【課題】
バイト、ページおよびブロックで書き込むことができる新単体式複合型不揮発メモリを提供する。
【解決手段】
不揮発メモリアレイは、シングルトランジスタフラッシュメモリセルおよびダブルトランジスタＥＥＰＲＯＭメモリセルを備え、同じ基板上に整合することができ、該不揮発メモリセルは低いカップリング係数の浮遊ゲートを備えて、メモリセル体積を減少でき、該浮遊ゲートをトンネル絶縁層の上に配置し、該浮遊ゲートは該ソース領域の辺縁および該ドレイン領域の辺縁に揃って、且つ該ソース領域辺縁および該ドレイン領域辺縁の幅に画定される幅を備え、該浮遊ゲートと該制御ゲートは５０％より小さい相対的に小さなカップリング係数を備えて、該不揮発メモリセルを縮小できるようにし、該不揮発メモリセルのプログラムはチャネル熱電子方式で達成し、消去は高電圧でＦＮトンネル方式で達成する。 （もっと読む）

【課題】ＦＭＯＮＯＳメモリセルとＣＭＯＳトランジスタが共存する半導体装置において、トランジスタの駆動電流を高めるとともにＦＭＯＮＯＳメモリセルとしての機能を確保する半導体装置を提供する。
【解決手段】主表面を有する半導体基板ＳＵＢと、主表面上に形成された、チャネルを有するＭＯＮＯＳ型メモリセルと、主表面上に形成されたｎチャネル型トランジスタと、主表面上に形成されたｐチャネル型トランジスタとを備える半導体装置である。上記ＭＯＮＯＳ型メモリセル、ｎチャネル型トランジスタおよびｐチャネル型トランジスタの上面に接するように窒化膜ＣＳ１、ＣＳ２が形成されている。上記窒化膜ＣＳ１、ＣＳ２はＭＯＮＯＳ型メモリセル、ｎチャネル型トランジスタおよびｐチャネル型トランジスタのチャネルに応力を付加する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、チャネル抵抗を減少させてオン電流を増加させることが可能で、かつ各トランジスタを独立して、安定して動作させることの可能な半導体装置及びその製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】ゲート電極用溝１８の底部に設けられた第１の不純物拡散領域２７と、第１の側面１８ａに配置されたゲート絶縁膜２１の上部２１Ａを覆うように、半導体基板１３に設けられた第２の不純物拡散領域２８と、少なくとも第２の側面１８ｂに配置されたゲート絶縁膜２１を覆うように半導体基板１３に設けられ、第１の不純物拡散領域２７と接合された第３の不純物拡散領域２９と、を有する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の製造後におけるチャージ蓄積用素子からのチャージの放電を防止してデバイス機能素子のチャージダメージを低減する半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 半導体基板上に形成されたデバイス機能素子と、半導体基板上に形成されたチャージ蓄積用素子と、半導体基板上に形成され、デバイス機能素子とチャージ蓄積用素子との間に接続され、電気的に書き換え可能な不揮発性メモリトランジスタにより形成された分離用素子とを有する。 （もっと読む）

【課題】フラッシュメモリの動作速度及び耐久性を向上させる技術の提供。
【解決手段】メモリが、行及び列を含むメモリセルのアレイを有している。該メモリは、アレイ内の単数又は複数のワード線上の第１の離隔位置のセットに第１のバイアス電圧を印加するとともに、単数又は複数のワード線上の第２の離隔位置のセットに第１のバイアス電圧とは異なる第２のバイアス電圧を印加する、ワード線に結合された回路部を有し、第１の離隔位置のセットにおける位置は、第２の離隔位置のセットの位置の間に介在しており、それにより、第１の離隔位置のセットにおける位置と第２の離隔位置のセットにおける位置との間に、単数又は複数のワード線の加熱をもたらす電流の流れが誘導される。 （もっと読む）

