【課題】柔軟、正確、かつ汚染の無いリアルタイムの連続混合システム、また、適切な混合および処理ツールへの正確な流体流量を確実にするための正確な圧力制御を提供する。
【解決手段】流量制御装置と、流量制御装置１１０と流体連通しているコリオリ質量流量計１１２とを含む流体供給システムである。コリオリ流量計は、ＰＦＡのような高純度プラスティック材料で作製されたフローチューブを有し、供給システムを高純度用途に適したものにする。コントローラ１１４は、ピンチバルブ１２０を含むことが可能な流量制御装置１１０に制御出力信号を供給し、設定点信号および流量計１１２から受け取った測定値信号に応答して、流量制御装置の出力を変化させる。 （もっと読む）

【課題】流量センサ部自体にサーマルサイフォン現象対策を行わなくてもこれを防止できる集積タイプのマスフローコントローラを用いた流体供給機構を提供する。
【解決手段】一対のセンサコイルからなる流量センサ１０が水平姿勢状態で本体ブロック１に設けられているマスフローコントローラ３と流体供給ラインＬの一部を構成するバルブ等とを繋ぐ繋ぎ流路ｔ_２，ｔ_３，ｔ_７，ｔ_８を有する複数の基板９１〜９４とを備えた集積タイプのマスフローコントローラにおいて、前記マスフローコントローラ３の前記基板９１〜９４への取付姿勢の変更に伴い前記流量センサ部１０においてサーマルサイフォン現象が生ずるのを回避すべく、前記基板９１〜９４とは異なる繋ぎ流路Ｎ_１，Ｎ_２を有する取替基板８０を設ける。 （もっと読む）

【課題】 水道管に対し水道メータより上流側に近接配置される流量制御弁の動作異常を検知できるようにする。
【解決手段】 流量制御弁異常検知装置と水道メータ及び流量制御弁とを通信線又は信号線を介して接続し、流量制御弁に対し例えば遮断信号が出力された後、その後における水道メータの検針値を読み取り、その検針値に基づく計測水量が、微小流量の閾値より大きい場合は、流量制御弁の例えば遮断動作（閉動作）に異常が生じているとして、この異常情報を表示部に表示し、また通信網を介して遠隔にある中央監視部に異常情報を送信する。 （もっと読む）

システムおよびプロセスにより、流体調節システムの実地始動型検査および／または制御を行うことができる。一態様では、流体調節検査システムは、現地試験始動装置（１１０、２００、３００、５１０）および流体調整装置制御システム（１２０、５２０）を含み得る。現地試験始動装置は、ユーザ入力装置（１１１、２２０、５１１）が活動化されると、流体調整装置制御システムに配信される制御信号（１５０、２１０、３１０、５３５）を変更することができる。流体調整装置制御システムは、現地試験始動装置から制御信号を受信し、流体調整装置（１３０、５４０）制御信号（１５０、５３５）を生成することができる。流体調整装置制御システム（１２０、５２０）は、制御信号（５３０）が変更されているかどうか検出し、制御信号が変更されている場合、流体調整装置検査シーケンス（６８５）を始動することもできる。流体調整装置制御システム（８２０）は、ラッチ・モードを含み得る。ラッチ・モードが開始されると、受信制御信号に基づく流体調整装置制御信号（８３０）の生成および／または流体調整装置（８４０、８７０）の位置の変更を阻止することができる。
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【課題】給水系に設けられた流量調節弁を長期間使用してその弁特性が変化した場合であっても、特に、給水流量の少ない低流量領域においても給水ポンプから吐出される給水流量が過流量となることを防止することができる給水ポンプ過流量防止装置を提供する。
【解決手段】給水ポンプ過流量防止装置は、条件出力手段２４ｃから入力した条件信号の変化率を制限して出力する変化率制限手段２４と、弁制限開度信号２０ａと変化率制限手段２４から出力された信号とを加算する加算手段２５と、弁制限開度信号２０ａと加算手段２５の出力とを比較して差分を補正弁制限開度信号２７ａとして出力する入力比較出力手段２６と、入力比較出力手段２６の出力信号に基づいた補正弁制限開度信号２７ａを下限値と入力する流量調節弁のローリミッタ２８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】単一の質量流量を多数の流れラインに分割するための流量比制御装置を含むガス送出システム用のマルチ反対称最適（ＭＡＯ）制御アルゴリズムを開示する。
【解決手段】ＭＡＯ制御アルゴリズムでは、各流れラインには、流れセンサ及びバルブが設けられている。このバルブは、ターゲット流量比設定点を得るため、線型サチュレータと組み合わせたＳＩＳＯフィードバック制御装置によって積極的に制御される。最適制御性能のため、これらのＳＩＳＯ制御装置及び線型サチュレータは実質的に同じである。各バルブ制御コマンドは、全ての他のバルブ制御コマンドに対してマルチ反対称であるということがわかっている。従って、ＭＡＯ制御アルゴリズムは、任意の時期に少なくとも一つのバルブが許容可能な最大開放位置にあり、これによって、流量比設定点の所与の組について、最大総バルブコンダクタンスに関して最適解を提供することを保証する。 （もっと読む）

