【課題】金属球などの金属物の表面に二酸化チタン等のチタン酸化物を、膜圧が均一になるように被覆する。
【解決手段】搬送回転ねじ４２が回転すると、上記らせん溝４６に掛った金属球７は、凹溝４４、４４に沿って搬送される。この搬送される金属球７は、搬送回転ねじ４２及び搬送回転ローラー４３、４３の回転によって、金属球７の進行方向とほぼ直交する方向に回転される。上記搬送回転ローラー４３、４３の外周面の長手方向に沿って延びる直線状の一本または複数本の長手溝４７が形成され、長手溝４７が金属球７を通過するたびに、金属球７の向きが変えられる。これにより、上記金属球７の回転の向きが変えられ、金属球７の向きが種々ランダムに変更され、スプレーガン４８から金属球７の表面に噴霧あれ被覆される二酸化チタンの膜厚が、金属球７表面全体にわたってほぼ均一となる。 （もっと読む）

【課題】複合構造物に含まれる膜状の構造物の厚さが不均一になるおそれを低減すること。
【解決手段】成膜装置は、エアロゾル生成装置と、ノズルと、エアロゾル搬送管と、微粒子分散器２０とを備える。エアロゾル生成装置は、微粒子をガス中で分散させてエアロゾルを発生させる。ノズルは、エアロゾル生成装置から導かれたエアロゾルを噴出可能な開口を有する。前記開口は、エアロゾルの進行方向であるＸ方向と直交する断面内で、Ｙ方向の寸法がＺ方向の寸法よりも長い形状である。エアロゾル搬送管は、エアロゾル生成装置からノズルへエアロゾルを導く。微粒子分散器２０は、エアロゾル搬送管に設けられる。微粒子分散器２０は、エアロゾルを通過させることが可能な第１スリット２２と、第２スリット２３と、第３スリット２４とを含む。各スリットは、前記断面内においてＹ方向と交差する方向の寸法が、その方向と直交する方向の寸法よりも長い形状である。 （もっと読む）

【課題】エアロゾル化ガスデポジション法によって良好な膜質を得ることが可能なイットリア膜の成膜方法を提供すること。
【解決手段】エアロゾル化ガスデポジション法によって、高純度イットリア膜を成膜する成膜方法であって、平均粒子径が１μｍ以上１０μｍ以下であり、かつ比表面積が１ｍ^２／ｇ以上４ｍ^２／ｇ以下であるイットリア微粒子Ｐを密閉容器２に収容し、密閉容器２にガスを導入することによって、イットリア微粒子ＰのエアロゾルＡを生成させ、密閉容器２に接続された搬送管６を介して、密閉容器２よりも低圧に維持された成膜室３にエアロゾルＡを搬送し、成膜室３に収容された基材Ｓ上にイットリア微粒子Ｐを堆積させる。上記条件を満たすイットリア微粒子を用いることで、緻密かつ、基材への密着力が高いイットリア薄膜を成膜することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】エアロゾル化ガスデポジション法によって良好な膜質を得ることが可能なジルコニア膜の成膜方法を提供すること。
【解決手段】エアロゾル化ガスデポジション法によって、高純度安定化ジルコニア膜を成膜する成膜方法であって、平均粒子径が０．７μｍ以上１１μｍ以下であり、かつ比表面積が１ｍ^２／ｇ以上６．５ｍ^２／ｇ以下である、乾式法で作製されたジルコニア微粒子Ｐを密閉容器２に収容し、密閉容器２にガスを導入することによって、ジルコニア微粒子ＰのエアロゾルＡを生成させ、密閉容器２に接続された搬送管６を介して、密閉容器２よりも低圧に維持された成膜室３にエアロゾルＡを搬送し、成膜室３に収容された基材Ｓ上にジルコニア微粒子Ｐを堆積させる。上記条件を満たすジルコニア微粒子を用いることで、緻密かつ、基材への密着力が高いジルコニア薄膜を成膜することが可能となる。 （もっと読む）

本発明のプロセスは、超疎水性の表面の耐久性を著しく増加させると共に、元の表面の光学的性質と同様の光学的性質を保持する。前記プロセスは、形成されたばかりのナノ粒子および超微粒子を、速度および熱によって基板に部分的に埋め込んで化学結合させることで、強く結合されたナノ〜サブミクロンの表面組織を生じる。このナノ表面構造は、所望の表面特性（例えば疎水性、疎油性、親水性など）を有するように改良できる。このプロセスによって製造されるコーティングのうち高い位置にあるものは、残りの表面を摩滅から保護するので、多くの用途で製品寿命を非常に増加させる。好ましい実施形態において、前記プロセスは、車両のフロントガラスをコーティングするために用いられる。 （もっと読む）

