の授受による相補作用により活性化された第２次混合ガスｆを生成する第２次混合ガス生成槽７と、この第２次混合ガス生成槽７によって生成された第２次混合ガスｆを燃焼する燃焼手段１２とから成る燃焼ガス発生装置Ｘであって、第２次混合ガス生成槽７は、反応タンク本体と、この反応タンク本体の上端開口から取り出すことができるように該上端開口から所定位置まで差し込まれ、その挿入下端部にフィルターを備えた活性化促進部材とから成る。 （もっと読む）

【課題】フッ素樹脂系陽イオン交換膜の両側面に陽極及び陰極を設け、陽極として導電性ダイヤモンド電極を使用したオゾン生成装置において、フッ素樹脂系陽イオン交換膜の消耗を抑え、長期間オゾンを生成する装置の提供。
【解決手段】フッ素樹脂系陽イオン交換膜の両側面に陽極及び陰極を設け、陽極として導電性ダイヤモンド電極を使用し、陽極室に純水を供給し、陽陰極間に直流電流を供給することによって、水を電気分解して、陽極室よりオゾンを生成させ、陰極室より水素を生成させるオゾン生成装置において、前記導電性ダイヤモンド電極として、多数の凸凹部を有する基板と該基板の表面に被覆された導電性ダイヤモンド膜よりなる導電性ダイヤモンド電極１０を用い、フッ素樹脂系陽イオン交換膜の陽極側表面に、イオン交換樹脂粒を緊密に充填した充填層１９又は切れ込みのあるフッ素樹脂系陽イオン交換膜層を密着させたことを特徴とするオゾン生成装置。 （もっと読む）

【課題】電気分解を利用した電解装置において、この装置で発生したガスを効率よく大量に長時間発生させ、電気分解により発生するガスから液体の分離を効果的に行なうことができる。
【解決手段】電解液を充填した電解槽１０内に正極電極１２及び負極電極１３を浸漬し、両電極１２，１３間に直流交番電圧を印加する。両電極１２，１３間には複数の中間電極１４が配置される。前記電解槽１０は密閉蓋１８により密閉され、電気分解により発生したガスが密閉蓋１８に設けられた排出口１９から取り出される。 （もっと読む）

【課題】長期間停止後、ガス供給配管に生じた凝縮水を除去してガス流量制御装置への流入等を防止し得るガス溶解水製造装置を提供する。
【解決手段】超純水が電解装置３に流入し、水の電気分解により水素ガスが生じる。この水素ガスは、除湿膜９、ガスフィルタ１１及びＭＦＣ１０を経て気体溶解膜モジュール２に向けて導かれる。この水素ガスは、気相室２ｃに流入し、ガス透過膜２ａを通過して液相室２ｂ内に入り込み、ここで超純水に溶解して水素溶解水が得られる。ガス溶解水製造装置を長期間停止すると、電解装置３と除湿膜９との間のガス供給配管８内に凝縮水が貯まるので、ガス溶解水製造装置を再度立ち上げたときに、その凝縮水が気体溶解膜モジュール２に向かってガス供給配管８内を移動するが、凝縮水はガスフィルタ１１で除去されるので、ＭＦＣ１０ガス流量制御装置に到達することがない。 （もっと読む）

【課題】水蒸気の含有割合が抑えられた水素を製造するための電解装置、水素の製造方法、水素を提供する。
【解決手段】電解装置１０は、陰極２２が設けられた陰極室２０と、陽極３２が設けられた陽極室３０と、陰極室２０と陽極室３０とを隔てる隔膜４０と、陰極室２０内に設けられた水蒸気を捕捉する第１の水蒸気捕捉部５０と、第１の水蒸気捕捉部５０を通過した水素を排出する水素排出部５６と、を含み、第１の水蒸気捕捉部５０は、１つ又は複数の第１の管状体を含んで構成され、第１の管状体は、管路に水を導入するための第１の導入口と、管路から陰極室２０に水を排出するための第１の排出孔とを含む。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、熱効率の向上を図るとともに、水電解装置の電解効率を良好に維持することを可能にする。
【解決手段】水電解システム１０は、純水を電気分解することによって高圧水素を製造する水電解装置１２と、前記純水を製造する純水製造装置８２と、水電解用補機を前記純水により冷却する補機冷却装置１００と、前記補機冷却装置１００を冷却した前記純水を、前記水電解装置１２に供給する純水供給ライン７８とを備える。純水供給ライン７８は、水循環装置６４を構成する気液分離器６２に加温された純水を供給するとともに、前記気液分離器６２から水電解装置１２には、加温された前記純水が、電解用純水として供給される。 （もっと読む）