【課題】
誘電体電荷トラップメモリの動作速度及び／又は耐久性を向上させる技術を提供する。
【解決手段】
メモリデバイスは、ワードライン及びビットラインを含む誘電体電荷トラップ構造メモリセルのアレイを含む。該アレイに、読み出し、プログラム及び消去の動作を制御するように構成された制御回路が結合される。コントローラは、該アレイのメモリセル内の誘電体電荷トラップ構造を熱アニールする支援回路を備えるように構成される。熱アニールのための熱を誘起するために、ワードラインドライバ及び前記ワードライン終端回路を用いて、ワードラインに電流を誘起することができる。熱アニールは、サイクルダメージからの回復のために、通常動作とインターリーブされて適用されることが可能である。また、熱アニールは、消去のようなミッション機能中に適用されることもでき、それにより該機能の性能を向上させ得る。 （もっと読む）

【課題】抵抗素子を有する半導体装置に関し、集積度を低下することなく低消費電力化と高い回路精度とを実現しうる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体材料により形成された複数の抵抗素子と、複数の抵抗素子の近傍に配置された加熱用抵抗素子と、対向する２つの接続ノード間に加熱用抵抗素子が接続され、対向する他の２つの接続ノード間に電源線が接続された抵抗ブリッジ回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】省電力化かつ高速での書き込み処理が可能なメモリの多値化に適した半導体装置およびベリファイ処理を提供する。
【解決手段】半導体装置に用いるメモリセルを、酸化物半導体を用いたトランジスタと酸化物半導体以外の材料を用いたトランジスタをそれぞれ有する構成とし、書き込み回路を用いてデータバッファのデータをメモリセルに書き込む前に、予め各々のメモリセルの有するしきい値ばらつきを調べ、データバッファのデータに対して当該しきい値ばらつきを補正したデータが各々のメモリセルに書き込む。 （もっと読む）

【課題】 ＢｉＣＳメモリのような積層型メモリの書き込み動作を高速化することが可能な不揮発性半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】 積層型のメモリセル構造を有する不揮発性半導体記憶装置であって、半導体基板上に、複数のメモリセルを積層してなるストリングを複数個配置したメモリセルアレイ１１と、メモリセルアレイ１１の任意のストリングをサンプルストリングとして選択し、該選択したサンプルストリングに対してデータの書き込みを行う回路１２，１４，１６，３０と、サンプルストリングの各メモリセルに対する書き込み回数をレイヤー毎に保持する書き込み回数記憶部３１と、記憶部３１に記憶されたレイヤー毎の書き込みパルス数を同一レイヤーの他のストリングのメモリセルの書き込み電圧の初期値に反映させる回路３３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】微細なパターンと比較的サイズが大きめのパターンとを有するパターン形成方法で、サイズが大きめのパターンを従来に比して精度良く形成することができるパターン形成方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、加工対象上の芯材膜３１に開口を形成した後、マスク膜３２をコンフォーマルに形成する。マスク膜３２をエッチバックして芯材膜３１の側面に第１の幅のマスク膜３２を残す。開口の形成領域以外の領域にレジストパターン３５ａを形成し、これをマスクに芯材膜３１をエッチングする。さらに、芯材膜３１をスリミングして第１の幅より小さい第２の幅のラインアンドスペース状のパターンを形成する。側壁膜をコンフォーマルに形成した後、エッチバックし、さらに芯材膜３１を除去して、加工対象上に側壁膜からなる側壁パターンを形成する。そして側壁パターンで加工対象をエッチングする。 （もっと読む）

【課題】干渉現象を減らしてゲートラインの抵抗を減らすことができる半導体素子の製造方法を提供する。
【解決手段】最上部層が金属シリサイド層からなり、第１間隔で半導体基板上に配列される第１ゲートラインと、最上部層が金属シリサイド層からなり、前記第１間隔より広い第２間隔で前記半導体基板上に配列される第２ゲートラインと、前記第１ゲートラインの間の前記半導体基板上に形成されてエアギャップを含む第１絶縁膜と、前記第２ゲートラインの対向する側壁上に形成された第２絶縁膜と、前記第２絶縁膜の側壁に形成されたエッチング停止膜と、前記第１ゲートラインの間の空間と前記第２ゲートラインとの間の空間が満たされるように全体構造上に形成された第３絶縁膜と、前記第３絶縁膜の上部に形成されたキャッピング膜と、前記キャッピング膜及び前記第３絶縁膜を貫通して前記第２ゲートラインの間の前記半導体基板に形成された接合領域と繋がれるコンタクトプラグと、を含む。 （もっと読む）

