【課題】圧力調整弁の二次側圧力の変動を低減して、流量制御機器から排出するガス流量を高精度に検定でき、測定用タンク内の圧力降下率を一定に維持する。
【解決手段】プロセスガス供給源からのガスを第１ライン遮断弁２２と第２ライン遮断弁２３と流量制御機器２４とを経由しプロセスチャンバに供給する複数のプロセスガスライン２と、共用ガス供給源からのガスを第２ライン遮断弁２３と流量制御機器２４とを経由し排出すべく、分岐接続された共用ガスライン１とを有し、共用ガスライン１には、共用遮断弁１２と測定用タンク１３と第１圧力センサ１４１と圧力調整弁１５とを備え、第１ライン遮断弁２２及び共用遮断弁１２を弁閉したとき、測定用タンク１３内におけるガスの圧力降下を第１圧力センサ１４１により測定し流量制御機器２４の流量検定を行うガス流量検定システムにおいて、圧力調整弁１５は、該圧力調整弁１５の二次側圧力を制御する。 （もっと読む）

【課題】格段に優れた応答性を得ることができてガス濃度の安定化が図れ、しかも、従来のパネル型形状をそのまま維持できる集積型ガスパネル装置を提供する。
【解決手段】集積型ガスパネル装置１のパネル体２を、少なくとも主流路Ｒ２を形成する主流路用ブロック体３２と、枝流路Ｒ１を形成する枝流路用ブロック体３１とからなるものにし、その主流路用ブロック体３２を中心として左右両側に対向するように前記枝流路用ブロック体３１を配置する。 （もっと読む）

【課題】応答性の良い流量制御を、容易な設定で実現する。
【解決手段】流量制御装置１００において、コンパレータ４０は、流量の指令値信号Ｖｉ１と、センサ出力信号Ｖｓに応じた信号Ｖｉ２との比較に基づき第１の制御電圧Ｖｒｅｆを出力する。フィードバック電流生成部３０は、センサ出力信号Ｖｓと、指令値信号Ｖｉ１に応じた信号Ｖｉ２と、の差に応じたフィードバック電流Ｉｆｂを生成する。フィードバック電圧生成部５０は抵抗器である。フィードフォワード電流生成部２０は、指令値信号Ｖｉ１に応じてフィードフォワード電流Ｉｆｆを生成する。合成部６０は、フィードバック電流Ｉｆｂとフィードフォワード電流Ｉｆｆの和に応じた電圧をフィードバック電圧Ｖｆｂに加算した電圧である第２の制御電圧Ｖｄｒｖ＊を生成する。弁部９０は、第１の制御電圧Ｖｒｅｆと第２の制御電圧Ｖｄｒｖ＊に応じて制御される、流量制御装置。 （もっと読む）

【課題】単位時間内に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の供給量を精度よく管理することができる供給量管理システムを提供する。
【解決手段】供給量管理システム１は、プラント内において、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の供給量を管理するシステムであり、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物の流量を連続的に計測する流量計測部２と、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の濃度を連続的に計測する濃度計測部３と、流量計測部２によって計測されるＣ４混合物の流量データ及び濃度計測部３によって計測されるＣ４混合物に含まれる有効成分の濃度データを用いて、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に単位時間内に供給される有効成分の供給量を算出する算出部７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】流れ特性を変更可能なスクリーンノズルを提供する。
【解決手段】可変流量制御ノズル５０は、頭部５２、筒部５４およびバルブ５６を備えている。頭部は、開口部２２に隣接して配置され、頭部の内部に流入し流出する流体流れの通路のためのスクリーン６０を有している。筒部は、頭部から開口部を通って延び、そこに頭部を固定している。筒部の流路は、頭部の内部と開口部の反対側とを連絡している。通路に配置されたバルブは、通路から頭部の内部への第１の流体流れを許容する第１の状態と、内部から通路への第２の流体流れを許容する第２の状態とを有する。第２の流体流れは、第１の流体流れよりも大きくし得る。筒部は、互いが異なる内径を有する第１および第２の筒部材７０，８０を備えていてよく、バルブは、筒部材内の位置間で移動可能なボール９０を使用することができる。 （もっと読む）

