【課題】高耐圧で大きな電流駆動能力をもつＬＯＣＯＳオフセット型ＭＯＳ型電界効果トランジスタを提供する。
【解決手段】ＬＯＣＯＳオフセット型ＭＯＳ型電界効果トランジスタのドレイン側のオフセット領域に、ＬＯＣＯＳ酸化膜を伴うＮ型第１低濃度ドレインオフセット領域５と、ＬＯＣＯＳ酸化膜を伴わないＮ型第２低濃度ドレインオフセット領域６を設け、共にゲート電極で覆うように設けたので、Ｎ型第１低濃度ドレインオフセット領域５でオフセット領域にかかる電界を緩和し高耐圧を得て、Ｎ型第２低濃度ドレインオフセット領域６でオフセット領域のキャリアを増加させ大きな電流駆動能力を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】短チャネル化を可能とし、オン抵抗と寄生容量の低減を図った絶縁ゲート型炭化珪素ラテラル電界効果トランジスタを提供する。
【解決手段】ドリフト領域(５)表面の一部に電界緩和領域(９)を設け、ソース領域(３)とドリフト領域(５)との間に凹部(リセス)(８)を形成したリセスゲート構造を有し、凹部(リセス)(８)底面の両端部近傍にソース領域(３)、ドリフト領域(５)の薄い領域(３a、５a)を設ける。 （もっと読む）

【課題】短ゲート(チャネル)化しても短チャネル効果を抑制し、オン抵抗の低いＳｉＣ ＭＩＳＦＥＴを得る。
【解決手段】一導電型のＳｉＣ半導体領域(２)内にソース、ドレイン領域(３、４)を形成し、ソース、ドレイン領域で挟まれたＳｉＣ半導体領域部分に形成され、ソース、ドレイン領域に接する二つの側面と両側面を接続する底面とからなる所定深さの凹部(リセス)(５)を形成し、凹部底面の両端近傍に隣接するソース、ドレイン領域の一部(３a、４a)を他の部分より薄くしたＳｉＣ ＭＩＳＦＥＴ。 （もっと読む）

【課題】例えば大きな電荷キャリア移動度を有する半導体装置を製作する方法を提供する。
【解決手段】複数の積層された層群を有する超格子を形成するステップによって、半導体装置を製作する方法である。また当該方法は、前記超格子を通って、前記積層された層群と平行な方向に、電荷キャリアの輸送が生じる領域を形成するステップを有する。超格子の各層群は、基本半導体部分を定形する複数の積層された基本半導体分子層と、該基本半導体部分上のエネルギーバンド調整層と、を有する。前記エネルギーバンド調整層は、基本半導体部分に隣接する結晶格子内に取りこまれた、少なくとも一つの非半導体分子層を有し、前記超格子は、超格子が存在しない場合に比べて、前記平行な方向において大きな電荷キャリア移動度を有する。また前記超格子は、共通のエネルギーバンド構造を有しても良い。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＳトランジスタの高耐圧化、オン抵抗の低減、ＨＣＩ耐性の向上、及びデザインルールの縮小を実現する。
【解決手段】ＭＯＳトランジスタのドレインは、チャネル長方向で一端がＰ型低濃度ウェル３内に配置され、他端がＰ型ウェル５内に配置されたＮ型低濃度ドレイン７と、低濃度ウェル３上の低濃度ドレイン７内に低濃度ドレイン７の端部とは間隔をもって配置されたＮ型高濃度ドレイン９からなる。ソースは、チャネル長方向で一端が低濃度ドレイン７とは間隔をもって低濃度ウェル３内に配置され、他端がウェル５内に配置されたＮ型高濃度ソース１１と、低濃度ウェル３内で高濃度ソース１１に隣接し、低濃度ドレイン７とは間隔をもって配置されたＮ型低濃度ソース１３からなる。ゲート電極１９は、高濃度ドレイン９−低濃度ソース１３間の低濃度ウェル３上及び低濃度ドレイン７上に高濃度ドレイン９とは間隔をもって配置されている。 （もっと読む）