【課題】超音波を発しつつ流入水とともに流下する複数の発信器、およびその受信器を用いて流入水の流下状況からポンプ場施設への流入量を予測する装置、およびこの装置による予測結果に基きポンプ場施設の運転支援・制御を行う装置を提供すること。
【解決手段】流入幹線内の下水、工場廃水等の流入水とともに流下する複数の発信器３と、前記発信器から発信される超音波を受信する２つ以上の受信器４と、前記受信器からの信号を処理するプロセスコントローラ５とをそなえ、前記プロセスコントローラによる信号処理結果に応じて流入水量を予測する装置において、前記プロセスコントローラは、前記流入水の流下にかかる時間、および前記受信器の設置位置における水位を計測し、その計測結果により、前記流入水の流入量を予測することを特徴とする流入量予測装置、およびこの流入量予測装置の予測結果に応じて流入水を処理するポンプ場の運転を行う装置。 （もっと読む）

【課題】設置が容易であり、調整やメンテナンスに手間がかからないコントロールバルブおよびそれを用いた配管網遠隔監視制御システムを提供する。
【解決手段】コントロールバルブ１０は、第一配管接続部１７０、第二配管接続部１７０Ａと配管１１０を有し、その配管の略中間には、流体の流量を調整するための弁体１２０が配置されている。配管における弁体の上流側には第一圧力センサ１４０が取付けられ、下流側には第二圧力センサ１５０が取付けられる。弁体の上部には駆動軸１３４を介して弁体が開閉可能となるように弁体駆動装置１３０が取付けられる。また第一圧力センサ及び第二圧力センサからの検出データに基づき弁体の駆動量を演算・制御する制御装置２００が一体的に具備されている。このコントロールバルブ１０を用いて配管網遠隔監視制御システムを構築できる。 （もっと読む）

【課題】 高流量域における測定を行った場合に生じるセンサ出力信号のふらつきの影響を無くす。
【解決手段】 表示器１９３に流量を表示する際の表示分解能および、流路１２を通流する被測定流体の流量設定を行う際の分解能を流量に応じて変更するようにする。すなわち、表示部によって流量を表示する際の表示分解能を、表示値のふらつきが小さい低流量領域では表示分解能を小さくし、ふらつきが大きくなる流量域では表示分解能を大きくすることによって、表示値のふらつきをなくした流量計測が可能となる。流量設定を行う際の分解能も同様に設定することで、表示値のふらつきの影響をなくした流量制御が可能となる。 （もっと読む）

