【課題】 基板保護、装置保護のための基板有無検出、および衝突検出を小型、低コストな１つのセンサにて精度よく検出し、基板の大型化に対する鉛直方向の振動についても同時に低減できる基板搬送用装置を提供する。
【解決手段】 エンドエフェクタに取り付けたひずみセンサと、ひずみセンサ出力から基板有無を検出する基板有無検出部と、衝突有無を検出する衝突有無検出部と、鉛直方向の振動を低減する振動低減部を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、荷電粒子線を照射して観察及び分析する試料を、大気に曝す時間を最小限に抑えて、荷電粒子装置へ挿入可能な試料搬送装置を提供することにある。特に、装置周辺の作業領域が制限されている荷電粒子装置や、試料台をサイドエントリ型試料ホルダに設置するための空間が狭小であっても、作業を可能とする装置を提供することを目的とする。
【解決手段】荷電粒子線を照射して観察及び分析する試料を搬送するための試料搬送装置であって、試料が設置される試料ホルダを内部に収容可能な伸縮部材と、前記試料ホルダを前記伸縮部材の内部で固定する固定部材と、前記伸縮部材内部と接続し試料ホルダが通過する開口部の開閉を行う封止部材を備えたことを特徴とする試料搬送装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】基板を基板ホルダに確実に静電吸着させる。
【解決手段】基板を基板ホルダに静電吸着させる吸着方法であって、基板を基板ホルダに載置する場合に、基板ホルダに初期電圧をかける初期電圧ステップと、初期電圧をかけた状態で、漏れ電流を計測することにより、基板ホルダに基板が吸着されたか否かを検出する吸着検出ステップと、吸着検出ステップにより基板ホルダに基板が吸着されたことが検出された場合に、初期電圧よりも低い吸着電圧を基板ホルダにかける吸着電圧ステップとを備える吸着方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】プロセス条件測定装置と処理システムとを製造環境と高度に統合化する。
【解決手段】統合化において、プロセス条件測定装置の寸法は製造基板の寸法に近い寸法となり、処理システム８８０は製造基板用として使用する基板搬送装置と類似のものとなる。製造環境に対する障害をほとんど伴うことなくプロセス条件の測定が可能となる。人間の介在をほとんど或いは全く伴うことなくプロセス条件測定装置からユーザへデータ転送を行うことも可能となる。 （もっと読む）

【課題】被処理基板、若しくはチャック上に異常が発生した場合、大掛かりな装置を使用することなく、効率良く異常の要因及び場所を特定する。
【解決手段】基板Ｗを保持する基板保持装置１０であって、基板Ｗを吸着して保持する保持ユニットと、基板Ｗが保持ユニットに搭載された状態で、保持ユニットの吸着力に関する物理量を計測する計測部１５と、第１の条件と計測部１５の計測結果とに基づく第１の判定と、第１の条件とは異なる第２の条件と計測部１５の計測結果とに基づく第２の判定とを行い、第１及び第２の判定の結果に基づいて、予め設定された少なくとも３つの動作のうち１つを選択し、選択された動作に応じた処理を実行する制御部１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来よりも高精度且つ迅速に基板搬送機構のベアリング間の段差を調整することで、装置稼働率、製品歩留まりの向上及びメンテナンスコストの低減を図ることができるインライン式成膜装置の搬送振動監視装置を提供する
【解決手段】本発明の搬送振動監視装置は、基板６を搭載してインライン式成膜装置Ｓ内に配設された搬送路Ｒに沿って搬送されるキャリアＴに加わる振動を監視するものであって、キャリアＴに取付けられた加速度変化を測定できる加速度センサ５と、加速度センサ５で測定された加速度データと解析するＰＣ１３とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】基板の平面度調整を行うために、基板を保持する保持手段の裏面を支持する支持手段と前記裏面とに隙間が生じないようにするステージ装置を提供することを課題とする。
【解決手段】保持手段の裏面と支持手段との間に空気を供給し、前記保持手段を前記支持手段から浮上させる軸受手段と、前記軸受手段から供給される気体の流量を検出する検出手段と、前記支持手段の駆動を制御する制御手段とを有し、前記制御手段は、前記軸受手段により前記保持手段を浮上させたときに、前記検出手段によって検出される流量が、所定の流量の範囲内になるように前記支持手段の駆動を制御する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハの形状に切り抜いた後の不要な粘着テープを精度よく巻き取るとともに、粘着テープをウエハに精度よく貼付ける方法及び装置を提供する。
【解決手段】半導体ウエハに貼付けられた帯状の粘着テープをテープ切断機構によりウエハ形状に切り抜き、この切り抜かれた不要テープを巻き取り回収する過程で、テープ両端の狭小部位を案内するサイドローラ３６ａ、３６ｂの回転角をロータリエンコーダ３８で検出する。この実測による実回転角と予め決めた基準回転角とを比較して不要テープの狭小部位の破断を判別部が判断する。 （もっと読む）

