【課題】目標流量に自動的に調整することができる流量制御システムを提供すること。また、流量が目標流量から外れたときに目標流量に自動的に復帰させることができる流量制御システムを提供すること。
【解決手段】流量制御システム１０は、流量センサ１０１と、流量センサ１０１で測定される測定値が目標値になるように、流量センサ１０１の出力に基づいて流量制御弁５０の開度を可変制御する制御回路１０２とを備える流量コントローラ１００と、流量コントローラ１００への流体供給をＯＮ／ＯＦＦ制御する開閉弁１２と、開閉弁１２および流量コントローラ１００を制御するコントローラ１４とを有し、コントローラ１４から制御回路１０２に対して弁開度保持信号が入力されている間、制御回路１０２は、流量センサ１０１の出力に基づく流量制御弁５０の開度可変制御を停止し、弁開度保持信号が入力された時点における流量制御弁５０の開度を保持する。 （もっと読む）

【課題】自動的に流量を調整することができる流量制御システムを提供する。
【解決手段】共通管路１６と、各半導体製造装置５１〜５３へ冷却水を供給する分岐管路と、分岐管用流量調整弁と、冷却水の流量の設定条件を入力する半導体製造装置用操作部と、分岐管用流量センサと、分岐管用流量調整弁の制御にかかる信号を出力する流量調整用の比較器を備えた半導体製造装置用命令処理部と、各半導体製造装置への冷却水の供給量の総和となる設定条件を自動的に入力する自動入力手段５０と、自動入力手段５０から設定条件が入力される操作部３２と、共通管路１６に設けられた流量調整弁３４と、共通管路１６内における冷却水の流量を検出する流量センサ２６と、操作部３２から入力される設定信号と流量センサ２６による検出信号とを比較し、流量調整弁３４の制御にかかる信号を出力する流量調整用の比較器３６を備えた命令処理部４０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】気流によって目的部位に輸送される粉末を所望濃度に保持しつつ、輸送される粉末の総量管理が容易な粉末濃度調節装置を提供する。
【解決手段】送気系統61及び濃度コントローラ59を備える。補給される粉末を輸送気体で吹飛ばす噴射ノズル52を噴射部51に設ける。吹飛ばされた粉が混じった含粉気流を一端から受入れ他端に出口53ａを有した調節筒53に、この筒内に希釈気体を混入させる希釈ノズル55,56と、含粉気流の粉末濃度を測定する濃度センサ54とを設ける。系統61は、気体源に接続された流量調節弁65、流量調節弁68を有して弁65とノズル52を接続した送気経路66、及び流量調節弁73を有して弁65とノズル55,56を接続した送気経路71を備える。コントローラ59は、輸送気体の流量と希釈気体の流量とを合計した総流量が一定に保持されるように弁65を制御し、センサ54の測定結果に基づき弁69,73を制御することで輸送気体の流量と希釈気体の流量との割合を調節して、粉末濃度を目標濃度とする。 （もっと読む）