【課題】システムの故障の際に惰性回転を除去してオーバーランを防止する、低コスト且つ高信頼性の標準モータ用液投与制御システムを提供する。
【課題を解決するための手段】液を移送するための蠕動ポンプ１０４と、移送される液を制御するように構成され、モータを動作するコントローラ１３４を含む心拍信号１４０を発生する手段とを含む。コントローラは、規則的な拍を発生する心拍信号を生成し、心拍信号をモニタし、心拍信号の拍を検出し、検出された拍が所定の時間範囲に無いならばポンピングモータをディスエーブルするウオッチドッグ回路１３６をさらに含み、電力スイッチ１２２および接地スイッチ１２４が共に導電状態にある時に電力がポンピングモータに供給され、電力スイッチおよび接地スイッチを制御するために個別の信号が使用されて、ウオッチドッグ回路はイネーブル信号を接地スイッチに供給しそしてコントローラは電力スイッチに停止信号を与える。 （もっと読む）

【課題】水処理プラントの健全な運用ができない事態を未然に回避できる水処理プラントの運転支援システムを提供することにある。
【解決手段】複数のポンプ３ａ〜３ｅにより送水プロセスを実行する水処理プラントにおいて、前記各ポンプ３ａ〜３ｅの中で稼動可能なポンプによる総送水量と、現時点から予測される送水要求量とを比較し、前記総送水量が前記送水要求量に満たない場合には、アラーム出力を実行するコントローラ２１を備えたプラント運転支援システム。 （もっと読む）

【課題】 流量制御のオーバーシュート現象を解消し、且つ集積ユニット化を可能とするコンパクトな質量流量制御装置と、この質量流量制御装置を備えたコンパクトなガス供給ユニットを提供する。
【解決手段】 質量流量を制御する流量制御弁機構１０と、前記流量制御弁機構に前記バルブ駆動信号を出力する流量制御弁制御手段１８と、を設けてなる質量流量制御装置５０において、前記流量制御弁機構１０の上流側及び／又は下流側に、遮断弁機構５２、５４を介設し、遮断弁機構５２、５４の給排気口をソレノイド弁機構１０２と直接連通させるように、弁ブロック体８０と一体として設け、且つ前記流量制御弁制御手段１８は、前記ソレノイド弁機構１０２を動作させるソレノイド弁駆動信号Ｓ３、Ｓ４を出力するとともに、前記バルブ駆動信号Ｓ２と、前記ソレノイド弁駆動信号Ｓ３、Ｓ４とを同期させる。 （もっと読む）

【課題】被制御流体の流量値を設定値（制御目標流量）に短時間に制御することが可能な、コリオリ流量計による流量計測と流量制御装置を提供する。
【解決手段】制御手段２７には、コリオリ流量計２４の流量−差圧特性が予め記憶されている。制御手段２７は、流量制御の開始時或いは流量制御目標値を変更した場合に、差圧計測手段２６からの差圧信号と上記流量−差圧特性に基づき所望の流量に相当する差圧を制御目標値としてポンプ２５の吐出量を制御するようになっている。また、制御手段２７は、流量が所望の流量、若しくはこの近傍に制御された時点でコリオリ流量計２４からの流量信号を制御目標値に移行させてポンプ２５の吐出量を制御するようになっている。 （もっと読む）

【課題】見かけ上差圧の生じない、コリオリ流量計による流量計測と流量制御装置を提供する。
【解決手段】コリオリ流量計２４と，コリオリ流量計２４の上流位置に配置されコリオリ流量計２４へ流体を輸送するポンプ２５と，ポンプ２５の上流側近傍位置とコリオリ流量計２４の下流側近傍位置との差圧を計測する差圧計測手段２６と，コリオリ流量計２４、ポンプ２５及び差圧計測手段２６が電気的に接続され、且つ差圧がゼロ若しくはゼロに近づくようにポンプ２５の吐出量を制御する制御手段２７と，を備えて流量計測・流量制御装置２１を構成する。 （もっと読む）

【課題】油圧シリンダ等の流体作動機器に供給される流体の流量制御システムに、該流量制御システムにおいて発生するハンチング成分を抑制するハンチング抑制手段を設ける。
【解決手段】ハンチング抑制手段として、流体回路自体が振動的であることに対応して流量制御システムに負帰還する圧力振動成分負帰還手段に加えて、さらに流量変化補償手段、応答遅れ補償手段、流量抑制手段、そして容積変化補正手段を設けてハンチングを効果的に抑制するようにした。 （もっと読む）