【課題】 半導体装置の製造方法に関し、シリサイドを構成する金属のサイドウォールの直下への潜り込みの影響を低減する。
【解決手段】 シリコン基板上にゲート電極を形成する工程と、ゲート電極の側壁に、第１絶縁膜による第１サイドウォールと、第１サイドウォール上にあって、第１絶縁膜とはエッチング特性の異なる第２絶縁膜による第２サイドウォールを形成する工程と、シリコン基板および第２サイドウォールを含む表面に金属をスパッタリングにより堆積させ、金属の一部をシリコン基板に侵入させる工程と、シリコン基板上に堆積した金属を除去する工程と、金属の除去工程の後に熱処理を行って、スパッタリングによってシリコン基板に侵入した金属とシリコン基板中のシリコン原子とを反応させてシリサイド層を形成する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な手順で、高誘電率ゲート絶縁膜とメタルゲート電極とのゲートスタック構造を有する相補型トランジスタの閾値を調整する。
【解決手段】相補型トランジスタの第１導電型のトランジスタ（１６２）の閾値電圧を変化させる第１の調整用金属を第１導電型のトランジスタ（１６２）および第２導電型のトランジスタ（１６０）に同時に添加し、第２導電型のトランジスタ（１６０）のメタルゲート電極（１１０ａ）上から第１の調整用金属の拡散を抑制する拡散抑制元素を添加する。 （もっと読む）

【課題】デュアルゲート不純物ドーピング方法及びこれを用いたデュアルゲート形成方法を提供する。
【解決手段】デュアルゲート不純物ドーピング方法は、第１領域及び第２領域を有する半導体基板上のゲート導電膜に第１導電型の不純物イオンをドープする段階であって、ゲート導電膜の下部よりも上部における不純物ドーピング濃度がより高い濃度勾配でドープする段階と、第２領域のゲート導電膜をオープンさせるマスクを用いて第２領域のゲート導電膜に第２導電型の不純物イオンをドープする段階と、熱処理を行い、第１導電型及び第２導電型の不純物イオンを拡散させる段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】大電流を安定して継続的に流すことができる電界効果トランジスタを提供する。
【解決手段】電界効果トランジスタ１０は、III族窒化物半導体から成る半導体活性層１３の表面領域に形成されたソース１８ｓ及びドレイン１８ｄと、半導体活性層１３上にゲート酸化膜１４を介して形成されたゲート電極１５と、ゲート電極１５とドレイン１８ｄの間の半導体活性層１３上に形成されたパッシべーション膜２０とを備える。電界効果トランジスタ１０では、パッシベーション膜２０を構成する二酸化シリコンの膜質が、ゲート酸化膜１４を構成する二酸化シリコンの膜質よりも密度が粗である。 （もっと読む）

【課題】 ノーマリーオフ動作、高耐圧、大電流を実現する電界効果トランジスタを提供する。
【解決手段】 電界効果トランジスタの下面または上面にボディ電極８を設ける。下面にボディ電極８を設ける場合、ｐ型Ｓｉ基板２上にＡｌＮ層３１およびＧａＮ層３２の繰り返しによるバッファ層３を介してｐ−ＧａＮ層４を設け、バッファ層３の最上層のＡｌＮ層３１を薄くし、ｐ型Ｓｉ基板の下面にボディ電極８を形成する。上面にボディ電極８を設ける場合、サファイア基板２１上にｐ−ＧａＮ層４を設け、ソース電極５およびドレイン電極６下の部分にＡｌＧａＮ層１３を設け、ＡｌＧａＮ層１３上にボディ電極８を設ける。アバランシェにより生じる正孔２０をボディ電極８より引き抜く。 （もっと読む）