【課題】作業効率の低下を招くことなく、基板における露光領域の変形に関する情報を容易に計測する。
【解決手段】露光光の照射処理が行われる基板Ｂ上の複数の照射領域ＳＡにそれぞれ設けられ、各照射領域における変形に関する情報を計測する変形計測装置Ｇと、温度による基板の変形に関する情報を、変形計測装置とは独立して計測する第２変形計測装置Ｇ２とを有し、変形計測装置及び第２変形計測装置は、露光光の照射処理によりパターニング形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】 定盤から床に伝わる振動を低減することが可能な露光装置を提供する。
【解決手段】 本発明の露光装置は、定盤５と、前記定盤上で移動可能なステージ１と、前記ステージを駆動するアクチュエータ８と、質量体２と前記質量体を移動させるアクチュエータ９とを有し前記ステージの移動に起因して前記定盤に発生する振動を低減するための反力カウンタと、投影光学系４と、前記投影光学系を支持する構造体５と、前記投影光学系、前記構造体、前記定盤を支持する床６のいずれかに設けられた振動を検出するセンサ５１〜５４と、前記センサからの出力に基づいて、前記振動が小さくなるように前記質量体を移動させるアクチュエータを制御する制御手段１４と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置などで使用される基板を位置決めするθＺ駆動装置を小型にすることを課題とする。
【解決手段】ベース６に立設する円筒状のフレーム１７と、フレーム１７の内面に設けられてテーブル１をＺ方向とθ方向に駆動するθＺアクチュエータ１５と、テーブル１がＺ方向へ昇降可能となるよう支持する昇降支持部７と、テーブル１がθ方向へ回転可能となるよう支持する回転支持部４と、テーブル１の昇降位置および回転位置を取得するための位置検出部３１と、を備え、昇降支持部７と回転支持部４と位置検出部３１のすべてが、θＺアクチュエータ１５の内側にあって、かつθＺアクチュエータ１５のＺ方向の高さにほぼ収まるよう配置されるよう構成した。 （もっと読む）

【課題】接着シートの剥離不良が発生することを防止することができるようにすること。
【解決手段】シート剥離装置１０は、ウエハＷの一方の面に貼付された接着シートＳを剥離用テープＰＴを介してウエハＷから剥離する。接着シートＳは、基材シートＢと、この基材シートＢの一方の面に設けられた接着剤層ＡＤとを含む。シート剥離装置１０は、基材シートＢ及び接着剤層ＡＤを切断する切断手段１６と、剥離用テープＰＴを繰り出す繰出手段１２と、接着シートＳに剥離用テープＰＴを貼付する貼付手段１４と、ウエハＷと剥離用テープＰＴと相対移動させることで接着シートＳを剥離可能な移動手段１５とを備えている。切断手段１６は、両端が基材シートＢの外縁にそれぞれ達する切り込みＣを形成して接着シートＳを複数の分割シートＳ１、Ｓ２として形成可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】小型かつ比較的安価な構成で、ワークにシートを粘着剤層を介して貼付することのできるシート貼付装置を提供すること。
【解決手段】シート貼付装置１００では、クリーニングエリア２０へのワークＷの搬入、クリーニングエリア２０から貼付エリア３０へのワークＷの搬送、および貼付エリア３０からのワークＷの搬出などを共通のロボット５０で行なう。また、クリーニングエリア２０では、ワークＷがロボット５０に保持された状態でクリーニングが行なわれ、貼付エリア３０では、ワークＷがロボット５０に保持された状態でシートＳの貼付が行なわれる。このため、各エリアにワークＷを搬入した際、ワークＷを整列させる必要がないなどの利点がある。 （もっと読む）

【課題】コレットの先端にチップを有するかを安定して正確に検出することができるダイボンダを提供する。
【解決手段】中空状のシャフト２と、シャフトの先端開口部に付設されるコレット３とを有するボンディングアーム１と、ボンディングアーム１の内部の吸引孔１３を真空状態としてチップをコレット３先端部に真空吸引するための吸引機構１４と、シャフト内の真空流量の差によりコレット３の先端部にチップを有するか否かを検出するセンサとを備えたダイボンダである。シャフト２のコレット近傍に、センサと吸引孔１３とを連通する連通孔１６を有するセンサ連結体１５を設けるとともに、コレット３とシャフト２との間のエア漏れ防止用のシール材２５を配置した。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハ搬送装置の自己診断及び自動補正において、停止時間を短縮し、メンテナンスを簡略化し、半導体ウェーハ搬送装置の原価を低減する。
【解決手段】ウェーハ収納容器を設置可能なロードポート部と、ウェーハを把持するハンドを有し、前記ウェーハを搬送する搬送ロボット部と、前記ウェーハの方向決めを行うアライナとを含む半導体ウェーハ搬送装置であって、前記ロードポート部及び前記アライナの少なくとも一つが前記ロードポート部又は前記アライナに備えられたセンサを有し、前記センサを用いて前記ロードポート部及び前記アライナの少なくとも一つに対する前記ハンドの位置を計測し、この計測値に基づいて前記ハンドの位置の補正を行うコントローラを有する。 （もっと読む）