【課題】１基の流量制御装置によってより広い流量域の流体の高精度な流量制御を可能とすることにより、流量制御装置の小型化と設備費の削減を図る。
【解決手段】オリフィス上流側圧力Ｐ_１及びオリフィス下流側圧力の少なくともオリフィス上流側圧力Ｐ_１を用い、オリフィスを流通する流体の流量を演算するようにした圧力式流量制御装置において、当該圧力式流量制御装置の第一のバルブ２の下流側と流体供給用管路５との間の流体通路を二つの並列状の流体通路とすると共に、一方の流体通路５cには第二のバルブ３４と第一のオリフィス８cを設け、他方の流体通路５gにはバルブを設けずに第二のオリフィス８aを設け、前記一方の流体通路５cは、前記第二のバルブ３４の開閉によって制御され、前記第一のオリフィス８cへ大流量域の流体を流通させ、前記他方の流体通路５gは常時連通され、前記第二のオリフィス８aへ小流量域の流体を流通させる構成とした。 （もっと読む）

【課題】原料補給時もフィードバック制御ができるようにして精密な定量供給ができるようにする
【解決手段】スクリュー式フィーダー１０のスクリュー１１を備えた供給円筒１２に検出区域１３を設定し、前記検出区域１３を挟んでγ線密度計１４のγ線源１４ａと検出器１４ｂを対向させて設ける。そして、筒状の検出区域１３を透過する際のγ線の減衰量を検出器１４ｂで測定し、その測定値から検出区域１３を移送される原料の密度を算出して、その算出した密度に基づいて原料の移送速度あるいは原料の単位時間当たりの移送量を制御し、下流側に設けた排出口からの切り出し量を一定にする。このように、移送路を移送される原料の密度を常時測定して切り出し量を一定にするので、原料補給時の原料の増加に無関係にフィードバック制御できる。 （もっと読む）

【課題】制限フロー構成要素によって生成される圧力低下に基づいて、フロー速度を測定するための流体フロー測定および制御デバイスを提供する。
【解決手段】本発明のデバイスは、流体入り口および流体出口を有する比例フローバルブ１０、ならびにこの比例バルブ１０を調節するためのアクチュエータ１７を備える。この制限フロー要素１５は、この比例フローバルブ１０と連絡状態にある流体入り口および流体出口を備え、制限フロー構成要素の流体入り口と出口との間での圧力低下を生成する。このデバイスはまた、圧力低下を測定するための手段２４，２５、圧力低下に基づいてフロー速度を計算するための手段１６、ならびに測定された圧力低下に応じて比例フローバルブ１０を通じて流体のフローを制御するために圧力低下測定手段２４，２５、およびアクチュエータ１７と連絡する制御手段（示さず）を備える。 （もっと読む）

【課題】熱交換ネットワークにおける熱回収を最大にする。
【解決手段】方法及びシステムは、多数の並列経路を有する熱交換器ネットワークからオンライン・プロセス・データを収集することを含む。オンライン・プロセス・データは、経路の低温プロセスストリーム出口温度から生成される。ストリームの流量目標値は、オンライン・プロセス・データに基づいて開発され、各々の低温プロセスストリーム出口温度の等化のために意図された各熱交換器を通る流量を含む。熱交換器ネットワークの１つ又はそれ以上の低温ストリーム流量制御バルブ及び熱交換器ネットワークの１つ又はそれ以上のプロセスストリーム流量制御バルブが、低温プロセスストリーム出口温度の等化をもたらすように流量目標値に基づいて制御される。 （もっと読む）

流量制御デバイスが開示される。流量制御デバイスは、アーマチュアを含むソレノイドを含む。同様に、アーマチュアにはピストンが接続される。ピストンは一次オリフィスを含む。ピストンは開放位置および閉鎖位置を有する。ピストンに接続されるピストンばねが同様におよび少なくとも１つの二次オリフィスを含む。ピストンの、開放位置への運動は少なくとも１つの二次オリフィスを少なくとも部分的に開放し、ピストンの、閉鎖位置への運動は少なくとも１つの二次オリフィスを少なくとも部分的に閉鎖する。アーマチュアの運動はピストンの運動を作動させ、一次オリフィスから少なくとも１つの二次オリフィスを通じた流体の流れを制御する。 （もっと読む）