【課題】素子サイズの拡大を伴うことなくゲート−ドレイン間（又はゲートソース間）耐圧を確保できる半導体装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】基板表面のドレイン側又はソース側の少なくとも一方にＬＯＣＯＳ膜を形成する工程と、基板表面に、ＬＯＣＯＳ膜に接続されたゲート酸化膜を形成する工程と、ゲート酸化膜とＬＯＣＯＳ膜を覆う導電膜の形成工程と、導電膜の端部がＬＯＣＯＳ膜の上に位置するように導電膜をエッチングするゲート電極の形成工程と、ゲート電極の端部とエッチング端面が揃うようにＬＯＣＯＳ膜とゲート酸化膜をエッチングして、基板表面のＬＯＣＯＳ膜を除去した部分に凹部を形成する工程と、ゲート電極の側壁を覆い、その底面が凹部の底面と接するようにサイドウォールスペーサを形成する工程と、基板表面のゲート電極とサイドウォールスペーサを挟む位置に不純物を添加して、ドレイン及びソース領域の形成工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】配線層に銅配線を使用する半導体装置において、半導体基板の裏面に付着した銅原子が半導体基板の裏面から内部へと拡散することを抑制し、半導体基板の主面に形成されているＭＩＳＦＥＴなどの半導体素子の特性劣化を抑制できる技術を提供する。
【解決手段】半導体基板１Ｓの主面に形成される銅拡散防止膜を銅拡散防止膜ＤＣＦ１ａとし、半導体基板１Ｓの裏面に形成される銅拡散防止膜を銅拡散防止膜ＤＣＦ１ｂとする。本実施の形態１の特徴は、半導体基板１Ｓの裏面に銅拡散防止膜ＤＣＦ１ｂを形成する点にある。このように、銅配線の形成工程の前に、半導体基板１Ｓの裏面に銅拡散防止膜ＤＣＦ１ｂを形成することにより、半導体基板１Ｓの裏面から銅原子（銅化合物を含む）が拡散することを防止できる。 （もっと読む）

開示の実施形態は、ＭＯＳチャネル領域に一軸性歪みを与える金属ソース／ドレイン及びコンフォーマル再成長ソース／ドレインを備えた、歪みトランジスタ量子井戸（ＱＷ）チャネル領域を含む。チャネル層の除去された部分が、チャネル材料の格子間隔とは異なる格子間隔を有するジャンクション材料で充填されることで、量子井戸の頂部バリア層及び底部バッファ層によってチャネル層に発生される二軸性歪みに加えて、一軸性歪みがチャネルに発生される。
（もっと読む）

【課題】従来の同一サイズの半導体装置と比較してゲート耐圧を向上させるとともに、素子分離層をバーズビークを含まない構造とすることにより素子分割領域の面積を縮小し、素子の微細化を図ることができる半導体装置および半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板表面に素子形成領域から素子分割領域に亘って延在するＬＯＣＯＳ膜を形成する。素子形成領域内の半導体基板上にＬＯＣＯＳ膜に接続されたゲート酸化膜を形成する。ＬＯＣＯＳ膜およびゲート酸化膜を覆うように導電膜を形成する。導電膜を部分的にエッチングしてゲート酸化膜およびＬＯＣＯＳ膜の一部を覆うゲート電極を形成する。導電膜のエッチングによって露出したＬＯＣＯＳ膜を部分的にエッチングしてＬＯＣＯＳ膜を素子分離層とゲート酸化膜の端部を構成する高膜厚部とに分割する。ＬＯＣＯＳ膜のエッチングによって露出した半導体基板の表面にイオン注入を行ってゲート電極を挟む位置にドレイン領域およびソース領域を形成する。 （もっと読む）

【課題】絶縁ゲート型半導体装置において、ゲートパッド部の下方に保護ダイオードが配置されるためトランジスタセルが配置できず、チップ上の無効領域となっていた。またソース電極層はゲートパッド部を除いて配置され、素子領域の端部のセルではソースパッド部からゲートパッド部を迂回するように電流経路が形成される領域があった。
【解決手段】電極構造を２層とし、ゲートパッド部の少なくとも一部に保護ダイオードとの非重畳領域を形成する。２層目のゲート電極層は一部が１層目のゲート電極層と重畳し、これを介して保護ダイオードおよびゲート電極と接続する。非重畳領域下方にセルおよび１層目のソース電極層を配置できるので、ゲートパッド部下方の無効領域を従来と比較して大幅に低減でき、ソース電極層内を基板の水平方向に流れる電流について、全てのセルがソースパッド部から最短距離の電流経路となる。 （もっと読む）

