【課題】質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および／動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成する方法を提供する。
【解決手段】さまざまな異なるタイプの流体および動作条件の下で一定の制御ループ利得を有するように質量流量コントローラを制御し、質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および／動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成するシステムおよび方法。さらに、このシステムおよび方法には、非動作信号をソレノイド作動装置に供給することによってソレノイド作動装置のヒステリシスの影響を減らすことによって制御を提供することが含まれる。 （もっと読む）

流体の流量を制御するマスフローコントローラのための弁システムが開示される。弁システムは流体の流量を所望の設定点に調整するように開位置と閉位置との間を移動できる弁と、弁コントローラとを含む。弁コントローラは、流体の実際の測定された流量が所望の設定点に実質上等しくなるまで、流体の流量を調整するように弁を通る弁電流を送る。弁コントローラは、弁電流、及び、弁が閉位置へ移動しているときの流量を監視し、流体がほぼゼロの流量を有するときの弁電流の値を決定し、更新される弁クラッキング電流をほぼゼロの流量での弁電流の値に設定することにより、次の運転のための弁クラッキング電流を更新する。 （もっと読む）

【課題】刺激感応物質を制御流体に含有させ、該制御流体に瞬間的な刺激を与えることによって、該制御流体と合流させた被制御流体の流れを高速且つ高精度に制御する方法等を提供すること。
【解決手段】主流路と副流路に分岐した被制御流体流路を有するマイクロシステムにおいて被制御流体の流れを制御する方法であって、刺激感応物質を含む制御流体を合流させ、合流後に該被制御流体と並行する該制御流体に刺激を与えることによって主流路における被制御流体の流量を一時的に制御し、それによって該被制御流体の副流路における流量を間接的に制御する方法、及び該方法を用いるマイクロシステム。 （もっと読む）

低い流入圧力において広い流量検証範囲にわたって高い測定精度をもたらす高精度質量流量検証器（ＨＡＭＦＶ）が、流体送達デバイスによる流量測定値を検証するために開示される。ＨＡＭＦＶは、上流バルブを有する複数Ｎの流入口を画定するチャンバ、１つの下流バルブを有する１つの流出口、チャンバ内の流体圧力を測定するように構成される圧力センサ、およびチャンバ内の流体温度を測定するように構成される温度センサを備える。複数Ｎの臨界流ノズルが、対応する上流バルブに隣接して配設される。ＨＡＭＦＶは、所望の流量検証範囲および流体の種類に基づいて、対応する上流バルブを開き、他の全ての上流バルブを閉じることによって、複数Ｎの臨界流ノズルの１つを起動するように構成されるコントローラをさらに備える。複数Ｎの臨界流ノズルの少なくとも２つは、異なる断面積を有する。 （もっと読む）

本発明は、冶金炉の冷却要素(1)の個々の冷却要素流路(3)を流れる冷却液の温度、流量、または圧力などの物理量のうち少なくとも１つを計測する方法および装置に関する。本装置は、冷却液を分配して冷却要素(1)の冷却要素流路(3)に供給する供給母管(2)と、冷却液を冷却要素(1)の冷却要素流路(3)から回収して収容する回収母管(4)とを備える。本装置は測量ライン(5)を備え、測量ラインはバルブ機構(6)を介して少なくとも１つの冷却要素流路(3)に流体接続され、冷却液は測量ライン(5)を経由して回収母管(4)に案内されるか、または測量ライン(5)を経ずに回収母管(4)に案内される。測量ライン(5)は、測量ライン(5)を流れる冷却液の物理量のうちの少なくとも１つを計測し、また冷却要素流路(3)を計測する計測器(7)を少なくとも１つ含む。
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材料放出システムの放出操作（例えば、実際の放出量）を測定し、確認するための放出確認メータ。この放出確認メータは好ましくは自動的にゼロオフセットドリフトを補正し、好ましくは十分に大きなサンプル率で放出された材料の流速をサンプルし、所望の放出操作がなされたか否かを確認する。 （もっと読む）