【課題】チャネル抵抗を減少させてオン電流を増加させることが可能で、各トランジスタを独立して安定して動作させることの可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】ゲート電極用溝１８の底部１８ｃから突き出すように形成されたフィン部１５と、ゲート電極用溝１８及びフィン部１５の表面を覆うゲート絶縁膜２１と、ゲート電極用溝１８の下部に埋め込まれ、ゲート絶縁膜２１を介してフィン部１５を跨ぐように形成されたゲート電極２２と、第１の側面１８ａに配置されたゲート絶縁膜２１の上部２１Ａを覆う第１の不純物拡散領域２８と、第２の側面１８ｂに配置されたゲート絶縁膜２１の下端部以外の部分を覆う第２の不純物拡散領域２９とを備え、ゲート電極用溝１８の深さが半導体基板１３の表層１３ａから１５０〜２００ｎｍであり、ゲート電極用溝１８の底部１８ｃからフィン部１５の上部１５ａまでの高さが１０〜４０ｎｍである。 （もっと読む）

【課題】トランジスタに安定した電気的特性を付与し、信頼性の高い半導体装置を提供する。また、このような半導体装置を実現する酸化物材料を提供する。
【解決手段】それぞれ、ｃ軸配向し、ａｂ面、上面または被形成面に垂直な方向から見て少なくとも三角形状または六角形状の原子配列を有し、ｃ軸においては、金属原子が層状または金属原子と酸素原子とが層状に配列しており、Ｉｎ_２ＳｎＺｎ_２Ｏ_７（ＺｎＯ）_ｍ（ｍは０または自然数。）で表される、ａｂ面（または上面または被形成面）においては、ａ軸またはｂ軸の向きが異なる二種以上の結晶部分を含む酸化物膜を用いる。 （もっと読む）

【課題】メモリセルが３次元的に積層された不揮発性半導体記憶装置を工程数の増大を抑制しながら製造可能な不揮発性半導体記憶装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１０１上にスペーサ膜１０４とチャネル半導体膜１０３とを交互に複数層積層させた積層構造を形成し、積層構造に第１の方向に延在するトレンチを形成する。ついで、トレンチからチャネル半導体膜１０３を第２の方向にリセスして空隙を形成し、空隙内のチャネル半導体膜１０３上にトンネル誘電体膜１０８を形成し、フローティングゲート電極膜１０９を埋め込む。その後、第１の方向に隣接するメモリセル間でフローティングゲート電極膜１０９が分離され、チャネル半導体膜１０３が分離されないように、積層構造を第１の方向に所定の間隔で分割する。また、第２の方向に隣接するメモリセル間でチャネル半導体膜１０３が分離されるように、積層構造を第２の方向に所定の間隔で分割する。 （もっと読む）

【課題】微細配線を簡易に低抵抗化する。
【解決手段】実施形態に係わる半導体装置は、第１の方向に積み重ねられる第１乃至第３の半導体層3a,3b,3cを有し、第２の方向に延びるフィン型積層構造を有する。第１のレイヤーセレクトトランジスタTaは、第１のゲート電極10aを有し、第１の半導体層3aでノーマリオン状態である。第２のレイヤーセレクトトランジスタTbは、第２のゲート電極10bを有し、第２の半導体層3bでノーマリオン状態である。第３のレイヤーセレクトトランジスタTcは、第３のゲート電極10cを有し、第３の半導体層3cでノーマリオン状態である。第１の半導体層3aのうちの第１のゲート電極10aにより覆われた領域、第２の半導体層3bのうちの第２のゲート電極10bにより覆われた領域及び第３の半導体層3cのうちの第３のゲート電極10cにより覆われた領域は、それぞれ金属シリサイド化される。 （もっと読む）