【課題】ガス種等の試料流体の変更にも特別な手間を必要とせずに柔軟に対応することができ、しかも、精度良く流量を測定することができるといった、優れたマスフローメータ等を提供する。
【解決手段】流路１を流れる試料流体Ｇの流量を検知するセンサ部２と、流体ごとに定められ、前記センサ部２からの出力値に基づいて流量を定めるための流量特性関数であって、指定された試料流体に固有の流量特性関数Ｋと、その流量特性関数とは独立した、複数の試料流体に対して共通のパラメータであり、マスフローメータごとの器差を補正するための器差補正パラメータαとを設定する設定部４ｃと、前記流量特性関数Ｋと前記器差補正パラメータαとに基づいて、前記試料流体Ｇの流量を算出する流量算出部４ｄとを具備するように構成した。 （もっと読む）

【課題】常に安定で再現性のよい流量制御装置及び前記制御装置を備えたプロセス装置を提供する。
【解決手段】反応容器に反応ガスを供給する配管に流量制限器３６を備え、配管の流量制限器３６の上流側に可変コンダクタンスバルブ３２、配管の流量制限器３６の下流側に可変コンダクタンスバルブ３３を備える。流量制限器３６と可変コンダクタンスバルブ３２間の圧力と流量制限器３６と可変コンダクタンスバルブ３３間の圧力に基づいて、可変コンダクタンスバルブ３２と可変コンダクタンスバルブ３３を制御するバルブ制御装置３８を備える。バルブ制御装置３８は、流量制限器３６と可変コンダクタンスバルブ３３間の圧力が一定となるように、可変コンダクタンスバルブ３３を制御し、配管に予め設定した流量の反応ガスが流れるように可変コンダクタンスバルブ３２を制御する。 （もっと読む）

【課題】凝固物等がオリフィスに付着した詰まりの状態を自動的に検出し、流量測定に誤差を生じる状態で流量制御が継続されることを防止した流量コントローラを提供する。
【解決手段】流量コントローラ１０は、流体主流路の直管部１に設けた一対の圧力センサ２１，２２間にオリフィス２３が配設され、圧力センサ２１，２２で検出した二つの圧力値により得られる差圧を流量に換算して流量測定を行う差圧式流量計２０と、流体主流路に設けられ、差圧式流量計２０の流量測定値と予め定めた設定流量値との差が所定の範囲内に入るよう開度制御される流量調整弁３０と、圧力センサ２１，２２で検出した圧力値の入力を受けて流量調整弁３０の開度制御を行う制御部４０とを備え、制御部４０は、設定流量値と差圧式流量計２０の流量測定値とを比較し、所定値以上の流量差が所定時間継続した場合にオリフィス２３の詰まり異常と判断する。 （もっと読む）

【課題】一方の圧力センサの環境温度と、他方の圧力センサの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができ、正確で安定した圧力測定を行うことができる差圧式流量計を提供するとともに、この差圧式流量計を用いた流量コントローラを提供すること。
【解決手段】圧力測定を行う流体が流れる流体主流路１２が形成されたボディ２４と、前記流体主流路１２に対して直列に配置されるとともに、前記ボディ２４に保持される２つの圧力センサ２１Ａ，２１Ｂとを備え、前記２つの圧力センサ２１Ａ，２１Ｂの下方に位置する前記ボディ２４に形成された凹所内に、熱伝導性に優れた材料からなる温度バランサー２７が収容されている。 （もっと読む）