【課題】ピンク色で光沢感があり、各部位での色むらが防止された優れた美的外観を有し、耐久性にも優れた装飾品を安定的に製造することのできる装飾品の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の装飾品１の製造方法は、主としてＴｉＮで構成された第１の被膜３を形成する工程（１ｃ）と、７０．０ｗｔ％以上８５．０ｗｔ％以下のＡｕおよび１５．０ｗｔ％以上３０．０ｗｔ％以下のＣｕを含むターゲットを用いた乾式めっき法により、第１の被膜３上に第２の被膜４を形成する工程（１ｄ）と、３００℃以上３９５℃以下に加熱する加熱処理を施し、その後、冷却処理を施すことにより、第２の被膜４の構成材料の固溶体化を促進する工程（１ｅ）と、酸処理を施すことにより、第２の被膜４の構成成分のうち、固溶体を構成していないものの少なくとも一部を除去する工程（１ｆ）とを有している。 （もっと読む）

本発明は、微粒子化の低減を示すプラズマエッチング耐性層で基板をコーティングする方法であって、基板にコーティング層を適用するステップを含む方法を含み、コーティング層は、約２０ミクロン以下の厚さを有し、ある時間にわたってフッ素ベースのプラズマに曝露された後のコーティング層は、コーティング層の断面に広がるいかなるクラックまたは亀裂も実質的に含まない。［００６２］記載される方法によって調製されるコーティングされた基板。また、本発明には、フッ素ベースの半導体ウエハー処理プロトコルで構造要素として使用するためのコーティングされた基板も含まれ、コーティングは、約２０ミクロン以下の厚さを有するコーティング層であり、ある時間にわたってフッ素ベースのプラズマに曝露された後のコーティング層は、コーティング層の断面に広がるいかなるクラックまたは亀裂も実質的に含まず、微粒子化の低減を示す。
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【課題】エアロゾル化ガスデポジション法によって良好な膜質を得ることが可能なジルコニア膜の成膜方法を提供すること。
【解決手段】エアロゾル化ガスデポジション法によって、イットリアを含む安定化ジルコニア膜を成膜する成膜方法であって、平均粒子径が１μｍ以上５μｍ以下であり、かつ比表面積が１ｍ^２／ｇ以上４ｍ^２／ｇ以下であるジルコニア微粒子Ｐを密閉容器２に収容し、密閉容器２にガスを導入することによって、ジルコニア微粒子ＰのエアロゾルＡを生成させ、密閉容器２に接続された搬送管６を介して、密閉容器２よりも低圧に維持された成膜室３にエアロゾルＡを搬送し、成膜室３に収容された基材Ｓ上にジルコニア微粒子Ｐを堆積させる。上記条件を満たすジルコニア微粒子を用いることで、緻密かつ、基材への密着力が高いジルコニア薄膜を成膜することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】溝構造の内壁の選択された所定の壁部にのみ微粒子の配列集合体を形成させる技術を提供する。
【解決手段】表面に所定の幅及び深さを有する溝１３が形成された基板１０の溝に、微粒子を溶媒に懸濁してなる微粒子懸濁液２を充填し、充填した微粒子縣濁液の溶媒を乾燥させ、溝の壁部に、微粒子が単層又は複数層で配列してなる微粒子の配列集合体３２を形成させる微粒子配列構造体の製造方法において、微粒子が懸濁した溶媒の、溝の壁部に対するメニスカス先端部が、溝の壁部の選択された所定の領域のみを移動するようにして、溝の選択された所定の壁部にのみ、微粒子の配列集合体を形成させる。 （もっと読む）

【課題】 長期間にわたって低い体積抵抗率を維持することができる銅薄膜およびこれを銅粒子分散体から形成する方法を提供する。
【解決手段】 工程（Ａ）：銅粒子分散体を含有する塗膜に過熱水蒸気による加熱処理を施す工程、工程（Ｂ）：工程（Ａ）で得られた銅薄膜層に防錆処理を施す工程、の少なくとも２つの工程を含む、銅薄膜の製造方法およびこの方法で製造された銅薄膜。前記塗膜は銅粒子分散体を絶縁性基板に塗布または印刷されたものであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】基材表面に厚付けした金属皮膜が剥離され易い従来のコールドスプレー法の課題を解決する。
【解決手段】スプレーノズル１８から作動ガスに伴って金属粒子を平滑な基材表面に噴射するコールドスプレー法によって前記基材表面に金属皮膜を形成する際に、スプレーノズル１８と基材表面との距離ｄを一定に保持すると共に、スプレーノズル１８からの金属粒子の基材表面に対する噴射角θを、鋭角であって、前記基材表面に衝突した金属粒子が基材表面を滑動して留まる角度に調整して、スプレーノズル１８から作動ガスに伴って金属粒子を基材表面に噴射しつつ、スプレーノズル１８を基材表面に沿って移動する。 （もっと読む）

本発明は、色素増感太陽電池（ＤＳＳＣ）の分野に関するものであり、幅広い種類の基材に適用できる対向電極の低温プラチナイズ方法に関する。 （もっと読む）

【課題】炭素を含む導電性金属酸化物膜の電気的特性を改善する。
【解決手段】炭素を含有する導電性金属酸化物を成膜した後、導電性金属酸化物膜９２に酸化作用を有する酸化性ガスを接触させる酸化性後処理工程を実行する。好ましくは、導電性金属酸化物膜９２の加熱や酸化性ガスの活性化によって上記酸化作用を発現又は促進させる。酸化性後処理工程後の導電性金属酸化物膜９２に対し、還元作用を有する還元性ガスを接触させる還元性後処理工程を実行する。好ましくは、導電性金属酸化物膜９２の加熱や還元性ガスの活性化によって上記還元作用を発現又は促進させる。 （もっと読む）