【課題】隣接するメモリセル間およびメモリセルと選択トランジスタとの間に間隙を設け
つつ、選択トランジスタおよび周辺回路における短絡を抑制する。
【解決手段】本実施形態による半導体記憶装置は、ゲートを有する複数のメモリセルが直
列に接続されたメモリセルストリングを備える。選択トランジスタが、メモリセルストリ
ングの一端にある端部メモリセルに接続されている。側壁膜が、端部メモリセルと選択ト
ランジスタとの間において、端部メモリセルのゲートの側面および選択トランジスタのゲ
ートの側面を被覆する。端部メモリセルの側壁膜と選択トランジスタの側壁膜との間に空
隙がある。 （もっと読む）

【課題】電力の供給がない状況でも記憶内容の保持が可能かつ、書き込み回数にも制限がない新たな構造の半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】第１のトランジスタのソースまたはドレインの一方が第２のトランジスタのソースまたはドレインの一方と接続し、第１のトランジスタのゲートが第３のトランジスタのソースまたはドレインの一方、およびキャパシタを構成する一対の容量電極の一方と接続し、第１のトランジスタのソースまたはドレインの他方および第３のトランジスタのソースまたはドレインの他方がビット線と接続し、第３のトランジスタのゲートがワード線と接続し、第２のトランジスタのゲートおよびソースまたはドレインの他方がソース線と接続し、キャパシタを構成する一対の容量電極の他方が共通配線と接続し、共通配線はＧＮＤに接続し、共通配線は上面から見て網状に設けられ、第３のトランジスタはその網の目に設けられる半導体記憶装置。 （もっと読む）

【課題】ワードライン間の素子分離を行い、メモリセルの微細化が可能な半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１０内に形成されたビットライン１４と、ビットライン１４上にビットライン１４の長手方向に連続して設けられた絶縁膜ライン１８と、ビットライン１４間の半導体基板１０上に設けられたゲート電極１６と、ゲート電極１６上に接して設けられ、ビットライン１４の幅方向に延在したワードライン２０と、ビットライン１４間でありワードライン２０間の半導体基板に形成されたトレンチ部２２と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】メモリセルが３次元的に積層された不揮発性半導体記憶装置で、メモリセルの投影面積を小さくすることができ、従来の平面型のフローティングゲート構造と類似の構造の不揮発性半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、不揮発性半導体記憶装置は、シート状のチャネル半導体膜１１１の高さ方向に複数のメモリセルＭＣを有するメモリストリングが基板上にほぼ垂直に配置される。フローティングゲート電極膜１０９は、第２の方向に延在し、トンネル誘電体膜１１０を介してチャネル半導体膜１１１の第１の主面上に形成される。制御ゲート電極膜１０３は、第１の方向に延在する共通接続部１０３１と、共通接続部１０３１から第２の方向に突出し、フローティングゲート電極膜１０９の上部または下部に電極間絶縁膜１０８を介してメモリセルＭＣごとに設けられる電極構成部１０３２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】埋め込みビットライン型不揮発メモリの微細化に適した製造方法を提供し、かつコンタクトの位置ずれに起因するビットライン間ショートを生じ難い構造を提供する。
【解決手段】導電体膜が埋め込まれたシャロートレンチ溝内にビットライン拡散層を設けてＳＯＮＯＳ構造セルとする。これにより、ビットライン拡散層の半導体基板主面上での面積を大きくせずにビットライン拡散層の抵抗を低くすることができ、セル面積を増大させることなく安定した電気的特性の半導体記憶装置が得られる。また、Ｓｉ_３Ｎ_４のサイドウォールを設けてイオン注入することでビットラインを形成する。これにより、メモリセルの微細化が可能となる。 （もっと読む）