【課題】水電解装置において、安定した水素ガスの生成を可能とする。
【解決手段】固体高分子電解質膜２２によって内部が陽極側２３と陰極側２４に区画される水電解セル１１と、固体高分子電解質膜２２に対して電力を供給する発電装置１２と、固体高分子電解質膜２２の陰極側に水を循環供給する第２循環水経路１７と、第２循環水経路１７を流動する水から水素ガスを分離する第２気液分離タンク１８と、分離された水素ガスを取り出す水素制御弁３３を有する水素取出経路１９と、第２循環水経路内１７の圧力を調整する調圧手段と、発電装置１２から固体高分子電解質膜２２に供給される電力量に応じて水素制御弁３３及び調圧手段を制御する制御装置２０を設ける。 （もっと読む）

【課題】水電解装置において、起動時間を短縮して水素生成効率の向上を可能とする。
【解決手段】固体高分子電解質膜２２により水を電気分解する水電解セル１１を有する水電解スタック２１と、水電解セル１１の陰極側に水を循環供給する第２循環水経路１７と、第２循環水経路１７を流動する水と水素ガスを分離する第２気液分離タンク１８と、第２循環水経路１７の水を加圧する第２水供給経路４３と、第２気液分離タンク１８に水素制御弁３３を介して連結される水素取出経路１９と、第２循環水経路１７を循環する水の圧力が予め設定された所定値を超えたら水素制御弁３３を開放する制御装置２０とを設ける。 （もっと読む）

塩素アルカリ電解の方法において、酸素欠乏カソードが使用される。その方法は非常に過剰な酸素を用いて実行される。これに必要とされる酸素は、ガス分離の装置、たとえばＶＰＳＡプラント、空気分留プラントのために提供される。生成される大量の酸素は、方法の相当なコストにつながる。本発明によれば、方法を経た後に残る酸素リッチの大気は、入力ガスとしてガス分離用の装置へ戻される。したがって、装置、ガス分離は酸素リッチの入力ガスで作動され、またしたがって、より大量の酸素リッチのガスを生成し、次いでこの酸素リッチのガスは酸素欠乏カソードに供給される。ガスの循環の結果、全体的な方法の経済性が相当に高まる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、水電解装置から発生した酸素に混在した水素を、燃料として効率的に利用することを可能にする。
【解決手段】水電解システム１０は、純水を電気分解することによって高圧水素を製造する水電解装置１２と、前記水電解装置１２のアノード側に発生した酸素とカソード側から固体高分子電解質膜３８を透過して前記アノード側で前記酸素に混在した水素との混合ガスを排出する戻り配管７２と、前記戻り配管７２に接続され、前記混合ガスを燃焼させる触媒燃焼器７６と、前記触媒燃焼器７６から発生する燃焼熱により加熱される水を貯留する貯湯槽７８とを備える。 （もっと読む）

【課題】過硫酸濃度が高くまた高い液温が要求される薬液が必要とされる枚葉式洗浄装置においても前記要求を満たす機能性溶液を確実に供給できる機能性溶液供給システムおよび供給方法を提供する。
【解決手段】硫酸濃度７５〜９６質量％の硫酸溶液を電解して過硫酸を生成する電解部（電解装置１）と、電解された硫酸溶液を気液分離する気液分離部（気液分離槽１０）と、前記気液分離部で気液分離された硫酸溶液の一部を前記電解部との間で循環させる循環ライン１１と、前記気液分離部で気液分離された硫酸溶液の一部を使用側（枚葉式洗浄装置１００）に供給する供給ライン２０と、供給ライン２０に介設されて硫酸溶液を１２０〜１９０℃に加熱する加熱部２２を備え、硫酸溶液が加熱部の入口に導入されて使用側で使用に至るまでの通液時間が１分未満となるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】外部装置へと安定してフッ素ガスを供給可能なフッ素ガス生成装置を提供する。
【解決手段】溶融塩から気化して陽極７から生成されたフッ素ガスに混入したフッ化水素ガスを除去する精製装置１６を備え、精製装置１６は、少なくとも２つの系統を有し、フッ化水素ガスを含むフッ素ガスが流入するガス流入部６１ａと、フッ素ガスに混入したフッ化水素ガスが凝固する一方、フッ素ガスはガス流入部６１ａを通過するようにガス流入部６１ａを冷却する冷却装置７０ａとを備え、制御手段は、ガス流入部６１ａでのフッ化水素の蓄積状態を検出する蓄積状態検出手段８６ａの検出結果に基づいて、待機状態の精製装置１６へとフッ素ガスが導かれるように精製装置１６の運転切り換えを行い、運転切り換えにて停止した精製装置１６のガス流入部６１ａからフッ化水素を排出し、ガス流入部６１ａにフッ素ガスを供給することによって停止中の精製装置１６を待機状態とする。 （もっと読む）

【課題】水電解装置から酸素排出系に設けられる水貯留装置を介して外部に連続して連通する水素経路が形成されることを、簡単な構成で、確実に阻止することを可能にする。
【解決手段】水電解システム１０は、純水を電気分解することによって高圧水素を製造する水電解装置１２と、前記水電解装置１２から排出される前記酸素及び余剰の水を分離し、前記水を貯留する水貯留装置１４と、前記水貯留装置１４に貯留される前記水を、前記水電解装置１２に循環させる水循環装置１６と、前記水貯留装置１４に市水から生成された純水を供給する水供給装置１８とを備える。戻り配管８０の一端部には、水電解装置１２から排出される酸素及び余剰の水をタンク部７８内に導入する導入口８０ａが設けられ、この導入口８０ａは、前記タンク部７８内に貯留される水の中で、常時、開口する位置に設定される。 （もっと読む）