【課題】操作者が直接開閉バルブを操作しなくても、自動で流体格納容器のバルブを操作可能にし、格納容器から排出される流体量を制御できる流量制御装置を提供する。
【解決手段】本発明の流量制御装置１００は、開閉バルブを備えた流体格納容器から排出される流量を制御する流量制御装置であって、回転アクチュエータ６０と、回転アクチュエータ６０の回転軸の回転角に応じた信号を発生する回転角検出ユニット７０と、回転アクチュエータ６０の回転軸に軸結合して回転し、流体格納容器の開閉バルブの開閉バルブつまみと分離可能に結合するバルブ開閉アーム１０と、流体格納容器に残存する流体の量による感知信号を受信して基準回転角を算出し、回転角検出ユニット７０の信号を入力して実際回転角を検出し、前記基準回転角と実際回転角の誤差を補正するように回転アクチュエータ６０を駆動させる制御ユニットと、を含むことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】流量の計測条件、及び計測条件の設定値の確認が容易な流量計を提供する。
【解決手段】気体又は液体等の流体が流れる流路１１が設けられた流路保持体１０と、流路１１を流れる流体の流量を計測する流量計測部３０１と、流量の計測条件の表示の要求、及び流量の計測条件の設定値の入力を受け付けるインタフェース３５０と、表示の要求が受け付けられた場合、計測条件及び設定値を同時に表示し、設定値の入力が受け付けられた場合、計測条件の表示を消去し、入力された設定値を表示する表示装置３５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】圧力補償型流量制御弁において、上流圧力が急上昇したときの流量のオーバシュートを抑制する。
【解決手段】流入口側に第一の可変オリフィス１１を、流出口側に第二の可変オリフィス１５を備え、上流の流体圧力が上昇したときに流入する流体圧力によりスプール３が初期位置から変位するのに伴って第一の可変オリフィス１１が開度を徐々に減少させる一方、第二の可変オリフィス１５が開度を徐々に増大させるようにした。予め流出口側のオリフィス１５の開度を絞っているため、上流の圧力上昇が急峻であっても所定量以上の流体が下流に流出してしまうことはない。
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復帰部材と、バルブステム延長部と、エネルギー蓄積部材と、ロックアセンブリとを有するフェイルセーフ機構である。バルブステム延長部は、電気アクチュエータによって駆動されるとともに、復帰部材を第１の方向に駆動し、かつ復帰部材によって第２の方向に駆動されるように構成される。エネルギー蓄積部材は、電気アクチュエータがバルブステム延長部に復帰部材を第１の方向に駆動させるときにエネルギーを蓄積し、また電力の遮断により復帰部材がバルブステム延長部を第２の方向に駆動させるときに、蓄積されたエネルギーを解放するように構成されている。ロックアセンブリは、電気アクチュエータに電力が供給されている間、バルブステム延長部が復帰部材からは独立して、かつエネルギー蓄積部材からの影響もなくバルブとともに回転するように、復帰部材をコック位置に保持するように構成される。
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【課題】柔軟、正確、かつ汚染の無いリアルタイムの連続混合システム、また、適切な混合および処理ツールへの正確な流体流量を確実にするための正確な圧力制御を提供する。
【解決手段】流量制御装置と、流量制御装置１１０と流体連通しているコリオリ質量流量計１１２とを含む流体供給システムである。コリオリ流量計は、ＰＦＡのような高純度プラスティック材料で作製されたフローチューブを有し、供給システムを高純度用途に適したものにする。コントローラ１１４は、ピンチバルブ１２０を含むことが可能な流量制御装置１１０に制御出力信号を供給し、設定点信号および流量計１１２から受け取った測定値信号に応答して、流量制御装置の出力を変化させる。 （もっと読む）

【課題】圧力変化による流体の変化量を低減させることを可能とする流体制御装置を実現する。
【解決手段】流体の微小流量を制御する流体制御装置において、膜により区切られた第１及び第２の微小流路を有するマイクロチップと、前記第１の微小流路を介して流入される流体を前記第２の微小流路に流出させると共に圧力損失を発生させる圧力損失発生部とを備え、前記膜が、前記流体に発生した前記圧力損失に応じて前記第１及び第２の微小流路の断面積をそれぞれ変化させる。 （もっと読む）

流れ制御室と、ディフューザと、固定長さ止栓とを備える流れ制御装置を提供する。固定長さ止栓は、軸と、栓とを備える。軸は、その長手方向軸に沿って圧縮することができる。流れ制御装置は、流れ制御部本体に取外し可能に取り付けられたインターフェースをさらに備える。固定長さ止栓の固定部分が、インターフェースに取り付けられている。流れ制御装置は、複数の所定の長さを有する複数の固定長さ止栓をさらに備える。装着されると、固定長さ止栓のそれぞれが、流れ制御室を通過する流体にある流速を生じさせるためにディフューザに所定の距離だけ入った状態で位置決めされる。固定長さ止栓は、所定の長さに従って色分けされている。 （もっと読む）