【課題】微細凹凸構造が安定化し耐久性に優れた酸化物層付き光学部材、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光学部材は、基材２１と、該基材表面に反射防止膜を有し、前記反射防止膜は少なくとも、表面に酸化アルミニウムの結晶による微細凹凸構造が形成された金属酸化物層を有し、前記金属酸化物層はアモルファス層２３を含み、前記金属酸化物層の少なくとも表面はリン酸アルミニウム２５となっている。また、前記微細凹凸構造の高さが０．１μｍ以上５μｍ以下である。あるいは前記酸化アルミニウムの結晶は、ベーマイトである。 （もっと読む）

【課題】従来の酸化ジルコニウム等の無機コーティング膜と比べて、食品の焦げ付き汚れや油汚れの除去効果に優れた防汚性物品、及び、この防汚性物品を容易に得ることのできる製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の防汚性物品は、基体の表面の少なくとも一部に、価数が＋３価以上かつイオン半径が１オングストローム以上であるイットリウム（Ｙ）、ランタン（Ｌａ）、セリウム（Ｃｅ）、プラセオジム（Ｐｒ）、ネオジム（Ｎｄ）、サマリウム（Ｓｍ）、ユウロピウム（Ｅｕ）、ガドリニウム（Ｇｄ）、テルビウム（Ｔｂ）、エルビウム（Ｅｒ）、ツリウム（Ｔｍ）、イッテルビウム（Ｙｂ）の群から選択される１種または２種以上の元素と、酸素（Ｏ）とを含有し、厚みが５ｎｍ以上かつ１００ｎｍ以下の薄膜を形成した。 （もっと読む）

【課題】液中で凝集などが起こり難くコーティング用としての安定性の高い酸化アルミニウム前駆体ゾルを用いることにより、高い反射防止性能を示し、反射率のばらつきの少ない反射防止膜を有する光学用部材の製造方法を提供する。
【解決手段】
アルミニウム化合物の加水分解物および／またはその縮合物を成分として含有する粒子と、溶媒を含み、前記粒子の平均粒子径が２．５ｎｍ以上７ｎｍ以下である酸化アルミニウム前駆体ゾル。前記酸化アルミニウム前駆体ゾルを基材上に供給して形成した酸化アルミニウム膜を６０℃以上１００℃以下の温水中に浸漬して酸化アルミニウムベーマイトの凹凸構造を形成する工程を有する光学用部材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】密着性のよい強固な膜状構造物をえるための、エアロゾル中の微粒子が、ある特定の方向に拡散しないような構造のノズルと、構造物形成方法および構造物形成装置を提供する。
【解決手段】ガス中に分散させた脆性材料微粒子を含むエアロゾルをノズルより基材６に向けて吹き付けることによって前記脆性材料微粒子を構成材料として含む構造物を基材上に形成するエアロゾルデポジション法による複合構造物作製装置に用いるノズルであって、前記ノズルと製膜対象となる基材６との間の、前記ノズルから吐出されるガスが膨張する少なくとも一部の場所に、エアロゾル吐出方向に略平行となるように障壁５２を設けたノズル。 （もっと読む）

【課題】黒色の酸化イットリウム溶射皮膜の表面および／またはその表面の黒色二次再結晶層の表面を白色化させる技術を提案する。
【解決手段】黒色の酸化イットリウム溶射皮膜の表面を、酸素ガスやオゾンガス、亜酸化窒素ガスなどの強酸化性ガスによってシールした状態でレーザビーム照射することによって、黒色の皮膜を白色化するとともに、皮膜の表面を構成する酸化イットリウム粒子を溶融一体化させて二次再結晶層を生成させる。これによって、黒色皮膜の表面に白色の文字、数字、線模様などを描くことができる。 （もっと読む）

【課題】スジや透け等の発生を抑制した、均一な膜厚を有する被膜の成膜方法を提供する。
【解決手段】微粒子をガス中に分散させてエアロゾル化するエアロゾル調製工程と、減圧下、前記エアロゾルを噴射ノズルから被噴射体の表面に噴射して成膜する成膜工程と、を有するエアロゾルデポジション法による成膜方法であって、前記成膜工程は、前記被噴射体８に対する前記噴射ノズル６の相対的な位置を移動させつつ、前記被噴射体８の表面に前記エアロゾル９を噴射する第１の成膜工程と、前記被噴射体８に対する前記噴射ノズル６の相対的な位置を、前記第１の成膜工程における前記被噴射体に対する前記噴射ノズルの相対的な移動の方向と交差する方向に移動させつつ、前記第１の成膜工程において前記エアロゾル９が噴射された前記被噴射体８の表面に、前記エアロゾル９を噴射する第２の成膜工程と、を、少なくとも備えることを特徴とする、成膜方法。 （もっと読む）

基板上へのパターンの低温焼結のためのプロセスが開示されている。 （もっと読む）