【課題】制御系の相互干渉を低減するとともに、容易に制御系の調整を行うことができるプラントワイド多変数連携非干渉制御方法を提供する。
【解決手段】原料から目的物を生産するプロセスの制御を可能とする相互に干渉する要素を有する複数の操作弁と、プロセスの状態を表す変数を検知し、検知した値に応じた信号を操作弁に与える制御部とを備え、制御部からの信号を受けた各操作弁の弁開度操作により、プロセスの状態を制御するプラントの制御方法において、制御部は、操作弁の弁開度と、その弁開度に応じて変化するプロセスの状態を表す変数との関係を、定常状態での方程式で構築し、当該方程式により操作弁ごとに導出した解析解式に基づいて、操作弁の目標の弁開度であるＣＶ値を算出し、検知した値に応じた操作弁の現状の弁開度であるＣＶ値を算出するとともに、２つのＣＶ値の偏差ｅを算出し、偏差ｅに基づいてプロセスの状態をフィードバック制御する。 （もっと読む）

本発明は、連結部を通る１つ以上の流入流と１つ以上の流出流との間で、連結部を通るガス流量を制御する方法及び装置に関する。本方法は、流入質量流量測定値の総計を流出質量流量測定値の総計と比較して、バイアス成分を加算して、バイアス質量流量不均衡値を供給することにより得られるバイアス質量流量不均衡値を使用する。流入流及び流出流（１２、１４、１６、１８、２０）のうちの少なくとも１つの流量は、バイアス質量流量不均衡値をゼロに向けて移動させるように調整される。更に、連結部圧力測定値（ＰＣ）が供給され、連結部圧力測定値（ＰＣ）は、圧力設定点（ＰＳＰ）からの連結部圧力測定値（ＰＣ）の変化に応答して、圧力設定点（ＰＳＰ）からの連結部圧力測定値（ＰＣ）の変化を軽減するようにバイアス成分を調整するために使用される。 （もっと読む）

【課題】質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および／動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成する方法を提供する。
【解決手段】さまざまな異なるタイプの流体および動作条件の下で一定の制御ループ利得を有するように質量流量コントローラを制御し、質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および／動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成するシステムおよび方法。さらに、このシステムおよび方法には、非動作信号をソレノイド作動装置に供給することによってソレノイド作動装置のヒステリシスの影響を減らすことによって制御を提供することが含まれる。 （もっと読む）

【課題】流量自己診断時における弁の閉止時間遅れを少なくすることによって、高精度な診断結果が得られるようにする。
【解決手段】予め測定して記憶した初期圧力降下特性データと，前記初期圧力降下特性の測定と同じ条件下で測定した流量診断時の圧力降下特性データとを対比し、両特性データの差異から流量制御の異常を検出するようにした流量自己診断機能を備えた圧力制御装置の圧力制御弁用ピエゾ素子駆動回路に於いて、ピエゾ素子への駆動用電圧の供給回路と並列に、圧力式流量制御装置の中央処理装置からの降圧指令信号によりピエゾ駆動素子に印加したピエゾ駆動電圧を降圧指令回路を通して緩慢に放電下降させる第１放電回路と、前記中央処理装置からの高速降圧指令信号により前記ピエゾ駆動素子に印加したピエゾ駆動電圧を高速降圧指令回路を通して急速に放電下降させる第２放電回路とを設ける。 （もっと読む）

提供される方法と装置は、ガス・フロー・コントローラを通過する流量を正確に測定するために、ガス・フロー・コントローラ（ＧＦＣ）の上流の圧力の低下率を用いる。今日、生産使用されている多くのガス・フロー・コントローラを通過するガス流の測定が、特殊で高機能な圧力調整器もしくはその他の特殊な構成要素を必要とすることなしに可能となる。提供される様々な施策等により、測定の最中もしくは後に生じる圧力変化により、テスト対象のガス・フロー・コントローラを通過するガスの一定の流れが乱されないようにすることができる。 （もっと読む）

材料放出システムの放出操作（例えば、実際の放出量）を測定し、確認するための放出確認メータ。この放出確認メータは好ましくは自動的にゼロオフセットドリフトを補正し、好ましくは十分に大きなサンプル率で放出された材料の流速をサンプルし、所望の放出操作がなされたか否かを確認する。 （もっと読む）