【課題】 定期的な再校正を必要としない液体量の供給と液体流速の両方を測定及び制御する方法が必要である。
【解決手段】 ある1種類の液体を特定量だけ又は一定流速で供給する方法が開示されている。本発明の一の態様によると、吸入口と排出口との間での高低差は、調節可能な管集合体によって維持される。オーバーフロー集合体が供されることで、如何なるあふれ出た液体も容器へは入り込まず、かつ液体は特定のレベルに維持される。バルブは吸入口に供される。かつバルブは、オーバーフロー集合体内で液体があふれ出ていることをセンサが検知するときには閉じることができる。 （もっと読む）

【課題】プロセス流体の流れを受け取る流体入口および複数の流体出口を含む流体流れ制御システム。
【解決手段】複数の流体出口に、第１流体出口と少なくとも１つの第２流体出口が含まれる。第１流体出口は、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給し、少なくとも１つの第２流体出口は、プロセス流体の流れの残りの部分を供給する。１実施形態では、制御システムに、圧力変換器、第１乗算器、第２乗算器、第１フローコントローラ、および第２フローコントローラが含まれる。第１乗算器は、圧力変換器から受け取る圧力信号に、第１セットポイントをかけて、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給する第１フローコントローラを制御する。第２乗算器は、圧力信号に第２セットポイントをかけて、残りの部分を供給する第２フローコントローラを制御する。 （もっと読む）

【課題】管路内を流れる流体の簡易でかつ正確な流量調整を行うことのできる可変オリフィス装置を提供すること。
【解決手段】この可変オリフィス装置では、流体管路ｐ１，ｐ２のフランジ１とフランジ２の間に、固定オリフィス３を配置し、他方隣接して管路中心に回転可能な可動オリフィス４を配置する。各オリフィス３，４には各々少なくとも１つ以上の孔１１，１２があらかじめ設けられており、可動オリフィス４の鍔部に設けられた穴５に用具棒６を挿入し、管路円周方向に回転させることにより、両オリフィス３，４を貫通する孔の形状あるいは大きさを変えることができるようになっている。 （もっと読む）

流動体流動調節装置が開示される。この装置は、弁座（１６８）へ力を配する変形可能な弁部材（１６４）を含み、当該弁部材が害されることを防いでいる。 （もっと読む）

本開示は、フローレギュレータを用いて、冷却板などの複数のヒートシンクを通して冷却流体を調節し分配するシステムおよび方法を提供し、フローレギュレータはオリフィス上流の流量のばらつきに関係なく個々の冷却板によって必要とされる流量をさらに分配し得る１つまたは複数の個々のオリフィスとともに総流量を設定する。オリフィスはオリフィスを支持する本体を含むオリフィスホルダーに結合することができ、冷却板の入口に結合（直接的または間接的に）されてもよい。一般に、フローレギュレータは、冷却流体が流れる複数のオリフィスおよび管路と結合される。関係するシステム構成部品は、モジュールとして組み立てられて、ポンプ、コンプレッサ、またはその他の冷却流体用圧力源など、他のシステム構成部品を含む冷却システムの中に設置され得る。
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【課題】正確な量の１つまたは複数の流体を提供する。
【解決手段】複数の流体出口に、第１流体出口と少なくとも１つの第２流体出口が含まれる。第１流体出口は、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給し、少なくとも１つの第２流体出口は、プロセス流体の流れの残りの部分を供給する。１実施形態では、制御システムに、圧力変換器、第１乗算器、第２乗算器、第１フローコントローラ、および第２フローコントローラが含まれる。第１乗算器は、圧力変換器から受け取る圧力信号に、第１セットポイントをかけて、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給する第１フローコントローラを制御する。第２乗算器は、圧力信号に第２セットポイントをかけて、残りの部分を供給する第２フローコントローラを制御する。 （もっと読む）

本発明は電磁バルブの制御のための装置に関している。ここでは読み取り手段が電流及び／又は電圧に対する複数の測定値を経過のマッピングのために第１のメモリへ書き込む。評価手段は状態分析及び／又は経過分析を実施する。算定手段は前記状態分析及び／又は経過分析に基づいて、駆動制御を特徴付ける少なくとも１つの制御量を補正し、それを第２のメモリに書き込む。制御手段は前記制御量に基づいて出力段を駆動制御する。
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