【課題】 主観的要因を排除し、客観的な事象に基づくデータにより、制御ループ健全でない場合の要因の特定を可能とする、制御ループ診断装置を実現する。
【解決手段】 測定流体が流れる管路に調節弁が挿入され、前記測定流体の流量の測定信号を用いて制御演算を行い、演算で求めた制御信号で前記調節弁を制御する制御ループの健全性を診断する制御ループ診断装置において、
前記測定信号、前記制御信号及び前記調節弁の開度信号を監視データとして取得して保持する入力処理手段と、
この入力処理手段より前記監視データを読み出し、各監視データの変化傾向のパターンの組み合わせを監視する変化傾向監視手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】 混合比を一定に保ちながら各流体の流量を可変制御可能な流体混合器と、この流体混合器に用いるに好適な流体制御装置を提供する。
【解決手段】 流量制御装置に、デジタル指令値（流量設定値）をアナログ電圧値またはアナログ電流値に変換して出力するアナログ出力回路、入力されたアナログ電圧またはアナログ電流値をデジタル指令値に変換して取り込むアナログ入力回路、通信インターフェースを介して与えられたデジタル指令値、またはアナログ入力回路を介してアナログ電圧またはアナログ電流値を変換して入力したデジタル指令値に応じて流量制御弁の弁開度を比例制御する制御弁駆動回路、およびデジタル指令値とアナログ入出力電圧値との対応関係を可変設定するアナログスケーリング手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】 流体の種別等に応じた各種の変更設定操作を簡単に行うことのできる取り扱い性に優れた汎用性の高い流量制御装置を提供する。
【解決手段】 熱式流量センサを備え、流量制御弁の開度を比例制御して流体の流量を制御する流量制御装置であって、流体の種別に対応付けて熱式流量センサにて計測可能な最大流量を登録したテーブルと、流量制御弁を介して制御する流体の種別を設定する種別設定手段と、設定された流体の種別に応じて前記テーブルを参照して求められる最大流量に従って最大制御レンジを自動設定するレンジ設定手段と、設定された最大制御レンジに対する相対値に従って運用制御レンジをマニュアル設定するレンジ変更手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図りつつ、ロータ周面に対向した磁気受渡部の設定範囲を広げることができる空気流量制御弁を提供する。
【解決手段】 トルクモータ１４を、ロータ４１を有するシャフト１５とロータ４１の外周部に配設された円筒状のコイル４２と、コイル４２で励磁されるステータ４３で構成する。ステータ４３の第１構成部材６１を、コイル４２とロータ４１間に配置される第１磁極部７１と、コイル４２の外周部に配置される第１磁気通路部７２と、第１磁気通路部７２の先端部を第１磁極部７１に連設する第１連設部７３で構成する。ステータ４３の第２構成部材６２を、コイル４２とロータ４１間に配置される第２磁極部８１と、コイル４２の外周部に配置される第２磁気通路部８２と、第２磁気通路部８２の基端部を第２磁極部８１に連設する第２連設部８３で構成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、流量を幅広い流量範囲で微細に制御することができ、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができる流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁５と、流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器４と、流量計測器４からの前記電気信号と設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御弁５の開口面積を制御するための指令信号を、前記流体制御弁５または該流体制御弁を操作する機器１０３へ出力する制御部８と、開口面積が調節可能な絞り弁６と、を具備し、前記流体制御弁５と前記流量計測器４と前記制御部８と前記絞り弁６とが全て一つのケーシング２内へ収納配設されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 基板処理時に実際に生じ得るサーマルサイフォン現象に基づくゼロ点シフト量を正確に検出して的確な補正をする。
【解決手段】 熱処理部１１０内にガスを供給するガス供給路２１０と，ガス供給路のガス流量を検出する検出部からの出力電圧と予め設定された設定流量に対応する設定電圧とを比較して，ガス供給路のガス流量が設定流量になるように制御するＭＦＣ２４０と，制御部３００とを備え，制御部は，基板処理を実行する前に予め，ＭＦＣ内を少なくとも基板処理時に使用するガスで置換してＭＦＣの上流側と下流側に設けられる遮断弁２３０，２５０を閉じた状態でＭＦＣからの出力電圧を検出して記憶手段に記憶しておき，基板処理を実行する際には基板処理時に使用するガスのガス流量に対応する設定電圧を記憶手段に記憶されたＭＦＣの出力電圧に基づいて補正し，補正した設定電圧をＭＦＣに設定する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができ、幅広い流量範囲で微細に流量を制御することができる流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁４と、流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器３と、該流量計測器３からの前記電気信号と設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御弁４の開口面積を制御するための指令信号を、前記流体制御弁４または該流体制御弁を操作する機器５６へ出力する制御部６と、を具備することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができ、幅広い流量範囲で微細に流量を制御することができる流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、流路の開口面積を変化させることにより流体の流量を制御する流体制御弁と、流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器と、該流量計測器からの前記電気信号と設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御弁の開口面積を制御するための指令信号を、前記流体制御弁または該流体制御弁を操作する機器へ出力する制御部と、を具備することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 真空容器内を排気し、その後ガスを導入して一定の流量とガス圧に制御するような場合に、容易に制御出来る圧力・流量コントロールシステムを提供する。
【解決手段】圧力と流量の両方をセンシングできるセンサチップと、センサチップからの信号を設定値と比較して設定圧力・流量に制御するためのコントローラと、コントローラからの制御信号により圧力・流量を制御するコンダクタンスバルブとニードルバルブとで圧力・流量自動制御システムを構成した。
センサチップは、シリコン基板を用いて製作される。基板から熱分離された薄膜上に、薄膜ヒータと１個以上の温度センサを集積化させる。温度センサを用いて圧力または流量変化による温度差を検出できる。時分割で測定すれば、圧力・流量を１個のセンサチップで測定出来る。 （もっと読む）

【課題】 配水区域の予測される需要量より、各配水場の複数の配水ポンプによる最適な水配計画を立案する。
【解決手段】 配水区域３３についての需要量予測パターンを基に、各配水場１８，２３，２８にて配水ポンプの組合せ毎に作成されるポンプ運転特性と配水区域３３の目標末端圧力パターンより、この目標末端圧力パターンを満たす配水ポンプの組合せを考慮して各配水場１８，２３，２８の配水流量パターンを作成する。次に、その各配水場１８，２３，２８の配水流量パターンより、各配水場の現在時間帯の配水流量値を抽出する。抽出された配水流量値を各配水場の配水ポンプの運転を制御する制御装置２２，２７，３２に対し送信し、各配水場１８，２３，２８の配水ポンプ２１，２６，３１の運転を制御する。 （もっと読む）