【課題】電解水溶液を用いて水を電気分解して、酸素ガスと水素ガスを発生させ、それらを混合状態で取り出すようにした酸水素混合ガス発生装置において、酸水素ガスに混入した水蒸気がガス導出経路内で凝縮・結露して、安定動作および安全上の問題を生じることに対して、信頼性の高い酸水素ガス発生装置を提供する。
【解決手段】発生させたガスをとりだすガス導出経路に、放熱により水蒸気を凝縮・結露させ復水させる復水器３を設け、その水を電解槽１に回収するようにしたことにより、酸水素ガス中の水蒸気・水分を除去し、配管内結露などの問題を生じない安全性および信頼性の高い酸水素ガス発生装置を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、水素中の水分が水吸着装置を通過することを確実に阻止し、所望のドライ水素を効率的に供給することを可能にする。
【解決手段】水電解システム１０は、純水供給装置１２から供給される純水を電気分解することによって高圧水素を製造する水電解装置１４を備える。水電解装置１４の配管３４ｃには、気液分離器１８、冷却器２０及び水吸着装置２２が、水素の流れ方向に沿って配置される。冷却器２０と水吸着装置２２との間には、第１背圧弁３６が配置される一方、前記水吸着装置２２の下流側には、第２背圧弁４２が配置される。 （もっと読む）

【課題】高圧な第２流路が減圧される際、前記第２流路に連通するシール溝内を良好に減圧することができ、電解質膜の損傷を可及的に阻止することを可能にする。
【解決手段】水電解装置１０を構成する単位セル１２は、電解質膜・電極構造体３２をアノード側セパレータ３４及びカソード側セパレータ３６により挟持する。アノード側セパレータ３４には、水が供給される第１流路５４が形成され、カソード側セパレータ３６には、前記水が電気分解されて高圧水素を得る第２流路５８が形成される。第２流路５８の外側を周回して第１シール部材６４ａが挿入される第１シール溝６２ａが設けられるとともに、前記第１シール溝６２ａと前記第２流路５８とは、通路６６を介して連通する。通路６６は、カソード側セパレータ３６と固体高分子電解質膜３８との境界部位を迂回して第２流路５８と第１シール溝６２ａとを直接連通する。 （もっと読む）

【課題】高圧水素を生成する水電解装置を常圧に脱圧する際、前記水電解装置の下流に存在する高圧水素の廃棄量を可及的に削減することができ、効率的且つ経済的な水電解処理を遂行可能にする。
【解決手段】水電解システム１０は、純水供給装置１２から供給される純水を電気分解することによって高圧水素を製造する水電解装置１４を備える。水電解装置１４の配管３４ｃと気液分離器１８の入口側の逆止弁４０との間には、前記水電解装置１４の水素圧力を前記気液分離器１８とは分離して開放させる圧力開放装置５２が配設される。圧力開放装置５２は、圧抜き経路５４を備えるとともに、前記圧抜き経路５４には、減圧弁５６及び電磁弁５８が配設される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、水電解により生成された水素中に含まれる水分を確実に除去するとともに、システム全体の小型化を図ることを可能にする。
【解決手段】水電解装置１０を構成する単位セル１２は、電解質膜・電極構造体３２をアノード側セパレータ３４及びカソード側セパレータ３６により挟持する。電解質膜・電極構造体３２のアノード側給電体４０とアノード側セパレータ３４との間に第１流路５４が形成され、前記電解質膜・電極構造体３２のカソード側給電体４２とカソード側セパレータ３６との間に、第２流路５８が形成される。単位セル１２の外周部には、セパレータ面方向外方に突出して第３突出部４４ｃが形成され、前記第３突出部４４ｃには、積層方向に沿って水素連通孔５０が形成されるとともに、この水素連通孔５０は、水素中の水分を凝縮する気液分離機能を兼用する。 （もっと読む）

【課題】電解質膜からの水素の漏れの有無を容易且つ確実に検出することができ、良好な水電解処理を遂行可能にする。
【解決手段】水電解システム１０は、純水を電気分解することによって高圧水素を製造する水電解装置１２と、純水を前記水電解装置１２に供給するとともに、前記水電解装置１２から排出される前記水を、前記水電解装置１２に循環供給する水循環装置１６とを備える。水循環装置１６は、水電解装置１２から排出される水及び酸素を分離する酸素側気液分離器７８と、前記水電解装置１２から前記酸素側気液分離器７８に送られる前記水及び前記酸素の混合流体の圧力を検出する圧力センサ８６と、前記圧力センサ８６により検出された圧力に基づいて、水素の漏れの有無を判断するコントローラ２２とを備えている。 （もっと読む）