【課題】絶縁ゲート型半導体装置において、ゲートパッド部の下方に保護ダイオードが配置されるためトランジスタセルが配置できず、チップ上の無効領域となっていた。またソース電極層はゲートパッド部を除いて配置され、素子領域の端部のセルではソースパッド部からゲートパッド部を迂回するように電流経路が形成される領域があった。
【解決手段】電極構造を２層とし、ゲートパッド部の少なくとも一部に保護ダイオードとの非重畳領域を形成する。非重畳領域下方にセルおよび１層目のソース電極層を配置でき、ソース電極層内の抵抗の偏りを小さくできる。更に、ゲートパッド部から保護ダイオードまでの距離が、ソースパッド部から保護ダイオードまでの距離より小さくなる位置に保護ダイオードを配置する。これにより効率的にトランジスタ動作を行える素子領域を大きく確保でき、且つ配線部下方の第１ソース電極層抵抗を低減できる。 （もっと読む）

【課題】絶縁ゲート型半導体装置において、ゲートパッド部の下方にはトランジスタセルが配置できず、チップ上の無効領域となっていた。またソース電極層はゲートパッド部を除いて配置され、ソース電極層を基板水平方向に流れる電流の経路において、素子領域内で抵抗の偏りが発生する問題もあった。
【解決手段】電極構造を２層とし、２層目のゲート電極層（ゲートパッド部）の下方にトランジスタセルおよび１層目のソース電極層を配置する。２層目のゲート電極層は一部が１層目のゲート電極層と重畳し、これを介してゲート電極と接続する。ゲートパッド部下方にセルおよび１層目のソース電極層を配置できるので、ゲートパッド部下方の無効領域を従来と比較して大幅に低減できる。またソース電極層内を基板の水平方向に流れる電流について、全てのセルがソースパッド部から最短距離の電流経路となる。 （もっと読む）

【課題】洗浄工程で活性領域が倒れたり、変形したりするのを防いだ電界効果トランジスタを提供する。
【解決手段】半導体基板の表面に、ＦＥＴの動作時にチャネルが発生する部位を含む４つの柱状活性領域を有し、各々の柱状活性領域は梁フィールド酸化膜８により分離され、各々の柱状活性領域の側面に接するようにゲート絶縁膜１０を介してゲート電極１１ａおよび１１ｂが設けられ、柱状活性領域の上面にはドレイン電極に相当する上部拡散層１４ｄと、シリコン基板１の表面にソース電極に相当する下部拡散層９ａ、９ｂ、９ｃおよび９ｄとが設けられた構成である。 （もっと読む）

【課題】高駆動能力をもった厚いゲート膜を有する高耐圧MOSトランジスタを有する半導体装置を提供する。
【解決手段】高耐圧を有するLOCOSオフセットMOS型トランジスタにおいて、第２導電型高濃度ソース領域４と第２導電型高濃度ドレイン領域５を形成する際に、ポリシリコンゲート電極をマスクにしてゲート酸化膜を除去しても、チャネル形成領域７上のゲート酸化膜６はエッチングされないように、ソース側にもソースフィールド酸化膜１４を設け、第２導電型高濃度ソースフィールド領域１３の距離を最適化したことで、高駆動能力をもった厚いゲート膜を有する高耐圧MOSトランジスタを得ることが出来る。 （もっと読む）

【課題】オン抵抗が低く、耐圧性及びチャネル移動度が高い電界効果トランジスタ及び電界効果トランジスタの製造方法を提供すること。
【解決手段】ＭＯＳ構造を有し、窒化化合物半導体からなる電界効果トランジスタであって、基板上に形成されたｉ型または所定の導電型を有する半導体層と、エピタキシャル成長によって半導体層とソース電極およびドレイン電極のそれぞれとの間に形成された、所定の導電型とは反対の導電型を有するコンタクト層と、エピタキシャル成長によってドレイン電極側のコンタクト層と半導体層との間にゲート電極と重畳するように形成された、所定の導電型とは反対の導電型を有するとともに該コンタクト層よりもキャリア濃度が低い電界緩和層と、エピタキシャル成長によって半導体層上の電界緩和層に隣接する領域に形成された、ｉ型または所定の導電型を有する媒介層と、媒介層上に形成したゲート絶縁膜と、を備える。 （もっと読む）