【課題】流量設定値の変化に対する追随速度を犠牲にすることなく、圧力変動が生じても流量変動を抑制でき、クロストークが生じ得るようなシステムにも採用できるコントローラの提供。
【解決手段】流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部２と、その流量センサ部２の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ３と、前記流量測定信号から得られる流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部６と、前記フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ３に出力する開度制御信号出力部７と、を備えたものにおいて、前記比例演算におけるゲイン値を算出するための関数を、前記流量設定値を所定量以上変化させた時点からの所定期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間とにおいて異ならせた。 （もっと読む）

【課題】 取り扱いが容易で、汎用性の高い流量コントローラ、これに用いるレギュレータユニット、バルブユニットを提供する。
【解決手段】 流量コントローラ１０を、レギュレータ２１と第１圧力センサ２２とを有するレギュレータユニット１１と、第２圧力センサ３１と流量制御弁３２とを有するバルブユニット１２と、レギュレータユニット１１およびバルブユニット１２に対して着脱可能にして接続されてレギュレータユニット１１とバルブユニット１２とを接続する流体流路およびオリフィスを構成するオリフィスユニット１３とを有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】特に半導体製造等に使用される流量調節弁に関し、ダイヤフラムの膜部の応力を小さくしてヒステリシスエラーを低減させることにより、弁部の開閉時における作動の再現性を実現し、制御の応答性や安定性を向上させることができる空圧式流量調節弁を提供する。
【解決手段】弁座２５をシールする弁部３５と第１開口側２１に配された第１ダイヤフラム４０と第２開口側２２に配された第２ダイヤフラム５０とを一体に有する弁機構体３０が配置され、第１，第２ダイヤフラム４０，５０を加圧手段６０，７０によって弁室２０方向に加圧して流量を制御するようにした弁において、第１，第２ダイヤフラム４０，５０の外周をサポートリング４５，５５によって挟持して、第１，第２ダイヤフラム４０，５０のダイヤフラム部の膜部最大径Ｌ１，Ｌ２と膜部最小径Ｓ１，Ｓ２を２分した位置での中間直径距離Ｍ１，Ｍ２をオリフィス径Ｏの約０．５〜２倍の範囲内とした。 （もっと読む）

【課題】 窒素ガスに基づいて校正をした圧力式流量制御装置を用いて窒素以外の実ガスを簡単且つ正確に測定できるようにすると共に、熱式流量制御装置（マスフローコントローラ）とも容易に取り替えできるようにする。
【解決手段】 オリフィス上流側圧力Ｐ₁とオリフィス下流側圧力Ｐ₂を用いて、オリフィス８を流通する流体の流量をＱｃ＝ＫＰ₁（Ｋは比例定数）又はＱ_c＝ＫＰ₂^m(P₁−Ｐ₂)ⁿ（Ｋは比例定数、ｍとｎは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置において、入出力コンバータ２５の設定流量信号Ｑｅｒと設定入力信号Ｑｅ′との比である変換率（Ｑｅ′／Ｑｅｒ）及び流量出力信号Ｑｏｒと制御流量出力Ｑｏ′との比である変換率（Ｑｏ′／Ｑｏｒ）を調整可能な構成とする。 （もっと読む）

可変容量ポンプを制御する燃料計量ユニット。燃料計量ユニットは可変容量ポンプの吐出量を計量するため可変容量ポンプと流体連通している主計量弁と、戻り燃料流を生成するため主計量弁と流体連通している圧力調節器と、再循環で発生する熱を最小に保つため可変容量ポンプの吐出量を設定することで、戻り燃料流が低レベルで実質的に一定に維持されるように、戻り燃料量を調節する、圧力調節器と可変容量ポンプとに流体連通している調節弁とを備える。
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【課題】 生産用装置の稼働状況に応じて冷却水を供給することで冷却水の供給動力を省くことができるとともに、容易且つ安価に生産用装置に組み込むことができる流量制御装置を提供する。
【解決手段】 生産用装置の一部をなすドライポンプ１１に供給された冷却水を回収する回収管Ｐ２には、冷却水の温度を検出する冷却水温度検出部２１及び流量連続制御バルブ２３が設けられている。バルブコントローラ２２は、ドライポンプ１１の動作を制御するドライポンプコントローラ２４からドライポンプ１１の動作開始を示す旨の状態信号Ｓ２が出力された場合に、予め設定されたプログラムに従って流量連続制御バルブ２３の開口度を制御する。また、状態信号Ｓ２が出力されてから所定時間経過後は、冷却水温度検出部２１の検出結果に基づいて流量連続制御バルブ２３の開口度を制御する。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、配管接続による圧力損失を低減し、各モジュールの配置変更を容易に行なえるもので、また流体に腐食性流体を使用しても腐食が起こることなく、配管後の流量の設定変更や、流路の遮断が可能であり、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、超音波を流体中に発信する超音波振動子１２と超音波振動子１２から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部８２に出力する超音波振動子１３とを有する流量計センサ部４と、操作圧により流体の圧力を制御する定流量弁５とを具備し、流量計センサ部４と定流量弁５とが、流体流入口３と流体流出口６を有する１つのケーシング２内に接続されて設置されてなる。 （もっと読む）