【課題】 簡単，安定的かつ無駄なく燃料ガスの供給制御を行える方法を提供する。
【解決手段】 燃料ガスを供給源から消費者に供給する燃料ガス供給装置における燃料ガスの供給制御方法において、タンクから前記消費者に送出される燃料ガスの流量を検出する工程と、燃料ガスの供給源から前記タンクに供給される燃料ガスの流量を検出する工程と、前記消費者に供給される燃料ガスの流量に変化が生じたときに、前記燃料ガスの流量の変化から前記タンク内の燃料ガスの圧力変化を予測する工程と、予測された圧力の変化量から、供給側の各燃料ガスの流量の変化量を予測する工程と、予測された供給側の燃料ガスの変化量に基づき、供給側の前記各燃料ガスの流量を調整する工程とを有する。 （もっと読む）

導管１０を通過する流体の流れを制御する流量制御装置は、流体の流れに対して抵抗を発生させるウェッジ１２と、前記導管１０の上流側と下流側にそれぞれ配置され、前記導管の上流側における流入圧力と前記導管の下流側における流出圧力とをそれぞれ検出する圧力センサー２０−１，２０−２と、前記流入圧力と前記流出圧力との間の差圧に対応する流量を検出し、検出流量を設定流量と比較して、前記検出流量と前記設定流量との間の偏差によって計算された開度率で前記導管１０の流出側開度率を調節する流量制御部２２と、前記流量制御部によって調節された開度率を正確に一致させるために前記差圧の不正確な増加を感知する誤謬感知部２８とを含む。 （もっと読む）

多重モード制御アルゴリズムを使用して、流体の流量を制御するためのシステムおよび方法を説明する。一実施形態は、閉ループモードから開ループモードに多重モード制御アルゴリズムを変化させるための方法を含む。本方法は、センサによって生成される少なくとも１つのセンサ指標を受信するステップを含む。多重モード制御アルゴリズムは、少なくとも１つのセンサ指標に基づいて、閾値条件が充足される場合に、閉ループモードから開ループモードに修正される。多重モード制御アルゴリズムは、設定値に従って流体の流量を制御するために、流量制御器によって使用される。 （もっと読む）

【課題】バルブを駆動するネジ部に生ずる咬み込みの問題を解消するとともに、装置の小型化を図ること。
【解決手段】バルブに連結されたステッピングモータ５と、ステッピングモータ５を制御するモータ制御装置６とを備え、モータ制御装置６は、パルスモータへ駆動パルスを与えるモータ制御部６６と、パルスモータ５に与えられた駆動パルス数をカウントするカウント部６７と、モータ制御部６７の駆動電源６１の電圧低下を検出する電圧低下検出部６５と、電圧低下検出部６５により電圧低下が検出された場合に、カウント部６７のカウント値を不揮発性メモリ６４に書き込む書き込み部６８とを具備するバルブ制御装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 耐久性に優れたメタルダイアフラム弁を提供する。
【解決手段】 ガスが流動する流路を有する本体と、前記本体に固定された弁座と、前記弁座に接離して流路を開閉する金属製ダイアフラムと、前記金属製ダイアフラムを介して本体に固定するキャップと、前記キャップに設けられた流体給排口とを備え、
前記金属製ダイアフラムは前記流体給排口側に形成されかつ外周縁部が前記本体と前記キャップ部との間で挟着されるとともに、前記金属製ダイアフラムの上面に流体圧を負荷することで前記弁座に当接して閉弁となし、流体圧を解除することで弁座から離間して開弁となすメタルダイアフラム弁であって、
前記金属製ダイアフラムは、ｄ３／ｄ１＝２〜７、ｒ／ｄ３＝４〜７の寸法関係を有することを特徴とするメタルダイアフラム弁を提供する。 （もっと読む）