【課題】小さい設置面積を維持すると共に、処理ステーション毎に個別に滞留時間を制御することができるコスト及びスループットを改善下装置及び方法を提供する。
【解決手段】線形搬送チャンバは、線形トラックと、線形トラックに乗せられて、処理チャンバの側面に沿って基板を線形に搬送するロボットアームとを含み、処理チャンバに到達させる方法として、基板を、制御された雰囲気中にロードロックを介してフィードし、次いで搬送チャンバに沿ってフィードする。線形平行移動、回転と分節、及びｚ運動が可能な４軸ロボットアームが開示される。 （もっと読む）

【課題】延出方向に沿う切込によって複数の分割シートに分割可能とされた接着シートに付与される張力を、各分割シート毎に調整することのできるシート貼付装置を提供することにある。
【解決手段】切込Ｃに沿って第１及び第２分割シートＳ１、Ｓ２に分割可能な接着シートＳの繰出手段１２と、各分割シートＳ１、Ｓ２毎に張力を付与する張力付与手段１６と、接着シートＳを半導体ウエハＷに押圧して貼付する押圧手段１４とを備えてシート貼付装置１０が構成されている。張力付与手段１６は、第１及び第２分割シートＳ１、Ｓ２に対応する第１及び第２駆動ローラ５５、５６及びこれらローラを駆動する第１及び第２モータＭ１、Ｍ２を含み、繰出手段１２を構成する第１及び第２ロードセル３４Ａ、３４Ｂの検出張力に応じて個別的に張力調整を行う。 （もっと読む）

【課題】剥離速度を考慮できる剥離性評価方法および剥離性評価装置を提供すること。
【解決手段】被着体に貼付された接着シートから被着体を剥離するときの剥離性を評価するにあたり、被着体および接着シート間の剥離性の評価に用いる評価用剥離速度を算出して剥離性を評価する。例えば、接着シートが貼付された測定用部材または被着体から接着シートを複数の異なる剥離速度で剥離させたときの剥離力を測定し、測定した剥離力および測定時の剥離速度に基づいて、測定時とは別の剥離装置で接着シートから被着体を剥離させるときの評価用剥離速度を算出する。 （もっと読む）

【課題】把持部材を半導体チップの上面に近づけたときに把持部材から噴出する気体の背圧が予め定めた圧力まで上昇しなくても把持部材が半導体チップの上面に接触する高さ位置を、簡単な構成で高精度に求めることのできるハンドラのティーチング方法及びハンドラを提供する。
【解決手段】吸着パッドを検査用ソケットに配置されたＩＣチップに向かって下動させるとき、吸着パッドの先端から気体を噴出させながら下降させる。そして、吸着パッドの先端から噴出する気体の流量を流量センサで検出し、流量センサで検出した流量が予め定めた流量まで減少した時の吸着パッドの下降位置を吸着パッドがＩＣチップの上面に接触する高さ位置として記憶手段に登録する。 （もっと読む）

【課題】 真空チャンバに窓を取り付けなくても、また、搬送体の裏面又は表面の状態にも関わらずに、搬送体が搬送装置に受け渡されたか否かを検出することができる搬送装置を提供すること。
【解決手段】 伸縮及び旋回可能に構成された回転・伸縮部と、回転・伸縮部の先端に設けられ、搬送体が載置されるピック１４ａ（１４ｂ）と、ピック１４ａ（１４ｂ）内に設けられた高電位側内部電極３１（＋）及び低電位側内部電極３１（−）を含む、搬送体をピック１４ａ（１４ｂ）に静電吸着させるジョンセン−ラーベック型の静電吸着機構３０と、ピック１４ａ（１４ｂ）上に搬送体の有無に関わらずに、高電位側内部電極３１（＋）から低電位側内部電極３１（−）に向かって流れる微小電流Ｉを検出し、微少電流Ｉの増減に基づいて、ピック１４ａ（１４ｂ）上に搬送体が有るか無ないかを判定する判定器３４と、を具備する。 （もっと読む）